JP2010219389A - ステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ装置1は、定盤2上を移動するY軸移動体4と、Y軸移動体4を駆動するY軸シャフトモータ14A,14Bと、Y軸移動体を定盤2上で支持する転がりガイド11及びY軸リフトエアパッド12と、を備えている。Y軸シャフトモータ14A,14Bは、定盤2の盤面2aと間に空間A1,A2が形成されるように定盤2にそれぞれ固定されたY軸シャフト部21A,21Bと、Y軸移動体4にそれぞれ固定されたY軸コイル部22A,22Bと、を有している。このステージ装置1においては、かかる空間A1,A2に、転がりガイド11及びY軸リフトエアパッド12の少なくとも一部が入り込んでいることから、Y軸シャフトモータ14A,14Bを備えたことによる空間構成が好適なものとなり、フットプリントを小さくすることができる。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 定盤上を移動する移動体と、
前記移動体を駆動するシャフトモータと、
前記移動体を前記定盤上で支持する支持手段と、を備え、
前記シャフトモータは、前記定盤との間に空間が形成されるように前記定盤に固定されたシャフト部と、前記移動体に固定され前記シャフト部に沿って可動な可動部と、を有しており、
前記支持手段は、その少なくとも一部が前記空間に入り込んでいることを特徴とするステージ装置。 - 前記支持手段は、前記移動体を前記定盤に対して非接触で支持するエアパッドであることを特徴とする請求項1記載のステージ装置。
- 前記支持手段は、前記移動体の移動をガイドする転がりガイドであることを特徴とする請求項1又は2記載のステージ装置。
- 前記移動体は、前記定盤に支持されY軸方向に移動するY軸移動体であり、
前記Y軸移動体は、前記定盤に支持されX軸方向に移動するX軸移動体の移動をガイドするように構成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項記載のステージ装置。 - 請求項1〜4の何れか一項記載のステージ装置を備えたことを特徴とする半導体検査装置。
- 請求項1〜4の何れか一項記載のステージ装置を備えたことを特徴とする半導体露光装置。
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