JP6508576B2 - 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 - Google Patents
移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 Download PDFInfo
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Description
以下、本発明の第1の実施形態について、図1〜図6(C)に基づいて説明する。
次に、第2の実施形態の液晶露光装置について説明する。本第2の実施形態の液晶露光装置は、基板Pを保持する基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、前述の第1の実施形態の液晶露光装置10と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。ここで、重複説明を避ける観点から、上記第1の実施形態と同等の機能を有するものについては、上記第1の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第3の実施形態について説明する。第3の実施形態の液晶露光装置は、基板Pを保持する基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、前述した第1、第2の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1、第2の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1、第2の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第4の実施形態について図9及び図10に基づいて、説明する。第4の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第3の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第3の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第3の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第5の実施形態について図11、図12に基づいて、説明する。第5の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第4の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第4の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第4の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第6の実施形態について図13に基づいて、説明する。第6の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第5の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第5の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第5の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第7の実施形態について、図14,図15に基づいて、説明する。第7の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第6の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第6の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第6の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第8の実施形態について、図16に基づいて、説明する。第8の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第7の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第7の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第7の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第9の実施形態について説明する。上記第1〜第8の実施形態に係る基板ステージ装置が液晶露光装置に設けられていたのに対し、図17に示されるように、第9の実施形態に係る基板ステージ装置PST9は、基板検査装置900に設けられている。
次に、上記各実施形態の露光装置をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記各実施形態の露光装置では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
まず、上述した各実施形態の露光装置を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
Claims (10)
- 物体に対して第1方向に浮上力を付与し、前記物体を浮上支持する支持部と、
前記浮上支持された前記物体を保持する保持部と、
前記保持部に設けられ、前記物体を保持する保持部の位置に関する情報を取得する取得部と、
前記情報に基づいて、前記第1方向に交差する第2方向に関して、浮上支持された前記物体を保持した状態で前記保持部を前記支持部に対して相対移動させる駆動部と、を備え、
前記駆動部は、前記保持部の前記第2方向への移動中に取得された前記情報に基づいて、前記保持部を非接触支持した状態で、前記保持部の前記第2方向の位置と前記第1方向に平行な軸に対する回転位置とを制御しながら、前記物体を保持する前記保持部を移動させる移動体装置。 - 前記取得部は、複数の格子領域が設けられる格子部材と、前記格子部材に対して計測ビームを照射するヘッドとを有し、
前記格子部材と前記ヘッドとのいずれか一方は、前記保持部に設けられる請求項1に記載の移動体装置。 - 前記駆動部は、前記第2方向に関して、前記物体を前記支持部に対向させつつ、前記保持部を前記支持部と重ならない位置で移動させる請求項1または2に記載の移動体装置。
- 請求項1から3の何れか一項に記載の移動体装置と、
前記支持部に対向する物体に対して、所定パターンを前記物体上に形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記パターン形成装置は、前記保持部により前記第2方向へ駆動された前記物体に対して前記所定パターンを、前記物体上に形成する請求項4に記載の露光装置。
- 前記物体は、ディスプレイ装置の表示パネルに用いられる基板である請求項4又は5に記載の露光装置。
- 請求項4から6の何れか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項4から6の何れか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 支持部により第1方向から浮上力が付与され、浮上支持された物体を保持部により保持することと、
取得部により取得された前記物体を保持する保持部の位置に関する情報に基づいて、前記第1方向に交差する第2方向に関して、駆動部により前記保持部を前記支持部に対して相対移動させることと、
前記第2方向へ移動された前記物体を露光することと、含み、
前記露光することでは、前記駆動部が、前記保持部の前記第2方向への移動中に取得された前記情報に基づいて、前記保持部を非接触支持した状態で、前記保持部の前記第2方向の位置と前記第1方向に平行な軸に対する回転位置とを制御しながら、前記物体を保持する前記保持部を移動させ、前記物体を露光する露光方法。 - 前記相対移動させることでは、前記第2方向に関して、前記物体を前記支持部に対向させつつ、前記保持部を前記支持部と重ならない位置で移動させる請求項9に記載の露光方法。
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