JP2017142523A - 移動体装置、物体処理装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び搬送方法 - Google Patents
移動体装置、物体処理装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び搬送方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 基板Pの下方には、基板Pの下面にエアを噴出する複数のエア浮上ユニット50が配置され、基板Pは、概ね水平となるように非接触支持される。また、基板Pは、定点ステージ40により被露光部位が下方から非接触保持され、その被露光部位の面位置がピンポイントで調整される。従って、基板Pに高精度で露光を行うことができ、かつ基板ステージ装置PSTの構成を簡単にすることができる。
【選択図】図2
Description
以下、本発明の第1の実施形態について、図1〜図6(C)に基づいて説明する。
次に、第2の実施形態の液晶露光装置について説明する。本第2の実施形態の液晶露光装置は、基板Pを保持する基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、前述の第1の実施形態の液晶露光装置10と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。ここで、重複説明を避ける観点から、上記第1の実施形態と同等の機能を有するものについては、上記第1の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第3の実施形態について説明する。第3の実施形態の液晶露光装置は、基板Pを保持する基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、前述した第1、第2の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1、第2の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1、第2の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第4の実施形態について図9及び図10に基づいて、説明する。第4の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第3の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第3の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第3の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第5の実施形態について図11、図12に基づいて、説明する。第5の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第4の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第4の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第4の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第6の実施形態について図13に基づいて、説明する。第6の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第5の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第5の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第5の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第7の実施形態について、図14,図15に基づいて、説明する。第7の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第6の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第6の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第6の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第8の実施形態について、図16に基づいて、説明する。第8の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第7の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第7の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第7の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第9の実施形態について説明する。上記第1〜第8の実施形態に係る基板ステージ装置が液晶露光装置に設けられていたのに対し、図17に示されるように、第9の実施形態に係る基板ステージ装置PST9は、基板検査装置900に設けられている。
次に、上記各実施形態の露光装置をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記各実施形態の露光装置では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
まず、上述した各実施形態の露光装置を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
Claims (30)
- 物体を浮上支持する支持部と、
前記浮上支持された物体を保持し、前記支持部に対して相対移動可能な保持部と、
前記浮上支持され前記保持部に保持された前記物体を、前記保持部から搬送する搬送部と、を備える移動体装置。 - 前記搬送部は、前記物体が前記保持部から搬送された前記保持部に対して、前記物体とは異なる物体を搬送する請求項1に記載の移動体装置。
- 物体を浮上支持する支持部と、
前記浮上支持された前記物体を保持し、前記支持部に対して相対移動可能な保持部と、
前記浮上支持された前記物体を、前記保持部へ搬送する搬送部と、を備える移動体装置。 - 前記支持部は、前記物体に対して第1方向へ浮上力を付与して前記物体を浮上支持し、
前記搬送部は、前記第1方向と交差する第2方向へ前記物体を搬送する請求項1から3の何れか一項記載の移動体装置。 - 前記保持部は、前記物体において、前記第1および第2方向と交差する第3方向における端部を保持する請求項4に記載の移動体装置。
- 前記保持部は、前記第3方向に離れて設けられ、前記物体の前記第3方向に離れた複数領域を保持する請求項5に記載の移動体装置。
- 前記保持部は、前記第2方向に離れて設けられ、前記物体の前記第2方向に離れた複数領域を保持する請求項5又は6に記載の移動体装置。
- 前記保持部は、前記搬送部による前記物体の移動経路から退避可能に設けられる請求項1から7の何れか一項に記載の移動体装置。
- 前記保持部は、前記搬送部による前記物体の移動経路から退避するように前記支持部に対して上下方向に駆動する請求項8に記載の移動体装置。
- 前記保持部は、前記物体を吸着する吸着部と、前記搬送部による前記物体の移動経路から退避するように前記吸着部が収容可能に設けられる本体部と、を有する請求項9に記載の移動体装置。
- 前記搬送部は、前記保持部による前記物体の保持が解除された前記物体を、前記保持部から搬送する請求項1から10の何れか一項に記載の移動体装置。
- 前記搬送部は、前記保持部に設けられた開口部を介して、前記物体を搬送する請求項1から11の何れか一項に記載の移動体装置。
- 前記保持部に設けられ、前記物体を保持する前記保持部の位置に関する情報を取得する取得部と、
前記情報に基づいて、前記保持部を前記支持部に対して相対駆動する駆動部と、をさらに備える請求項1から12の何れか一項に記載の移動体装置。 - 前記取得部は、複数の格子領域が設けられる格子部材と、前記格子部材に対して計測ビームを照射するヘッドとを有し、
前記格子部材と前記ヘッドとの一方は、前記保持部に設けられる請求項13に記載の移動体装置。 - 前記保持部を、所定方向に関して、前記支持部に対して相対駆動させる第1駆動系と、
前記第1駆動系に駆動された前記保持部を、前記所定方向に関して、前記支持部と前記第1駆動系とに対して相対駆動させる第2駆動系と、をさらに備える請求項1から14の何れか一項に記載の移動体装置。 - 前記第2駆動系は、前記保持部に設けられる請求項15に記載の移動体装置。
- 前記第1駆動系は、前記支持部の下方に設けられる請求項15又は16に記載の移動体装置。
- 請求項1から17の何れか一項に記載の移動体装置と、
前記保持部に保持された前記物体に対して所定処理を行う処理部と、を備える物体処理装置。 - 前記処理部は、エネルギビームを用いて前記物体を走査露光し、所定パターンを前記物体上に形成するパターン形成装置である請求項18に記載の物体処理装置。
- 前記物体は、ディスプレイ装置の表示パネルに用いられる基板である請求項18又は19に記載の物体処理装置。
- 前記物体は、サイズが500mm以上である基板である請求項20に記載の物体処理装置。
- 請求項18に記載の物体処理装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項18又は19に記載の物体処理装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 支持部に浮上支持され、保持部により保持された物体を、前記支持部に対して相対駆動することと、
前記物体を露光することと、
前記露光することにより露光された前記物体を、搬送部により、前記保持部から搬送することと、を含む搬送方法。 - 前記搬送することでは、前記物体が前記保持部から搬送された前記保持部に対して、前記物体とは異なる物体を搬送する請求項24に記載の搬送方法。
- 物体を浮上支持することと、
前記支持部に対して相対移動可能な保持部に、前記浮上支持された前記物体を前記保持部へ搬送する搬送することと、
搬送された前記物体を保持する保持部を駆動し、前記物体を露光することと、を含む搬送方法。 - 前記搬送することでは、前記支持部により第1方向へ浮上力が付与され浮上支持された前記物体を、前記第1方向と交差する第2方向へ前記物体を搬送する請求項24から26の何れか一項記載の搬送方法。
- 前記搬送することにより前記物体が移動される経路から前記保持部を退避させることを更に含む請求項24から27の何れか一項に記載の搬送方法。
- 前記退避させることでは、前記搬送することにより前記物体が移動される経路から退避するように前記支持部に対して上下方向に前記保持部を駆動する請求項28に記載の搬送方法。
- 前記搬送することでは、前記保持部による前記物体の保持が解除された前記物体を、前記保持部から搬送する請求項24から29の何れか一項に記載の搬送方法。
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