JP5464186B2 - フォトマスクブランク、フォトマスク及びその製造方法 - Google Patents
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Description
請求項1:
透明基板と、該透明基板上に設けられ、遷移金属ケイ素化合物材料からなる光学膜と、光学膜を精密加工するためのハードマスク膜とを有するフォトマスクブランクであって、
前記ハードマスク膜がクロム系材料からなる多層膜であり、
前記多層膜が、
前記光学膜と接して設けられ、酸素を20〜60原子%含有するクロム系材料からなり、厚さ0.5nm以上5.0nm未満である第1層と、
前記第1層に接して設けられ、クロムを50原子%以上含有し、第1層よりも酸素含有率が低いクロム系材料からなる第2層とを有し、
前記ハードマスク膜の全体の厚さが2.0nm以上10nm未満であることを特徴とするフォトマスクブランク。
請求項2:
前記多層膜が、最下層として前記第1層と、中間層として前記第2層と、最表層として、前記第2層に接して設けられ、第2層よりも酸素含有率が高い第3層とからなることを特徴とする請求項1記載のフォトマスクブランク。
請求項3:
前記第1層の厚さが0.5〜3.0nmであることを特徴とする請求項1又は2記載のフォトマスクブランク。
請求項4:
前記光学膜が遮光膜であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のフォトマスクブランク。
請求項5:
前記遮光膜の厚さが35〜60nmであることを特徴とする請求項4記載のフォトマスクブランク。
請求項6:
前記遷移金属がモリブデンであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のフォトマスクブランク。
請求項7:
請求項1乃至6のいずれか1項記載のフォトマスクブランク上に、厚さが100nmよりも薄いレジスト膜が設けられたフォトマスクブランク。
請求項8:
請求項1乃至7のいずれか1項記載のフォトマスクブランクから製造されたことを特徴とするフォトマスク。
請求項9:
請求項7記載のフォトマスクブランクから、フォトマスクを製造する方法であって、
前記レジスト膜のパターン形成工程、前記ハードマスク膜のパターン形成工程、及び前記光学膜のパターン形成工程を含み、
前記レジスト膜のパターン形成工程が、電子線照射によるパターン描画処理を含み、
前記ハードマスク膜のパターン形成工程が、酸素を含有する塩素系ガスを用いた塩素系ドライエッチング処理を含み、かつ
前記光学膜のパターン形成工程が、フッ素系ガスを用いたフッ素系ドライエッチング処理を含むことを特徴とするフォトマスクの製造方法。
フォトマスクブランクの加工を行う際に、2つの異なるエッチング特性をもつ膜を利用して、一方を他方のエッチング加工を行う際のハードマスクとして使用する加工技術は、特開2007−241060号公報(特許文献1)に、遮光膜として遷移金属ケイ素化合物材料、ハードマスクとしてクロム系材料を用いることが開示されている。更に、特開2007−241060号公報(特許文献1)では、単独で遮光膜に用いるような厚さのクロム系材料膜は、レジストパターンを用いて酸素を含有する塩素系ドライエッチングを行うと、パターンの粗密依存性が強く現れて、加工精度が低下してしまうことが示され、また、クロム系材料膜をハードマスク膜として用いる場合にも、30nmより薄い膜を使うことによって、ハードマスク膜及びそれを用いた遷移金属ケイ素化合物材料による遮光膜を高精度に加工できることが開示されている。
本発明に使用されるハードマスク膜は、薄膜化された場合においてもフッ素系ドライエッチングに対して高いエッチング耐性を示すものであり、ハードマスク膜全体の厚さが10nm未満、特に9.5nm未満で使用される場合に対して設計されたものであるが、より好ましくは6.0nm以下、更に好ましくは4.0nm以下の場合に、特に有用に機能する。一方、ハードマスク膜全体の厚さは、遷移金属ケイ素化合物材料からなる光学膜に対するハードマスクとしての機能を維持できる厚さとして、2.0nm以上であることが必要である。
[実施例1]
石英基板上に、スパッタ法にて、ケイ素ターゲットとモリブデンシリサイドターゲットを用い、スパッタガスにアルゴンと窒素ガスを用いて、基板側組成傾斜層及び表面側組成傾斜層からなるMoSiNの遮光膜を成膜した。まず、Mo:Si=1:2.5(原子比)で、基板側で窒素量が29原子%、基板から離間する側で窒素量が19原子%となるように窒素ガス濃度を連続的に変えながら厚さ45nmの基板側組成傾斜層を形成した。続けて、Mo:Si=1:3.5(原子比)で、窒素量が38原子%となる条件で厚さ2nmの層、更に、Mo:Si=1:3.5(原子比)で、窒素量が47原子%となる条件で厚さ2nmの層を形成し、2層からなる表面側組成傾斜層とした。得られた遮光膜の厚さは49nmであり、波長193nmの光に対し、光学濃度ODは3.10、基板側からの光の反射率は32%、基板と離間する側からの光の反射率は34%であった。
実施例1で中間層を成膜した条件で、厚さ2.0nmの最下層を成膜し、中間層は形成せず、実施例1で最表層を成膜した条件で、厚さ2.0nmの最表層を成膜した以外は、実施例1と同じ方法で、ハードマスク膜を有するバイナリーフォトマスクブランクを製造した。
ハードマスク膜の各層の厚さを、それぞれ、最下層0.75nm、中間層1.5nm、最表層0.75nmとした以外は実施例1と同じ方法で、ハードマスク膜を有するバイナリーフォトマスクブランクを製造した。
実施例1で中間層を成膜した条件で、厚さ1.5nmの最下層を成膜し、中間層は形成せず、実施例1で最表層を成膜した条件で、厚さ1.5nmの最表層を成膜した以外は、実施例1と同じ方法で、ハードマスク膜を有するバイナリーフォトマスクブランクを製造した。
実施例1,2及び比較例1,2で得られたフォトマスクブランクのハードマスク膜のエッチング時間を、酸素を含有する塩素系ガスを用いた塩素系ドライエッチング条件とフッ素系ガスを用いたフッ素系ドライエッチング条件とで測定し、ハードマスク膜の加工容易性とエッチング耐性とを評価した。エッチングに用いたエッチング装置の概略を図5に示す。図5中、101はチャンバー、102はアース、103は下部電極、104はアンテナコイル、105は被処理基板、RF1,RF2は高周波電源である。
RF1(RIE:リアクティブイオンエッチング) CW(連続放電):54V
RF2(ICP:誘導結合プラズマ) CW:325W
圧力:5mTorr
SF6:18sccm
O2:45sccm
RF1(RIE) パルス:700V
RF2(ICP) CW:400W
圧力:6mTorr
Cl2:185sccm
O2:55sccm
He:9.25sccm
[実施例3]
実施例1で製造したフォトマスクブランク上に、芳香族系ポリマーによるポジ型電子線レジスト組成物を用いて厚さ80nmのレジスト膜を成膜し、電子線レジスト膜付きフォトマスクブランクを得た。これに32nmノード用フォトマスクモデルパターンとして、45nm及び400nmのラインアンドスペースパターンを含むレジストパターンを形成した。レジストパターンは、電子線照射装置(ニューフレアテクノロジ社製 EBM−5000+)を用いて、45nm及び400nmのラインアンドスペースパターンを含むパターン照射を行い、所定の熱処理後、所定の現像を行うことにより得た。
2,3 クロム系材料層
5 遷移金属ケイ素化合物材料膜
20 第2層(クロム系材料層)
30 第1層(クロム系材料層)
40 第3層(クロム系材料層)
50 光学膜
51 基板側組成傾斜層
52 表面側組成傾斜層
53 中間遮光層
101 チャンバー
102 アース
103 下部電極
104 アンテナコイル
105 被処理基板
RF1,RF2 高周波電源
Claims (9)
- 透明基板と、該透明基板上に設けられ、遷移金属ケイ素化合物材料からなる光学膜と、光学膜を精密加工するためのハードマスク膜とを有するフォトマスクブランクであって、
前記ハードマスク膜がクロム系材料からなる多層膜であり、
前記多層膜が、
前記光学膜と接して設けられ、酸素を20〜60原子%含有するクロム系材料からなり、厚さ0.5nm以上5.0nm未満である第1層と、
前記第1層に接して設けられ、クロムを50原子%以上含有し、第1層よりも酸素含有率が低いクロム系材料からなる第2層とを有し、
前記ハードマスク膜の全体の厚さが2.0nm以上10nm未満であることを特徴とするフォトマスクブランク。 - 前記多層膜が、最下層として前記第1層と、中間層として前記第2層と、最表層として、前記第2層に接して設けられ、第2層よりも酸素含有率が高い第3層とからなることを特徴とする請求項1記載のフォトマスクブランク。
- 前記第1層の厚さが0.5〜3.0nmであることを特徴とする請求項1又は2記載のフォトマスクブランク。
- 前記光学膜が遮光膜であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のフォトマスクブランク。
- 前記遮光膜の厚さが35〜60nmであることを特徴とする請求項4記載のフォトマスクブランク。
- 前記遷移金属がモリブデンであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のフォトマスクブランク。
- 請求項1乃至6のいずれか1項記載のフォトマスクブランク上に、厚さが100nmよりも薄いレジスト膜が設けられたフォトマスクブランク。
- 請求項1乃至7のいずれか1項記載のフォトマスクブランクから製造されたことを特徴とするフォトマスク。
- 請求項7記載のフォトマスクブランクから、フォトマスクを製造する方法であって、
前記レジスト膜のパターン形成工程、前記ハードマスク膜のパターン形成工程、及び前記光学膜のパターン形成工程を含み、
前記レジスト膜のパターン形成工程が、電子線照射によるパターン描画処理を含み、
前記ハードマスク膜のパターン形成工程が、酸素を含有する塩素系ガスを用いた塩素系ドライエッチング処理を含み、かつ
前記光学膜のパターン形成工程が、フッ素系ガスを用いたフッ素系ドライエッチング処理を含むことを特徴とするフォトマスクの製造方法。
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