JP5506207B2 - ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
図4は、ステージ装置100の制御手段14における制御ブロック図である。本実施例の制御手段14は、制御器71を備えて構成される。ステージ8をX方向に駆動する際には、本体に構成された不図示の制御手段によりリニアモータ12に所定の推力指令値(X方向の加速度指令)を出力する。図4に示されるように、リニアモータ9を制御するための制御器71(推定手段)は、この推力指令値に基づいて上述の推定反力を算出し、この推定反力を相殺するための信号を出力する。この信号は、リニアモータ9の推力指令値(上述の推定反力を発生させるためのX方向の加速度指令)となり、リニアモータ9に与えられる。このような構成により、ヨースライダ6に設けられたエアベアリングの負荷を軽減させることができる。
6:ヨースライダ
8:ステージ
9、12:リニアモータ
13:センサ
14、15:制御手段
100、200:ステージ装置
300:露光装置
Claims (5)
- 基準面内の第1の方向及び該第1の方向と直交する第2の方向にステージを駆動するステージ装置であって、
前記ステージを前記第1の方向に駆動する第1のリニアモータと、
前記ステージを前記第1の方向及び前記第2の方向に駆動する第2のリニアモータと、
前記第2の方向に延びて、前記第1のリニアモータが前記第1の方向に移動するのを規制する規制手段と、
前記規制手段に向けて気体を噴出するエアパッド、及び、該規制手段に対して所定の引力を発生させる磁石を備え、該規制手段に対して前記第1の方向に所定の距離だけ離れて設けられた滑動手段と、
前記ステージの移動に伴い前記滑動手段に対して前記第1の方向に所定の力が発生した場合、該所定の力を相殺するように前記第2のリニアモータを制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、
前記第1のリニアモータに出力される第1の推力指令値に基づいて前記滑動手段に対する前記所定の力を推定する推定手段を有し、
前記推定手段により推定された前記所定の力を相殺するように前記第2のリニアモータを制御することを特徴とするステージ装置。 - 前記第1のリニアモータに出力される前記第1の推力指令値と前記所定の力との関係を保持する記憶手段を有し、
前記制御手段は、前記記憶手段に保持された前記関係から推定された該所定の力を相殺するように、前記第2のリニアモータに対して第2の推力指令値を出力することを特徴とする請求項1記載のステージ装置。 - 基準面内の第1の方向及び該第1の方向と直交する第2の方向にステージを駆動するステージ装置であって、
前記ステージを前記第1の方向に駆動する第1のリニアモータと、
前記ステージを前記第1の方向及び前記第2の方向に駆動する第2のリニアモータと、
前記第2の方向に延びて、前記第1のリニアモータが前記第1の方向に移動するのを規制する規制手段と、
前記規制手段に向けて気体を噴出するエアパッド、及び、該規制手段に対して所定の引力を発生させる磁石を備え、該規制手段に対して前記第1の方向に所定の距離だけ離れて設けられた滑動手段と、
前記距離を検出する検出手段と、
前記距離が一定になるように前記第2のリニアモータを制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記第1のリニアモータに出力される推力指令値及び前記検出手段により検出された前記距離に基づいて、該距離が一定になるように前記第2のリニアモータを制御することを特徴とするステージ装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一に記載のステージ装置を有することを特徴とする露光装置。
- 請求項4記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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