JP5203299B2 - 反力処理機構、その反力処理機構を備えたステージ装置、及びそのステージ装置を備えた半導体検査装置 - Google Patents
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- 架台と、
除振ユニットを介して前記架台上で支持された定盤と、
前記定盤上を第1の方向に移動するステージと、
前記定盤に連結された前記第1の方向に延びるマグネットシャフトと、前記マグネットシャフトが通される貫通孔が形成され、前記ステージに連結されたステージ駆動用コイルユニットと、を有するステージ駆動用シャフトモータと、
を備えるステージ装置に設けられ、
前記ステージの移動により前記定盤に加えられる反力を処理するための反力処理機構であって、
前記ステージ駆動用シャフトモータの前記マグネットシャフトが通される貫通孔が形成され、前記マグネットシャフトとの協働により前記定盤に力を加える反力処理用コイルユニットと、
前記反力処理用コイルユニットに連結されて、前記反力処理用コイルユニットが前記定盤に加えた力の反力を前記架台に伝達する伝達手段と、
を備えていることを特徴とする反力処理機構。 - 前記ステージ駆動用コイルユニットと前記反力処理用コイルユニットとを制御する制御手段を更に備え、
前記制御手段は、前記ステージ駆動用コイルユニットが前記ステージに加える力の向きと同じ向き、かつ前記ステージ駆動用コイルユニットが前記ステージに加える力と同じ大きさの力を前記定盤に加えるように前記反力処理用コイルユニットを制御することを特徴とする請求項1に記載の反力処理機構。 - 前記ステージ駆動用コイルユニット及び前記反力処理用コイルユニットは、同じコイルを有し、
前記制御手段は、前記ステージ駆動用コイル及び前記反力処理用コイルに同一の指令値を与えることを特徴とする請求項2に記載の反力処理機構。 - 前記ステージ駆動用コイルは、前記マグネットシャフトとの組み合わせで推力定数Aとなるコイルであり、
前記反力処理用コイルは、前記マグネットシャフトとの組み合わせで推力定数Bとなるコイルであり、
前記制御手段は、前記ステージ駆動用コイルに与えた指令値のA/B倍の値を指令値として前記反力処理用コイルに与えることを特徴とする請求項2に記載の反力処理機構。 - 請求項1〜4の何れか一項に記載の反力処理機構を備えたことを特徴とするステージ装置。
- 請求項5に記載のステージ装置を備えた半導体検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009143308A JP5203299B2 (ja) | 2009-06-16 | 2009-06-16 | 反力処理機構、その反力処理機構を備えたステージ装置、及びそのステージ装置を備えた半導体検査装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011003587A JP2011003587A (ja) | 2011-01-06 |
JP5203299B2 true JP5203299B2 (ja) | 2013-06-05 |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5203299B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2781073C1 (ru) * | 2018-11-19 | 2022-10-05 | ЭлДжи ЭЛЕКТРОНИКС ИНК. | Льдогенератор и холодильник |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101520401B1 (ko) * | 2015-01-13 | 2015-05-15 | 재단법인차세대융합기술연구원 | 이동 가능한 테이블 시스템 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10125593A (ja) * | 1996-10-22 | 1998-05-15 | Canon Inc | ステージ装置 |
JPH11168064A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-06-22 | Nikon Corp | ステージ駆動方法、ステージ装置、及び露光装置 |
US5959427A (en) * | 1998-03-04 | 1999-09-28 | Nikon Corporation | Method and apparatus for compensating for reaction forces in a stage assembly |
JP2002343706A (ja) * | 2001-05-18 | 2002-11-29 | Nikon Corp | ステージ装置及びステージの駆動方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス及びその製造方法 |
JP2007067162A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Xyステージ |
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2009
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RU2781073C1 (ru) * | 2018-11-19 | 2022-10-05 | ЭлДжи ЭЛЕКТРОНИКС ИНК. | Льдогенератор и холодильник |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011003587A (ja) | 2011-01-06 |
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