JP4717466B2 - 移送装置｛ｔｒａｎｓｆｅｒａｐｐａｒａｔｕｓ｝ - Google Patents

Description

本発明は移送装置に係わり、より詳しくは、超精密移送が容易なように構造を改善した移送装置に関する。

一般に、超精密移送装置は半導体のウエハー及び液晶表示パネル（ＬＣＤ）などの精密検査のためのスキャニング装置、半導体加工機及び超精密加工機などに用いられる。

そして、このような移送装置は主に半導体のウエハーなどを支持するフレームのような支持部材と、支持部材と結合されて支持部材を基準プレートに対して移動させるように駆動するアクチュエータと、このようなアクチュエータを精密に制御するための制御部などを含む。

一般に精密駆動に利用されるアクチュエータは電気モータや圧電素子及び電磁気誘導の原理を利用したものなど多様である。そして、このようなアクチュエータのうちの電磁気誘導の原理を利用した精密アクチュエータにはＶＣＭ（ｖｏｉｃｅ ｃｏｉｌ ｍｏｔｏｒ）というリニアモータを利用したものがある。

このようなＶＣＭはスピーカーの振動原理をアクチュエータに適用したものであって、永久磁石が磁場の中に位置したボイスコイルに電流を印加すると、フレミングの左手の法則によって磁場と電流の直角方向に力が発生する原理を利用したものである。そして、このようなＶＣＭを使用したアクチュエータは起動コイル型と可動磁石型に分類される。つまり、起動コイル型は磁石の相対的な磁力によってコイルが移動するものであり、可動磁石型はコイルの相対的な磁力によって磁石が移動するものである。

このような従来の精密移送装置に関する技術が特許文献１の可動磁石型ＶＣＭを利用した精密アクチュエータステージ装置に開示されている。

図１及び図２に示されているように、このような従来の精密移送装置であるステージ装置１００は、中空軸１２と中空軸１２が中心部上に位置するコイル１１とからなるプレート２０の内側の貫通部位に両側が露出されるように固定配置される起動誘導ユニット１０と、コイル１１が磁力に基づいて中空軸１２を中心に直線駆動及び回転可能なように中空軸１２に対称となるように嵌合される一対のヨーク（ｙｏｋｅ）３２とヨーク３２に各々磁気力で結合されコイル１１に対して互いに異なる極性を有して対面する可動磁石３１とからなる起動ユニット３０と、で構成される。

起動誘導ユニット１０は３つが互いに６０゜の角度に三角構図を取るようにプレート２０に配置され、可動磁石３１は永久磁石で設けられる。つまり、同じ起動力を有する３つのＶＣＭが等角度を成してプレート２０に配置されている。

従って、従来のステージ装置１００は起動誘導ユニット１０のコイル１１に電流を印加することによって、可動磁石３１をコイル１１に対して駆動させることができる。そして、ステージ装置１００は３つの起動誘導ユニット１０を正三角形構図に配置し、起動誘導ユニット１０に各々設けられた３つのコイル１１のうちの少なくとも一つに選択的に電流を印加することによって、起動ユニット３０をプレート２０に対して直線駆動（Ｘ、Ｙ方向）及び回転（θ方向）させることができる。

しかし、従来のステージ装置は３つの起動誘導ユニットを等角度の正三角形構図に配置することによって、起動ユニットの各方向（Ｘ方向及びＹ方向）による直線駆動力に差が生じる。つまり、例えば、起動ユニットのＸ方向の直線駆動力はＦ１、Ｆ２及びＦ３のＸ方向の合力で示され、Ｙ方向の直線駆動力はＦ２及びＦ３のＹ方向の合力で示されるので、Ｘ方向の直線駆動力がＹ方向の直線駆動力より大きくなる（図１参照）。従って、このような直線駆動力の差のため、超精密の位置制御が要求される時に位置制御誤差を減らし難いという問題点がある。

そして、従来のステージ装置は起動ユニットを一方向（Ｘ方向またはＹ方向）に直線駆動させる時に他方向（Ｙ方向またはＸ方向）への駆動力が引き起こされる。つまり、起動ユニットをＸ方向に駆動させる時、起動ユニットのうちの一部はＸ方向だけでなくＹ方向に同時に駆動されてＸ方向と異なる方向の駆動力を引き起こすため、超精密の位置制御が要求される時に位置制御誤差を減らし難いという問題点がある。
韓国特許登録番号第１０−０４０７８９７号明細書

したがって、本発明の目的は、超精密の位置制御が可能なように位置制御誤差を容易に減らすことができる移送装置を提供することにある。

上記目的は、本発明によって、移送装置において、巻線されたコイルを有するコイル組立体と、前記コイル組立体を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔して配置された一対の可動磁石とを含む少なくとも４つの微細駆動ユニットと；前記微細駆動ユニットが任意の直線に対して対称となるように一対のグループとして配置されるように前記少なくとも４つのコイル組立体を支持するコイル支持部材と；前記各コイル組立体に対応して前記少なくとも四対の可動磁石を支持する磁石支持部材と；前記コイル支持部材及び前記磁石支持部材のうちのいずれか一つに対する他の一つの移動を調節するように前記微細駆動ユニットを制御する制御部とを含むことを特徴をする移送装置によって達成される。

ここで、前記各グループに配置された前記コイル組立体のうちの前記可動磁石に対応するいずれか一つの前記コイルの電流方向は他の前記コイルの電流方向に対して直交するのが好ましい。

前記磁石支持部材には前記磁石支持部材が所定の底面に対して離隔して移動可能なように複数のエアーベアリングが設けられるのが好ましい。

前記制御部は前記磁石支持部材が前記コイル支持部材に対して前記磁石支持部材の板面で３自由度で移動するように前記微細駆動ユニットを制御するのが好ましい。

前記コイル支持部材に対する前記磁石支持部材の位置制御誤差は±５０ｎｍ（ｎａｎｏ ｍｅｔｅｒ）以内であるのが好ましい。

前記磁石支持部材及び前記コイル支持部材のうちの少なくとも一つを前記微細駆動ユニットより大幅に移動可能なように、前記磁石支持部材及び前記コイル支持部材のうちの少なくとも一つに対して結合された粗動駆動ユニットをさらに含むのが好ましい。

前記粗動駆動ユニットは、可動コイルが巻き取られ前記コイル支持部材に結合された可動子と、前記可動子を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔して配置された一対の磁石を有する固定子とを含むのが好ましい。

前記固定子を支持するガイド部材と；前記コイル支持部材に対して結合され、前記コイル支持部材と一体に前記ガイド部材に沿って移動するように前記ガイド部材に対して結合されたガイドスライディング部材とを含むのが好ましい。

前記ガイドスライディング部材には、前記ガイドスライディング部材が前記ガイド部材に対して離隔して移動するように複数のエアーベアリングが設けられるのが好ましい。

前記ガイドスライディング部材及び前記磁石支持部材のうちの少なくとも一つに結合されて前記ガイドスライディング部材及び前記磁石支持部材の移動幅を制限するストッパーが設けられるのが好ましい。

本発明によると、超精密の位置制御が可能なように位置制御誤差を容易に減らすことができる。

また、微細駆動ユニットと結合された粗動駆動ユニットを設けることによって微細駆動ユニットより一層長い移動を容易にすることができる。

以下、添付図面を参照して本発明について詳細に説明する。

図３乃至図６に示されているように、本発明による移送装置１０１は、コイル組立体１１１及びコイル組立体１１１を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔して配置された一対の可動磁石１１７を含む少なくとも４つの微細駆動ユニット（ｆｉｎｅ ａｃｔｕａｔｏｒ）１１０と、微細駆動ユニット１１０が任意の直線に対して対称となるように一対のグループ（Ａ、Ｂ）として配置されるように少なくとも４つのコイル組立体１１１を支持するコイル支持部材１４０と、各コイル組立体１１１に対応して少なくとも四対の可動磁石１１７を支持する磁石支持部材１３０と、コイル支持部材１４０及び磁石支持部材１３０のうちのいずれか一つに対する他の一つの移動を調節するように微細駆動ユニット１１０を制御する制御部（図示せず）とを含む。また、本発明による移送装置１０１は、磁石支持部材１３０及びコイル支持部材１４０のうちのいずれか一つを微細駆動ユニット１１０より大幅に移動可能なように、磁石支持部材１３０及びコイル支持部材１４０のうちのいずれか一つに対して結合された粗動駆動ユニット（ｃｏａｒｓｅ ａｃｔｕａｔｏｒ）１２０をさらに含むのが好ましい。

微細駆動ユニット１１０はスピーカーの振動原理を利用したＶＣＭ（ｖｏｉｃｅ ｃｏｉｌ ｍｏｔｏｒ）を用いたものがある。つまり、スピーカーの振動原理をアクチュエータに適用したものであって、一対の永久磁石の間の磁場の中に位置したボイスコイルに電流を印加すると、フレミングの左手の法則によって磁場と電流の直角方向に力が発生する原理を利用したものである。また、微細駆動ユニット１１０は４つ設けられて磁石支持部材１３０及びコイル支持部材１４０と結合され、磁石支持部材１３０をコイル支持部材１４０に対して微細に精密駆動させるのが好ましい。つまり、微細駆動ユニット１１０はコイル支持部材１４０に対して磁石支持部材１３０を位置制御誤差が±５０ｎｍ（ｎａｎｏ ｍｅｔｅｒ）以内になるように精密に駆動させるのが好ましい。しかし、微細駆動ユニット１１０はコイル支持部材１４０を磁石支持部材１３０に対して微細に精密駆動させることができることはもちろんである。また、微細駆動ユニット１１０は４つ設けられるのが好ましいが、６つ以上の偶数個設けられることができることはもちろんである。また、微細駆動ユニット１１０は後述の粗動駆動ユニット１２０の可動子１２３の長さ方向軸線のような任意の直線に対して対称となるように磁石支持部材１３０及びコイル支持部材１４０の両側に各々一対ずつ２つのグループＡ、Ｂをなすように設けられる。

コイル組立体１１１はコイルジグ１１５と、コイルジグ１１５内に巻き取られたコイル１１３とを有する。しかし、コイル組立体１１１はコイルジグ１１５無しにコアに巻線されたコイル１１３で設けられることができることはもちろんである。コイルジグ１１５は内部が空いている“ロ”字状の筒で設けられ、その内部にコイル１１３が巻き取られるのが好ましい。また、コイルジグ１１５はコイル支持部材１４０にスクリューなどによって結合されて支持されるのが好ましい。また、コイル組立体１１１はコイル支持部材１４０の両側に各々一対設けられるのが好ましいが、微細駆動ユニット１１０の個数によってコイル支持部材１４０の両側に各々３つ以上設けられることができることはもちろんである。また、各グループ（ＡまたはＢ）に配置されたコイル組立体１１１のうちのいずれか一つのコイル１１３における可動磁石１１７に対応する部分の電流方向Ｃは、残りのコイル組立体１１１のコイル１１３における可動磁石１１７に対応する部分の電流方向Ｃに対して直交するのが好ましい（図５参照）。また、各グループ（ＡまたはＢ）に配置された一対のコイル組立体１１１のうちの一つは可動磁石１１７をＸ方向に移動させるように可動磁石１１７に対応してコイル１１３の電流方向Ｃを配置し、他の一つは可動磁石１１７をＹ方向に移動させるように可動磁石１１７に対応してコイル１１３の電流方向Ｃを配置するのが好ましい。つまり、可動磁石１１７はコイル１１３の電流方向Ｃに対して直角方向に移動するので、一対のコイル組立体１１１のうちの一つのコイル１１３の電流方向ＣはＹ方向に配置され、他の一つのコイル１１３の電流方向ＣはＸ方向に配置されるのが好ましい。従って、各グループ（ＡまたはＢ）に各々Ｙ方向及びＸ方向に配置された一対のコイル組立体１１１によって可動磁石１１７はＸ方向及びＹ方向に移動する。

可動磁石１１７はヨーク（ｙｏｋｅ）１１９によって支持されて磁石支持部材１３０に結合される。そして、可動磁石１１７及びヨーク１１９が結合されたものを磁石組立体１１６という。可動磁石１１７は各コイルジグ１１５に巻き取られたコイル１１３に対応して二対設けられるのが好ましい。つまり、各コイル組立体１１１の両側に各々二つの可動磁石１１７がヨーク１１９によって支持される。そして、二つの可動磁石１１７に対して各コイルジグ１１５内に巻き取られたコイル１１３は互いに反対の電流方向Ｃを有するようになるので各コイル組立体１１１の一側に設けられた二つの可動磁石１１７は互いに異なる極性を有し離隔して配置される。そして、各コイル１１３を隔てて設けられた一対の可動磁石１１７も互いに異なる極性を有する。そして、可動磁石１１７は別途の電源供給部の不要な永久磁石で設けられるのが好ましい。従って、一対の可動磁石１１７によってその間の磁束密度を均一にすることができる（図５及び図６参照）。

コイル支持部材１４０は四角の板状に設けられ、後述の粗動駆動ユニット１２０の可動子１２３の長さ方向軸線のような任意の直線に対して対称となるように両側に各々一対の前述のコイル組立体１１１が設けられる。そして、コイル支持部材１４０の下部面には後述の可動子１２３がスクリューなどによって結合される。

磁石支持部材１３０は四角の板状に設けられた第１磁石支持部材１３０ａ及び第１磁石支持部材１３０ａとスクリューによって結合された第２磁石支持部材１３０ｂを含む。そして、磁石支持部材１３０には磁石支持部材１３０が所定の底面１０５に対して離隔して底面１０５に対して移動可能なように複数の第１エアーベアリング１３３が設けられるのが好ましい。

第１磁石支持部材１３０ａは四角板状に設けられ四対の可動磁石１１７のうちの一側の可動磁石１１７と結合される。つまり、第１磁石支持部材１３０ａは４つのコイル組立体１１１に対応して可動磁石１１７のうちの上側に設けられた４つの可動磁石１１７とヨーク１１９によって結合される（図４参照）。そして、第１磁石支持部材１３０ａは超精密の位置制御が要求される半導体のウエハー及び液晶表示パネル（ＬＣＤ）などの精密検査のためのスキャニング装置、半導体加工機及び超精密加工機などに用いられて検査または加工しようとするウエハーなどを支持するのが好ましい。

第２磁石支持部材１３０ｂは後述のガイドスライディング部材１４１を収容するように“Ｕ”字状に設けられ四対の可動磁石１１７のうちの他側の可動磁石１１７と結合される。つまり、第２磁石支持部材１３０ｂには４つのコイル組立体１１１に対応して可動磁石１１７のうちの下側に設けられた４つの可動磁石１１７とヨーク１１９によって結合されるように４つの可動磁石支持部１３１が設けられる。そして、第２磁石支持部材１３０ｂの下側には前述の複数の第１エアーベアリング１３３が装着される。そして、第１磁石支持部材１３０ａ及び第２磁石支持部材１３０ｂには自体の重量を減らすために複数の貫通部１３５が設けられる。つまり、磁石支持部材１３０に設けられた貫通部１３５によって磁石支持部材１３０の重量を減らすことにより微細駆動ユニット１１０をさらに容易に制御することができる。

可動磁石支持部１３１は下側に設けられた可動磁石１１７及びコイル組立体１１１を収容できるように第２磁石支持部材１３０ｂの両側面が切り取られて形成される。そして、可動磁石支持部１３１の幅はコイル組立体１１１に対して可動磁石１１７が所定の距離移動可能なようにコイル組立体１１１の幅より大きく形成される。つまり、本発明によるコイル組立体１１１に対する可動磁石１１７の最大移動距離が約３〜５ｍｍ程度であるので、可動磁石支持部１３１の幅はコイル組立体１１１の幅及び可動磁石１１７の最大移動距離の合計より大きいのが好ましい。

第１エアーベアリング１３３は圧縮空気を底面１０５に噴射して第２磁石支持部材１３０ｂの下側が底面１０５から一定の離隔状態を維持するようにする。従って、第２磁石支持部材１３０ｂは第１エアーベアリング１３３によって底面１０５と摩擦せず底面１０５に沿って走行することができる。

制御部（図示せず）は微細駆動ユニット１１０と連結されてコイル支持部材１４０に対する磁石支持部材１３０の移動を調節する。つまり、制御部（図示せず）は微細駆動ユニット１１０の各コイル１１３と連結されてコイル１１３に供給される電流を制御することによって可動磁石１１７の移動を調節して磁石支持部材１３０の移動を調節する。そして、制御部は磁石支持部材１３０がコイル支持部材１４０に対して磁石支持部材１３０の板面で３自由度（Ｘ、Ｙ、θ）で移動するように微細駆動ユニット１１０を制御するのが好ましい。

粗動駆動ユニット１２０は、可動コイル（図示せず）が巻き取られコイル支持部材１４０に結合された可動子１２３と、可動子１２３を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔配置された一対の磁石を有する固定子１２５とを含むのが好ましい。そして、粗動駆動ユニット１２０は、一対の固定子１２５の間に位置した可動子１２３に電流を印加すると、フレミングの左手の法則によって磁場と電流の直角方向に力が発生する原理を利用したものである。そして、固定子１２５は永久磁石であるのが好ましい。そして、粗動駆動ユニット１２０には、固定子１２５を支持するガイド部材１２７と、コイル支持部材１４０に対して結合されコイル支持部材１４０と一体にガイド部材１２７に沿って移動するようにガイド部材１２７に対して結合されたガイドスライディング部材１４１とが設けられる。そして、粗動駆動ユニット１２０は一例として固定子１２５に対する可動子１２３の最大移動変位が約５００ｍｍ程度であり、可動子１２３の位置制御誤差が約±５μｍ以内であるのが好ましい。

可動子１２３はその内側に可動コイルが巻き取られ一対の固定子１２５の間に設けられる。そして、可動子１２３の上側はコイル支持部材１４０の下部面にスクリューなどによって締結される。従って、可動子１２３は一対の固定子１２５の間に設けられ前述の制御部（図示せず）によって電流が印加されると固定子１２５の長さ方向に往復移動可能になる。

固定子１２５は永久磁石であるのが好ましいが、供給電源によって磁石になる電磁石であることができることはもちろんである。そして、固定子１２５はガイド部材１２７に結合されて底面１０５などに固定される。

ガイド部材１２７は固定子１２５を支持するように固定子１２５の外側に設けられる。そして、ガイド部材１２７はガイドスライディング部材１４１に対して結合されてガイドスライディング部材１４１をガイドする。

ガイドスライディング部材１４１はガイド部材１２７を収容するように“Ｕ”字状に設けられるのが好ましい。そして、ガイドスライディング部材１４１の上側はコイル支持部材１４０とスクリューなどによって結合される。そして、ガイドスライディング部材１４１には、ガイドスライディング部材１４１がガイド部材１２７に対して離隔して摩擦せずに移動するように複数の第２エアーベアリング１４５が設けられるのが好ましい。そして、ガイドスライディング部材１４１の下側には、第２磁石支持部材１３０に設けられた第１エアーベアリング１３３と同じ役割を果たす第３エアーベアリング１４７が複数個設けられるのが好ましい。そして、第２及び第３エアーベアリング１４５、１４７は第１エアーベアリング１３３と類似しているので詳細な説明を省略する。そして、ガイドスライディング部材１４１及び磁石支持部材１３０のうちの少なくとも一つに結合されてガイドスライディング部材１４１及び磁石支持部材１３０の移動幅を制限するストッパー１４３が設けられるのが好ましい。

ストッパー１４３はガイドスライディング部材１４１に複数個設けられてガイドスライディング部材が所定の範囲以上移動することを防止する。つまり、ストッパー１４３は粗動駆動ユニット１２０によってガイドスライディング部材１４１が最大移動距離以上移動することを防止するようにガイド部材１２７の両端部に設けられたストッパー支持台（図示せず）と接触する。そして、ストッパー１４３にはストッパー支持台との接触時に衝撃を吸収するためにダンパー（ｄａｍｐｅｒ）が設けられるのが好ましい。

このような構成によって本発明の実施例による移送装置が作動する過程を図７乃至図９を参照して説明すると次の通りである。

図７に示されているように、粗動駆動ユニット１２０によって微細駆動ユニット１１０より長い移動が行われる過程を先ず説明する。

まず、制御部が粗動駆動ユニット１２０の可動子１２３に電流を印加させると、可動子１２３と結合されたコイル支持部材１４０及びガイドスライディング部材１４１がガイド部材１２７に対して移動する。そして、粗動駆動ユニット１２０に電流が印加される時に微細駆動ユニット１１０のコイル１１３にも電流が印加され、コイル支持部材１４０が可動子１２３と一体に移動する時にコイル１１３に印加された電流によって可動磁石１１７も共に移動し磁石支持部材１３０も共に移動する。従って、コイル支持部材１４０及びガイドスライディング部材１４１だけでなく、磁石支持部材１３０も共に相対的に長い移動が可能になる。

図８及び図９に示されているように、微細駆動ユニット１１０によって微細移動が行われる過程を説明する。つまり、制御部が微細駆動ユニット１１０のコイル１１３に電流を印加させると、可動磁石１１７及び可動磁石１１７を支持する磁石支持部材１３０がコイル組立体１１１と結合されたコイル支持部材１４０に対して移動する。

例えば、磁石支持部材１３０をコイル支持部材１４０に対してＸ軸方向に移動させようとする場合、制御部は４つのコイル組立体１１１のうちの可動磁石１１７をＸ軸方向に駆動させる２つのコイル組立体１１１に電流を印加すればよい。そして、磁石支持部材１３０をコイル支持部材１４０に対してＹ軸方向に移動させようとする場合、制御部は４つのコイル組立体１１１のうちの可動磁石１１７をＹ軸方向に駆動させる２つのコイル組立体１１１に電流を印加すればよい（図８参照）。また、磁石支持部材１３０をコイル支持部材１４０に対してＸ軸及びＹ軸方向の反対方向に移動させようとする場合、制御部はコイル組立体１１１に電流の方向を反対に印加すればよい。

従って、４つの微細駆動ユニット１１０のうちの２つはＸ軸の直線駆動力を発生し、残りの２つはＹ軸の直線駆動力を発生するように四角形構図に配置されることによってＸ軸及びＹ軸方向に同一な直線駆動力を有し、一層精密な移動のために位置制御誤差を容易に減らすことができる。そして、磁石支持部材１３０をＸ軸方向またはＹ軸方向に直線駆動させる時に他の方向（Ｙ軸方向またはＸ軸方向）の駆動力を発生させないので超精密の位置制御が可能なように位置制御誤差を容易に減らすことができる。

そして、磁石支持部材１３０をコイル支持部材１４０に対してθ方向に移動させようとする場合、制御部は可動磁石１１７が磁石支持部材１３０の中央領域を中心にθ方向に回転するように４つのコイル組立体１１１に電流を印加すればよい（図９参照）。そして、磁石支持部材１３０をθ方向の反対方向に移動させようとする場合、θ方向に回転させるように印加された電流の方向を変えればよい。

従って、本発明による移送装置は少なくとも４つの微細駆動ユニットを設け、微細駆動ユニットが任意の直線に対して対称となるように一対のグループを成すように配置することによって、Ｘ軸及びＹ軸方向に同一な直線駆動力を有し、一方向の直線駆動時に他方向の駆動力を発生させないので超精密の位置制御が可能なように位置制御誤差を容易に減らすことができる。そして、微細駆動ユニットと結合された粗動駆動ユニットを設けることによって微細駆動ユニットより一層長い移動を容易にすることができる。

従来の移送装置の斜視図である。 図１の移送装置に設けられたアクチュエータの斜視図である。 本発明による移送装置の斜視図である。 図３の移送装置の分解斜視図である。 図３の移送装置の第１磁石支持部材が分離された部分結合斜視図である。 図５の移送装置の微細駆動ユニットのＶＩ−ＶＩ断面図である。 本発明による移送装置の粗動駆動ユニットによる作動斜視図である。 本発明による移送装置の微細駆動ユニットによるＸ軸及びＹ軸方向の作動平面図である。 本発明による移送装置の微細駆動ユニットによるθ方向の作動平面図である。

符号の説明

１０１ 移送装置
１０５ 底面
１１０ 微細駆動ユニット
１１１ コイル組立体
１１３ コイル
１１５ コイルジグ
１１７ 可動磁石
１１９ ヨーク
１２０ 粗動駆動ユニット
１２３ 可動子
１２５ 固定子
１２７ ガイド部材
１３０ 磁石支持部材
１３０ａ 第１磁石支持部材
１３０ｂ 第２磁石支持部材
１３１ 可動磁石支持部
１３３ 第１エアーベアリング
１３５ 貫通部
１４０ コイル支持部材
１４１ ガイドスライディング部材
１４３ ストッパー
１４５ 第２エアーベアリング
１４７ 第３エアーベアリング

Claims (9)

1. 移送装置において、
   巻線されたコイルを有するコイル組立体と、前記コイル組立体を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔して配置された一対の可動磁石とを含む４つの微細駆動ユニットと、
   ４つの前記コイル組立体を支持するコイル支持部材と、
   前記各コイル組立体に対応して前記少なくとも四対の可動磁石を支持する磁石支持部材と、
   前記コイル支持部材及び前記磁石支持部材のうちのいずれか一つに対して３自由度で他の一つの移動を調節するように前記微細駆動ユニットを制御する制御部と、
   前記コイル支持部材を支持するガイド部材と、
   を含み、
   前記微細駆動ユニットそれぞれが、自身が発生させる駆動力が前記ガイド部材を挟んで対向する微細駆動ユニット及び前記ガイド部材に沿って隣り合う前記微細駆動ユニットが発生させる駆動力に対して直角に作用するように格子状に配置され、
   前記コイル支持部材は前記ガイド部材の軸に沿って移動することを特徴とする移送装置。
2. 前記磁石支持部材には、前記磁石支持部材が所定の底面に対して離隔して移動可能なように複数のエアーベアリングが設けられることを特徴とする、請求項１に記載の移送装置。
3. 前記制御部は、前記磁石支持部材が前記コイル支持部材に対して前記磁石支持部材の板面でＸ−Ｙ−θのうちのいずれか１方向に移動するように前記微細駆動ユニットを制御することを特徴とする、請求項１に記載の移送装置。
4. 前記コイル支持部材に対する前記磁石支持部材の位置制御誤差は±５０ｎｍ以内であることを特徴とする、請求項１に記載の移送装置。
5. 前記磁石支持部材及び前記コイル支持部材のうちの少なくとも一つを前記微細駆動ユニットより大幅に移動可能なように、前記磁石支持部材及び前記コイル支持部材のうちの少なくとも一つに対して結合された粗動駆動ユニットをさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の移送装置。
6. 前記粗動駆動ユニットは、
   可動コイルが巻き取られ前記コイル支持部材に結合された可動子と、
   前記可動子を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔して配置された一対の磁石を有する固定子とを含むことを特徴とする、請求項５に記載の移送装置。
7. 前記ガイド部材は前記固定子を支持し、
   前記コイル支持部材に対して結合され、前記コイル支持部材と一体に前記ガイド部材に沿って移動するように前記ガイド部材に対して結合されたガイドスライディング部材を更に含むことを特徴とする、請求項６に記載の移送装置。
8. 前記ガイドスライディング部材には、前記ガイドスライディング部材が前記ガイド部材に対して離隔して移動するように複数のエアーベアリングが設けられることを特徴とする、請求項７に記載の移送装置。
9. 前記ガイドスライディング部材及び前記磁石支持部材のうちの少なくとも一つに結合されて前記ガイドスライディング部材及び前記磁石支持部材の移動幅を制限するストッパーが設けられることを特徴とする、請求項７に記載の移送装置。

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