JP4717466B2 - 移送装置{transferapparatus} - Google Patents

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Description

本発明は移送装置に係わり、より詳しくは、超精密移送が容易なように構造を改善した移送装置に関する。
一般に、超精密移送装置は半導体のウエハー及び液晶表示パネル(LCD)などの精密検査のためのスキャニング装置、半導体加工機及び超精密加工機などに用いられる。
そして、このような移送装置は主に半導体のウエハーなどを支持するフレームのような支持部材と、支持部材と結合されて支持部材を基準プレートに対して移動させるように駆動するアクチュエータと、このようなアクチュエータを精密に制御するための制御部などを含む。
一般に精密駆動に利用されるアクチュエータは電気モータや圧電素子及び電磁気誘導の原理を利用したものなど多様である。そして、このようなアクチュエータのうちの電磁気誘導の原理を利用した精密アクチュエータにはVCM(voice coil motor)というリニアモータを利用したものがある。
このようなVCMはスピーカーの振動原理をアクチュエータに適用したものであって、永久磁石が磁場の中に位置したボイスコイルに電流を印加すると、フレミングの左手の法則によって磁場と電流の直角方向に力が発生する原理を利用したものである。そして、このようなVCMを使用したアクチュエータは起動コイル型と可動磁石型に分類される。つまり、起動コイル型は磁石の相対的な磁力によってコイルが移動するものであり、可動磁石型はコイルの相対的な磁力によって磁石が移動するものである。
このような従来の精密移送装置に関する技術が特許文献1の可動磁石型VCMを利用した精密アクチュエータステージ装置に開示されている。
図1及び図2に示されているように、このような従来の精密移送装置であるステージ装置100は、中空軸12と中空軸12が中心部上に位置するコイル11とからなるプレート20の内側の貫通部位に両側が露出されるように固定配置される起動誘導ユニット10と、コイル11が磁力に基づいて中空軸12を中心に直線駆動及び回転可能なように中空軸12に対称となるように嵌合される一対のヨーク(yoke)32とヨーク32に各々磁気力で結合されコイル11に対して互いに異なる極性を有して対面する可動磁石31とからなる起動ユニット30と、で構成される。
起動誘導ユニット10は3つが互いに60゜の角度に三角構図を取るようにプレート20に配置され、可動磁石31は永久磁石で設けられる。つまり、同じ起動力を有する3つのVCMが等角度を成してプレート20に配置されている。
従って、従来のステージ装置100は起動誘導ユニット10のコイル11に電流を印加することによって、可動磁石31をコイル11に対して駆動させることができる。そして、ステージ装置100は3つの起動誘導ユニット10を正三角形構図に配置し、起動誘導ユニット10に各々設けられた3つのコイル11のうちの少なくとも一つに選択的に電流を印加することによって、起動ユニット30をプレート20に対して直線駆動(X、Y方向)及び回転(θ方向)させることができる。
しかし、従来のステージ装置は3つの起動誘導ユニットを等角度の正三角形構図に配置することによって、起動ユニットの各方向(X方向及びY方向)による直線駆動力に差が生じる。つまり、例えば、起動ユニットのX方向の直線駆動力はF1、F2及びF3のX方向の合力で示され、Y方向の直線駆動力はF2及びF3のY方向の合力で示されるので、X方向の直線駆動力がY方向の直線駆動力より大きくなる(図1参照)。従って、このような直線駆動力の差のため、超精密の位置制御が要求される時に位置制御誤差を減らし難いという問題点がある。
そして、従来のステージ装置は起動ユニットを一方向(X方向またはY方向)に直線駆動させる時に他方向(Y方向またはX方向)への駆動力が引き起こされる。つまり、起動ユニットをX方向に駆動させる時、起動ユニットのうちの一部はX方向だけでなくY方向に同時に駆動されてX方向と異なる方向の駆動力を引き起こすため、超精密の位置制御が要求される時に位置制御誤差を減らし難いという問題点がある。
韓国特許登録番号第10−0407897号明細書
したがって、本発明の目的は、超精密の位置制御が可能なように位置制御誤差を容易に減らすことができる移送装置を提供することにある。
上記目的は、本発明によって、移送装置において、巻線されたコイルを有するコイル組立体と、前記コイル組立体を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔して配置された一対の可動磁石とを含む少なくとも4つの微細駆動ユニットと;前記微細駆動ユニットが任意の直線に対して対称となるように一対のグループとして配置されるように前記少なくとも4つのコイル組立体を支持するコイル支持部材と;前記各コイル組立体に対応して前記少なくとも四対の可動磁石を支持する磁石支持部材と;前記コイル支持部材及び前記磁石支持部材のうちのいずれか一つに対する他の一つの移動を調節するように前記微細駆動ユニットを制御する制御部とを含むことを特徴をする移送装置によって達成される。
ここで、前記各グループに配置された前記コイル組立体のうちの前記可動磁石に対応するいずれか一つの前記コイルの電流方向は他の前記コイルの電流方向に対して直交するのが好ましい。
前記磁石支持部材には前記磁石支持部材が所定の底面に対して離隔して移動可能なように複数のエアーベアリングが設けられるのが好ましい。
前記制御部は前記磁石支持部材が前記コイル支持部材に対して前記磁石支持部材の板面で3自由度で移動するように前記微細駆動ユニットを制御するのが好ましい。
前記コイル支持部材に対する前記磁石支持部材の位置制御誤差は±50nm(nano meter)以内であるのが好ましい。
前記磁石支持部材及び前記コイル支持部材のうちの少なくとも一つを前記微細駆動ユニットより大幅に移動可能なように、前記磁石支持部材及び前記コイル支持部材のうちの少なくとも一つに対して結合された粗動駆動ユニットをさらに含むのが好ましい。
前記粗動駆動ユニットは、可動コイルが巻き取られ前記コイル支持部材に結合された可動子と、前記可動子を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔して配置された一対の磁石を有する固定子とを含むのが好ましい。
前記固定子を支持するガイド部材と;前記コイル支持部材に対して結合され、前記コイル支持部材と一体に前記ガイド部材に沿って移動するように前記ガイド部材に対して結合されたガイドスライディング部材とを含むのが好ましい。
前記ガイドスライディング部材には、前記ガイドスライディング部材が前記ガイド部材に対して離隔して移動するように複数のエアーベアリングが設けられるのが好ましい。
前記ガイドスライディング部材及び前記磁石支持部材のうちの少なくとも一つに結合されて前記ガイドスライディング部材及び前記磁石支持部材の移動幅を制限するストッパーが設けられるのが好ましい。
本発明によると、超精密の位置制御が可能なように位置制御誤差を容易に減らすことができる。
また、微細駆動ユニットと結合された粗動駆動ユニットを設けることによって微細駆動ユニットより一層長い移動を容易にすることができる。
以下、添付図面を参照して本発明について詳細に説明する。
図3乃至図6に示されているように、本発明による移送装置101は、コイル組立体111及びコイル組立体111を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔して配置された一対の可動磁石117を含む少なくとも4つの微細駆動ユニット(fine actuator)110と、微細駆動ユニット110が任意の直線に対して対称となるように一対のグループ(A、B)として配置されるように少なくとも4つのコイル組立体111を支持するコイル支持部材140と、各コイル組立体111に対応して少なくとも四対の可動磁石117を支持する磁石支持部材130と、コイル支持部材140及び磁石支持部材130のうちのいずれか一つに対する他の一つの移動を調節するように微細駆動ユニット110を制御する制御部(図示せず)とを含む。また、本発明による移送装置101は、磁石支持部材130及びコイル支持部材140のうちのいずれか一つを微細駆動ユニット110より大幅に移動可能なように、磁石支持部材130及びコイル支持部材140のうちのいずれか一つに対して結合された粗動駆動ユニット(coarse actuator)120をさらに含むのが好ましい。
微細駆動ユニット110はスピーカーの振動原理を利用したVCM(voice coil motor)を用いたものがある。つまり、スピーカーの振動原理をアクチュエータに適用したものであって、一対の永久磁石の間の磁場の中に位置したボイスコイルに電流を印加すると、フレミングの左手の法則によって磁場と電流の直角方向に力が発生する原理を利用したものである。また、微細駆動ユニット110は4つ設けられて磁石支持部材130及びコイル支持部材140と結合され、磁石支持部材130をコイル支持部材140に対して微細に精密駆動させるのが好ましい。つまり、微細駆動ユニット110はコイル支持部材140に対して磁石支持部材130を位置制御誤差が±50nm(nano meter)以内になるように精密に駆動させるのが好ましい。しかし、微細駆動ユニット110はコイル支持部材140を磁石支持部材130に対して微細に精密駆動させることができることはもちろんである。また、微細駆動ユニット110は4つ設けられるのが好ましいが、6つ以上の偶数個設けられることができることはもちろんである。また、微細駆動ユニット110は後述の粗動駆動ユニット120の可動子123の長さ方向軸線のような任意の直線に対して対称となるように磁石支持部材130及びコイル支持部材140の両側に各々一対ずつ2つのグループA、Bをなすように設けられる。
コイル組立体111はコイルジグ115と、コイルジグ115内に巻き取られたコイル113とを有する。しかし、コイル組立体111はコイルジグ115無しにコアに巻線されたコイル113で設けられることができることはもちろんである。コイルジグ115は内部が空いている“ロ”字状の筒で設けられ、その内部にコイル113が巻き取られるのが好ましい。また、コイルジグ115はコイル支持部材140にスクリューなどによって結合されて支持されるのが好ましい。また、コイル組立体111はコイル支持部材140の両側に各々一対設けられるのが好ましいが、微細駆動ユニット110の個数によってコイル支持部材140の両側に各々3つ以上設けられることができることはもちろんである。また、各グループ(AまたはB)に配置されたコイル組立体111のうちのいずれか一つのコイル113における可動磁石117に対応する部分の電流方向Cは、残りのコイル組立体111のコイル113における可動磁石117に対応する部分の電流方向Cに対して直交するのが好ましい(図5参照)。また、各グループ(AまたはB)に配置された一対のコイル組立体111のうちの一つは可動磁石117をX方向に移動させるように可動磁石117に対応してコイル113の電流方向Cを配置し、他の一つは可動磁石117をY方向に移動させるように可動磁石117に対応してコイル113の電流方向Cを配置するのが好ましい。つまり、可動磁石117はコイル113の電流方向Cに対して直角方向に移動するので、一対のコイル組立体111のうちの一つのコイル113の電流方向CはY方向に配置され、他の一つのコイル113の電流方向CはX方向に配置されるのが好ましい。従って、各グループ(AまたはB)に各々Y方向及びX方向に配置された一対のコイル組立体111によって可動磁石117はX方向及びY方向に移動する。
可動磁石117はヨーク(yoke)119によって支持されて磁石支持部材130に結合される。そして、可動磁石117及びヨーク119が結合されたものを磁石組立体116という。可動磁石117は各コイルジグ115に巻き取られたコイル113に対応して二対設けられるのが好ましい。つまり、各コイル組立体111の両側に各々二つの可動磁石117がヨーク119によって支持される。そして、二つの可動磁石117に対して各コイルジグ115内に巻き取られたコイル113は互いに反対の電流方向Cを有するようになるので各コイル組立体111の一側に設けられた二つの可動磁石117は互いに異なる極性を有し離隔して配置される。そして、各コイル113を隔てて設けられた一対の可動磁石117も互いに異なる極性を有する。そして、可動磁石117は別途の電源供給部の不要な永久磁石で設けられるのが好ましい。従って、一対の可動磁石117によってその間の磁束密度を均一にすることができる(図5及び図6参照)。
コイル支持部材140は四角の板状に設けられ、後述の粗動駆動ユニット120の可動子123の長さ方向軸線のような任意の直線に対して対称となるように両側に各々一対の前述のコイル組立体111が設けられる。そして、コイル支持部材140の下部面には後述の可動子123がスクリューなどによって結合される。
磁石支持部材130は四角の板状に設けられた第1磁石支持部材130a及び第1磁石支持部材130aとスクリューによって結合された第2磁石支持部材130bを含む。そして、磁石支持部材130には磁石支持部材130が所定の底面105に対して離隔して底面105に対して移動可能なように複数の第1エアーベアリング133が設けられるのが好ましい。
第1磁石支持部材130aは四角板状に設けられ四対の可動磁石117のうちの一側の可動磁石117と結合される。つまり、第1磁石支持部材130aは4つのコイル組立体111に対応して可動磁石117のうちの上側に設けられた4つの可動磁石117とヨーク119によって結合される(図4参照)。そして、第1磁石支持部材130aは超精密の位置制御が要求される半導体のウエハー及び液晶表示パネル(LCD)などの精密検査のためのスキャニング装置、半導体加工機及び超精密加工機などに用いられて検査または加工しようとするウエハーなどを支持するのが好ましい。
第2磁石支持部材130bは後述のガイドスライディング部材141を収容するように“U”字状に設けられ四対の可動磁石117のうちの他側の可動磁石117と結合される。つまり、第2磁石支持部材130bには4つのコイル組立体111に対応して可動磁石117のうちの下側に設けられた4つの可動磁石117とヨーク119によって結合されるように4つの可動磁石支持部131が設けられる。そして、第2磁石支持部材130bの下側には前述の複数の第1エアーベアリング133が装着される。そして、第1磁石支持部材130a及び第2磁石支持部材130bには自体の重量を減らすために複数の貫通部135が設けられる。つまり、磁石支持部材130に設けられた貫通部135によって磁石支持部材130の重量を減らすことにより微細駆動ユニット110をさらに容易に制御することができる。
可動磁石支持部131は下側に設けられた可動磁石117及びコイル組立体111を収容できるように第2磁石支持部材130bの両側面が切り取られて形成される。そして、可動磁石支持部131の幅はコイル組立体111に対して可動磁石117が所定の距離移動可能なようにコイル組立体111の幅より大きく形成される。つまり、本発明によるコイル組立体111に対する可動磁石117の最大移動距離が約3〜5mm程度であるので、可動磁石支持部131の幅はコイル組立体111の幅及び可動磁石117の最大移動距離の合計より大きいのが好ましい。
第1エアーベアリング133は圧縮空気を底面105に噴射して第2磁石支持部材130bの下側が底面105から一定の離隔状態を維持するようにする。従って、第2磁石支持部材130bは第1エアーベアリング133によって底面105と摩擦せず底面105に沿って走行することができる。
制御部(図示せず)は微細駆動ユニット110と連結されてコイル支持部材140に対する磁石支持部材130の移動を調節する。つまり、制御部(図示せず)は微細駆動ユニット110の各コイル113と連結されてコイル113に供給される電流を制御することによって可動磁石117の移動を調節して磁石支持部材130の移動を調節する。そして、制御部は磁石支持部材130がコイル支持部材140に対して磁石支持部材130の板面で3自由度(X、Y、θ)で移動するように微細駆動ユニット110を制御するのが好ましい。
粗動駆動ユニット120は、可動コイル(図示せず)が巻き取られコイル支持部材140に結合された可動子123と、可動子123を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔配置された一対の磁石を有する固定子125とを含むのが好ましい。そして、粗動駆動ユニット120は、一対の固定子125の間に位置した可動子123に電流を印加すると、フレミングの左手の法則によって磁場と電流の直角方向に力が発生する原理を利用したものである。そして、固定子125は永久磁石であるのが好ましい。そして、粗動駆動ユニット120には、固定子125を支持するガイド部材127と、コイル支持部材140に対して結合されコイル支持部材140と一体にガイド部材127に沿って移動するようにガイド部材127に対して結合されたガイドスライディング部材141とが設けられる。そして、粗動駆動ユニット120は一例として固定子125に対する可動子123の最大移動変位が約500mm程度であり、可動子123の位置制御誤差が約±5μm以内であるのが好ましい。
可動子123はその内側に可動コイルが巻き取られ一対の固定子125の間に設けられる。そして、可動子123の上側はコイル支持部材140の下部面にスクリューなどによって締結される。従って、可動子123は一対の固定子125の間に設けられ前述の制御部(図示せず)によって電流が印加されると固定子125の長さ方向に往復移動可能になる。
固定子125は永久磁石であるのが好ましいが、供給電源によって磁石になる電磁石であることができることはもちろんである。そして、固定子125はガイド部材127に結合されて底面105などに固定される。
ガイド部材127は固定子125を支持するように固定子125の外側に設けられる。そして、ガイド部材127はガイドスライディング部材141に対して結合されてガイドスライディング部材141をガイドする。
ガイドスライディング部材141はガイド部材127を収容するように“U”字状に設けられるのが好ましい。そして、ガイドスライディング部材141の上側はコイル支持部材140とスクリューなどによって結合される。そして、ガイドスライディング部材141には、ガイドスライディング部材141がガイド部材127に対して離隔して摩擦せずに移動するように複数の第2エアーベアリング145が設けられるのが好ましい。そして、ガイドスライディング部材141の下側には、第2磁石支持部材130に設けられた第1エアーベアリング133と同じ役割を果たす第3エアーベアリング147が複数個設けられるのが好ましい。そして、第2及び第3エアーベアリング145、147は第1エアーベアリング133と類似しているので詳細な説明を省略する。そして、ガイドスライディング部材141及び磁石支持部材130のうちの少なくとも一つに結合されてガイドスライディング部材141及び磁石支持部材130の移動幅を制限するストッパー143が設けられるのが好ましい。
ストッパー143はガイドスライディング部材141に複数個設けられてガイドスライディング部材が所定の範囲以上移動することを防止する。つまり、ストッパー143は粗動駆動ユニット120によってガイドスライディング部材141が最大移動距離以上移動することを防止するようにガイド部材127の両端部に設けられたストッパー支持台(図示せず)と接触する。そして、ストッパー143にはストッパー支持台との接触時に衝撃を吸収するためにダンパー(damper)が設けられるのが好ましい。
このような構成によって本発明の実施例による移送装置が作動する過程を図7乃至図9を参照して説明すると次の通りである。
図7に示されているように、粗動駆動ユニット120によって微細駆動ユニット110より長い移動が行われる過程を先ず説明する。
まず、制御部が粗動駆動ユニット120の可動子123に電流を印加させると、可動子123と結合されたコイル支持部材140及びガイドスライディング部材141がガイド部材127に対して移動する。そして、粗動駆動ユニット120に電流が印加される時に微細駆動ユニット110のコイル113にも電流が印加され、コイル支持部材140が可動子123と一体に移動する時にコイル113に印加された電流によって可動磁石117も共に移動し磁石支持部材130も共に移動する。従って、コイル支持部材140及びガイドスライディング部材141だけでなく、磁石支持部材130も共に相対的に長い移動が可能になる。
図8及び図9に示されているように、微細駆動ユニット110によって微細移動が行われる過程を説明する。つまり、制御部が微細駆動ユニット110のコイル113に電流を印加させると、可動磁石117及び可動磁石117を支持する磁石支持部材130がコイル組立体111と結合されたコイル支持部材140に対して移動する。
例えば、磁石支持部材130をコイル支持部材140に対してX軸方向に移動させようとする場合、制御部は4つのコイル組立体111のうちの可動磁石117をX軸方向に駆動させる2つのコイル組立体111に電流を印加すればよい。そして、磁石支持部材130をコイル支持部材140に対してY軸方向に移動させようとする場合、制御部は4つのコイル組立体111のうちの可動磁石117をY軸方向に駆動させる2つのコイル組立体111に電流を印加すればよい(図8参照)。また、磁石支持部材130をコイル支持部材140に対してX軸及びY軸方向の反対方向に移動させようとする場合、制御部はコイル組立体111に電流の方向を反対に印加すればよい。
従って、4つの微細駆動ユニット110のうちの2つはX軸の直線駆動力を発生し、残りの2つはY軸の直線駆動力を発生するように四角形構図に配置されることによってX軸及びY軸方向に同一な直線駆動力を有し、一層精密な移動のために位置制御誤差を容易に減らすことができる。そして、磁石支持部材130をX軸方向またはY軸方向に直線駆動させる時に他の方向(Y軸方向またはX軸方向)の駆動力を発生させないので超精密の位置制御が可能なように位置制御誤差を容易に減らすことができる。
そして、磁石支持部材130をコイル支持部材140に対してθ方向に移動させようとする場合、制御部は可動磁石117が磁石支持部材130の中央領域を中心にθ方向に回転するように4つのコイル組立体111に電流を印加すればよい(図9参照)。そして、磁石支持部材130をθ方向の反対方向に移動させようとする場合、θ方向に回転させるように印加された電流の方向を変えればよい。
従って、本発明による移送装置は少なくとも4つの微細駆動ユニットを設け、微細駆動ユニットが任意の直線に対して対称となるように一対のグループを成すように配置することによって、X軸及びY軸方向に同一な直線駆動力を有し、一方向の直線駆動時に他方向の駆動力を発生させないので超精密の位置制御が可能なように位置制御誤差を容易に減らすことができる。そして、微細駆動ユニットと結合された粗動駆動ユニットを設けることによって微細駆動ユニットより一層長い移動を容易にすることができる。
従来の移送装置の斜視図である。 図1の移送装置に設けられたアクチュエータの斜視図である。 本発明による移送装置の斜視図である。 図3の移送装置の分解斜視図である。 図3の移送装置の第1磁石支持部材が分離された部分結合斜視図である。 図5の移送装置の微細駆動ユニットのVI−VI断面図である。 本発明による移送装置の粗動駆動ユニットによる作動斜視図である。 本発明による移送装置の微細駆動ユニットによるX軸及びY軸方向の作動平面図である。 本発明による移送装置の微細駆動ユニットによるθ方向の作動平面図である。
符号の説明
101 移送装置
105 底面
110 微細駆動ユニット
111 コイル組立体
113 コイル
115 コイルジグ
117 可動磁石
119 ヨーク
120 粗動駆動ユニット
123 可動子
125 固定子
127 ガイド部材
130 磁石支持部材
130a 第1磁石支持部材
130b 第2磁石支持部材
131 可動磁石支持部
133 第1エアーベアリング
135 貫通部
140 コイル支持部材
141 ガイドスライディング部材
143 ストッパー
145 第2エアーベアリング
147 第3エアーベアリング

Claims (9)

  1. 移送装置において、
    巻線されたコイルを有するコイル組立体と、前記コイル組立体を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔して配置された一対の可動磁石とを含む4つの微細駆動ユニットと、
    つの前記コイル組立体を支持するコイル支持部材と、
    前記各コイル組立体に対応して前記少なくとも四対の可動磁石を支持する磁石支持部材と、
    前記コイル支持部材及び前記磁石支持部材のうちのいずれか一つに対して3自由度で他の一つの移動を調節するように前記微細駆動ユニットを制御する制御部と、
    前記コイル支持部材を支持するガイド部材と、
    を含み、
    前記微細駆動ユニットそれぞれが、自身が発生させる駆動力が前記ガイド部材を挟んで対向する微細駆動ユニット及び前記ガイド部材に沿って隣り合う前記微細駆動ユニットが発生させる駆動力に対して直角に作用するように格子状に配置され、
    前記コイル支持部材は前記ガイド部材の軸に沿って移動することを特徴とする移送装置。
  2. 前記磁石支持部材には、前記磁石支持部材が所定の底面に対して離隔して移動可能なように複数のエアーベアリングが設けられることを特徴とする、請求項1に記載の移送装置。
  3. 前記制御部は、前記磁石支持部材が前記コイル支持部材に対して前記磁石支持部材の板面でX−Y−θのうちのいずれか1方向に移動するように前記微細駆動ユニットを制御することを特徴とする、請求項1に記載の移送装置。
  4. 前記コイル支持部材に対する前記磁石支持部材の位置制御誤差は±50nm以内であることを特徴とする、請求項1に記載の移送装置。
  5. 前記磁石支持部材及び前記コイル支持部材のうちの少なくとも一つを前記微細駆動ユニットより大幅に移動可能なように、前記磁石支持部材及び前記コイル支持部材のうちの少なくとも一つに対して結合された粗動駆動ユニットをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の移送装置。
  6. 前記粗動駆動ユニットは、
    可動コイルが巻き取られ前記コイル支持部材に結合された可動子と、
    前記可動子を隔てて互いに異なる極性を有し互いに離隔して配置された一対の磁石を有する固定子とを含むことを特徴とする、請求項5に記載の移送装置。
  7. 前記ガイド部材は前記固定子を支持し、
    前記コイル支持部材に対して結合され、前記コイル支持部材と一体に前記ガイド部材に沿って移動するように前記ガイド部材に対して結合されたガイドスライディング部材を更に含むことを特徴とする、請求項6に記載の移送装置。
  8. 前記ガイドスライディング部材には、前記ガイドスライディング部材が前記ガイド部材に対して離隔して移動するように複数のエアーベアリングが設けられることを特徴とする、請求項7に記載の移送装置。
  9. 前記ガイドスライディング部材及び前記磁石支持部材のうちの少なくとも一つに結合されて前記ガイドスライディング部材及び前記磁石支持部材の移動幅を制限するストッパーが設けられることを特徴とする、請求項7に記載の移送装置。
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