KR101520401B1 - 이동 가능한 테이블 시스템 - Google Patents

이동 가능한 테이블 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR101520401B1
KR101520401B1 KR1020150006062A KR20150006062A KR101520401B1 KR 101520401 B1 KR101520401 B1 KR 101520401B1 KR 1020150006062 A KR1020150006062 A KR 1020150006062A KR 20150006062 A KR20150006062 A KR 20150006062A KR 101520401 B1 KR101520401 B1 KR 101520401B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
linear motor
moving
linear
guide
actuator
Prior art date
Application number
KR1020150006062A
Other languages
English (en)
Inventor
방영봉
Original Assignee
재단법인차세대융합기술연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 재단법인차세대융합기술연구원 filed Critical 재단법인차세대융합기술연구원
Priority to KR1020150006062A priority Critical patent/KR101520401B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101520401B1 publication Critical patent/KR101520401B1/ko
Priority to PCT/KR2016/000038 priority patent/WO2016114519A1/ko
Priority to EP16737483.4A priority patent/EP3246614B1/en
Priority to JP2017536874A priority patent/JP6347897B2/ja
Priority to US15/644,294 priority patent/US10183368B2/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/02—Heads
    • F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
    • F16M11/043—Allowing translations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/28—Electric drives
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

본 개시는, 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 제1 액추에이터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 제2 액추에이터; 제1 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 리니어 가이드; 제2 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 리니어 가이드; 제1 액추에이터 및 제2 액추에이터를 지지하는 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것이다.

Description

이동 가능한 테이블 시스템{MOVABLE TABLE SYSTEM}
본 개시(Disclosure)는 전체적으로 이동 가능한 테이블 시스템에 대한 것으로, 특히 수직한 두 방향으로 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것이다.
여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
이동 가능한 테이블 시스템, 특히 수직한 두 방향으로 이동 가능한 테이블 시스템은 일반적으로 XY 테이블로 알려져 있다.
도 1은 한국 공개특허공보 제2001-0013820호에 기재된 도면이다.
설명의 편의를 위해 도면 부호는 새로이 기재하였다.
도 1에서 XY 테이블은 베이스(20), 베이스(20) 상에 X축 방향으로 설치된 가이드 레일(21), 가이드 레일(21)의 단부에 Y축 방향으로 설치된 가이드 레일(22), 가이드 레일(21) 상에 배치되어 X축 방향으로 이동 가능하게 결합된 X축 테이블(23), X축 테이블(23) 상에 배치된 두 개의 가이드 롤러(24, 25), X축 구동모터(26), X축 구동모터(26)에 연결된 X축 이송나사(27), 가이드 레일(22) 상에 배치되어 Y축 방향으로 이동 가능하게 결합된 Y축 테이블(28), Y축 테이블(28) 상에 배치된 X축 방향의 가이드 레일(29), Y축 구동모터(30), Y축 구동모터(30)에 연결된 Y축 이송나사(31), X축 테이블(23)과 Y축 테이블(28) 상에 배치된 톱 테이블(32)을 포함하고 있다. XY 테이블((10)은 X축 구동모터(26)를 구동하면, X축 구동모터(26)의 회전축에 연결된 X축 이송나사(27)를 통해 X축 테이블(23)이 X축 방향으로 이동됨과 동시에, X축 테이블(23) 상에 마련된 가이드 롤러(24, 25)를 통하여 톱 테이블(32)이 X축 방향으로 이동한다. 이어서 Y축 구동모터(30)를 구동하면, 이 Y축 구동모터(30)에 연결된 Y축 이송나사(31)를 통해 Y축 테이블(28)이 Y축 방향으로 이동함과 동시에 Y축 테이블(28) 상에 배치된 톱 테이블(32)이 Y축 방향으로 Y축 테이블(28)과 함께 이동한다.
그러나 톱 테이블(32)의 X축 방향 및 Y축 방향의 움직임을 위해 하부에 X축 테이블(23), Y축 테이블(28) 및 베이스(20)의 구조가 필요하며, 이것은 XY 테이블(10)의 구조가 전체적으로 대형화, 중량화되는 문제가 있었다. 도 1에 기재된 XY 테이블 이외에 대부분의 XY 테이블은 톱 테이블을 움직이기 위해 톱 테이블 하부에 적어도 1 개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있다. 예를 들어 한국 공개특허공보 제2008-0083297호, 한국 공개특허공보 제2000-0006149호, 일본 공개특허공보 제2005-297189호 등 다수의 XY 테이블은 톱 테이블 하부에 적어도 1 개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있다. 본 개시는 종래 기술의 문제점을 해결하여, 간단하고 경량한 구조의 XY 테이블 시스템을 제시한다.
이에 대하여 '발명을 실시하기 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.
여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 제1 액추에이터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 제2 액추에이터; 제1 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 리니어 가이드; 제2 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 리니어 가이드; 제1 액추에이터 및 제2 액추에이터를 지지하는 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템이 제공된다.
이에 대하여 '발명을 실시하기 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.
도 1은 한국 공개특허공보 제2001-0013820호에 기재된 도면,
도 2는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 평면도,
도 3은 본 개시에 따른 제1 리니어 가이드 및 제2 리니어 가이드의 움직임을 설명한 도면,
도 4는 본 개시에 따른 리니어 가이드의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 다른 예의 평면도,
도 6은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 예의 평면도,
도 7은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주는 평면도,
도 8은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 일 예의 3D 도면,
도 9는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 다른 일 예의 3D 도면.
이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)).
도 2는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 평면도이다.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템(100)은, 테이블(110), 테이블을 제1 방향(121)으로 이동시키는 제1 액추에이터(120), 테이블(110)을 제2 방향(131)으로 이동시키는 제2 액추에이터(130), 제1 액추에이터(120) 및 테이블(110)에 결합되어 테이블(110)을 제2 방향(131)으로 가이드하는 제1 리니어 가이드(140), 제2 액추에이터(130) 및 테이블(110)에 결합되어 테이블(110)을 제1 방향(121)으로 가이드하는 제2 리니어 가이드(150), 제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(130)를 지지하는 지지부(160)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
테이블(110)은 제1 방향(121) 및 제2 방향(131)으로 움직일 수 있는 것으로, 도 1의 XY 테이블에서 톱 테이블에 해당한다. 테이블(110)에는 레이저가공 장치에서는 레이저 광원이 놓여 질 수 있으며, 반도체제조에서 와이어 본딩의 경우에는 와이어 본딩 헤드가 놓여 질 수 있다.
제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(130)는 테이블(110)을 각각 제1 방향(121) 및 제2 방향(131)으로 이동시킨다.
제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(130)는 도 1에 있는 구동모터에 이송나사가 연결된 것이어도 되나, 고속 제어를 위해서는 구동부(122, 132)와 이동부(123, 133)를 구비하고 있는 리니어 모터가 바람직하다. 도면에 도시하지는 않았지만, 리니어 모터의 이동부(123, 133)와 구동부(122, 132)가 리니어 가이드로 결합되어 있는 것은 당업자에게 잘 알려져 있다. 제1 액추에이터와 제2 액추에이터의 중심선이 수직으로 만나는 것이 바람직하다. 제1 액추에이터(120)와 제2 액추에이터(130)의 중심선(124, 134)이 수직으로 만날 때, 제1 방향(121)을 X 방향이라고 하고, 제2 방향을 Y 방향(131)이라고 할 수 있다.
제1 리니어 가이드(140)는 테이블(110)과 제1 액추에이터(120)를 직접 연결시킨다.
제1 리니어 가이드(140)는 제2 액추에이터(130)가 테이블(110)을 제2 방향(131)으로 이동시킬 때, 제1 액추에이터(120)를 움직이지 않고 테이블(110)만 제2 방향(131)으로 움직이게 가이드 한다.
제2 리니어 가이드(150)는 테이블(110)과 제2 액추에이터(130)를 직접 연결시킨다.
제2 리니어 가이드(150)는 제1 액추에이터(120)가 테이블(110)을 제1 방향(121)으로 이동시킬 때, 제2 액추에이터(130)를 움직이지 않고 테이블(110)만 제1 방향(121)으로 움직이게 가이드 한다.
제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(130)가 리니어 모터인 경우, 구동부(122, 132)는 지지부(160)에 결합 되어 지지부(160)에 의해 지지된다.
지지부(160)는 구동부(122, 132)를 지지하기 위한 것이라면 제한없이 가능하다. 제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(140)가 리니어 모터가 아닌 경우, 예를 들어 도 1에서와 같이 구동모터인 경우에는 구동모터가 지지부(160)에 결합 될 수 있다. 또한 도시하지는 않았지만 지지부(160)는 제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(130)에 각각 결합되어 2개의 지지부로 구성될 수도 있다.
도 3은 본 개시에 따른 제1 리니어 가이드 및 제2 리니어 가이드의 움직임을 설명한 도면이다.
도 3(a)에서 제1 리니어 가이드(140)는 테이블(110)과 결합하는 제1 측부(141)와 제1 액추에이터(120)와 결합하는 제2 측부(142)를 포함하고 있으며, 테이블(110)이 제2 방향(131)으로 움직일 때 제1 리니어 가이드(140)의 제1 측부(141)는 테이블(110)과 함께 제2 방향(131)으로 움직이지만, 제1 액추에이터(120)와 결합한 제2 측부(142)는 움직이지 않는다.
도 3(b)에서 제2 리니어 가이드(150)는 테이블(110)과 결합하는 제1 측부(151)와 제2 액추에이터(130)와 결합하는 제2 측부(152)를 포함하고 있으며, 테이블(110)이 제1 방향(121)으로 움직일 때 제2 리니어 가이드(150)의 제1 측부(151)는 테이블(110)과 함께 제1 방향(121)으로 움직이지만, 제2 액추에이터(130)와 결합한 제2 측부(152)는 움직이지 않는다.
도 3(c)은 제1 액추에이터(120)와 제2 액추에이터(130)가 동시에 작동하는 경우를 보여주고 있다. 도 3(a) 내지 도 3(b)에서 설명의 편의를 위해 지지부를 도시하지 않았다.
도 4는 본 개시에 따른 리니어 가이드의 일 예를 나타내는 도면이다.
본 개시에 사용될 수 있는 리니어 가이드(200)는 직선으로 움직이는 부분, 예를 들어 도 3에서의 테이블(110)이 고정되는 제1 측부(210)는 레일(230)을 따라 이동할 수 있다. 그리고 움직이지 않는 부분, 예를 들어 도 3에서의 제1 및 제2 액추에이터(120, 130)가 고정되는 제2 측부(220)는 레일(230)을 따라 움직이지 않는다. 도 4에 기재된 리니어 가이드(200)는 본 개시에 사용될 수 있는 리니어 가이드의 일 예이며, 동일한 기능을 수행하는 리니어 가이드는 본 개시에 모두 포함될 수 있다.
도 5는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 다른 예의 평면도이다.
본 개시에 따른 다른 일 예의 이동 가능한 테이블 시스템(300)은, 테이블(310), 테이블(310)을 제1 방향(321)으로 이동시키는 구동부(322)와 이동부(323)를 구비한 제1 리니어 모터(320), 테이블(310)을 제2 방향(331)으로 이동시키는 구동부(332)와 이동부(333)를 구비한 제2 리니어 모터(330), 제1 리니어 모터(320) 및 테이블(310)에 결합되어 테이블(310)을 제2 방향(321)으로 가이드하는 제1 리니어 가이드(340), 제2 리니어 모터(330) 및 테이블(310)에 결합되어 테이블(310)을 제1 방향(321)으로 가이드하는 제2 리니어 가이드(350), 제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)를 지지하는 지지부(360), 제1 리니어 모터(320)의 구동부(322) 및 지지부(360)와 결합되어 제1 리니어 모터(320)의 구동부(322)를 제1 방향(321)으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드(370) 및 제2 리니어 모터(330)의 구동부(332) 및 지지부(360)와 결합되어 제2 리니어 모터(330)의 구동부(332)를 제2 방향(331)으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드(380)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)의 구동부(322, 332)를 지지부(360)에 고정할 경우, 제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)의 이동부(323, 333)의 움직임에 의한 반력이 지지부(360)에 그대로 전달되어 지지부(360)가 흔들리는 문제가 있다. 본 개시에서는 이러한 문제를 해결하기 위하여, 제3 및 제4 리니어 가이드(370, 380)를 사용하여 지지부(360)와 제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)의 구동부(322, 332)를 연결하였다. 즉 제3 및 제4 리니어 가이드(370, 380)을 사용하여, 제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)의 구동부(322, 332)가 이동부(323, 333)의 반력에 의해 지지부(360) 위에서 움직일 수 있게 하였다. 제3 및 제4 리니어 가이드(370, 380)는 지지부(360)가 결합된 부분은 움직이지 않고, 제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)의 구동부(322, 332)가 결합된 부분이 움직이는 것이 바람직하며, 도 4에 기재된 리니어 가이드나 크로스롤러 테이블 등을 사용할 수 있다.
도 6은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 예의 평면도이다.
도 6(a), 도 6(b)에 개시된 이동 가능한 테이블 시스템(400)은 제1 리니어 모터(420) 및 제2 리니어 모터(430)의 구동부(422, 432)에 위치 조정부(440, 441, 450)를 추가한 것을 특징으로 한다. 제1 리니어 모터(420) 및 제2 리니어 모터(430)의 구동부(422, 432)가 제1 리니어 모터(420) 및 제2 리니어 모터(430)의 이동부(423, 433)의 반력에 의해 뒤로 이동한 후 이동하기 전의 위치로 되돌아 가는 것이 바람직하다. 이를 위해 위치 조정부(440, 441, 450)를 추가하였다. 위치 조정부는 도 6(a)에서와 같이 댐퍼(440) 및 스프링(441)을 결합하여 사용하거나, 도 6(b)에서와 같이 액추에이터(450)를 사용할 수 있다. 액추에이터(450)는 리니어 모터일 수 있다. 위치 조정부로서 액추에이터(450)를 사용하면, 이동 가능한 테이블 시스템(400)이 긴 스트로크의 XY 테이블(미도시) 위에 설치되어 가감속될 때, 관성반력에 의해 구동부(422, 432)가 이동되는 것을 능동적으로 막을 수 있는 장점도 갖게 된다.
도 7은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주는 평면도이다.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템에서 테이블에 레이저 광이 나오는 레이저 헤드를 직접 부착하여 사용하는 것과 이동 가능한 테이블 시스템의 외부에 설치된 레이저 헤드로부터 나오는 레이저 광을 이용하는 것이 있다. 도 7에는 외부에 설치된 레이저 광원을 이용하여 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주고 있다.
본 개시에 따른 레이저 광원이 설치된 이동 가능한 테이블 시스템(500)은 테이블(510), 테이블(510)을 제1 방향(521)으로 이동시키는 구동부(522)와 이동부(523)를 구비한 제1 리니어 모터(520), 테이블(510)을 제2 방향(531)으로 이동시키는 구동부(532)와 이동부(533)를 구비한 제2 리니어 모터(530), 제1 리니어 모터(520) 및 테이블(510)에 결합되어 테이블(510)을 제2 방향(531)으로 가이드하는 제1 리니어 가이드(540), 제2 리니어 모터(530) 및 테이블(510)에 결합되어 테이블(510)을 제1 방향(521)으로 가이드하는 제2 리니어 가이드(550), 제1 리니어 모터(520) 및 제2 리니어 모터(530)를 지지하는 지지부(560), 제1 리니어 모터(520) 및 제2 리니어 모터(530) 중 적어도 하나의 이동부(523, 533)에 설치된 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템(500)으로 들어오는 광의 경로(570)를 테이블(510) 방향으로 변경하는 제1 반사부(580), 제1 반사부(580)를 통해 테이블(510)로 들어온 광의 경로(571)을 테이블(510)로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 테이블(510)에 설치된 제2 반사부(590)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 테이블(510)으로부터 나가는 광의 경로는 도시하지 않았지만, 테이블(510) 면(511)에 수직한 방향으로 나가는 것이 바람직하다. 제1 반사부(580) 및 제2 반사부(590)는 레이저 광의 손실을 작게 할 수 있는 것이면 제한없이 사용할 수 있다. 예를 들어 거울도 가능하다. 또한 제2 반사부(590)로부터 나오는 레이저 광이 한 점에 더 잘 집중될 수 있도록 테이블(510)에 렌즈를 추가할 수 있다.
도 7(b)는 제1 리니어 모터(520)가 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있으며, 도 7(c)는 제2 리니어 모터(530)가 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있으며, 도 7(d)는 제1 리니어 모터(520) 및 제2 리니어 모터(530)이 함께 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있다. 도 7(b) 내지 도 7(d)는 외부에서 만들어진 레이저 광이 테이블로 전달되어 레이저 가공에 사용되는 것을 보여주고 있다. 도 7(b) 내지 도 7(d)에서 설명의 편의를 위해 지지부를 도시하지 않았다.
도 8은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 3D 도면이다.
도 8은 도 6(a)에 기재된 이동 가능한 테이블 시스템의 3D 도면이다.
3D로 표시한 이동 가능한 테이블 시스템(600)은, 테이블(610), 테이블(610)을 제1 방향(621)으로 이동시키는 구동부(622)와 이동부(623)를 구비한 제1 리니어 모터(620), 테이블(610)을 제2 방향(631)으로 이동시키는 구동부(632)와 이동부(633)를 구비한 제2 리니어 모터(630), 제1 리니어 모터(620) 및 테이블(610)에 결합되어 테이블(610)을 제2 방향(621)으로 가이드하는 제1 리니어 가이드(640), 제2 리니어 모터(630) 및 테이블(610)에 결합되어 테이블(610)을 제1 방향(621)으로 가이드하는 제2 리니어 가이드(650), 제1 리니어 모터(620) 및 제2 리니어 모터(630)를 지지하는 지지부(660), 제1 리니어 모터(620)의 구동부(622) 및 지지부(660)와 결합되어 제1 리니어 모터(620)의 구동부(622)를 제1 방향(621)으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드(670) 및 제2 리니어 모터(630)의 구동부(632) 및 지지부(660)와 결합되어 제2 리니어 모터(630)의 구동부(632)를 제2 방향(631)으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드(680), 제1 리니어 모터(620) 및 제2 리니어 모터(630)의 구동부(622, 632)가 제1 리니어 모터(620) 및 제2 리니어 모터(630)의 이동부(623, 633)의 반력에 의해 뒤로 이동한 후 이동하기 전의 위치로 되돌아 가도록 하는 댐퍼 및 스프링으로 구성된 위치 조정부(700)를 도시하고 있다. 또한 테이블(610)에 장착되어 있는 레이저 헤드(710)를 도시하고 있다. 또한 제1 리니어 모터(620)의 이동부(623)의 제1 위치센서(720) 및 제2 리니어 모터(630)의 이동부(633)의 제2 위치센서(721)를 도시하고 있다.
도 9는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 3D 도면이다.
도 9는 도 6(b)에 기재된 이동 가능한 테이블 시스템의 3D 도면으로, 도 8에 기재된 이동 가능한 테이블 시스템의 3D 도면에서 위치 조정부로서 댐퍼 및 스프링을 리니어 모터로 대체한 것을 보여준다. 즉 제1 리니어 모터(620) 및 제2 리니어 모터(630)의 구동부(622, 632)의 위치를 조정하기 위하여 제3 리니어 모터(730) 및 제4 리니어 모터(740)가 사용된 것을 보여주고 있다.
이하 본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다.
(1) 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 제1 액추에이터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 제2 액추에이터; 제1 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 리니어 가이드; 제2 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 리니어 가이드; 제1 액추에이터 및 제2 액추에이터를 지지하는 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(2) 제1 액추에이터 및 제2 액추에이터는 리니어 모터이고, 리니어 모터는 구동부와 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(3) 제1 액추에이터의 중심선과 제2 액추에이터의 중심선이 수직으로 만나는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(4) 제1 리니어 가이드 및 제2 리니어 가이드는 각각 테이블과 결합하는 제1 측부와 제1 액추에이터 및 제2 액추에이터와 결합하는 제2 측부를 포함하며, 제1 리니어 가이드의 제1 측부는 제2 방향으로 움직이고, 제2 측부는 제2 방향으로는 고정되며, 제2 리니어 가이드의 제1 측부는 제1 방향으로 움직이고, 제2 측부는 제1 방향으로는 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(5) 제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부와 결합되어 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드;, 그리고 제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부와 결합되어 제2 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(6) 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 구동부는 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 각각 이동부가 움직이는 방향의 반대 방향으로 움직이는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(7) 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터 중 적어도 하나의 구동부와 연동하여 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 움직인 구동부를 본래의 위치로 움직이게 하는 위치 조정부;를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(8) 위치 조정부는 댐퍼 및 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(9) 위치 조정부는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(10) 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터 중 적어도 하나의 이동부와 연동하여 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템으로 들어오는 광의 경로를 테이블 방향으로 변경하는 제1 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(11) 테이블과 연동하여 제1 반사부를 통해 테이블로 들어온 광을 테이블로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 제2 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(12) 제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광의 경로는 테이블 면에 수직한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(13) 테이블과 연동하여 제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광을 집중하기 위한 렌즈;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(14) 테이블에 레이저 헤드가 장착된 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(15) 제1 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하기 위한 제1 위치센서; 그리고, 제2 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하기 위한 제2 위치센서; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템에 의하면, 구조가 간단하고,중량이 가벼운 이동 가능한 테이블 시스템을 만들 수 있다.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템에 의하면, 구조가 간단하고,중량이 가벼워 고속 제어가 용이한 이동 가능한 테이블 시스템을 만들 수 있다.
개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템에 의하면, 구조가 간단하고,중량이 가벼워 고속 제어가 용이한 이동 가능한 테이블 시스템을 이용한 레이저 가공장치를 만들 수 있다.
100, 400, 500 : 이동 가능한 테이블 시스템
120, 420, 520 : 제1 액추에이터
130, 430, 530 : 제2 액추에이터
140, 540 : 제1 리니어 가이드
150, 550 : 제2 리니어 가이드

Claims (15)

  1. 테이블;
    테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터;
    테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터;
    제1 리니어 모터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 리니어 가이드;
    제2 리니어 모터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 리니어 가이드; 그리고,
    제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며,
    제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부와 결합되어 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 및 제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부와 결합되어 제2 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    제1 리니어 모터의 중심선과 제2 리니어 모터의 중심선이 수직으로 만나는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    제1 리니어 가이드 및 제2 리니어 가이드는 각각 테이블과 결합하는 제1 측부와 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터와 결합하는 제2 측부를 포함하며,
    제1 리니어 가이드의 제1 측부는 제2 방향으로 움직이고, 제2 측부는 제2 방향으로는 고정되며,
    제2 리니어 가이드의 제1 측부는 제1 방향으로 움직이고, 제2 측부는 제1 방향으로는 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 구동부는 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 각각 이동부가 움직이는 방향의 반대 방향으로 움직이는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  7. 청구항 1에 있어서,
    제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터 중 적어도 하나의 구동부와 연동하여 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 움직인 구동부를 본래의 위치로 움직이게 하는 위치 조정부;를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  8. 청구항 7에 있어서,
    위치 조정부는 댐퍼 및 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  9. 청구항 7에 있어서,
    위치 조정부는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  10. 청구항 1에 있어서,
    제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터 중 적어도 하나의 이동부와 연동하여 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템으로 들어오는 광의 경로를 테이블 방향으로 변경하는 제1 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  11. 청구항 10에 있어서,
    테이블과 연동하여 제1 반사부를 통해 테이블로 들어온 광을 테이블로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 제2 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  12. 청구항 11에 있어서,
    제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광의 경로는 테이블 면에 수직한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  13. 청구항 11에 있어서,
    테이블과 연동하여 제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광을 집중하기 위한 렌즈;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  14. 청구항 1에 있어서,
    테이블에 레이저 헤드가 장착된 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  15. 청구항 1에 있어서,
    제1 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하기 위한 제1 위치센서; 그리고
    제2 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하기 위한 제2 위치센서; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
KR1020150006062A 2015-01-13 2015-01-13 이동 가능한 테이블 시스템 KR101520401B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150006062A KR101520401B1 (ko) 2015-01-13 2015-01-13 이동 가능한 테이블 시스템
PCT/KR2016/000038 WO2016114519A1 (ko) 2015-01-13 2016-01-05 이동 가능한 테이블 시스템
EP16737483.4A EP3246614B1 (en) 2015-01-13 2016-01-05 Movable table system
JP2017536874A JP6347897B2 (ja) 2015-01-13 2016-01-05 移動可能なテーブルシステム
US15/644,294 US10183368B2 (en) 2015-01-13 2017-07-07 Movable table system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150006062A KR101520401B1 (ko) 2015-01-13 2015-01-13 이동 가능한 테이블 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101520401B1 true KR101520401B1 (ko) 2015-05-15

Family

ID=53394750

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150006062A KR101520401B1 (ko) 2015-01-13 2015-01-13 이동 가능한 테이블 시스템

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10183368B2 (ko)
EP (1) EP3246614B1 (ko)
JP (1) JP6347897B2 (ko)
KR (1) KR101520401B1 (ko)
WO (1) WO2016114519A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101756800B1 (ko) * 2016-02-15 2017-07-11 재단법인차세대융합기술연구원 이동 가능한 테이블 시스템

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101520401B1 (ko) * 2015-01-13 2015-05-15 재단법인차세대융합기술연구원 이동 가능한 테이블 시스템
CN108568788A (zh) * 2018-07-11 2018-09-25 南通理工学院 一种智能多功能工作台及控制方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0557551A (ja) * 1991-08-30 1993-03-09 Nippon Seiko Kk Ｘｙ位置決めテーブル
JP2001307983A (ja) * 2000-04-20 2001-11-02 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
JP2002343737A (ja) * 2001-05-11 2002-11-29 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd レーザアニール方法とレーザアニール装置
KR20100061137A (ko) * 2008-11-28 2010-06-07 (주)하드램 레이저를 이용한 기판 절단 장치

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55134414A (en) * 1979-04-06 1980-10-20 Hitachi Ltd Precise moving unit
KR0129662B1 (ko) * 1987-10-30 1998-04-07 고다까 토시오 이동 테이블 장치
US5301933A (en) * 1990-02-27 1994-04-12 Canon Kabushiki Kaisha Sample moving device
JPH09155665A (ja) * 1995-12-11 1997-06-17 Nippon Seiko Kk 位置決め装置
JPH1110467A (ja) 1997-06-18 1999-01-19 Yaskawa Electric Corp Ｘｙテーブル
JP2981999B1 (ja) 1998-06-16 1999-11-22 株式会社新川 半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びｘｙテーブル
JP3616543B2 (ja) * 1999-09-10 2005-02-02 日本電気株式会社 Ｘｙステージ
JP2001110699A (ja) * 1999-10-05 2001-04-20 Canon Inc ステージ装置および該ステージ装置を用いた露光装置
JP2005297189A (ja) 2005-05-30 2005-10-27 Nsk Ltd Ｘｙテーブル装置
JP4969455B2 (ja) 2005-12-06 2012-07-04 Ｔｈｋ株式会社 Ｘｙテーブルアクチュエータ
JP2008012638A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Mitsutoyo Corp 多軸テーブル
JP5119001B2 (ja) * 2008-02-28 2013-01-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 試料ステージ
US7959141B2 (en) * 2008-12-23 2011-06-14 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Stage apparatus
CN101556933A (zh) * 2009-05-15 2009-10-14 东南大学 一种运动解耦的xy向精密定位平台
JP5203299B2 (ja) * 2009-06-16 2013-06-05 住友重機械工業株式会社 反力処理機構、その反力処理機構を備えたステージ装置、及びそのステージ装置を備えた半導体検査装置
CN103226342B (zh) * 2013-04-28 2016-01-20 清华大学 高刚度并联双驱运动解耦伺服控制平台
KR101520401B1 (ko) * 2015-01-13 2015-05-15 재단법인차세대융합기술연구원 이동 가능한 테이블 시스템

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0557551A (ja) * 1991-08-30 1993-03-09 Nippon Seiko Kk Ｘｙ位置決めテーブル
JP2001307983A (ja) * 2000-04-20 2001-11-02 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
JP2002343737A (ja) * 2001-05-11 2002-11-29 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd レーザアニール方法とレーザアニール装置
KR20100061137A (ko) * 2008-11-28 2010-06-07 (주)하드램 레이저를 이용한 기판 절단 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101756800B1 (ko) * 2016-02-15 2017-07-11 재단법인차세대융합기술연구원 이동 가능한 테이블 시스템
WO2017142102A1 (ko) * 2016-02-15 2017-08-24 재단법인차세대융합기술연구원 이동 가능한 테이블 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
US20170320177A1 (en) 2017-11-09
EP3246614B1 (en) 2019-10-09
JP6347897B2 (ja) 2018-06-27
JP2018508371A (ja) 2018-03-29
EP3246614A1 (en) 2017-11-22
EP3246614A4 (en) 2018-10-24
US10183368B2 (en) 2019-01-22
WO2016114519A1 (ko) 2016-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101142051B (zh) 激光机床
CN209520474U (zh) 一种机器人激光切割装置
KR101520401B1 (ko) 이동 가능한 테이블 시스템
ITMI20091324A1 (it) Manipolatore a bassa inerzia per macchina per taglio laser di lamiere metalliche piane.
US10583524B2 (en) Laser processing head comprising a lens interchange system
CN109073137B (zh) 用于使支撑板在六个自由度产生运动的系统
CN112068309B (zh) 一种含双抛物面镜动态聚焦模块的三维扫描系统
CN107971629A (zh) 激光加工光路结构
CN208729169U (zh) 精密移动平台
CN102632336B (zh) 一种交换式宏微激光高速切割机床
JP2005297189A (ja) Ｘｙテーブル装置
US7562765B2 (en) Panel carrying device
CN101878089B (zh) 用于借助于平行的激光射线加工工件的装置
KR101756800B1 (ko) 이동 가능한 테이블 시스템
CN201385185Y (zh) 激光切割机的外光路等光程系统
CN110967802A (zh) 一种大功率脉冲激光自适应变焦系统
KR101501961B1 (ko) 레이저 가공장치
JPS61147988A (ja) レ−ザ加工装置
KR101261846B1 (ko) 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치
KR101501960B1 (ko) 발진기 이동형 레이저 가공장치
CN209503245U (zh) 具有分离式对焦结构的激光打标机
US6678443B2 (en) Apparatus for slewing a light beam
JP2021138599A (ja) レーザスクライブ装置用補間機構及び補間機構が適用されたスクライブ装置
US20210178517A1 (en) Laser Apparatus With Synchronous Light Path Delay
KR101720574B1 (ko) 레이저 가공 장치 및 그 구동 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180425

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190328

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200303

Year of fee payment: 6