WO2016114519A1 - 이동 가능한 테이블 시스템 - Google Patents

이동 가능한 테이블 시스템 Download PDF

Info

Publication number
WO2016114519A1
WO2016114519A1 PCT/KR2016/000038 KR2016000038W WO2016114519A1 WO 2016114519 A1 WO2016114519 A1 WO 2016114519A1 KR 2016000038 W KR2016000038 W KR 2016000038W WO 2016114519 A1 WO2016114519 A1 WO 2016114519A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
linear motor
actuator
linear
moving
guide
Prior art date
Application number
PCT/KR2016/000038
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
방영봉
Original Assignee
재단법인차세대융합기술연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 재단법인차세대융합기술연구원 filed Critical 재단법인차세대융합기술연구원
Priority to EP16737483.4A priority Critical patent/EP3246614B1/en
Priority to JP2017536874A priority patent/JP6347897B2/ja
Publication of WO2016114519A1 publication Critical patent/WO2016114519A1/ko
Priority to US15/644,294 priority patent/US10183368B2/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/02—Heads
    • F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
    • F16M11/043—Allowing translations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/28—Electric drives
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Definitions

  • the present disclosure relates to a table system that is movable in its entirety, and more particularly to a table system that is movable in two perpendicular directions.
  • Movable table systems particularly table systems that are movable in two perpendicular directions, are generally known as XY tables.
  • the XY table includes a base 20, a guide rail 21 installed in the X-axis direction on the base 20, a guide rail 22 installed in the Y-axis direction at the ends of the guide rail 21, and a guide rail ( 21, an X-axis table 23 arranged on the X-axis table 23 and movably coupled in the X-axis direction, two guide rollers 24 and 25 disposed on the X-axis table 23, an X-axis driving motor 26, On the X-axis feed screw 27 connected to the X-axis drive motor 26, on the Y-axis table 28, Y-axis table 28, which is disposed on the guide rail 22 and movably coupled in the Y-axis direction Y-axis feed screw 31, X-axis table 23 and Y-axis table 28 connected to the guide rail 29 in the X-axis direction, the Y-axis drive motor 30, and the Y-axis drive motor 30 It includes a top table 32 disposed on the top.
  • the XY table 10 drives the X-axis drive motor 26, the X-axis table 23 moves in the X-axis direction through the X-axis feed screw 27 connected to the rotational axis of the X-axis drive motor 26.
  • the top table 32 moves in the X-axis direction through the guide rollers 24 and 25 provided on the X-axis table 23.
  • the Y-axis driving motor 30 is driven, this Y-axis driving The Y-axis table 28 moves in the Y-axis direction through the Y-axis feed screw 31 connected to the motor 30, and the top table 32 disposed on the Y-axis table 28 moves in the Y-axis direction. It moves together with the Y-axis table 28.
  • X-axis table 23 the Y-axis table 28 and the base 20 at the bottom is required for the movement in the X-axis direction and the Y-axis direction of the top table 32, which is the XY table 10
  • the structure of the overall size and weight In addition to the XY table described in FIG. 1, most XY tables have at least one or more moving tables arranged under the top table to move the top table.
  • many XY tables such as Korean Unexamined Patent Publication No. 2008-0083297, Korean Unexamined Patent Publication No. 2000-0006149, and Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-297189, arrange at least one moving table under a top table. Doing.
  • the present disclosure solves the problems of the prior art and proposes a simple and lightweight XY table system.
  • a table comprising: a support for supporting a first actuator and a second actuator.
  • FIG. 2 is a plan view of a movable table system according to the present disclosure
  • FIG. 3 is a view illustrating movement of a first linear guide and a second linear guide according to the present disclosure
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a linear guide according to the present disclosure.
  • FIG. 5 is a plan view of another example of a movable table system according to the present disclosure.
  • FIG. 6 is a plan view of another example of a movable table system according to the present disclosure.
  • FIG. 7 is a plan view illustrating an example of using the movable table system according to the present disclosure in a laser processing apparatus
  • FIG. 8 is a 3D view of an example of a movable table system according to the present disclosure.
  • FIG. 9 is a 3D view of another example of a movable table system according to the present disclosure.
  • FIG. 2 is a plan view of a movable table system according to the present disclosure.
  • the movable table system 100 may move the table 110, the first actuator 120 for moving the table in the first direction 121, and the table 110 in the second direction 131.
  • the first linear guide 140, the second actuator 130 which are coupled to the second actuator 130, the first actuator 120, and the table 110 to guide the table 110 in the second direction 131.
  • the table 110 may move in the first direction 121 and the second direction 131, and corresponds to the top table in the XY table of FIG. 1.
  • a laser light source may be placed on the table 110, and a wire bonding head may be placed in the case of wire bonding in semiconductor manufacturing.
  • the first actuator 120 and the second actuator 130 move the table 110 in the first direction 121 and the second direction 131, respectively.
  • the first actuator 120 and the second actuator 130 may be connected to a transfer screw in the drive motor shown in FIG. 1, but for the high speed control, the first actuator 120 and the second actuator 130 include driving parts 122 and 132 and moving parts 123 and 133.
  • Linear motors are preferred.
  • the moving parts 123 and 133 and the driving parts 122 and 132 of the linear motor are coupled by linear guides.
  • the centerline of the first actuator and the second actuator meet vertically.
  • the first direction 121 may be referred to as the X direction and the second direction may be referred to as the Y direction 131. have.
  • the first linear guide 140 directly connects the table 110 and the first actuator 120.
  • the first linear guide 140 may move only the table 110 in the second direction without moving the first actuator 120. Guide 131).
  • the second linear guide 150 directly connects the table 110 and the second actuator 130.
  • the second linear guide 150 moves only the table 110 in the first direction without moving the second actuator 130. To guide the movement.
  • the driving units 122 and 132 are coupled to the support unit 160 and are supported by the support unit 160.
  • the support unit 160 may be used without limitation as long as it supports the driving units 122 and 132.
  • the driving motor may be coupled to the support 160.
  • the support 160 may be coupled to the first actuator 120 and the second actuator 130, respectively, and may include two supports.
  • FIG 3 is a view for explaining the movement of the first linear guide and the second linear guide according to the present disclosure.
  • the first linear guide 140 includes a first side portion 141 that engages with the table 110 and a second side portion 142 that engages with the first actuator 120.
  • the first side 141 of the first linear guide 140 moves in the second direction 131 with the table 110 when the 110 moves in the second direction 131, but with the first actuator 120.
  • the combined second side 142 does not move.
  • the second linear guide 150 includes a first side portion 151 that engages with the table 110 and a second side portion 152 that engages with the second actuator 130.
  • the first side 151 of the second linear guide 150 moves in the first direction 121 together with the table 110 when the 110 moves in the first direction 121, but with the second actuator 130.
  • the combined second side 152 does not move.
  • 3 (c) shows a case in which the first actuator 120 and the second actuator 130 operate simultaneously.
  • 3 (a) to 3 (b) the support part is not shown for convenience of description.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a linear guide according to the present disclosure.
  • the linear guide 200 that may be used in the present disclosure may move in a straight line, for example, the first side 210 to which the table 110 in FIG. 3 is fixed may move along the rail 230. And the non-moving portion, for example, the second side portion 220 to which the first and second actuators 120 and 130 in FIG. 3 are fixed does not move along the rail 230.
  • the linear guide 200 described in FIG. 4 is an example of a linear guide that may be used in the present disclosure, and all linear guides that perform the same function may be included in the present disclosure.
  • FIG. 5 is a plan view of another example of a movable table system according to the present disclosure.
  • FIG. 300 Another example of a movable table system 300 according to the present disclosure includes a table 310, a first having a driving unit 322 and a moving unit 323 for moving the table 310 in a first direction 321.
  • the table 310 is coupled to the first linear guide 340, the second linear motor 330, and the table 310 to be coupled to the 310 to guide the table 310 in the second direction 321.
  • the support part 360 supporting the second linear guide 350, the first linear motor 320, and the second linear motor 330 guiding in the direction 321, and the driving part 322 of the first linear motor 320. And a driving unit 332 of the third linear guide 370 and the second linear motor 330, which are combined with the support 360 to guide the driving unit 322 of the first linear motor 320 in the first direction 321.And a fourth linear guide 380 coupled to the support 360 to guide the driving unit 332 of the second linear motor 330 in the second direction 331.
  • the driving parts 322 and 332 of the first linear motor 320 and the second linear motor 330 are fixed to the support part 360, the moving parts of the first linear motor 320 and the second linear motor 330 are fixed. Reaction force by the movement of the (323, 333) is transmitted to the support 360 as it is, there is a problem that the support 360 is shaken.
  • the driving unit 322 of the support 360, the first linear motor 320, and the second linear motor 330 using the third and fourth linear guides 370 and 380 may be used. 332).
  • the driving units 322 and 332 of the first linear motor 320 and the second linear motor 330 are applied to the reaction force of the moving units 323 and 333.
  • the third and fourth linear guides 370 and 380 do not move where the support part 360 is coupled, and the driving parts 322 and 332 of the first linear motor 320 and the second linear motor 330 are coupled to each other. It is preferable that the part is moved, and the linear guide, cross roller table, etc. of FIG. 4 can be used.
  • FIG. 6 is a plan view of another example of a movable table system according to the present disclosure.
  • the movable table system 400 disclosed in FIGS. 6 (a) and 6 (b) has positions 440 and 441 in the driving units 422 and 432 of the first linear motor 420 and the second linear motor 430. , 450) is added.
  • the driving units 422 and 432 of the first linear motor 420 and the second linear motor 430 are driven by the reaction force of the moving parts 423 and 433 of the first linear motor 420 and the second linear motor 430. It is preferable to move back and then return to the position before moving.
  • position adjusting units 440, 441, and 450 were added.
  • the position adjusting unit may use the damper 440 and the spring 441 in combination, or use the actuator 450 as shown in FIG. 6B.
  • Actuator 450 may be a linear motor.
  • the driving portions 422 and 432 are moved by inertial reaction when the movable table system 400 is installed on the XY table (not shown) of a long stroke and accelerated and decelerated. It also has the advantage of being actively prevented.
  • FIG. 7 is a plan view illustrating an example of using the movable table system according to the present disclosure in a laser processing apparatus.
  • movable table system there is a method of directly attaching and using a laser head that emits laser light to a table, and using laser light emitted from a laser head installed outside of the movable table system.
  • 7 shows an example of using a movable table system according to the present disclosure in a laser processing apparatus using an external laser light source.
  • the movable table system 500 provided with the laser light source includes a table 510, a first driving unit 522 and a moving unit 523 for moving the table 510 in the first direction 521.
  • the linear motor 520, the second linear motor 530, the first linear motor 520 and the table having a driving unit 532 and the moving unit 533 for moving the table 510 in the second direction 531 510 is coupled to the first linear guide 540, the second linear motor 530, and the table 510 to guide the table 510 in the second direction 531.
  • the path of the light exiting from the table 510 is not shown, it is preferable to exit in the direction perpendicular to the surface 511 of the table 510.
  • the first reflecting portion 580 and the second reflecting portion 590 can be used without limitation as long as the loss of the laser light can be reduced. Mirrors are also possible, for example.
  • a lens may be added to the table 510 so that the laser light emitted from the second reflector 590 may be better focused at one point.
  • FIG. 7 (b) shows the path of light when the first linear motor 520 operates
  • FIG. 7 (c) shows the path of light when the second linear motor 530 operates
  • FIG. 7 (d) shows a path of light when the first linear motor 520 and the second linear motor 530 operate together.
  • 7 (b) to 7 (d) show that externally generated laser light is transferred to a table and used for laser processing.
  • the support part is not shown in FIGS. 7 (b) to 7 (d).
  • FIG. 8 is a 3D view of a movable table system according to the present disclosure.
  • FIG. 8 is a 3D view of the movable table system described in FIG. 6 (a).
  • the movable table system 600 shown in 3D includes a first linear motor having a table 610 and a driving unit 622 for moving the table 610 in the first direction 621 and a moving unit 623. 620, a second linear motor 630, a first linear motor 620, and a table 610 having a driving unit 632 and a moving unit 633 for moving the table 610 in the second direction 631. Coupled to the first linear guide 640, the second linear motor 630, and the table 610 to guide the table 610 in the second direction 621 to guide the table 610 in the first direction 621.
  • the support part 660 which supports the 2nd linear guide 650, the 1st linear motor 620, and the 2nd linear motor 630 which guide
  • the adjusting unit 700 is shown. Also shown is a laser head 710 mounted to a table 610.
  • the first position sensor 720 of the moving part 623 of the first linear motor 620 and the second position sensor 721 of the moving part 633 of the second linear motor 630 are illustrated.
  • FIG. 9 is a 3D view of a movable table system according to the present disclosure.
  • FIG. 9 is a 3D view of the movable table system shown in FIG. 6 (b), showing that the damper and spring are replaced by a linear motor as a position adjuster in the 3D view of the movable table system shown in FIG. 8. That is, the third linear motor 730 and the fourth linear motor 740 are used to adjust the positions of the driving units 622 and 632 of the first linear motor 620 and the second linear motor 630. have.
  • a table (1) a table; A first actuator for moving the table in a first direction; A second actuator for moving the table in a second direction; A first linear guide coupled to the first actuator and the table to guide the table in a second direction; A second linear guide coupled to the second actuator and the table to guide the table in a first direction;
  • a movable table system comprising: a support for supporting a first actuator and a second actuator.
  • a movable table system wherein the first actuator and the second actuator are linear motors, and the linear motors include a drive unit and a moving unit.
  • a movable table system characterized in that the centerline of the first actuator and the centerline of the second actuator meet vertically.
  • the first linear guide and the second linear guide each include a first side engaging with the table and a second side engaging with the first and second actuators, the first side of the first linear guide being in the second direction , The second side is fixed in the second direction, the first side of the second linear guide moves in the first direction, and the second side is fixed in the first direction.
  • a third linear guide coupled to the drive unit and the support unit of the first linear motor to guide the drive unit of the first linear motor in the first direction, and coupled to the drive unit and the support unit of the second linear motor to support the second linear motor.
  • a fourth linear guide guiding the driving unit in a second direction; And at least one of: a movable table system.
  • a movable table characterized in that the driving portions of the first linear motor and the second linear motor move in opposite directions to the direction in which the moving portion moves, respectively, by reaction forces generated by moving the moving portions of the first linear motor and the second linear motor. system.
  • a position adjusting unit for interlocking with at least one driving unit of the first linear motor and the second linear motor to move the driving unit moved to its original position by the reaction force generated by moving the moving units of the first linear motor and the second linear motor.
  • a movable table system comprising;
  • Movable table system characterized in that the position adjusting portion includes a damper and a spring.
  • a first reflector for changing the path of light entering the table system movable from the outside in association with at least one moving unit of the first linear motor and the second linear motor in a table direction; Possible table system.
  • a second reflector for changing the path of the light to exit the table from the table through the first reflector in cooperation with the table.
  • a movable table system characterized in that the path of light reflected from the second reflecting portion and exiting from the table is perpendicular to the table plane.
  • a movable table system wherein the table is equipped with a laser head.
  • a first position sensor for measuring a displacement with respect to a support of the moving part of the first linear motor
  • the second position sensor for measuring the displacement with respect to the support of the moving part of the second linear motor
  • a movable table system having a simple structure and light weight can be made.
  • a movable table system having a simple structure, light weight, and easy high speed control can be made.
  • a laser processing apparatus using a movable table system having a simple structure, light weight, and easy high speed control can be made.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

본 개시는, 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 제1 액추에이터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 제2 액추에이터; 제1 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 리니어 가이드; 제2 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 리니어 가이드; 제1 액추에이터 및 제2 액추에이터를 지지하는 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것이다.

Description

이동 가능한 테이블 시스템
본 개시(Disclosure)는 전체적으로 이동 가능한 테이블 시스템에 대한 것으로, 특히 수직한 두 방향으로 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것이다.
여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
이동 가능한 테이블 시스템, 특히 수직한 두 방향으로 이동 가능한 테이블 시스템은 일반적으로 XY 테이블로 알려져 있다.
도 1은 한국 공개특허공보 제2001-0013820호에 기재된 도면이다.
설명의 편의를 위해 도면 부호는 새로이 기재하였다.
도 1에서 XY 테이블은 베이스(20), 베이스(20) 상에 X축 방향으로 설치된 가이드 레일(21), 가이드 레일(21)의 단부에 Y축 방향으로 설치된 가이드 레일(22), 가이드 레일(21) 상에 배치되어 X축 방향으로 이동 가능하게 결합된 X축 테이블(23), X축 테이블(23) 상에 배치된 두 개의 가이드 롤러(24, 25), X축 구동모터(26), X축 구동모터(26)에 연결된 X축 이송나사(27), 가이드 레일(22) 상에 배치되어 Y축 방향으로 이동 가능하게 결합된 Y축 테이블(28), Y축 테이블(28) 상에 배치된 X축 방향의 가이드 레일(29), Y축 구동모터(30), Y축 구동모터(30)에 연결된 Y축 이송나사(31), X축 테이블(23)과 Y축 테이블(28) 상에 배치된 톱 테이블(32)을 포함하고 있다. XY 테이블((10)은 X축 구동모터(26)를 구동하면, X축 구동모터(26)의 회전축에 연결된 X축 이송나사(27)를 통해 X축 테이블(23)이 X축 방향으로 이동됨과 동시에, X축 테이블(23) 상에 마련된 가이드 롤러(24, 25)를 통하여 톱 테이블(32)이 X축 방향으로 이동한다. 이어서 Y축 구동모터(30)를 구동하면, 이 Y축 구동모터(30)에 연결된 Y축 이송나사(31)를 통해 Y축 테이블(28)이 Y축 방향으로 이동함과 동시에 Y축 테이블(28) 상에 배치된 톱 테이블(32)이 Y축 방향으로 Y축 테이블(28)과 함께 이동한다.
그러나 톱 테이블(32)의 X축 방향 및 Y축 방향의 움직임을 위해 하부에 X축 테이블(23), Y축 테이블(28) 및 베이스(20)의 구조가 필요하며, 이것은 XY 테이블(10)의 구조가 전체적으로 대형화, 중량화되는 문제가 있었다. 도 1에 기재된 XY 테이블 이외에 대부분의 XY 테이블은 톱 테이블을 움직이기 위해 톱 테이블 하부에 적어도 1 개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있다. 예를 들어 한국 공개특허공보 제2008-0083297호, 한국 공개특허공보 제2000-0006149호, 일본 공개특허공보 제2005-297189호 등 다수의 XY 테이블은 톱 테이블 하부에 적어도 1 개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있다. 본 개시는 종래 기술의 문제점을 해결하여, 간단하고 경량한 구조의 XY 테이블 시스템을 제시한다.
이에 대하여 '발명을 실시하기 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.
여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 제1 액추에이터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 제2 액추에이터; 제1 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 리니어 가이드; 제2 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 리니어 가이드; 제1 액추에이터 및 제2 액추에이터를 지지하는 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템이 제공된다.
이에 대하여 '발명의 실시를 위한 형태'의 후단에 기술한다.
도 1은 한국 공개특허공보 제2001-0013820호에 기재된 도면,
도 2는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 평면도,
도 3은 본 개시에 따른 제1 리니어 가이드 및 제2 리니어 가이드의 움직임을 설명한 도면,
도 4는 본 개시에 따른 리니어 가이드의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 다른 예의 평면도,
도 6은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 예의 평면도,
도 7은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주는 평면도,
도 8은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 일 예의 3D 도면,
도 9는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 다른 일 예의 3D 도면.
이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)).
도 2는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 평면도이다.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템(100)은, 테이블(110), 테이블을 제1 방향(121)으로 이동시키는 제1 액추에이터(120), 테이블(110)을 제2 방향(131)으로 이동시키는 제2 액추에이터(130), 제1 액추에이터(120) 및 테이블(110)에 결합되어 테이블(110)을 제2 방향(131)으로 가이드하는 제1 리니어 가이드(140), 제2 액추에이터(130) 및 테이블(110)에 결합되어 테이블(110)을 제1 방향(121)으로 가이드하는 제2 리니어 가이드(150), 제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(130)를 지지하는 지지부(160)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
테이블(110)은 제1 방향(121) 및 제2 방향(131)으로 움직일 수 있는 것으로, 도 1의 XY 테이블에서 톱 테이블에 해당한다. 테이블(110)에는 레이저가공 장치에서는 레이저 광원이 놓여 질 수 있으며, 반도체제조에서 와이어 본딩의 경우에는 와이어 본딩 헤드가 놓여 질 수 있다.
제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(130)는 테이블(110)을 각각 제1 방향(121) 및 제2 방향(131)으로 이동시킨다.
제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(130)는 도 1에 있는 구동모터에 이송나사가 연결된 것이어도 되나, 고속 제어를 위해서는 구동부(122, 132)와 이동부(123, 133)를 구비하고 있는 리니어 모터가 바람직하다. 도면에 도시하지는 않았지만, 리니어 모터의 이동부(123, 133)와 구동부(122, 132)가 리니어 가이드로 결합되어 있는 것은 당업자에게 잘 알려져 있다. 제1 액추에이터와 제2 액추에이터의 중심선이 수직으로 만나는 것이 바람직하다. 제1 액추에이터(120)와 제2 액추에이터(130)의 중심선(124, 134)이 수직으로 만날 때, 제1 방향(121)을 X 방향이라고 하고, 제2 방향을 Y 방향(131)이라고 할 수 있다.
제1 리니어 가이드(140)는 테이블(110)과 제1 액추에이터(120)를 직접 연결시킨다.
제1 리니어 가이드(140)는 제2 액추에이터(130)가 테이블(110)을 제2 방향(131)으로 이동시킬 때, 제1 액추에이터(120)를 움직이지 않고 테이블(110)만 제2 방향(131)으로 움직이게 가이드 한다.
제2 리니어 가이드(150)는 테이블(110)과 제2 액추에이터(130)를 직접 연결시킨다.
제2 리니어 가이드(150)는 제1 액추에이터(120)가 테이블(110)을 제1 방향(121)으로 이동시킬 때, 제2 액추에이터(130)를 움직이지 않고 테이블(110)만 제1 방향(121)으로 움직이게 가이드 한다.
제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(130)가 리니어 모터인 경우, 구동부(122, 132)는 지지부(160)에 결합 되어 지지부(160)에 의해 지지된다.
지지부(160)는 구동부(122, 132)를 지지하기 위한 것이라면 제한없이 가능하다. 제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(140)가 리니어 모터가 아닌 경우, 예를 들어 도 1에서와 같이 구동모터인 경우에는 구동모터가 지지부(160)에 결합 될 수 있다. 또한 도시하지는 않았지만 지지부(160)는 제1 액추에이터(120) 및 제2 액추에이터(130)에 각각 결합되어 2개의 지지부로 구성될 수도 있다.
도 3은 본 개시에 따른 제1 리니어 가이드 및 제2 리니어 가이드의 움직임을 설명한 도면이다.
도 3(a)에서 제1 리니어 가이드(140)는 테이블(110)과 결합하는 제1 측부(141)와 제1 액추에이터(120)와 결합하는 제2 측부(142)를 포함하고 있으며, 테이블(110)이 제2 방향(131)으로 움직일 때 제1 리니어 가이드(140)의 제1 측부(141)는 테이블(110)과 함께 제2 방향(131)으로 움직이지만, 제1 액추에이터(120)와 결합한 제2 측부(142)는 움직이지 않는다.
도 3(b)에서 제2 리니어 가이드(150)는 테이블(110)과 결합하는 제1 측부(151)와 제2 액추에이터(130)와 결합하는 제2 측부(152)를 포함하고 있으며, 테이블(110)이 제1 방향(121)으로 움직일 때 제2 리니어 가이드(150)의 제1 측부(151)는 테이블(110)과 함께 제1 방향(121)으로 움직이지만, 제2 액추에이터(130)와 결합한 제2 측부(152)는 움직이지 않는다.
도 3(c)은 제1 액추에이터(120)와 제2 액추에이터(130)가 동시에 작동하는 경우를 보여주고 있다. 도 3(a) 내지 도 3(b)에서 설명의 편의를 위해 지지부를 도시하지 않았다.
도 4는 본 개시에 따른 리니어 가이드의 일 예를 나타내는 도면이다.
본 개시에 사용될 수 있는 리니어 가이드(200)는 직선으로 움직이는 부분, 예를 들어 도 3에서의 테이블(110)이 고정되는 제1 측부(210)는 레일(230)을 따라 이동할 수 있다. 그리고 움직이지 않는 부분, 예를 들어 도 3에서의 제1 및 제2 액추에이터(120, 130)가 고정되는 제2 측부(220)는 레일(230)을 따라 움직이지 않는다. 도 4에 기재된 리니어 가이드(200)는 본 개시에 사용될 수 있는 리니어 가이드의 일 예이며, 동일한 기능을 수행하는 리니어 가이드는 본 개시에 모두 포함될 수 있다.
도 5는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 다른 예의 평면도이다.
본 개시에 따른 다른 일 예의 이동 가능한 테이블 시스템(300)은, 테이블(310), 테이블(310)을 제1 방향(321)으로 이동시키는 구동부(322)와 이동부(323)를 구비한 제1 리니어 모터(320), 테이블(310)을 제2 방향(331)으로 이동시키는 구동부(332)와 이동부(333)를 구비한 제2 리니어 모터(330), 제1 리니어 모터(320) 및 테이블(310)에 결합되어 테이블(310)을 제2 방향(321)으로 가이드하는 제1 리니어 가이드(340), 제2 리니어 모터(330) 및 테이블(310)에 결합되어 테이블(310)을 제1 방향(321)으로 가이드하는 제2 리니어 가이드(350), 제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)를 지지하는 지지부(360), 제1 리니어 모터(320)의 구동부(322) 및 지지부(360)와 결합되어 제1 리니어 모터(320)의 구동부(322)를 제1 방향(321)으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드(370) 및 제2 리니어 모터(330)의 구동부(332) 및 지지부(360)와 결합되어 제2 리니어 모터(330)의 구동부(332)를 제2 방향(331)으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드(380)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)의 구동부(322, 332)를 지지부(360)에 고정할 경우, 제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)의 이동부(323, 333)의 움직임에 의한 반력이 지지부(360)에 그대로 전달되어 지지부(360)가 흔들리는 문제가 있다. 본 개시에서는 이러한 문제를 해결하기 위하여, 제3 및 제4 리니어 가이드(370, 380)를 사용하여 지지부(360)와 제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)의 구동부(322, 332)를 연결하였다. 즉 제3 및 제4 리니어 가이드(370, 380)을 사용하여, 제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)의 구동부(322, 332)가 이동부(323, 333)의 반력에 의해 지지부(360) 위에서 움직일 수 있게 하였다. 제3 및 제4 리니어 가이드(370, 380)는 지지부(360)가 결합된 부분은 움직이지 않고, 제1 리니어 모터(320) 및 제2 리니어 모터(330)의 구동부(322, 332)가 결합된 부분이 움직이는 것이 바람직하며, 도 4에 기재된 리니어 가이드나 크로스롤러 테이블 등을 사용할 수 있다.
도 6은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 예의 평면도이다.
도 6(a), 도 6(b)에 개시된 이동 가능한 테이블 시스템(400)은 제1 리니어 모터(420) 및 제2 리니어 모터(430)의 구동부(422, 432)에 위치 조정부(440, 441, 450)를 추가한 것을 특징으로 한다. 제1 리니어 모터(420) 및 제2 리니어 모터(430)의 구동부(422, 432)가 제1 리니어 모터(420) 및 제2 리니어 모터(430)의 이동부(423, 433)의 반력에 의해 뒤로 이동한 후 이동하기 전의 위치로 되돌아 가는 것이 바람직하다. 이를 위해 위치 조정부(440, 441, 450)를 추가하였다. 위치 조정부는 도 6(a)에서와 같이 댐퍼(440) 및 스프링(441)을 결합하여 사용하거나, 도 6(b)에서와 같이 액추에이터(450)를 사용할 수 있다. 액추에이터(450)는 리니어 모터일 수 있다. 위치 조정부로서 액추에이터(450)를 사용하면, 이동 가능한 테이블 시스템(400)이 긴 스트로크의 XY 테이블(미도시) 위에 설치되어 가감속될 때, 관성반력에 의해 구동부(422, 432)가 이동되는 것을 능동적으로 막을 수 있는 장점도 갖게 된다.
도 7은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주는 평면도이다.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템에서 테이블에 레이저 광이 나오는 레이저 헤드를 직접 부착하여 사용하는 것과 이동 가능한 테이블 시스템의 외부에 설치된 레이저 헤드로부터 나오는 레이저 광을 이용하는 것이 있다. 도 7에는 외부에 설치된 레이저 광원을 이용하여 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주고 있다.
본 개시에 따른 레이저 광원이 설치된 이동 가능한 테이블 시스템(500)은 테이블(510), 테이블(510)을 제1 방향(521)으로 이동시키는 구동부(522)와 이동부(523)를 구비한 제1 리니어 모터(520), 테이블(510)을 제2 방향(531)으로 이동시키는 구동부(532)와 이동부(533)를 구비한 제2 리니어 모터(530), 제1 리니어 모터(520) 및 테이블(510)에 결합되어 테이블(510)을 제2 방향(531)으로 가이드하는 제1 리니어 가이드(540), 제2 리니어 모터(530) 및 테이블(510)에 결합되어 테이블(510)을 제1 방향(521)으로 가이드하는 제2 리니어 가이드(550), 제1 리니어 모터(520) 및 제2 리니어 모터(530)를 지지하는 지지부(560), 제1 리니어 모터(520) 및 제2 리니어 모터(530) 중 적어도 하나의 이동부(523, 533)에 설치된 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템(500)으로 들어오는 광의 경로(570)를 테이블(510) 방향으로 변경하는 제1 반사부(580), 제1 반사부(580)를 통해 테이블(510)로 들어온 광의 경로(571)을 테이블(510)로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 테이블(510)에 설치된 제2 반사부(590)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 테이블(510)으로부터 나가는 광의 경로는 도시하지 않았지만, 테이블(510) 면(511)에 수직한 방향으로 나가는 것이 바람직하다. 제1 반사부(580) 및 제2 반사부(590)는 레이저 광의 손실을 작게 할 수 있는 것이면 제한없이 사용할 수 있다. 예를 들어 거울도 가능하다. 또한 제2 반사부(590)로부터 나오는 레이저 광이 한 점에 더 잘 집중될 수 있도록 테이블(510)에 렌즈를 추가할 수 있다.
도 7(b)는 제1 리니어 모터(520)가 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있으며, 도 7(c)는 제2 리니어 모터(530)가 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있으며, 도 7(d)는 제1 리니어 모터(520) 및 제2 리니어 모터(530)이 함께 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있다. 도 7(b) 내지 도 7(d)는 외부에서 만들어진 레이저 광이 테이블로 전달되어 레이저 가공에 사용되는 것을 보여주고 있다. 도 7(b) 내지 도 7(d)에서 설명의 편의를 위해 지지부를 도시하지 않았다.
도 8은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 3D 도면이다.
도 8은 도 6(a)에 기재된 이동 가능한 테이블 시스템의 3D 도면이다.
3D로 표시한 이동 가능한 테이블 시스템(600)은, 테이블(610), 테이블(610)을 제1 방향(621)으로 이동시키는 구동부(622)와 이동부(623)를 구비한 제1 리니어 모터(620), 테이블(610)을 제2 방향(631)으로 이동시키는 구동부(632)와 이동부(633)를 구비한 제2 리니어 모터(630), 제1 리니어 모터(620) 및 테이블(610)에 결합되어 테이블(610)을 제2 방향(621)으로 가이드하는 제1 리니어 가이드(640), 제2 리니어 모터(630) 및 테이블(610)에 결합되어 테이블(610)을 제1 방향(621)으로 가이드하는 제2 리니어 가이드(650), 제1 리니어 모터(620) 및 제2 리니어 모터(630)를 지지하는 지지부(660), 제1 리니어 모터(620)의 구동부(622) 및 지지부(660)와 결합되어 제1 리니어 모터(620)의 구동부(622)를 제1 방향(621)으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드(670) 및 제2 리니어 모터(630)의 구동부(632) 및 지지부(660)와 결합되어 제2 리니어 모터(630)의 구동부(632)를 제2 방향(631)으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드(680), 제1 리니어 모터(620) 및 제2 리니어 모터(630)의 구동부(622, 632)가 제1 리니어 모터(620) 및 제2 리니어 모터(630)의 이동부(623, 633)의 반력에 의해 뒤로 이동한 후 이동하기 전의 위치로 되돌아 가도록 하는 댐퍼 및 스프링으로 구성된 위치 조정부(700)를 도시하고 있다. 또한 테이블(610)에 장착되어 있는 레이저 헤드(710)를 도시하고 있다. 또한 제1 리니어 모터(620)의 이동부(623)의 제1 위치센서(720) 및 제2 리니어 모터(630)의 이동부(633)의 제2 위치센서(721)를 도시하고 있다.
도 9는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 3D 도면이다.
도 9는 도 6(b)에 기재된 이동 가능한 테이블 시스템의 3D 도면으로, 도 8에 기재된 이동 가능한 테이블 시스템의 3D 도면에서 위치 조정부로서 댐퍼 및 스프링을 리니어 모터로 대체한 것을 보여준다. 즉 제1 리니어 모터(620) 및 제2 리니어 모터(630)의 구동부(622, 632)의 위치를 조정하기 위하여 제3 리니어 모터(730) 및 제4 리니어 모터(740)가 사용된 것을 보여주고 있다.
이하 본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다.
(1) 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 제1 액추에이터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 제2 액추에이터; 제1 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 리니어 가이드; 제2 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 리니어 가이드; 제1 액추에이터 및 제2 액추에이터를 지지하는 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(2) 제1 액추에이터 및 제2 액추에이터는 리니어 모터이고, 리니어 모터는 구동부와 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(3) 제1 액추에이터의 중심선 및 제2 액추에이터의 중심선이 수직으로 만나는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(4) 제1 리니어 가이드 및 제2 리니어 가이드는 각각 테이블과 결합하는 제1 측부와 제1 및 제2 액추에이터와 결합하는 제2 측부를 포함하며, 제1 리니어 가이드의 제1 측부는 제2 방향으로 움직이고, 제2 측부는 제2 방향으로는 고정되며, 제2 리니어 가이드의 제1 측부는 제1 방향으로 움직이고, 제2 측부는 제1 방향으로는 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(5) 제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부와 결합되어 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드;, 그리고 제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부와 결합되어 제2 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(6) 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 구동부는 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 각각 이동부가 움직이는 방향의 반대 방향으로 움직이는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(7) 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터 중 적어도 하나의 구동부와 연동하여 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 움직인 구동부를 본래의 위치로 움직이게 하는 위치 조정부;를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(8) 위치 조정부는 댐퍼 및 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(9) 위치 조정부는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(10) 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터 중 적어도 하나의 이동부와 연동하여 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템으로 들어오는 광의 경로를 테이블 방향으로 변경하는 제1 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(11) 테이블과 연동하여 제1 반사부를 통해 테이블로 들어온 광을 테이블로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 제2 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(12) 제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광의 경로는 테이블 면에 수직한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(13) 테이블과 연동하여 제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광을 집중하기 위한 렌즈;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(14) 테이블에 레이저 헤드가 장착된 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(15) 제1 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하기 위한 제1 위치센서; 그리고, 제2 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하기 위한 제2 위치센서; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템에 의하면, 구조가 간단하고,중량이 가벼운 이동 가능한 테이블 시스템을 만들 수 있다.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템에 의하면, 구조가 간단하고,중량이 가벼워 고속 제어가 용이한 이동 가능한 테이블 시스템을 만들 수 있다.
개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템에 의하면, 구조가 간단하고,중량이 가벼워 고속 제어가 용이한 이동 가능한 테이블 시스템을 이용한 레이저 가공장치를 만들 수 있다.

Claims (15)

  1. 테이블;
    테이블을 제1 방향으로 이동시키는 제1 액추에이터;
    테이블을 제2 방향으로 이동시키는 제2 액추에이터;
    제1 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 리니어 가이드;
    제2 액추에이터 및 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 리니어 가이드;
    제1 액추에이터 및 제2 액추에이터를 지지하는 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    제1 액추에이터 및 제2 액추에이터는 리니어 모터이고, 리니어 모터는 구동부와 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    제1 액추에이터의 중심선과 제2 액추에이터의 중심선이 수직으로 만나는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    제1 리니어 가이드 및 제2 리니어 가이드는 각각 테이블과 결합하는 제1 측부와 제1 액추에이터 및 제2 액추에이터와 결합하는 제2 측부를 포함하며,
    제1 리니어 가이드의 제1 측부는 제2 방향으로 움직이고, 제2 측부는 제2 방향으로는 고정되며,
    제2 리니어 가이드의 제1 측부는 제1 방향으로 움직이고, 제2 측부는 제1 방향으로는 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  5. 청구항 2에 있어서,
    제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부와 결합되어 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 그리고,
    제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부와 결합되어 제2 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  6. 청구항 5에 있어서,
    제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 구동부는 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 각각 이동부가 움직이는 방향의 반대 방향으로 움직이는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  7. 청구항 5에 있어서,
    제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터 중 적어도 하나의 구동부와 연동하여 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 움직인 구동부를 본래의 위치로 움직이게 하는 위치 조정부;를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  8. 청구항 7에 있어서,
    위치 조정부는 댐퍼 및 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  9. 청구항 7에 있어서,
    위치 조정부는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  10. 청구항 2에 있어서,
    제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터 중 적어도 하나의 이동부와 연동하여 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템으로 들어오는 광의 경로를 테이블 방향으로 변경하는 제1 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  11. 청구항 10에 있어서,
    테이블과 연동하여 제1 반사부를 통해 테이블로 들어온 광을 테이블로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 제2 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  12. 청구항 11에 있어서,
    제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광의 경로는 테이블 면에 수직한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  13. 청구항 11에 있어서,
    테이블과 연동하여 제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광을 집중하기 위한 렌즈;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  14. 청구항 1에 있어서,
    테이블에 레이저 헤드가 장착된 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  15. 청구항 2에 있어서,
    제1 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하기 위한 제1 위치센서; 그리고
    제2 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하기 위한 제2 위치센서; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
PCT/KR2016/000038 2015-01-13 2016-01-05 이동 가능한 테이블 시스템 WO2016114519A1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP16737483.4A EP3246614B1 (en) 2015-01-13 2016-01-05 Movable table system
JP2017536874A JP6347897B2 (ja) 2015-01-13 2016-01-05 移動可能なテーブルシステム
US15/644,294 US10183368B2 (en) 2015-01-13 2017-07-07 Movable table system

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2015-0006062 2015-01-13
KR1020150006062A KR101520401B1 (ko) 2015-01-13 2015-01-13 이동 가능한 테이블 시스템

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US15/644,294 Continuation US10183368B2 (en) 2015-01-13 2017-07-07 Movable table system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016114519A1 true WO2016114519A1 (ko) 2016-07-21

Family

ID=53394750

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2016/000038 WO2016114519A1 (ko) 2015-01-13 2016-01-05 이동 가능한 테이블 시스템

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10183368B2 (ko)
EP (1) EP3246614B1 (ko)
JP (1) JP6347897B2 (ko)
KR (1) KR101520401B1 (ko)
WO (1) WO2016114519A1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101520401B1 (ko) * 2015-01-13 2015-05-15 재단법인차세대융합기술연구원 이동 가능한 테이블 시스템
WO2017142102A1 (ko) * 2016-02-15 2017-08-24 재단법인차세대융합기술연구원 이동 가능한 테이블 시스템
CN108568788A (zh) * 2018-07-11 2018-09-25 南通理工学院 一种智能多功能工作台及控制方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0557551A (ja) * 1991-08-30 1993-03-09 Nippon Seiko Kk Ｘｙ位置決めテーブル
JP2001307983A (ja) * 2000-04-20 2001-11-02 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
JP2002343737A (ja) * 2001-05-11 2002-11-29 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd レーザアニール方法とレーザアニール装置
JP2008012638A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Mitsutoyo Corp 多軸テーブル
KR20100061137A (ko) * 2008-11-28 2010-06-07 (주)하드램 레이저를 이용한 기판 절단 장치

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55134414A (en) * 1979-04-06 1980-10-20 Hitachi Ltd Precise moving unit
KR0129662B1 (ko) * 1987-10-30 1998-04-07 고다까 토시오 이동 테이블 장치
US5301933A (en) * 1990-02-27 1994-04-12 Canon Kabushiki Kaisha Sample moving device
JPH09155665A (ja) * 1995-12-11 1997-06-17 Nippon Seiko Kk 位置決め装置
JPH1110467A (ja) 1997-06-18 1999-01-19 Yaskawa Electric Corp Ｘｙテーブル
JP2981999B1 (ja) 1998-06-16 1999-11-22 株式会社新川 半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びｘｙテーブル
JP3616543B2 (ja) * 1999-09-10 2005-02-02 日本電気株式会社 Ｘｙステージ
JP2001110699A (ja) * 1999-10-05 2001-04-20 Canon Inc ステージ装置および該ステージ装置を用いた露光装置
JP2005297189A (ja) 2005-05-30 2005-10-27 Nsk Ltd Ｘｙテーブル装置
JP4969455B2 (ja) 2005-12-06 2012-07-04 Ｔｈｋ株式会社 Ｘｙテーブルアクチュエータ
JP5119001B2 (ja) * 2008-02-28 2013-01-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 試料ステージ
US7959141B2 (en) * 2008-12-23 2011-06-14 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Stage apparatus
CN101556933A (zh) * 2009-05-15 2009-10-14 东南大学 一种运动解耦的xy向精密定位平台
JP5203299B2 (ja) * 2009-06-16 2013-06-05 住友重機械工業株式会社 反力処理機構、その反力処理機構を備えたステージ装置、及びそのステージ装置を備えた半導体検査装置
CN103226342B (zh) * 2013-04-28 2016-01-20 清华大学 高刚度并联双驱运动解耦伺服控制平台
KR101520401B1 (ko) * 2015-01-13 2015-05-15 재단법인차세대융합기술연구원 이동 가능한 테이블 시스템

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0557551A (ja) * 1991-08-30 1993-03-09 Nippon Seiko Kk Ｘｙ位置決めテーブル
JP2001307983A (ja) * 2000-04-20 2001-11-02 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
JP2002343737A (ja) * 2001-05-11 2002-11-29 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd レーザアニール方法とレーザアニール装置
JP2008012638A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Mitsutoyo Corp 多軸テーブル
KR20100061137A (ko) * 2008-11-28 2010-06-07 (주)하드램 레이저를 이용한 기판 절단 장치

Also Published As

Publication number Publication date
EP3246614A4 (en) 2018-10-24
US10183368B2 (en) 2019-01-22
EP3246614B1 (en) 2019-10-09
JP6347897B2 (ja) 2018-06-27
KR101520401B1 (ko) 2015-05-15
US20170320177A1 (en) 2017-11-09
JP2018508371A (ja) 2018-03-29
EP3246614A1 (en) 2017-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016114519A1 (ko) 이동 가능한 테이블 시스템
WO2012169748A2 (ko) 병렬형 머니퓰레이터
CN102214593A (zh) 被处理体的支撑机构、支撑方法及搬运系统
WO2011093553A1 (ko) 평면 3자유도 스테이지
GB2082510A (en) Automatic recording instrument
ITMI922168A1 (it) Dispositivo per il bloccaggio ed il mantenimento in posizione di lastre di vetro sagomabili durante la loro lavorazione.
KR20020092796A (ko) 스테이지 장치 및 노광장치
WO2017188481A1 (ko) 백래쉬 조절장치 및 이를 구비한 팬틸트 모듈
WO2020204458A1 (ko) 광각 고해상도 거리 측정 장치
US20200238539A1 (en) End effector
WO2014042337A1 (en) Lens barrel assembly and photographing apparatus including the same
TWI572542B (zh) Workpiece cable assembly
WO2017142102A1 (ko) 이동 가능한 테이블 시스템
US4585331A (en) Optical scanning system utilizing linear drive motors
KR100271022B1 (ko) 로프리스 엘리베이터
CN103576464B (zh) 一种推顶机构及具有该推顶机构的光刻装置
WO2010047523A2 (ko) 복수의 라인패턴을 활용한 3차원 스캐닝 장치 및 방법
WO2015084087A1 (ko) 레이저 가공기
US5546238A (en) Zoom lens having high speed multi-lens drive
US4448514A (en) Split exposure optical system for copying machine
JPH11126996A (ja) 部品搭載装置
GB2280883A (en) Device for preventing swinging of a hung load
WO2022260280A1 (ko) 광학 시스템
CN216938998U (zh) 一种上下式四头fpc覆盖膜全自动切割设备
CN217822721U (zh) 用于微元件非接触式转移的装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16737483

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017536874

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2016737483

Country of ref document: EP