JP6347897B2 - 移動可能なテーブルシステム - Google Patents
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Description
Claims (13)
- テーブルと、
テーブルを第1方向に移動させる第1リニアモーターと、
テーブルを第2方向に移動させる第2リニアモーターと、
第1リニアモーター及びテーブルに結合されてテーブルを第2方向にガイドする第1リニアガイドと、
第2リニアモーター及びテーブルに結合されてテーブルを第1方向にガイドする第2リニアガイドと、
第1リニアモーター及び第2リニアモーターを支持する支持部とを含み、
第1リニアモーターの駆動部及び支持部と結合されて第1リニアモーターの駆動部を第1方向にガイドする第3リニアガイド、及び第2リニアモーターの駆動部及び支持部と結合されて第2リニアモーターの駆動部を第2方向にガイドする第4リニアガイド、の少なくとも一つを含むことを特徴とする、移動可能なテーブルシステム。 - 第1リニアモーターの中心線と第2リニアモーターの中心線とが垂直に交わることを特徴とする、請求項1に記載の移動可能なテーブルシステム。
- 第1リニアガイド及び第2リニアガイドはそれぞれ、テーブルと結合する第1側部、及び第1リニアモーター及び第2リニアモーターと結合する第2側部を含み、
第1リニアガイドの第1側部は第2方向に動き、第2側部は第2方向には固定され、
第2リニアガイドの第1側部は第1方向に動き、第2側部は第1方向には固定されていることを特徴とする、請求項1に記載の移動可能なテーブルシステム。 - 第1リニアモーター及び第2リニアモーターの駆動部は、第1リニアモーター及び第2リニアモーターの移動部が動いて発生する反力によってそれぞれ移動部が動く方向の反対方向に動くことを特徴とする、請求項1に記載の移動可能なテーブルシステム。
- 第1リニアモーター及び第2リニアモーターのうち少なくとも一つの駆動部と連動して第1リニアモーター及び第2リニアモーターの移動部が動いて発生する反力によって動いた駆動部を本来の位置に動くようにする位置調整部を含んでいることを特徴とする、請求項1に記載の移動可能なテーブルシステム。
- 位置調整部はダンパー及びスプリングを含むことを特徴とする、請求項5に記載の移動可能なテーブルシステム。
- 位置調整部はリニアモーターであることを特徴とする、請求項5に記載の移動可能なテーブルシステム。
- 第1リニアモーター及び第2リニアモーターのうち少なくとも一つの移動部と連動して外部から移動可能なテーブルシステムに入ってくる光の経路をテーブル方向に変更する第1反射部を含むことを特徴とする、請求項1に記載の移動可能なテーブルシステム。
- テーブルと連動して第1反射部を通じてテーブルに入ってきた光をテーブルから出るように光の経路を変更する第2反射部を含むことを特徴とする、請求項8に記載の移動可能なテーブルシステム。
- 第2反射部に反射されてテーブルから出る光の経路は、テーブル面に垂直であることを特徴とする、請求項9に記載の移動可能なテーブルシステム。
- テーブルと連動して第2反射部に反射されてテーブルから出る光を集めるためのレンズを含むことを特徴とする、請求項9に記載の移動可能なテーブルシステム。
- テーブルにレーザーヘッドが装着されたことを特徴とする、請求項1に記載の移動可能なテーブルシステム。
- 第1リニアモーターの移動部の支持部に対する変位を測定するための第1位置センサー、及び第2リニアモーターの移動部の支持部に対する変位を測定するための第2位置センサー、の少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項1に記載の移動可能なテーブルシステム。
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