CN103226342B - 高刚度并联双驱运动解耦伺服控制平台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，主要包括：基座、第一直线电机组、第二直线电机组、解耦组件和运动平台。根据本发明实施例，采用并联式双驱结构，下层两条平行导轨增加了平台的整体刚度，更有效地抑制了平台在水平方向的俯仰和扭转，上层导轨同时起到了对运动平台的支撑，提高了负载能力。整个系统结构紧凑、对称，两个方向的运动组件可以完全互换，便于加工及维护；采用双驱式设计使得驱动力直接通过运动平台质量中心，有效抑制了平台在水平方向的扭转，从而使得从平台驱动力电信号的输入到运动平台的运动的执行结果在每个运动方向上更加一致，有利于控制平面运动的轨迹轮廓精度。

Description

高刚度并联双驱运动解耦伺服控制平台

技术领域

本发明涉及两轴联动解耦机构和直驱技术领域，更具体地，涉及一种高刚度并联运动解耦伺服控制平台。

背景技术

目前广泛采用的两轴平面运动平台多采用旋转电机加滚珠丝杠等传动方式，该方式下，旋转电机通过丝杠将旋转运动转化为直线运动，存在传动环节，使得运动副之间存在间隙等非线性环节，且运动部分质量大，限制了平台的运动速度、加速度及控制精度等性能指标。所以开发新型驱动方式和机构（低摩擦、高加速度、运动解耦机构）的高速高精度运动系统已成为激光加工、精密光电检测等领域的重要研究内容。目前高速精密/超精密伺服平台多采用直线电机驱动的方式取代以往的旋转电机驱动方式以简化工作组件组成、减少装配和组件间隙误差。

串联式平台由底层驱动电机和上层驱动电机组成实现两个方向上的运动，其中底层电机的负载必然大于上层电机的负载，在设计上存在先天的不对称性；底层平台驱动质量较大、运动惯量较大，不利于高速、高加速轨迹跟踪控制的实施。并联式平台以其高对称性，以及完全独立的解耦机构在高速高加速轨迹跟踪控制方面具有其独特优势。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种并联的运动质量小、精度高、具有相当负载能力的并联式双驱运动解耦伺服控制平台。

根据本发明实施例的并联运动解耦伺服控制平台，包括：基座、第一直线电机组、第二直线电机组、解耦组件、和运动平台。所述第一直线电机组包括两个平行放置的第一直线电机，所述第二直线电机组包括两个平行放置的第二直线电机，所述第一直线电机安装在所述基座上且所述第一直线电机的第一电机动子可沿第一水平方向移动，所述第二直线电机安装在所述基座上且所述第二直线电机的第二电机动子可沿第二水平方向移动，所述第一水平方向和第二水平方向相互垂直；解耦组件，所述解耦组件包括两层，所述解耦组件的下层包括两个沿所述第一水平方向的第一导轨组和两个沿所述第二水平方向的第二导轨组，所述第一导轨组分别与所述第一电机动子和所述基座相连且所述第二导轨组分别与所述第二电机动子和所述基座相连，所述解耦组件的上层包括沿所述第二水平方向的第一滑轨组和沿所述第一水平方向的第二滑轨组；所述运动平台安装在所述第一直线电机组和所述第二直线电机组之间，所述第一滑轨组分别与所述运动平台和所述第一电机动子相连，所述第二滑轨组分别与所述运动平台和所述第二电机动子相连，所述第一直线电机组可驱动所述运动平台沿所述第一水平方向移动，所述第二电机组可驱动所述运动平台沿所述第二水平方向移动。

根据本发明实施例的并联运动解耦伺服控制平台，采用并联式结构，结构简单且对称，第一和第二水平方向的运动组件可以互换，便于加工及维护，采用双驱式结构，有利于驱动力通过运动质量中心从而防止平台在水平面方向的扭转，下层的双导轨设计增加了平台的整体刚度有利于保证平台的平面运动精度及平台的水平度；本发明第一传感器与第二传感器直接检测运动平台在第一和第二水平方向的位移信号从而行成全闭环反馈；从驱动力电信号的输入到运动平台的运动的执行结果在每个运动方向上更加一致，并且有利于控制平面运动的轨迹轮廓精度。

另外，根据本发明实施例的高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，所述第一电机动子上设有第一连接块，所述第一滑轨组包括第一滑块和与所述第一滑块相适配的第一滑轨，所述第一滑块在所述运动平台的底面沿所述第二水平方向延伸，且所述第一滑轨与所述第一电机动子通过第一连接块相连，所述第二电机动子上设有第二连接块，所述第二滑轨组包括第二滑块和与所述第二滑块相适配的第二滑轨，所述第二滑块在所述运动平台的底面沿所述第一水平方向延伸，所述第二滑轨与所述第二电机动子通过第二连接块相连。

可选地，所述第一导轨组包括第一导轨和与所述第一导轨相适配的第一滑槽，所述第一导轨在所述基座上沿所述第一水平方向延伸，所述第一滑槽设在所述第一连接块的下部，所述第二导轨组包括第二导轨和与所述第二导轨相适配的第二滑槽，所述第二导轨在所述基座上沿所述第二水平方向延伸，所述第二滑槽设在所述第二连接块的下部。

根据本发明的一个实施例，所述第一导轨组与所述第一滑轨组相互垂直，所述第二导轨组与所述第二滑轨组相互垂直。

根据本发明的一个实施例，所述第一电机动子和所述第二电机动子均为永磁体。

优选地，所述第一滑块和所述第二滑块与所述运动平台一体形成。

根据本发明的一个实施例，还包括第一位移传感器和第二位移传感器，所述第一位移传感器安装在所述第一连接块上用于检测所述运动平台沿第一水平方向移动的位移，所述第二位移传感器安装在所述第二连接块上用于检测所述运动平台沿第二水平方向移动的位移。

根据本发明的一个实施例，所述第一位移传感器包括：第一光栅和第一计数器。所述第一光栅安装在所述运动平台沿第一水平方向的第一侧边上；所述第一计数器安装在所述第一连接块上以计量所述第一光栅在所述第一水平方向上的移动位移。

根据本发明的一个实施例，所述第二位移传感器包括：第二光栅和第二计数器。第二光栅安装在所述运动平台沿第二水平方向的第二侧边上；所述第二计数器安装在所述第二连接块上以计量所述第二光栅在所述第二水平方向上的移动位移。

根据本发明的一个实施例，所述第一直线电机和第二直线电机为音圈直线电机。

可选地，所述第一直线电机的第一电机动子为永磁体，第二直线电机的第二电机动子为永磁体。

根据本发明的一个实施例，所述第一直线电机和第二直线电机的电磁线圈均固定安装在所述基座上，且所述第一直线电机的电缆线由所述第一直线电机的第一电机定子引出，所述第二直线电机的电缆线由所述第二直线电机的第二电机定子引出。从而避免了电缆线运动对系统性能造成的影响。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的并联双驱运动解耦伺服控制平台的等轴侧图；

图2是根据图1中所示的并联双驱运动解耦伺服控制平台的右视图；

图3是根据图1中所示的并联双驱运动解耦伺服控制平台的俯视图；

图4是根据图1中所示的并联双驱运动解耦伺服控制平台的实施例等轴侧图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“长度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1至图4所示，根据本发明实施例的高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，包括：基座10、第一直线电机组20、第二直线电机组30、解耦组件和运动平台40。

第一直线电机组20包括两个平行放置的第一直线电机，第二直线电机组30包括两个平行放置的第二直线电机，所述第一直线电机安装在基座10上且所述第一直线电机的第一电机动子21可沿第一水平方向（即如图1所示的Y向）移动，所述第二直线电机安装在基座10上且所述第二直线电机的第二电机动子31可沿第二水平方向（即如图1所示的Y向）移动，第一水平方向和第二水平方向相互垂直。所述解耦组件包括两层，所述解耦组件的下层包括两个沿所述第一水平方向的第一导轨组和两个沿所述第二水平方向的第二导轨组，所述第一导轨组分别与第一电机动子21和基座10相连，且所述第二导轨组分别与第二电机动子31和基座10相连，所述解耦组件的上层包括沿所述第二水平方向的第一滑轨组和沿所述第一水平方向的第二滑轨组。运动平台40安装在第一直线电机组20和第二直线电机组30之间，所述第一滑轨组分别与运动平台40和第一电机动子21相连，所述第二滑轨组分别与运动平台40和第二电机动子31相连，第一直线电机组20可驱动运动平台40沿所述第一水平方向移动，第二直线电机组30可驱动所述运动平台沿所述第二水平方向移动。

第一电机动子21上设有第一连接块23，所述第一滑轨组包括第一滑块41和与第一滑块41相适配的第一滑轨22，第一滑块41在运动平台40的底面沿所述第二水平方向延伸，第一滑轨22与第一电机动子21通过第一连接块23相连，第二电机动子31上设有第二连接块33，所述第二滑轨组包括第二滑块42和与第二滑块42相适配的第二滑轨32，第二滑块42在运动平台40的底面沿所述第一水平方向延伸，第一滑轨22与第二电机动子31通过第二连接块33相连。

所述第一导轨组包括第一导轨25和与第一导轨25相适配的第一滑槽24，第一导轨25在基座10上沿所述第一水平方向延伸，第一滑槽24设在第一连接块23的下部，所述第二导轨组包括第二导轨35和与第二导轨35相适配的第二滑槽34，第二导轨35在基座10上沿所述第二水平方向延伸，第二滑槽34设在第二连接块33的下部。

所述第一导轨组与所述第一滑轨组相互垂直，所述第二导轨组与所述第二滑轨组相互垂直。

第一滑块41和第二滑块42与运动平台40一体形成。

第一电机动子21和第二电机动子31均为永磁体。

所述第一直线电机和第二直线电机的电磁线圈均固定安装在基座10上，且所述第一直线电机的电缆线由第一直线电机的第一电机定子引出，所述第二直线电机的电缆线由第二直线电机的第二电机定子引出。

还包括第一位移传感器和第二位移传感器，所述第一位移传感器安装在第一连接块23上用于检测运动平台40沿第一水平方向移动的位移，所述第二位移传感器安装在第二连接块33上用于检测运动平台40沿第二水平方向移动的位移。

所述第一位移传感器包括：第一光栅和第一计数器。所述第一光栅安装在运动平台40沿第一水平方向的第一侧边上，从而使得运动平台40的整体布局更加紧凑；所述第一计数器安装在第一连接块23上以计量所述第一光栅在所述第一水平方向上的移动位移。

所述第二位移传感器包括：第二光栅和第二计数器。第二光栅安装在运动平台40沿第二水平方向的第二侧边上，从而使得运动平台的整体布局更加紧凑；所述第二计数器安装在第二连接块33上以计量所述第二光栅在所述第二水平方向上的移动位移。

下面结合附图具体描述根据本发明实施例的并联运动解耦伺服控制平台。

如图1至图4所示，根据本发明实施例的并联运动解耦伺服控制平台包括：基座10、第一直线电机组20、第二直线电机组30和运动平台40。

具体而言，第一直线电机组20和第二直线电机组30分别安装在基座10上且分别沿相互垂直的第一水平方向（如图1中所示的Y向）和第二水平方向（如图1中所示的X向）延伸。第一直线电机组20和第二直线电机组30分别包括第一电机动子21和第二电机动子31，第一电机动子21和第二电机动子31分别与第一直线电机组20和第二直线电机组30相连且分别在第一直线电机20和第二直线电机30的驱动下沿第一水平方向和第二水平方向移动。

运动平台40安装在第一直线电机组20和第二直线电机组30之间，运动平台40的底面分别与第一电机动子21和第二电机动子31相连且分别在第一电机动子21和第二电机动子31的驱动下沿第一和第二水平方向移动。

由此，根据本发明实施例的并联双驱运动解耦伺服控制平台，采用并联式结构，结构简单且对称，第一和第二水平方向的运动组件可以互换，便于加工及维护，并且在工作时更容易保证运动平台40在运动时的水平度，采用双驱式结构，有利于驱动力通过运动质量中心从而防止了平台在水平面方向的扭转的趋势，双下层导轨的设计增加了平台的整体刚性有利于保证平台平面运动精度；本发明第一传感器与第二传感器更精确、直接的检测运动平台的运动信号在控制上行成全闭环；从驱动力电信号的输入到运动平台40运动的执行结果在每个运动方向上更加一致，有利于控制平面运动的轨迹轮廓精度。

根据本发明的一个实施例，运动平台40大体行程为矩形，运动平台40的底面设有沿第二水平方向延伸形成的第一滑块41，运动平台40的底面设有沿第一水平方向延伸形成的第二滑块42。并且，运动平台40与第一电机动子21之间设有与第一滑块41适配的第一滑轨22，第一滑块41可滑动地安装在第一滑轨22内以使运动平台40在第二水平方向运动。运动平台40与第二电机动子组31之间设有与第二滑块42适配的第二滑轨32，第二滑块42可滑动地安装在第二滑轨32内以使运动平台40在第一水平方向运动。

由此，通过第一滑块41与第一滑轨22以及第二滑块42与第二滑轨32的配合，可以实现运动平台40在第一水平方向和第二水平方向上的运动。

优选地，如图2和图3所示，根据本发明的一个实施例，第一直线电机组20上形成有沿第一水平方向延伸的第一导轨25，第二直线电机30上形成有沿第二水平方向延伸的两条第二导轨35且两条第一导轨25和两条第二导轨35相互垂直。第一滑轨22与第一电机动子组21通过第一连接块23相连且第一连接块23下部形成有与第一导轨25适配的第一滑槽24，相应地，第二滑轨32与第二电机动子组31通过第二连接块33相连且第二连接块33下部形成有与第二导轨35适配的第二滑槽34。由此，通过第一导轨25和第二导轨35与第一滑块轨22和第二滑块轨32的配合，可以实现运动平台40在第一和第二水平方向上的运动，并且保证了运动平台40在第一和第二水平方向上的运动轨迹。另外，运动平台40只通过第一滑轨22、第二滑轨32与第一直线电机20和第二直线电机30连接，减少了线缆对于运动平台40的非线性干扰，提高了系统刚度，增加了系统带宽。

需要理解的是，第一滑块41与第二滑块42与运动平台40的连接结构没有特殊限制，优选地，根据本发明的一个实施例，第一滑块41和第二滑块42与运动平台40一体形成。由此，在不影响其装配以及功能的前提下，可以提高运动平台40整体的结构稳定性，并且降低制备成本。

为了检测并记录运动平台40的移动距离，如图4所示，根据本发明的一个实施例，还包括第一位移传感器50和第二位移传感器60，第一位移传感器50和第二位移传感器60分别安装在第一连接块23和第二连接快33上以检测运动平台40的移动距离。

具体地，第一位移传感器50包括第一光栅51和第一计数器52。其中，第一光栅51安装在运动平台40的第一水平方向侧边上。其具体安装方法没有特殊限制，将第一光栅51贴在平台40底面的侧边即可。

第一计数器52安装在第一连接块23上以计量第一光栅51在第一水平方向上的移动距离，从而计量运动平台在第一水平方向上的移动距离。第一计数器52可以通过螺钉固定安装在第一连接块23上，并且其计量结果可以通过信号线输出。

第二位移传感器60包括：第二光栅61和第二计数器62。

其中，第二光栅61安装在运动平台40的第二水平方向侧边上。其具体安装方法没有特殊限制，将第二光栅61贴在运动平台40底面的侧边即可。

第二计数器62安装在第二连接块33上以计量第二光栅61在第二水平方向上的移动距离，从而计量运动平台40在第二水平方向上的移动距离。第二计数器62可以通过螺钉固定安装在第二连接块33上，并且其计量结果可以通过信号线输出。

根据本发明的一个实施例，第一直线电机组20和第二直线电机组30为音圈直线电机。优选地，第一直线电机组20和第二直线电机组30的第一电机动子21和第二电机动子31为永磁体。关于音圈直线电机以及永磁体，对于本领域普通技术人员来说，是可以理解并且容易实现的，因此不做详细描述。

根据本发明的一个实施例，第一直线电机组20和第二直线电机组30的电磁线圈固定安装在基座10上，且第一直线电机组20和第二直线电机组30的电缆线由第一电机动子组21和第二电机动子组31引出。由此，通过信号线可直接从电磁线圈上引出，通过控制流入电磁线圈的电流，即可完成运动平台40在第一和第二水平方向上的运动。

下面具体描述根据本发明实施例的并联运动解耦伺服控制平台的工作原理。

当只为第一直线电机组20通电工作时，第一电机动子组21沿第一水平方向运动，并且驱动第一滑轨22，第一滑轨22带动运动平台40，使运动平台40的第二滑块42与第二滑轨32形成相对运动，即运动平台40沿第一水平方向发生位移。此时，第一滑块41与第一滑轨22之间没有相对运动，除运动平台40外的运动质量只有第一电机动子组21、第一滑块41、第二滑块42、第一滑轨22、第一连接块23和第一滑槽24。第一位移传感器50测量运动平台40沿第一水平方向发生位移的距离。

当只为第二直线电机组30通电工作时，第二电机动子组31沿第二水平方向运动，并且驱动第二滑轨32，第二滑轨32带动运动平台40，使运动平台40的第一滑块41与第一滑轨22形成相对运动，即运动平台40沿第二水平方向发生位移。此时，第二滑块42与第二滑轨32之间没有相对运动，除运动平台40外的运动质量只有第二电机动子组31、第一滑块41、第二滑块42、第二滑轨22、第二连接块33和第二滑槽34。第二位移传感器60测量运动平台40沿第二水平方向发生位移的距离。

当第一直线电机组20和第二直线电机组30同时通电工作时，运动平台40在第一水平方向和第二水平方向形成的平面，即图1中所示的XY平面内做平面运动。第一位移传感器50和第二位移传感器60分别测量出运动平台40在第一水平方向和第二水平方向两个方向上的位移，并反馈给计算机，通过控制算法计算电机所需的控制电压，从而实现运动平台40在第一水平方向和第二水平方向上的精密运动控制。

与现有的并联式伺服平台相比，本发明的结构更加紧凑，具有更高的系统刚度。具体地讲，与中国发明专利“并联运动解耦伺服平台”相比，由于本发明中工作台的底面由两条导轨支撑，因此显著提高了其负载能力；且底层的双导轨设计显著抑制了并联运动平台的扭转，从而提高了伺服平台的稳定性与运动精度；与美国伊利诺伊大学J.A.Stori等人发明的一种并联解耦运动平台相比，本发明改善并提高了系统刚度和平面运动精度,两层导轨结构有助于降低运动平台质量中心，从而在高频运动情况下使得结构件更加稳定，且驱动力通过运动平台质量中心从而减少了运动平台的扭转等干扰；此外，采用音圈电机驱动在理论上具有无线分辨率、无滞后、高响应、高速、体积小等优点。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (9)

1.一种高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，其特征在于，包括：

基座；

第一直线电机组和第二直线电机组，所述第一直线电机组包括两个平行放置的第一直线电机，所述第二直线电机组包括两个平行放置的第二直线电机，所述第一直线电机安装在所述基座上且所述第一直线电机的第一电机动子可沿第一水平方向移动，所述第二直线电机安装在所述基座上且所述第二直线电机的第二电机动子可沿第二水平方向移动，所述第一水平方向和第二水平方向相互垂直；

解耦组件，所述解耦组件包括两层，所述解耦组件的下层包括两个沿所述第一水平方向的第一导轨组和两个沿所述第二水平方向的第二导轨组，所述第一导轨组分别与所述第一电机动子和所述基座相连且所述第二导轨组分别与所述第二电机动子和所述基座相连，所述解耦组件的上层包括沿所述第二水平方向的第一滑轨组和沿所述第一水平方向的第二滑轨组；和

运动平台，所述运动平台安装在所述第一直线电机组和所述第二直线电机组之间，所述第一滑轨组分别与所述运动平台和所述第一电机动子相连，所述第二滑轨组分别与所述运动平台和所述第二电机动子相连，所述第一直线电机组可驱动所述运动平台沿所述第一水平方向移动，所述第二电机组可驱动所述运动平台沿所述第二水平方向移动；

所述第一电机动子上设有第一连接块，所述第一滑轨组包括第一滑块和与所述第一滑块相适配的第一滑轨，所述第一滑块在所述运动平台的底面沿所述第二水平方向延伸，且所述第一滑轨与所述第一电机动子通过第一连接块相连，所述第二电机动子上设有第二连接块，所述第二滑轨组包括第二滑块和与所述第二滑块相适配的第二滑轨，所述第二滑块在所述运动平台的底面沿所述第一水平方向延伸，所述第二滑轨与所述第二电机动子通过第二连接块相连。

2.根据权利要求1所述的高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，其特征在于，所述第一导轨组包括第一导轨和与所述第一导轨相适配的第一滑槽，所述第一导轨在所述基座上沿所述第一水平方向延伸，所述第一滑槽设在所述第一连接块的下部，所述第二导轨组包括第二导轨和与所述第二导轨相适配的第二滑槽，所述第二导轨在所述基座上沿所述第二水平方向延伸，所述第二滑槽设在所述第二连接块的下部。

3.根据权利要求1和2中任一项所述的高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，其特征在于，所述第一导轨组与所述第一滑轨组相互垂直，所述第二导轨组与所述第二滑轨组相互垂直。

4.根据权利要求1所述的高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，其特征在于，所述第一滑块和所述第二滑块与所述运动平台一体形成。

5.根据权利要求1所述的高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，其特征在于，所述第一电机动子和所述第二电机动子均为永磁体。

6.根据权利要求1所述的高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，其特征在于，所述第一直线电机和第二直线电机的电磁线圈均固定安装在所述基座上，且所述第一直线电机的电缆线由所述第一直线电机的第一电机定子引出，所述第二直线电机的电缆线由所述第二直线电机的第二电机定子引出。

7.根据权利要求1所述的高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，其特征在于，还包括第一位移传感器和第二位移传感器，所述第一位移传感器安装在所述第一连接块上用于检测所述运动平台沿第一水平方向移动的位移，所述第二位移传感器安装在所述第二连接块上用于检测所述运动平台沿第二水平方向移动的位移。

8.根据权利要求7所述的高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，其特征在于，所述第一位移传感器包括：

第一光栅，所述第一光栅安装在所述运动平台沿第一水平方向的第一侧边上；和

第一计数器，所述第一计数器安装在所述第一连接块上以计量所述第一光栅在所述第一水平方向上的移动位移。

9.根据权利要求8所述的高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，其特征在于，所述第二位移传感器包括：

第二光栅，第二光栅安装在所述运动平台沿第二水平方向的第二侧边上；和

第二计数器，所述第二计数器安装在所述第二连接块上以计量所述第二光栅在所述第二水平方向上的移动位移。