JP2018508371A

JP2018508371A - 移動可能なテーブルシステム

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Publication number: JP2018508371A
Application number: JP2017536874A
Authority: JP
Inventors: ヨンボンバン
Original assignee: イノシックスインコーポレイテッド
Priority date: 2015-01-13
Filing date: 2016-01-05
Publication date: 2018-03-29
Anticipated expiration: 2036-01-05
Also published as: US10183368B2; JP6347897B2; EP3246614B1; EP3246614A4; WO2016114519A1; KR101520401B1; EP3246614A1; US20170320177A1

Abstract

本開示は、テーブル；テーブルを第１方向に移動させる第１アクチュエータ；テーブルを第２方向に移動させる第２アクチュエータ；第１アクチュエータ及びテーブルに結合されてテーブルを第２方向にガイドする第１リニアガイド；第２アクチュエータ及びテーブルに結合されてテーブルを第１方向にガイドする第２リニアガイド；第１アクチュエータ及び第２アクチュエータを支持する支持部；を含むことを特徴とする移動可能なテーブルシステムに関する。【選択図】図２

Description

本開示（Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ）は全体的に、移動可能なテーブルシステムに関し、特に、垂直の２方向に移動可能なテーブルシステムに関する。

ここでは、本開示に関する背景技術が提供され、それらが必ずしも公知技術を意味するわけではない（Ｔｈｉｓｓｅｃｔｉｏｎｐｒｏｖｉｄｅｓｂａｃｋｇｒｏｕｎｄｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎｒｅｌａｔｅｄｔｏｔｈｅｐｒｅｓｅｎｔｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅｗｈｉｃｈｉｓｎｏｔｎｅｃｅｓｓａｒｉｌｙｐｒｉｏｒａｒｔ）。

移動可能なテーブルシステム、特に、垂直の２方向に移動可能なテーブルシステムは一般にＸＹテーブルと知られている。

図１は、韓国特許出願公開第２００１−００１３８２０号公報に記載されている図である。

説明の便宜のために図面符号を新しく付している。

図１において、ＸＹテーブルは、ベース２０、ベース２０上にＸ軸方向に設置されたガイドレール２１、ガイドレール２１の端部にＹ軸方向に設置されたガイドレール２２、ガイドレール２１上に配置され、Ｘ軸方向に移動可能に結合されたＸ軸テーブル２３、Ｘ軸テーブル２３上に配置された２つのガイドローラ２４，２５、Ｘ軸駆動モーター２６、Ｘ軸駆動モーター２６に連結されたＸ軸移送ねじ２７、ガイドレール２２上に配置され、Ｙ軸方向に移動可能に結合されたＹ軸テーブル２８、Ｙ軸テーブル２８上に配置されたＸ軸方向のガイドレール２９、Ｙ軸駆動モーター３０、Ｙ軸駆動モーター３０に連結されたＹ軸移送ねじ３１、Ｘ軸テーブル２３とＹ軸テーブル２８上に配置されたトップテーブル３２を含んでいる。ＸＹテーブル１０は、Ｘ軸駆動モーター２６を駆動すると、Ｘ軸駆動モーター２６の回転軸に連結されたＸ軸移送ねじ２７を通じてＸ軸テーブル２３がＸ軸方向に移動すると同時に、Ｘ軸テーブル２３上に設けられたガイドローラ２４，２５を通じてトップテーブル３２がＸ軸方向に移動する。次いで、Ｙ軸駆動モーター３０を駆動すると、このＹ軸駆動モーター３０に連結されたＹ軸移送ねじ３１を通じてＹ軸テーブル２８がＹ軸方向に移動すると同時に、Ｙ軸テーブル２８上に配置されたトップテーブル３２がＹ軸方向にＹ軸テーブル２８と共に移動する。

しかしながら、トップテーブル３２のＸ軸方向及びＹ軸方向の動きのためには下部にＸ軸テーブル２３、Ｙ軸テーブル２８及びベース２０の構造が必要であり、これは、ＸＹテーブル１０の構造が全体として大型化、重量化するという問題につながる。図１に記載しているＸＹテーブルの他にも大部分のＸＹテーブルは、トップテーブルを動かすためにトップテーブルの下部に少なくとも１個の動くテーブルを配置している。例えば、韓国特許出願公開第２００８−００８３２９７号公報、韓国特許出願公開第２０００−０００６１４９号公報、日本特許出願公開第２００５−２９７１８９号公報などの多数のＸＹテーブルは、トップテーブルの下部に少なくとも１個の動くテーブルを配置している。本開示は、従来技術の問題点を解決して、簡単且つ軽量な構造のＸＹテーブルシステムを提示する。

これについては「発明を実施するための形態」の後段に記述する。

ここでは、本開示の全体的な要約（Ｓｕｍｍａｒｙ）が提供され、これが本開示の範囲を制限するものと理解されてはならない（Ｔｈｉｓｓｅｃｔｉｏｎｐｒｏｖｉｄｅｓａｇｅｎｅｒａｌｓｕｍｍａｒｙｏｆｔｈｅｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅａｎｄｉｓｎｏｔａｃｏｍｐｒｅｈｅｎｓｉｖｅｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅｏｆｉｔｓｆｕｌｌｓｃｏｐｅｏｒａｌｌｏｆｉｔｓｆｅａｔｕｒｅｓ）。

本開示に係る一態様によれば（Ａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｏｎｅａｓｐｅｃｔｏｆｔｈｅｐｒｅｓｅｎｔｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ）、テーブル；テーブルを第１方向に移動させる第１アクチュエータ；テーブルを第２方向に移動させる第２アクチュエータ；第１アクチュエータ及びテーブルに結合されてテーブルを第２方向にガイドする第１リニアガイド；第２アクチュエータ及びテーブルに結合されてテーブルを第１方向にガイドする第２リニアガイド；第１アクチュエータ及び第２アクチュエータを支持する支持部；を含むことを特徴とする移動可能なテーブルシステムが提供される。

韓国特許出願公開第２００１−００１３８２０号公報に記載されている図面。

本開示に係る移動可能なテーブルシステムを示す平面図。

本開示に係る第１リニアガイド及び第２リニアガイドの動きを説明するための図。

本開示に係るリニアガイドの一例を示す図。

本開示に係る移動可能なテーブルシステムの他の例を示す平面図。

本開示に係る移動可能なテーブルシステムの更に他の例を示す平面図。

本開示に係る移動可能なテーブルシステムをレーザー加工装置に使用する一例を示す平面図。

本開示に係る移動可能なテーブルシステムの一例を示す３Ｄ図面。

本開示に係る移動可能なテーブルシステムの他の例を示す３Ｄ図面。

以下、本開示を添付の図面を参照して詳しく説明する（Ｔｈｅｐｒｅｓｅｎｔｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅｗｉｌｌｎｏｗｂｅｄｅｓｃｒｉｂｅｄｉｎｄｅｔａｉｌｗｉｔｈｒｅｆｅｒｅｎｃｅｔｏｔｈｅａｃｃｏｍｐａｎｙｉｎｇｄｒａｗｉｎｇ（ｓ））。

図２は、本開示に係る移動可能なテーブルシステムの平面図である。

本開示に係る移動可能なテーブルシステム１００は、テーブル１１０、テーブルを第１方向１２１に移動させる第１アクチュエータ１２０、テーブル１１０を第２方向１３１に移動させる第２アクチュエータ１３０、第１アクチュエータ１２０及びテーブル１１０に結合されてテーブル１１０を第２方向１３１にガイドする第１リニアガイド１４０、第２アクチュエータ１３０及びテーブル１１０に結合されてテーブル１１０を第１方向１２１にガイドする第２リニアガイド１５０、第１アクチュエータ１２０及び第２アクチュエータ１３０を支持する支持部１６０を含むことを特徴とする。

テーブル１１０は、第１方向１２１及び第２方向１３１に動くことができるものであって、図１のＸＹテーブルにおいてトップテーブルに該当する。テーブル１１０には、レーザー加工装置ではレーザー光源を置くことができ、半導体製造においてワイヤボンディングではワイヤボンディングヘッドを置くことができる。

第１アクチュエータ１２０及び第２アクチュエータ１３０はテーブル１１０をそれぞれ第１方向１２１及び第２方向１３１に移動させる。

第１アクチュエータ１２０及び第２アクチュエータ１３０は、図１に示した駆動モーターに移送ねじが連結されているものであってもよいが、高速制御のためには駆動部１２２，１３２及び移動部１２３，１３３を具備しているリニアモーターが好ましい。図示してはいないが、リニアモーターの移動部１２３，１３３と駆動部１２２，１３２とがリニアガイドで結合されていることは当業者にとって周知である。第１アクチュエータの中心線と第２アクチュエータの中心線とが垂直に交わることが好ましい。第１アクチュエータ１２０と第２アクチュエータ１３０の中心線１２４，１３４が垂直に交わるとき、第１方向１２１をＸ方向といい、第２方向をＹ方向１３１ということができる。

第１リニアガイド１４０は、テーブル１１０と第１アクチュエータ１２０とを直接連結させる。

第１リニアガイド１４０は、第２アクチュエータ１３０がテーブル１１０を第２方向１３１に移動させる時、第１アクチュエータ１２０を動かさないでテーブル１１０だけを第２方向１３１に動くようにガイドする。

第２リニアガイド１５０は、テーブル１１０と第２アクチュエータ１３０とを直接連結させる。

第２リニアガイド１５０は、第１アクチュエータ１２０がテーブル１１０を第１方向１２１に移動させる時、第２アクチュエータ１３０を動かさないでテーブル１１０だけを第１方向１２１に動くようにガイドする。

第１アクチュエータ１２０及び第２アクチュエータ１３０がリニアモーターである場合、駆動部１２２，１３２は支持部１６０に結合されて支持部１６０によって支持される。

支持部１６０は駆動部１２２，１３２を支持するためのものであればいずれも可能である。第１アクチュエータ１２０及び第２アクチュエータ１４０がリニアモーターでない場合、例えば、図１のように駆動モーターである場合には、駆動モーターが支持部１６０に結合されてもよい。また、図示していないが、支持部１６０は第１アクチュエータ１２０及び第２アクチュエータ１３０にそれぞれ結合されて２個の支持部で構成されてもよい。

図３は、本開示に係る第１リニアガイド及び第２リニアガイドの動きを説明するための図である。

図３（ａ）において、第１リニアガイド１４０は、テーブル１１０と結合する第１側部１４１、及び第１アクチュエータ１２０と結合する第２側部１４２を含んでおり、テーブル１１０が第２方向１３１に動く時に第１リニアガイド１４０の第１側部１４１はテーブル１１０と共に第２方向１３１に動くが、第１アクチュエータ１２０と結合した第２側部１４２は動かない。

図３（ｂ）において、第２リニアガイド１５０は、テーブル１１０と結合する第１側部１５１、及び第２アクチュエータ１３０と結合する第２側部１５２を含んでおり、テーブル１１０が第１方向１２１に動く時、第２リニアガイド１５０の第１側部１５１はテーブル１１０と共に第１方向１２１に動くが、第２アクチュエータ１３０と結合した第２側部１５２は動かない。

図３（ｃ）は、第１アクチュエータ１２０と第２アクチュエータ１３０が同時に作動する場合を示している。図３（ａ）乃至図３（ｂ）において説明の便宜のために支持部を図示していない。

図４は、本開示に係るリニアガイドの一例を示す図である。

本開示に使用可能なリニアガイド２００は、直線で動く部分、例えば、図３におけるテーブル１１０が固定される第１側部２１０はレール２３０に沿って移動することができる。そして、動かない部分、例えば、図３における第１及び第２アクチュエータ１２０，１３０が固定される第２側部２２０はレール２３０に沿って動かない。図４に示しているリニアガイド２００は本開示に使用可能なリニアガイドの一例であり、同様の機能を行うリニアガイドであればいずれも本開示に含まれてもよい。

図５は、本開示に係る移動可能なテーブルシステムの他の例を示す平面図である。

本開示に係る他の例の移動可能なテーブルシステム３００は、テーブル３１０、テーブル３１０を第１方向３２１に移動させる駆動部３２２及び移動部３２３を具備している第１リニアモーター３２０、テーブル３１０を第２方向３３１に移動させる駆動部３３２及び移動部３３３を具備している第２リニアモーター３３０、第１リニアモーター３２０及びテーブル３１０に結合されてテーブル３１０を第２方向３２１にガイドする第１リニアガイド３４０、第２リニアモーター３３０及びテーブル３１０に結合されてテーブル３１０を第１方向３２１にガイドする第２リニアガイド３５０、第１リニアモーター３２０及び第２リニアモーター３３０を支持する支持部３６０、第１リニアモーター３２０の駆動部３２２及び支持部３６０と結合されて第１リニアモーター３２０の駆動部３２２を第１方向３２１にガイドする第３リニアガイド３７０、及び第２リニアモーター３３０の駆動部３３２及び支持部３６０と結合されて第２リニアモーター３３０の駆動部３３２を第２方向３３１にガイドする第４リニアガイド３８０を含むことを特徴とする。

第１リニアモーター３２０及び第２リニアモーター３３０の駆動部３２２，３３２を支持部３６０に固定する場合、第１リニアモーター３２０及び第２リニアモーター３３０の移動部３２３，３３３の動きによる反力が支持部３６０にそのまま伝達されて支持部３６０が揺れるという問題がある。本開示ではこのような問題を解決するために、第３及び第４リニアガイド３７０，３８０を用いて支持部３６０と第１リニアモーター３２０及び第２リニアモーター３３０の駆動部３２２，３３２とを連結している。すなわち、第３及び第４リニアガイド３７０，３８０を用いて、第１リニアモーター３２０及び第２リニアモーター３３０の駆動部３２２，３３２が移動部３２３，３３３の反力によって支持部３６０上で動けるようにした。第３及び第４リニアガイド３７０，３８０は、支持部３６０が結合している部分は動かず、第１リニアモーター３２０及び第２リニアモーター３３０の駆動部３２２，３３２が結合している部分が動くことが好ましく、図４に示したリニアガイドやクロスローラテーブルなどを使用することができる。

図６は、本開示に係る移動可能なテーブルシステムの更に他の例を示す平面図である。

図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す移動可能なテーブルシステム４００は、第１リニアモーター４２０及び第２リニアモーター４３０の駆動部４２２，４３２に位置調整部４４０，４４１，４５０を追加したことを特徴とする。第１リニアモーター４２０及び第２リニアモーター４３０の駆動部４２２，４３２が第１リニアモーター４２０及び第２リニアモーター４３０の移動部４２３，４３３の反力によって後ろに移動した後、移動する前の位置に戻ることが好ましい。そのために、位置調整部４４０，４４１，４５０を追加した。位置調整部は、図６（ａ）に示すように、ダンパー４４０及びスプリング４４１を結合して使用してもよく、図６（ｂ）に示すように、アクチュエータ４５０を使用してもよい。アクチュエータ４５０はリニアモーターであってもよい。位置調整部としてアクチュエータ４５０を使用すると、移動可能なテーブルシステム４００が長いストロークのＸＹテーブル（図示せず）上に設置されて加減速する時、慣性反力によって駆動部４２２，４３２が移動することを能動的に防ぐことができるという長所もある。

図７は、本開示に係る移動可能なテーブルシステムをレーザー加工装置に用いる一例を示す平面図である。

本開示に係る移動可能なテーブルシステムにおいて、テーブルにレーザー光が出るレーザーヘッドを直接付着して使用するものと、移動可能なテーブルシステムの外部に設置されたレーザーヘッドから出るレーザー光を利用するものがある。図７には、外部に設置されたレーザー光源を利用して本開示に係る移動可能なテーブルシステムをレーザー加工装置に用いる一例を示している。

本開示に係るレーザー光源が設置された移動可能なテーブルシステム５００は、テーブル５１０、テーブル５１０を第１方向５２１に移動させる駆動部５２２及び移動部５２３を具備している第１リニアモーター５２０、テーブル５１０を第２方向５３１に移動させる駆動部５３２及び移動部５３３を具備している第２リニアモーター５３０、第１リニアモーター５２０及びテーブル５１０に結合されてテーブル５１０を第２方向５３１にガイドする第１リニアガイド５４０、第２リニアモーター５３０及びテーブル５１０に結合されてテーブル５１０を第１方向５２１にガイドする第２リニアガイド５５０、第１リニアモーター５２０及び第２リニアモーター５３０を支持する支持部５６０、第１リニアモーター５２０及び第２リニアモーター５３０の少なくとも一つの移動部５２３，５３３に設置され、外部から移動可能なテーブルシステム５００に入ってくる光の経路５７０をテーブル５１０の方向に変更する第１反射部５８０、第１反射部５８０を通じてテーブル５１０に入ってきた光の経路５７１をテーブル５１０から出るように光の経路を変更する、テーブル５１０に設置された第２反射部５９０を含むことを特徴とする。テーブル５１０から出る光の経路は、図示していないが、テーブル５１０の面５１１に垂直な方向に出ることが好ましい。第１反射部５８０及び第２反射部５９０は、レーザー光の損失を小さくし得るものであればいずれも使用可能である。例えば、鏡も可能である。また、第２反射部５９０から出るレーザー光がより一層一点に集まり得るようにテーブル５１０にレンズを追加することができる。

図７（ｂ）は、第１リニアモーター５２０が作動する場合の光の経路を示しており、図７（ｃ）は、第２リニアモーター５３０が作動する場合の光の経路を示しており、図７（ｄ）は、第１リニアモーター５２０及び第２リニアモーター５３０が共に作動する場合の光の経路を示している。図７（ｂ）乃至図７（ｄ）は、外部で作られたレーザー光がテーブルに伝達されてレーザー加工に使用される例を示している。図７（ｂ）乃至図７（ｄ）において説明の便宜のために支持部を図示していない。

図８は、本開示に係る移動可能なテーブルシステムの３Ｄ図面である。

図８は、図６（ａ）に示した移動可能なテーブルシステムの３Ｄ図面である。

３Ｄで表示した移動可能なテーブルシステム６００では、テーブル６１０、テーブル６１０を第１方向６２１に移動させる駆動部６２２及び移動部６２３を具備している第１リニアモーター６２０、テーブル６１０を第２方向６３１に移動させる駆動部６３２及び移動部６３３を具備している第２リニアモーター６３０、第１リニアモーター６２０及びテーブル６１０に結合されてテーブル６１０を第２方向６２１にガイドする第１リニアガイド６４０、第２リニアモーター６３０及びテーブル６１０に結合されてテーブル６１０を第１方向６２１にガイドする第２リニアガイド６５０、第１リニアモーター６２０及び第２リニアモーター６３０を支持する支持部６６０、第１リニアモーター６２０の駆動部６２２及び支持部６６０と結合されて第１リニアモーター６２０の駆動部６２２を第１方向６２１にガイドする第３リニアガイド６７０、第２リニアモーター６３０の駆動部６３２及び支持部６６０と結合されて第２リニアモーター６３０の駆動部６３２を第２方向６３１にガイドする第４リニアガイド６８０、第１リニアモーター６２０及び第２リニアモーター６３０の駆動部６２２，６３２が第１リニアモーター６２０及び第２リニアモーター６３０の移動部６２３，６３３の反力によって後ろに移動した後、移動する前の位置に戻るようにする、ダンパー及びスプリングで構成された位置調整部７００を示している。また、テーブル６１０に装着されているレーザーヘッド７１０を示している。また、第１リニアモーター６２０の移動部６２３の第１位置センサー７２０及び第２リニアモーター６３０の移動部６３３の第２位置センサー７２１を示している。

図９は、本開示に係る移動可能なテーブルシステムの３Ｄ図面である。

図９は、図６（ｂ）に示した移動可能なテーブルシステムの３Ｄ図面であり、図８に示した移動可能なテーブルシステムの３Ｄ図面において位置調整部としてダンパー及びスプリングをリニアモーターに取り替えている。すなわち、第１リニアモーター６２０及び第２リニアモーター６３０の駆動部６２２，６３２の位置を調整するために第３リニアモーター７３０及び第４リニアモーター７４０を使用している。

以下、本開示の様々な実施の形態について説明する。

（１）テーブル；テーブルを第１方向に移動させる第１アクチュエータ；テーブルを第２方向に移動させる第２アクチュエータ；第１アクチュエータ及びテーブルに結合されてテーブルを第２方向にガイドする第１リニアガイド；第２アクチュエータ及びテーブルに結合されてテーブルを第１方向にガイドする第２リニアガイド；第１アクチュエータ及び第２アクチュエータを支持する支持部；を含むことを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（２）第１アクチュエータ及び第２アクチュエータはリニアモーターであり、リニアモーターは駆動部及び移動部を含むことを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（３）第１アクチュエータの中心線と第２アクチュエータの中心線とが垂直に交わることを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（４）第１リニアガイド及び第２リニアガイドはそれぞれ、テーブルと結合する第１側部と、第１及び第２アクチュエータと結合する第２側部を含み、第１リニアガイドの第１側部は第２方向に動き、第２側部は第２方向には固定され、第２リニアガイドの第１側部は第１方向に動き、第２側部は第１方向には固定されていることを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（５）第１リニアモーターの駆動部及び支持部と結合されて第１リニアモーターの駆動部を第１方向にガイドする第３リニアガイド、及び第２リニアモーターの駆動部及び支持部と結合されて第２リニアモーターの駆動部を第２方向にガイドする第４リニアガイド、の少なくとも一つを含むことを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（６）第１リニアモーター及び第２リニアモーターの駆動部は、第１リニアモーター及び第２リニアモーターの移動部が動いて発生する反力によってそれぞれ移動部が動く方向の反対方向に動くことを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（７）第１リニアモーター及び第２リニアモーターのうち少なくとも一つの駆動部と連動して第１リニアモーター及び第２リニアモーターの移動部が動いて発生する反力によって動いた駆動部を本来の位置に動くようにする位置調整部を含んでいることを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（８）位置調整部はダンパー及びスプリングを含むことを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（９）位置調整部はリニアモーターであることを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（１０）第１リニアモーター及び第２リニアモーターのうち少なくとも一つの移動部と連動して外部から移動可能なテーブルシステムに入ってくる光の経路をテーブル方向に変更する第１反射部を含むことを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（１１）テーブルと連動して第１反射部を通じてテーブルに入ってきた光をテーブルから出るように光の経路を変更する第２反射部を含むことを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（１２）第２反射部に反射されてテーブルから出る光の経路は、テーブル面に垂直であることを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（１３）テーブルと連動して第２反射部に反射されてテーブルから出る光を集めるためのレンズを含むことを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（１４）テーブルにレーザーヘッドが装着されたことを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

（１５）第１リニアモーターの移動部の支持部に対する変位を測定するための第１位置センサー、及び第２リニアモーターの移動部の支持部に対する変位を測定するための第２位置センサー、の少なくとも一つを含むことを特徴とする移動可能なテーブルシステム。

本開示に係る移動可能なテーブルシステムによれば、構造が簡単であり、且つ重量が軽い、移動可能なテーブルシステムを作ることができる。

本開示に係る移動可能なテーブルシステムによれば、構造が簡単であり、且つ重量が軽いために高速制御がしやすい移動可能なテーブルシステムを作ることができる。

開示に係る移動可能なテーブルシステムによれば、構造が簡単であり、且つ重量が軽いために高速制御がしやすい移動可能なテーブルシステムを用いたレーザー加工装置を作ることができる。

Claims

テーブルと、
テーブルを第１方向に移動させる第１アクチュエータと、
テーブルを第２方向に移動させる第２アクチュエータと、
第１アクチュエータ及びテーブルに結合されてテーブルを第２方向にガイドする第１リニアガイドと、
第２アクチュエータ及びテーブルに結合されてテーブルを第１方向にガイドする第２リニアガイドと、
第１アクチュエータ及び第２アクチュエータを支持する支持部と、
を含むことを特徴とする、移動可能なテーブルシステム。
第１アクチュエータ及び第２アクチュエータはリニアモーターであり、リニアモーターは駆動部及び移動部を含むことを特徴とする、請求項１に記載の移動可能なテーブルシステム。
第１アクチュエータの中心線と第２アクチュエータの中心線とが垂直に交わることを特徴とする、請求項１に記載の移動可能なテーブルシステム。
第１リニアガイド及び第２リニアガイドはそれぞれ、テーブルと結合する第１側部、及び第１アクチュエータ及び第２アクチュエータと結合する第２側部を含み、
第１リニアガイドの第１側部は第２方向に動き、第２側部は第２方向には固定され、
第２リニアガイドの第１側部は第１方向に動き、第２側部は第１方向には固定されていることを特徴とする、請求項１に記載の移動可能なテーブルシステム。
第１リニアモーターの駆動部及び支持部と結合されて第１リニアモーターの駆動部を第１方向にガイドする第３リニアガイド、及び第２リニアモーターの駆動部及び支持部と結合されて第２リニアモーターの駆動部を第２方向にガイドする第４リニアガイド、の少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項２に記載の移動可能なテーブルシステム。
第１リニアモーター及び第２リニアモーターの駆動部は、第１リニアモーター及び第２リニアモーターの移動部が動いて発生する反力によってそれぞれ移動部が動く方向の反対方向に動くことを特徴とする、請求項５に記載の移動可能なテーブルシステム。
第１リニアモーター及び第２リニアモーターのうち少なくとも一つの駆動部と連動して第１リニアモーター及び第２リニアモーターの移動部が動いて発生する反力によって動いた駆動部を本来の位置に動くようにする位置調整部を含んでいることを特徴とする、請求項５に記載の移動可能なテーブルシステム。
位置調整部はダンパー及びスプリングを含むことを特徴とする、請求項７に記載の移動可能なテーブルシステム。
位置調整部はリニアモーターであることを特徴とする、請求項７に記載の移動可能なテーブルシステム。
第１リニアモーター及び第２リニアモーターのうち少なくとも一つの移動部と連動して外部から移動可能なテーブルシステムに入ってくる光の経路をテーブル方向に変更する第１反射部を含むことを特徴とする、請求項２に記載の移動可能なテーブルシステム。
テーブルと連動して第１反射部を通じてテーブルに入ってきた光をテーブルから出るように光の経路を変更する第２反射部を含むことを特徴とする、請求項１０に記載の移動可能なテーブルシステム。
第２反射部に反射されてテーブルから出る光の経路は、テーブル面に垂直であることを特徴とする、請求項１１に記載の移動可能なテーブルシステム。
テーブルと連動して第２反射部に反射されてテーブルから出る光を集めるためのレンズを含むことを特徴とする、請求項１１に記載の移動可能なテーブルシステム。
テーブルにレーザーヘッドが装着されたことを特徴とする、請求項１に記載の移動可能なテーブルシステム。
第１リニアモーターの移動部の支持部に対する変位を測定するための第１位置センサー、及び第２リニアモーターの移動部の支持部に対する変位を測定するための第２位置センサー、の少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項２に記載の移動可能なテーブルシステム。