KR101756800B1 - 이동 가능한 테이블 시스템 - Google Patents

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방영봉
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재단법인차세대융합기술연구원
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Abstract

본 개시는, 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터;로서, 제1 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제2 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제3 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제4 리니어 모터;로서, 제3 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제4 리니어 모터; 제1 리니어 모터와 제2 리니어 모터를 연결하는 제1 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 연결부; 제3 리니어 모터와 제4 리니어 모터를 연결하는 제2 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 연결부; 그리고, 제1 리니어 모터, 제2 리니터 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며, 제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드; 제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제2 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드; 제3 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제3 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 그리고, 제4 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제4 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것이다.

Description

이동 가능한 테이블 시스템{MOVABLE TABLE SYSTEM}
본 개시(Disclosure)는 전체적으로 이동 가능한 테이블 시스템에 대한 것으로, 특히 수직한 두 방향으로 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것이다.
여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
이동 가능한 테이블 시스템, 특히 수직한 두 방향으로 이동 가능한 테이블 시스템은 일반적으로 XY 테이블로 알려져 있다.
도 1은 한국 공개특허공보 제2001-0013820호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면이다.
설명의 편의를 위해 도면 부호는 새로이 기재하였다.
도 1에서 XY 테이블은 베이스(20), 베이스(20) 상에 X축 방향으로 설치된 가이드 레일(21), 가이드 레일(21)의 단부에 Y축 방향으로 설치된 가이드 레일(22), 가이드 레일(21) 상에 배치되어 X축 방향으로 이동 가능하게 결합된 X축 테이블(23), X축 테이블(23) 상에 배치된 두 개의 가이드 롤러(24, 25), X축 구동모터(26), X축 구동모터(26)에 연결된 X축 이송나사(27), 가이드 레일(22) 상에 배치되어 Y축 방향으로 이동 가능하게 결합된 Y축 테이블(28), Y축 테이블(28) 상에 배치된 X축 방향의 가이드 레일(29), Y축 구동모터(30), Y축 구동모터(30)에 연결된 Y축 이송나사(31), X축 테이블(23)과 Y축 테이블(28) 상에 배치된 탑 테이블(32)을 포함하고 있다. XY 테이블((10)은 X축 구동모터(26)를 구동하면, X축 구동모터(26)의 회전축에 연결된 X축 이송나사(27)를 통해 X축 테이블(23)이 X축 방향으로 이동됨과 동시에, X축 테이블(23) 상에 마련된 가이드 롤러(24, 25)를 통하여 탑 테이블(32)이 X축 방향으로 이동한다. 이어서 Y축 구동모터(30)를 구동하면, 이 Y축 구동모터(30)에 연결된 Y축 이송나사(31)를 통해 Y축 테이블(28)이 Y축 방향으로 이동함과 동시에 Y축 테이블(28) 상에 배치된 탑 테이블(32)이 Y축 방향으로 Y축 테이블(28)과 함께 이동한다. 그러나 탑 테이블(32)의 X축 방향 및 Y축 방향의 움직임을 위해 하부에 X축 테이블(23), Y축 테이블(28) 및 베이스(20)의 구조가 필요하며, 이것은 XY 테이블(10)의 구조가 전체적으로 대형화, 중량화되는 문제가 있었다. 도 1에 기재된 XY 테이블 이외에 대부분의 XY 테이블은 탑 테이블을 움직이기 위해 탑 테이블 하부에 적어도 1 개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있다. 예를 들어 한국 공개특허공보 제2008-0083297호, 한국 공개특허공보 제2000-0006149호, 일본 공개특허공보 제2005-297189호 등 다수의 XY 테이블은 탑 테이블 하부에 적어도 1 개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있다.
도 2는 한국 등록특허공보 제1520401호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면이다.
설명의 편의를 위해 도면 부호는 새로이 기재하였다.
XY 테이블(100)은 테이블(110), X 방향(121)으로 움직이는 구동부(122)와 이동부(123)를 포함하는 제1 리니어 모터(120), Y 방향(131)으로 움직이는 구동부(132)와 이동부(133)를 포함하는 제2 리니어 모터(130), 지지부(160), 테이블(110)과 제1 리니어 모터(120) 사이에 위치하는 제1 리니어 가이드(140), 테이블(110)과 제2 리니어 모터(130) 사이에 위치하는 제2 리니어 가이드(150), 지지부(160)와 제1 리니어 모터(120) 사이에 위치하는 제3 리니어 가이드(170) 및 지지부(160)와 제2 리니어 모터(130) 사이에 위치하는 제4 리니어 가이드(180)를 포함하고 있다. 도 2에 기재된 XY 테이블(100)은 도 1에 기재된 XY 테이블의 문제점을 해결하기 위하여 탑 테이블 하부에 탑 테이블을 움직이기 위한 별도의 움직이는 테이블 없이 테이블(110)이 2개의 방향으로 움직이는 XY 테이블이다. 그러나 도 2에 기재된 방식의 XY 테이블은 도 3에 기재된 문제점을 갖고 있다.
도 3은 도 2에 기재된 XY 테이블의 문제점을 설명하는 도면이다.
XY 테이블(100)은 테이블(110)을 X 및 Y 방향으로 움직이기 위해 제1 리니어 모터(120) 및 제2 리니어 모터(130)를 사용한다. 또한 제1 리니어 모터(120), 제2 리니어 모터(130) 및 테이블(110)에서 발생하는 관성 반력이 지지부(160)에 영향을 미치지 않도록 하기 위해 제3 리니어 가이드(170) 및 제4 리니어 가이드(180)를 포함하고 있다. 그러나 테이블(110)의 질량 중심(111)이 제1 리니어 모터(120) 및 제2 리니어 모터(130)의 추력선(121, 131)에서 도 3(b) 및 도 3(c)와 같이 거리 d 만큼 벗어나기 때문에, 제3 리니어 가이드(170) 및 제4 리니어 가이드(180)에 의해서는 병진방향(X 및 Y 방향)의 관성 반력이 지지부(160)에 미치는 영향을 줄일 수는 있지만 테이블(110)의 회전 방향의 관성 반력이 지지부(160)에 미치는 영향을 줄일 수 없는 문제가 있다.
도 4는 일본 공개특허공보 제2007-19269호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면이다.
설명의 편의를 위해 도면 부호는 새로이 기재하였다.
XY 테이블(200)은 테이블(210), X 방향으로 움직이는 제1 리니어 모터(220X) 및 제2 리니어 모터(221X), Y 방향으로 움직이는 제3 리니어 모터(230Y) 및 제4 리니어 모터(231Y), X 방향 관성 반력 제거 수단(240, 241) 및 Y 방향 관성 반력 제거 수단(250)을 포함하고 있다. 그러나 관성 반력 제거를 위해 별도의 관성 반력 제거 수단(240, 241, 250)을 필요로 하여 구조가 복잡해지며, 또한 관성 반력 제거 수단(240, 241, 250)을 능동 제어하여 테이블(210) 및 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(220X, 221X, 230Y, 231Y)에서 발생하는 병진방향 및 회전방향의 관성 반력을 정확하게 제거하는 것이 매우 어려운 문제가 있다.
본 개시는 종래 기술의 문제점인 탑 테이블 밑에 위치하는 이동가능한 테이블이 필요 없으며, 지지부에 병진방향의 관성 반력 및 회전방향의 관성 반력이 미치는 영향을 줄인 이동 가능한 테이블 시스템을 제공하고자 한다.
이에 대하여 '발명을 실시하기 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.
여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터;로서, 제1 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제2 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제3 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제4 리니어 모터;로서, 제3 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제4 리니어 모터; 제1 리니어 모터와 제2 리니어 모터를 연결하는 제1 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 연결부; 제3 리니어 모터와 제4 리니어 모터를 연결하는 제2 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 연결부; 그리고, 제1 리니어 모터, 제2 리니터 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며, 제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드; 제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제2 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드; 제3 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제3 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 그리고, 제4 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제4 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템이 제공된다.
이에 대하여 '발명을 실시하기 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.
도 1은 한국 공개특허공보 제2001-0013820호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면,
도 2는 한국 등록특허공보 제1520401호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면,
도 3은 도 2에 기재된 XY 테이블의 문제점을 설명하는 도면,
도 4는 일본 공개특허공보 제2007-19269호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면,
도 5는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 일 예를 보여주는 도면,
도 6은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 사용 예를 보여주는 도면,
도 7은 본 개시에 사용되는 리니어 가이드의 일 예를 보여주는 도면,
도 8은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 다른 일 예를 보여주는 도면,
도 9는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 도면,
도 10은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주는 도면,
도 11은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 사시도,
도 12는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 도면.
이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)).
도 5는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 5는 평면도이다.
이동 가능한 테이블 시스템(300)은 테이블(310), 테이블(310)을 제1 방향(320)으로 왕복 이동시키는 구동부(331)와 이동부(332)를 포함하는 제1 리니어 모터(330), 테이블(310)을 제1 방향(320)으로 왕복 이동시키는 구동부(341)와 이동부(342)를 포함하는 제2 리니어 모터(340), 테이블(310)을 제2 방향(321)으로 왕복 이동시키는 구동부(351)와 이동부(352)를 포함하는 제3 리니어 모터(350), 테이블(310)을 제2 방향(321)으로 왕복 이동시키는 구동부(361)와 이동부(362)를 포함하는 제4 리니어 모터(360), 제1 리니어 모터(330)와 제2 리니어 모터(340)를 연결하는 제1 연결부(370), 제3 리니어 모터(350)와 제4 리니어 모터(360)를 연결하는 제2 연결부(371), 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350 360)를 지지하는 지지부(380)를 포함하며, 제1 리니어 모터(330)의 구동부(331) 및 지지부(380) 사이에 위치하여 제1 리니어 모터(330)의 구동부(331)를 제1 방향(320)으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드(390), 제2 리니어 모터(340)의 구동부(341) 및 지지부(380) 사이에 위치하여 제2 리니어 모터(340)의 구동부(341)를 제1 방향(320)으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드(391), 제3 리니어 모터(350)의 구동부(351) 및 지지부(380) 사이에 위치하여 제3 리니어 모터(350)의 구동부(351)를 제2 방향(321)으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드(392) 및 제4 리니어 모터(360)의 구동부(361) 및 지지부(380) 사이에 위치하여 제4 리니어 모터(360)의 구동부(361)를 제2 방향(321)으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드(393) 중 적어도 하나를 포함한다.
테이블(310)은 제1 방향(320) 및 제2 방향(321)으로 왕복 이동하는 것으로, 도 1의 XY 테이블에서 탑 테이블에 해당한다. 테이블(310) 위에는 레이저가공 장치에 사용되는 경우 레이저 광원이 놓여 질 수 있으며, 반도체 제조에서 와이어 본딩에 사용되는 경우 와이어 본딩 헤드가 놓여 질 수 있으며, 노광장치에 사용되는 경우 기판이 놓여 질 수 있다.
제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350, 360)는 구동부(331, 341, 351, 361) 및 이동부(332, 342, 352, 362)를 포함한다. 도면에 도시하지는 않았지만 구동부(331, 341, 351, 361)와 이동부(332, 342, 352, 362)가 리니어 가이드로 결합되어 있는 것은 당업자에게 잘 알려져 있다. 또한 구동부(331, 341, 351, 361)는 요크와 영구자석인 경우가 많으나 코일을 포함하는 전기자일 수도 있다. 또한 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350, 360)는 구동부(331, 341, 351, 361) 자체의 질량을 이용하여 관성 반력을 줄일 수 있지만 본 개시에 따른 작용과 반작용을 이용하여 관성 반력을 줄이는 기능을 향상시키기 위해 추가 질량부(333, 343, 353, 363)를 포함할 수도 있다. 또한 제2 리니어 모터(340)는 제1 리니어 모터(330)와 마주보며 위치하며, 제4 리니어 모터(360)는 제3 리니어 모터(350)와 마주보며 위치한다. 제1 리니어 모터(330)와 제2 리니어 모터(340)는 테이블(310)을 제1 방향(320)으로 왕복 이동시키며, 제3 리니어 모터(350)와 제4 리니어 모터(360)는 테이블(310)을 제2 방향(321)으로 왕복 이동시킨다. 제1 방향(320)과 제2 방향(321)이 수직인 것이 바람직하며, 이 경우 제1 방향(320)을 X 방향이라고 하며 제2 방향(321)을 Y 방향이라 한다.
제1 연결부(370)는 제1 리니어 모터(330)의 이동부(332), 제2 리니어 모터(340)의 이동부(342) 및 테이블(310)과 결합되어 이동부(332, 342)가 이동하는 제1 방향(320)으로 테이블(310)을 왕복 이동시킨다. 제2 연결부(371)는 제3 리니어 모터(350)의 이동부(352), 제4 리니어 모터(360)의 이동부(362) 및 테이블(310)과 결합되어 이동부(352, 362)가 이동하는 제2 방향(321)으로 테이블(310)을 왕복 이동시킨다. 제1 연결부(370)와 테이블(310) 사이에는 제5 리니어 가이드(394)가 위치하며, 제2 연결부(371)와 테이블(310) 사이에는 제6 리니어 가이드(395)가 위치할 수 있다. 제6 리니어 가이드(395)에 의해 제1 연결부(370)가 이동하여 테이블(310)이 제1 방향으로 이동할 때 제2 연결부(371)는 이동하지 않으며 제2 연결부(371)는 제1 방향으로 이동하는 테이블(310)을 가이드 한다. 또한 제5 리니어 가이드(394)에 의해 제2 연결부(371)가 이동하여 테이블(310)이 제2 방향(371)으로 이동할 때 제1 연결부(370)는 이동하지 않으며 제1 연결부(370)는 제2 방향(371)으로 이동하는 테이블(310)을 가이드 한다. 설명의 편의를 위해 제5 리니어 가이드(394) 및 제6 리니어 가이드(395)가 보이도록 도시하였다. 예를 들어 테이블(310)은 도 9 및 도 11에 도시된 테이블(610, 810)과 같이 제5 리니어 가이드(394) 및 제6 리니어 가이드(395)는 테이블(310) 내부에 위치하는 것이 바람직하다. 이하 도면에서도 특별한 이유가 없는 한 테이블 내부에 위치하는 리니어 가이드가 보이도록 도시하였다.
지지부(380)는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350, 360)를 지지하기 위한 것이라면 제한없이 가능하다. 도면에는 지지부(380)의 일부만 도시되어 있어 각각의 리니어 모터(330, 340, 350, 360)마다 별개로 있는 것으로 보이지만, 지지부(380)는 1개로 구성될 수도 있으며 별개로 구성될 수도 있다.
제1 리니어 가이드 내지 제4 리니어 가이드(390, 391, 392, 393)가 각각 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350, 360)의 구동부(331, 341, 351, 361)와 지지부(380) 사이에 위치하여, 이동부(332, 342, 352, 362)가 이동하는 방향과 반대 방향으로 구동부(331, 341, 351, 361)가 이동할 수 있으며, 이를 통해 테이블(310) 및 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350, 360)에서 발생하는 병진방향 및 회전방향 관성 반력이 지지부(380)에 미치는 영향을 줄일 수 있다. 자세한 것은 도 6에서 설명한다.
도 6은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 사용 예를 보여주는 도면이다.
도 6(a)는 테이블(310)이 제4 리니어 모터(360) 측으로 치우친 상태에서 제2 방향(321)으로 왕복 이동하는 경우를 보여주는 도면이다. 테이블(310)의 질량중심이 제4 리니어 모터(360) 측으로 이동을 하였기 때문에 제2 방향(321)으로 테이블(310)이 가감속 운동을 하기 위해서는 제3 리니어 모터(350)보다 제4 리니어 모터(360)에 더 큰 힘이 발생 되어야 한다. 따라서 제4 리니어 모터(360)의 구동부(361)와 추가 질량부(363)가 제4 리니어 가이드(393))를 따라 움직이는 거리(400)는 제3 리니어 모터(350)의 구동부(351)와 추가 질량부(353)가 제3 리니어 가이드(392) 따라 움직이는 거리(410)보다 더 크며, 이를 통해 병진방향 및 회전방향의 관성 반력이 지지부(380)에 전달되는 것을 줄일 수 있다. 도 6(b)는 테이블(310)이 제2 리니어 모터(340) 측으로 치우친 상태에서 제1 방향(320)으로 왕복 이동하는 경우를 보여주는 도면이다. 도 6(a)와 동일한 원리에 의해 병진방향의 관성 반력뿐 아니라 회전방향의 관성 반력이 지지부(380)에 전달되는 것을 줄일 수 있다.
도 7은 본 개시에 사용되는 리니어 가이드의 일 예를 보여주는 도면이다.
본 개시에 사용되는 리니어 가이드는 두 물체 사이에 위치하여 두 물체의 상대적인 직선 운동시 두 물체 사이의 마찰력을 줄이는 기능을 하는 것으로 도 7에 기재된 형태뿐 아니라 본 개시에서 사용하는 개념으로 사용할 수 있는 것은 모두 포함된다. 예를 들어 에어 베어링, 자기 베어링, 볼 순환식 리니어 모션 가이드, 크로스롤러 테이블, 캠 팔로우어 및 미끄럼 베어링 중 하나일 수 있다.
도 8은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 다른 일 예를 보여주는 도면이다.
이동 가능한 테이블 시스템(500)은 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(530, 540, 550, 560)의 추가 질량부(533, 543, 553, 563)에 위치 조정부(510, 511, 520)를 추가한 것을 특징으로 한다. 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(530, 540, 550, 560)의 추가 질량부(533, 543, 553, 563)가 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(530, 540. 550, 560)의 이동부(532, 542, 552, 562)의 반력에 의해 이동한 후 이동하기 전의 위치로 되돌아 가는 것이 바람직하다. 이를 위해 위치 조정부(510, 511, 520)를 추가하였다. 위치 조정부는 도 8(a)에서와 같이 댐퍼(510) 및 스프링(511)을 결합하여 사용하거나, 도 8(b)에서와 같이 액추에이터(520)를 사용할 수 있다. 액추에이터(520)는 리니어 모터일 수 있다. 위치 조정부(510, 511, 520)는 추가 질량부(533, 543, 553, 563)가 없는 경우 직접 구동부(531, 541, 551, 561)에 연결될 수도 있다. 도 8에서 설명한 것을 제외하고 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(500)은 도 5에서 설명한 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 실질적으로 동일하다.
도 9는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 도면이다. 도 9(a)는 사시도이며, 도 9(b)는 AA'에 따른 단면도이다.
도 9는 설명의 편의를 위해 이동 가능한 테이블 시스템(600)에서 테이블(610)과 제1 연결부(630) 및 제2 연결부(640)의 결합 방식만을 보여준다. 테이블(610)은 제1 방향(620)으로 형성된 제1 홈(611)과 제2 방향(621)으로 형성된 제2 홈(612)을 포함한다. 제1 홈(611)과 제2 연결부(640)가 결합하고, 제2 홈(612)과 제1 연결부(630)가 결합한다. 또한 도 9(b)와 같이 테이블(610)과 제2 연결부(640) 사이에는 리니어 가이드(650)가 위치할 수 있다. 도시하지는 않았지만 테이블(610)과 제1 연결부(630) 사이에도 리니어 가이드가 위치할 수 있다. 도 9에서 설명한 것을 제외하고 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(600)은 도 5에서 설명한 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 실질적으로 동일하다.
도 10은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주는 도면이다.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은 테이블에 레이저 광이 나오는 레이저 헤드를 직접 부착하여 사용하는 것과 이동 가능한 테이블 시스템의 외부에 설치된 레이저 헤드로부터 나오는 레이저 광을 이용하는 것이 가능하다. 도 10에는 외부에 설치된 레이저 광원을 이용하여 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주고 있다. 레이저 광원이 외부에 설치된 이동 가능한 테이블 시스템(700)은 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(730, 740, 750, 760) 중 적어도 하나의 이동부(732, 742, 752, 762)에 설치되어 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템(700)으로 들어오는 광의 경로(770)를 테이블(710) 방향으로 변경하는 제1 반사부(780), 제1 반사부(780)를 통해 테이블(710)로 들어온 광의 경로(771)를 테이블(710)로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 테이블(710)에 설치된 제2 반사부(790)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 테이블(710)로부터 나가는 광의 경로는 도시하지 않았지만, 테이블(710) 면(711)에 수직한 방향으로 나가는 것이 바람직하다. 제1 반사부(780) 및 제2 반사부(790)는 레이저 광의 손실을 작게 할 수 있는 것이면 제한없이 사용할 수 있다. 예를 들어 거울도 가능하다. 또한 제2 반사부(790)로부터 나오는 레이저 광이 한 점에 더 잘 집중될 수 있도록 테이블(710)에 렌즈를 추가할 수 있다. 도 10(b)는 제1 리니어 모터(730) 및 제2 리니어 모터(740)가 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있으며, 도 10(c)는 제3 리니어 모터(750) 및 제4 리니어 모터(760)가 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있으며, 도 10(d)는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(730, 740, 750, 760)가 함께 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있다. 도 10(b) 내지 도 10(d)는 외부에서 만들어진 레이저 광이 테이블로 전달되어 레이저 가공에 사용되는 것을 보여주고 있다. 도 10에서 설명한 것을 제외하고 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(700)은 도 5에서 설명한 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 실질적으로 동일하다.
도 11은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 사시도이다.
이동 가능한 테이블 시스템(800)은 테이블(810), 구동부(831, 841, 851, 861), 이동부(832, 842, 852, 862) 및 추가 질량부(833, 843, 853, 863)를 포함하는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(830, 840, 850, 860), 제1 리니어 가이드 내지 제6 리니어 가이드(890, 891, 892, 893, 894, 895), 제1 연결부(870), 제2 연결부(871) 및 지지부(880)를 포함한다. 또한 이동 가능한 테이블 시스템(800)을 제어하기 위해서는 지지부, 이동부 및 구동부의 3자 사이의 상대적 변위를 측정하여야 하며, 2개의 위치 센서를 사용하여 측정 가능하다. 예를 들어 도 11과 같이 이동 가능한 테이블 시스템(800)은 이동부(832, 842, 852, 862)의 지지부(880)에 대한 변위를 측정하는 제1 위치 센서(900)와 구동부(831, 841, 851, 861)의 지지부(880)에 대한 변위를 측정하는 제2 위치 센서(910)를 포함한다. 나머지 이동부(832, 842, 852, 862)와 구동부(831, 841, 851, 861) 사이의 상대적 변위는 제1 위치 센서(900)와 제2 위치 센서(910)로 부터 얻은 신호를 이용하여 얻을 수 있다. 즉 제1 위치 센서(900) 및 제2 위치 센서(910)는 지지부(880)와 이동부(832, 842, 852, 862) 사이의 상대적 변위 및 지지부(880)와 구동부(831, 841, 851, 861) 사이의 상대적 변위를 측정하기 위해 도 11과 같이 위치할 수 있지만, 지지부(880)와 이동부(832, 842, 852, 862) 사이의 상대적 변위와 구동부(831, 841, 851, 861)와 이동부(832, 842, 852, 862) 사이의 상대적 변위를 측정하기 위해 적절한 위치에 설치될 수도 있으며, 이동부(832, 842, 852, 862)와 구동부(831, 841, 851, 861) 사이의 상대적 변위와 지지부(880)와 구동부(831, 841, 851, 861) 사이의 상대적 변위를 측정하기 위해 적절한 위치에 설치될 수도 있다(미도시). 도 11에는 제1 위치 센서(900)와 제2 위치 센서(910)가 2개만 도시되었지만 각각의 이동부(832, 842, 852, 862) 및 구동부(831, 841, 851, 861)의 변위를 측정하기 위해 각각 이동부 및 구동부에 위치하고 있다. 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(830, 840, 850, 860)는 제1 위치 센서(900) 신호를 이용하여 이동부(832, 842, 852, 862)의 위치를 제어하고 제2 위치 센서(910) 신호 및 제1 위치 센서(900)의 신호를 이용하여 구동부(831, 841, 851, 861)의 상 전환을 수행한다. 또한 도 11에 기재된 테이블 시스템(800)은 위치 조정기로서 리니어 모터(930)를 사용한다. 다만 리니어 모터(930)는 이동부(930)만 있으며, 구동부는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(830, 840, 850, 860)의 구동부(831, 841, 851, 861)를 공유한다. 또한 이동부(930)는 지지부(880)에 고정되어 있어 구동부(831, 841, 851, 861)에 의해 발생한 추력에 의해 이동부(930)는 이동하지 않고 구동부(831, 841, 851, 861)가 이동하게 되어 구동부(831, 841, 851, 861)와 구동부(831, 841, 851, 861)에 연결된 추가 질량부(833, 843, 853, 863)를 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. 또한 도 11에는 지지부(880)와 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(830, 840, 850, 860)의 이동부(832, 842, 852, 862) 사이에 위치하는 리니어 가이드(896)를 보여준다. 리니어 가이드(896)에 의해 이동부(832, 842, 852, 862)가 더 안정적으로 움직일 수 있다. 또한 제1 리니어 모터(830)의 이동부(832), 제2 리니어 모터(840)의 이동부(842), 제1 연결부(870) 및 테이블(810)의 합쳐진 질량 중심 높이와 제1 리니어 모터(830)의 구동부(831) 및 제2 리니어 모터(840)의 구동부(841)의 합쳐진 질량 중심 높이가 제1 높이로 동일하며, 제3 리니어 모터(850)의 이동부(852), 제4 리니어 모터(860)의 이동부(862), 제2 연결부(871) 및 테이블(810)의 합쳐진 질량 중심 높이와 제3 리니어 모터(850)의 구동부(851) 및 제4 리니어 모터(860)의 구동부(861)의 합쳐진 질량 중심 높이가 제2 높이로 동일한 것이 바람직하다. 더 나아가 제1 리니어 모터(830) 및 제2 리니어 모터(840)의 추력선의 높이는 제1 높이이고, 제3 리니어 모터(850) 및 제4 리니어 모터(860)의 추력선의 높이는 제2 높이인 것이 바람직하다. 질량 중심의 높이 및 추력선의 높이를 동일하게 함으로써 제1 방향(820) 및 제2 방향(821)으로 움직일 때 질량 중심의 높이가 다르기 때문에 발생할 수 있는 회전 관성반력을 줄일 수 있다. 또한 제1 리니어 모터(830) 및 제2 리니어 모터(840)에 위치하여 위치 조정기로 사용되는 리니어 모터(930)의 추력선의 높이는 제1 높이를 갖고 제3 리니어 모터(850) 및 제4 리니어 모터(860)에 위치하여 위치 조정기로 사용되는 리니어 모터(930)의 추력선의 높이는 제2 높이를 갖는 것이 바람직하다. 질량 중심의 높이 및 추력선의 높이는 지지부(880)를 기준으로 한다. 예를 들어 제2 리니어 모터(840)의 구동부(841)의 질량 중심(940)의 높이(950)는 지지부(880)를 기준으로 측정할 수 있다. 도 11에서 설명한 것을 제외하고 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(800)은 도 5에서 설명한 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 실질적으로 동일하다.
도 12는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 도면이다. 도 12(a)는 평면도이며, 도 12(b)는 AA'를 따라 자른 단면도이다.
이동 가능한 테이블 시스템(1000)은 테이블(1010), 테이블(1010)을 제1 방향(1020)으로 이동시키는 구동부(1031)와 이동부(1032)를 포함하는 제1 리니어 모터(1030), 테이블(1010)을 제2 방향(1021)으로 이동시키는 구동부(1041)와 이동부(1042)를 포함하는 제2 리니어 모터(1040), 테이블(1010)을 제2 방향(1021)으로 이동시키는 구동부(1051)와 이동부(1052)를 포함하는 제3 리니어 모터(1050), 제2 리니어 모터(1040)와 제3 리니어 모터(1050)를 연결하는 연결부(1060), 제2 리니어 모터(1040) 및 제3 리니어 모터(1050)를 지지하는 지지부(1070)를 포함하며, 제1 리니어 모터(1030)의 구동부(1031) 및 연결부(1060) 사이에 위치하여 제1 리니어 모터(1030)의 구동부(1031)를 제1 방향(1020)으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드(1080), 제2 리니어 모터(1040)의 구동부(1041) 및 지지부(1070) 사이에 위치하여 제2 리니어 모터(1040)의 구동부(1041)를 제2 방향(1020)으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드(1081),및 제3 리니어 모터(1050)의 구동부(1051) 및 지지부(1070) 사이에 위치하여 제3 리니어 모터(1050)의 구동부(1051)를 제2 방향(1021)으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드(1082) 중 적어도 하나를 포함한다. 또한 테이블(1010)의 안정적인 제1 방향(1020) 왕복 이동을 위해 테이블(1010)과 연결부(1060) 사이에 제4 리니어 가이드(1083)를 포함할 수 있다. 테이블(1010)을 제1 방향(1020)으로 왕복 이동시키는 제1 리니어 모터(1030)를 연결부(1060) 위에 설치함으로써, 도 5에 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 비교하여 전체적인 구조가 간단해지며, 제1 리니어 가이드(1080)를 통해 도 5에 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 동일한 원리에 의해 제1 방향(1020) 이동시 발생하는 병진방향 및 회전방향 관성 반력이 지지부(1070)에 미치는 영향을 줄이는 동일한 효과를 얻을 수 있다. 다만 제2 방향(1021)으로 테이블(1010)이 왕복 이동할 때 테이블(1010) 이외에 제1 리니어 모터(1030)도 함께 움직이기 때문에 제2 방향(1021) 이동을 위한 제2 리니어 모터(1040) 및 제3 리니어 모터(1050)가 더 많은 출력을 사용하여야 한다.
이하 본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다.
(1) 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터;로서, 제1 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제2 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제3 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제4 리니어 모터;로서, 제3 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제4 리니어 모터; 제1 리니어 모터와 제2 리니어 모터를 연결하는 제1 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 연결부; 제3 리니어 모터와 제4 리니어 모터를 연결하는 제2 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 연결부; 그리고, 제1 리니어 모터, 제2 리니터 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며, 제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드;제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제2 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드; 제3 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제3 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 그리고, 제4 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제4 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(2) 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 구동부는 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 각각 이동부가 움직이는 방향의 반대 방향으로 움직일 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(3) 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터 중 적어도 하나의 구동부와 연동하여 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 움직인 구동부를 본래의 위치로 움직이게 하는 위치 조정부;를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(4) 위치 조정부는 댐퍼 및 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(5) 위치 조정부는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(6) 제1 연결부와 테이블 사이에 위치하여 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제5 리니어 가이드; 그리고, 제2 연결부와 테이블 사이에 위치하여 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제6 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(7) 제1 리니어 가이드 내지 제6 리니어 가이드는 에어 베어링, 자기 베어링, 볼 순환식 리이어 모션 가이드, 크로스롤러 테이블, 캠 팔로우어 및 미끄럼 베어링 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(8) 테이블은 제1 방향으로 형성된 제1 홈 및 제2 방향으로 형성된 제2 홈을 포함하며, 제1 홈과 제2 연결부가 결합하고 제2 홈과 제1 연결부가 결합하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(9) 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터는 추가 질량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(10) 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터 중 적어도 하나의 이동부와 연동하여 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템으로 들어오는 광의 경로를 테이블 방향으로 변경하는 제1 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(11) 테이블과 연동하여 제1 반사부를 통해 테이블로 들어온 광을 테이블로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 제2 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(12) 제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광의 경로는 테이블 면에 수직한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(13) 지지부와 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 이동부 및 구동부 3자 간의 상대적 변위를 측정하기 위한 제1 위치 센서; 및 제2 위치 센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(14) 제1 위치 센서는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하며, 제2 위치 센서는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 구동부의 지지부에 대한 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(15) 제1 리니어 모터의 이동부, 제2 리니어 모터의 이동부, 제1 연결부 및 테이블의 합쳐진 질량 중심 높이와 제1 리니어 모터의 구동부 및 제2 리니어 모터의 구동부의 합쳐진 질량 중심 높이가 제1 높이로 동일하며, 제3 리니어 모터의 이동부, 제4 리니어 모터의 이동부, 제2 연결부 및 테이블의 합쳐진 질량 중심 높이와 제3 리니어 모터의 구동부 및 제4 리니어 모터의 구동부의 합쳐진 질량 중심 높이가 제2 높이로 동일한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(16) 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 추력선의 높이는 제1 높이이고, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 추력선의 높이는 제2 높이인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(17) 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제3 리니어 모터;로서, 제2 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제3 리니어 모터;제2 리니어 모터와 제3 리니어 모터를 연결하는 연결부;로서, 연결부 위에 제1 리니어 모터가 위치하는 연결부; 그리고, 제2 리니터 모터 및 제3 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며, 제1 리니어 모터의 구동부 및 연결부 사이에 위치하여 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드; 제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제2 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드; 그리고, 제3 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제3 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
(18) 테이블과 연결부 사이에 위치하여 테이블을 제1 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템에 의하면, 병진방향 및 회전방향의 관성 반력이 지지부에 미치는 영향을 줄인 이동 가능한 테이블 시스템을 만들 수 있다.
이동 가능한 테이블 시스템 : 100, 200, 300, 500, 600, 700, 800
리니어 모터 : 120, 130, 220x, 221x, 230y, 231y, 330, 340, 350, 360, 530, 540, 550, 560, 730, 740, 750, 760, 830, 840, 850, 860, 1030, 1040, 1050
리니어 가이드 : 140, 150, 170, 180, 390, 391 392, 393, 394, 395, 650, 890, 891, 892, 893, 894, 895, 896

Claims (18)

  1. 테이블;
    테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터;
    테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터;로서, 제1 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제2 리니어 모터;
    테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제3 리니어 모터;
    테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제4 리니어 모터;로서, 제3 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제4 리니어 모터;
    제1 리니어 모터와 제2 리니어 모터를 연결하는 제1 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 연결부;
    제3 리니어 모터와 제4 리니어 모터를 연결하는 제2 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 연결부; 그리고,
    제1 리니어 모터, 제2 리니터 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며,
    제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드;
    제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제2 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드;
    제3 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제3 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 그리고,
    제4 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제4 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하며,
    제1 리니어 모터의 이동부, 제2 리니어 모터의 이동부, 제1 연결부 및 테이블의 합쳐진 질량 중심 높이와 제1 리니어 모터의 구동부 및 제2 리니어 모터의 구동부의 합쳐진 질량 중심 높이가 제1 높이로 동일하며, 제3 리니어 모터의 이동부, 제4 리니어 모터의 이동부, 제2 연결부 및 테이블의 합쳐진 질량 중심 높이와 제3 리니어 모터의 구동부 및 제4 리니어 모터의 구동부의 합쳐진 질량 중심 높이가 제2 높이로 동일하며, 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 추력선의 높이는 제1 높이이고, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 추력선의 높이는 제2 높이이며,
    제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터 중 적어도 하나와 구동부를 공유하며 지지부에 고정된 이동부를 갖는 리니어 모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 구동부는 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 각각 이동부가 움직이는 방향의 반대 방향으로 움직일 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  3. 청구항 2에 있어서,
    제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터 중 적어도 하나의 구동부와 연동하여 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 움직인 구동부를 본래의 위치로 움직이게 하는 위치 조정부;를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  4. 청구항 3에 있어서,
    위치 조정부는 댐퍼 및 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  5. 청구항 3에 있어서,
    위치 조정부는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  6. 청구항 1에 있어서,
    제1 연결부와 테이블 사이에 위치하여 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제5 리니어 가이드; 그리고,
    제2 연결부와 테이블 사이에 위치하여 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제6 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  7. 청구항 6에 있어서,
    제1 리니어 가이드 내지 제6 리니어 가이드는 에어 베어링, 자기 베어링, 볼 순환식 리이어 모션 가이드, 크로스롤러 테이블, 캠 팔로우어 및 미끄럼 베어링 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  8. 청구항 1에 있어서,
    테이블은 제1 방향으로 형성된 제1 홈 및 제2 방향으로 형성된 제2 홈을 포함하며, 제1 홈과 제2 연결부가 결합하고 제2 홈과 제1 연결부가 결합하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  9. 청구항 1에 있어서,
    제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터는 추가 질량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  10. 청구항 1에 있어서,
    제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터 중 적어도 하나의 이동부와 연동하여 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템으로 들어오는 광의 경로를 테이블 방향으로 변경하는 제1 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  11. 청구항 10에 있어서,
    테이블과 연동하여 제1 반사부를 통해 테이블로 들어온 광을 테이블로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 제2 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  12. 청구항 11에 있어서,
    제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광의 경로는 테이블 면에 수직한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  13. 청구항 1에 있어서,
    지지부, 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 이동부 및 구동부 3자 간의 상대적 변위를 측정하기 위한 제1 위치 센서; 및 제2 위치 센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
  14. 청구항 13에 있어서,
    제1 위치 센서는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하며, 제2 위치 센서는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 구동부의 지지부에 대한 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.
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