JP2005297189A - Xyテーブル装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】XYテーブル装置のサーボ特性を高帯域化することにより、従来にない高加減速位置決めが可能なXYテーブル装置を提供する。
【解決手段】X軸方向に直線移動するX軸テーブル1及びY軸方向に直線移動するY軸テーブル2に連繋され、XY平面上を任意の方向に移動して所定位置に位置決めされる出力テーブル3を備えたXYテーブル装置において、出力テーブル3とY軸テーブル2とを連繋するY軸カップリングを直動案内装置であるリニアガイド装置9で構成し、そのリニアガイド装置9の案内レール9RをY軸テーブル2側に、スライダ9Sを出力テーブル3側に固定した。これにより出力テーブル3のヨーイングが防止できる。さらに出力テーブル3とY軸テーブル2とをほぼ同一高さに配設するとピッチングも防止できる。
【選択図】図1
【解決手段】X軸方向に直線移動するX軸テーブル1及びY軸方向に直線移動するY軸テーブル2に連繋され、XY平面上を任意の方向に移動して所定位置に位置決めされる出力テーブル3を備えたXYテーブル装置において、出力テーブル3とY軸テーブル2とを連繋するY軸カップリングを直動案内装置であるリニアガイド装置9で構成し、そのリニアガイド装置9の案内レール9RをY軸テーブル2側に、スライダ9Sを出力テーブル3側に固定した。これにより出力テーブル3のヨーイングが防止できる。さらに出力テーブル3とY軸テーブル2とをほぼ同一高さに配設するとピッチングも防止できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、XYテーブル装置に係り、特に高加減速位置決め用XYテーブル装置の位置決め特性の改良に関する。
従来の高加減速位置決め用XYテーブル装置としては、例えば図4ないし図6に示すようなものがある。一般的なXYテーブル装置がボールねじ駆動のX軸テーブルとY軸テーブルとを上下二段に積み重ねて各軸の負荷重量を軽減する構成となっているのに対して、このものは、X軸テーブル1とY軸テーブル2とが積み重ねることなく平面方向にずらして配置されている。そして、X軸テーブル1の上に、被搬送物を取り付ける出力テーブル3が重ねて配設され、それら両テーブル1,3はX軸の力を伝達する直動案内装置であるリニアガイド装置4(以下、X軸カップリングという)を介して連結されている。このX軸カップリング4は、二基一対のリニアガイド装置からなり、その案内レール4RはX軸テーブル1の直動案内装置としてベースB上に左右一対に配したリニアガイド装置6に対し直交させて出力テーブル3の下面に取り付けられている。一方、Y軸テーブル2の方は、ベースB上に配されているリニアガイド装置6に支持されており、そのテーブル面上に高さ調整用部材8を介して取り付けたY軸の力を伝達する直動案内装置であるリニアガイド装置9(以下、Y軸カップリングという)により出力テーブル3に連結されている。
この場合、X軸テーブル1,Y軸テーブル2とも、テーブル駆動手段としては、サーボモータ10とこれにカップリング11を介してねじ軸12が連結されたボールねじ式走行装置13を備えており、図示しない位置検出器の位置情報に基づいてサーボモータ10を駆動し、出力テーブル3の位置をフィードバック制御する。
XYテーブル装置において高加減速の位置決めを行うためには、サーボ特性の高帯域化換言すれば剛性の向上が不可欠である。
しかしながら、従来のXYテーブル装置では、サーボモータ10で駆動されるY軸テーブル2とこれに連繋する出力テーブル3との間に介在しているY軸カップリング9がサーボ特性の帯域を制限しているため、より高加減速の位置決めはできないという問題点がある。具体的には、図6に示すように、出力テーブル3とY軸テーブル2とがX軸方向にずれている状態では、Y軸カップリング9のスライダ9Sを介して加えられるY軸テーブル2からの駆動力Fの方向は、スライダ9Sが案内レール9Rに沿って移動するために出力テーブル3の重心からずれる。ところがこの場合、Y軸テーブル2の方は、図4,図5に示すようにリニアガイド装置6の案内レール6RがベースBに固定されていてヨーイング剛性が高いのに対し、出力テーブル3はX軸カップリング4を介してX軸テーブル1に固定されていることからヨーイング剛性がY軸テーブル2より低くなっている。そのため出力テーブル3に、矢印y0(図6)のようなヨーイングが発生する。
しかしながら、従来のXYテーブル装置では、サーボモータ10で駆動されるY軸テーブル2とこれに連繋する出力テーブル3との間に介在しているY軸カップリング9がサーボ特性の帯域を制限しているため、より高加減速の位置決めはできないという問題点がある。具体的には、図6に示すように、出力テーブル3とY軸テーブル2とがX軸方向にずれている状態では、Y軸カップリング9のスライダ9Sを介して加えられるY軸テーブル2からの駆動力Fの方向は、スライダ9Sが案内レール9Rに沿って移動するために出力テーブル3の重心からずれる。ところがこの場合、Y軸テーブル2の方は、図4,図5に示すようにリニアガイド装置6の案内レール6RがベースBに固定されていてヨーイング剛性が高いのに対し、出力テーブル3はX軸カップリング4を介してX軸テーブル1に固定されていることからヨーイング剛性がY軸テーブル2より低くなっている。そのため出力テーブル3に、矢印y0(図6)のようなヨーイングが発生する。
また、出力テーブル3とY軸テーブル2とは高さに段差があり、これを高さ調整用部材8を介して取り付けた一台のリニアガイド装置からのみ構成されているY軸カップリング9で連携している。そのため出力テーブル3にY軸テーブル2による駆動力を伝達する際に、高さ調整用部材8が図4に矢印p0 で示すように上下に揺動してしまい、出力テーブル3にピッチングが発生する。
そこで本発明は、このような従来の高加減速のXYテーブル装置の問題点に着目してなされたもので、前記出力テーブルのヨーイング及びピッチングを除去することにより、従来にない高加減速位置決めが可能なXYテーブル装置を提供することを目的とする。
そこで本発明は、このような従来の高加減速のXYテーブル装置の問題点に着目してなされたもので、前記出力テーブルのヨーイング及びピッチングを除去することにより、従来にない高加減速位置決めが可能なXYテーブル装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成する本発明に係る請求項1の発明は、ベースと、該ベース上に互いに平行に配置された複数のリニアガイド装置からなる第1のテーブル支持機構と、該第1のテーブル支持機構によりX方向に移動可能に支持されたX軸テーブルと、該X軸テーブルをX方向に駆動するボールねじ式走行装置からなるX軸テーブル駆動手段と、前記第1のテーブル支持機構のリニアガイド装置に対して水平面内で直角に且つ互いに平行に配置された複数のリニアガイド装置からなる第2のテーブル支持機構と、該第2のテーブル支持機構によりY方向に移動可能に支持され、前記X軸テーブルと垂直方向に積み重ねることなく水平方向にずらして配置されたY軸テーブルと、該Y軸テーブルをY方向に駆動するボールねじ式走行装置からなるY軸テーブル駆動手段と、前記X軸テーブル上に前記第1のテーブル支持機構のリニアガイド装置と直交するように配置された複数のリニアガイド装置からなる第3のテーブル支持機構と、該第3のテーブル支持機構を介して前記X軸テーブル上に配置され、前記X軸テーブル及び前記Y軸テーブルに連繋してXY方向に移動することにより所定位置に位置決めされる出力テーブルとを備えたXYテーブル装置において、前記出力テーブルと前記Y軸テーブルとを直動案内装置を介して連繋すると共に、該直動案内装置の案内レールはY軸テーブル側に、スライダは出力テーブル側に固定したことを特徴とするものである。
また、本発明に係る請求項2の発明は、請求項1における出力テーブルとY軸テーブルとをほぼ同一高さに配設したことを特徴とするものである。
また、本発明に係る請求項2の発明は、請求項1における出力テーブルとY軸テーブルとをほぼ同一高さに配設したことを特徴とするものである。
以上説明したように、本発明のXYテーブル装置によれば、XY平面上を任意の方向に移動して所定位置に位置決めされる出力テーブル3とY軸テーブル2とを連繋するにあたり、Y軸テーブル2からY軸カップリング9を介して伝達する駆動力が、常時、出力テーブル3の重心に向かうようにしたため、従来のように出力テーブル3にヨーイングは発生せず、XYテーブル装置の剛性が高くなり、高加減速の位置決めが実現できるという効果を奏する。
また、出力テーブル3とY軸テーブル2とを同一高さにしたものにあっては、従来のように出力テーブル3にピッチングが発生せず、さらにXYテーブル装置の剛性が高くなり、より高加減速の位置決めが実現できるという効果を奏する。
また、出力テーブル3とY軸テーブル2とを同一高さにしたものにあっては、従来のように出力テーブル3にピッチングが発生せず、さらにXYテーブル装置の剛性が高くなり、より高加減速の位置決めが実現できるという効果を奏する。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図1は本発明に係る高加減速位置決め用XYテーブル装置の実施の形態の一例を示す側面図,図2はその平面図であり、従来と同一の部分には同一の符号を付してある。
先ず、構成を説明すると、ベースB1上に、直動案内装置としての一対のリニアガイド装置6を介してX軸テーブル1が取り付けられている。リニアガイド装置6はいわゆるリニアモーション・ベアリングである。すなわち、側面に転動体転動溝を有する案内レール6R上に、多数の転動体(ボール又はころ)が循環移動する無限循環経路を備えたスライダ(ベアリング)6Sが跨架され、転動体が転動体転動溝に沿って転動循環することにより案内レール6Rとスライダ6Sとが相対直線運動をする。その案内レール6Rの方をベースB1上にX軸に沿って平行に固定してある。スライダ6Sは各案内レール6Rごとに2台づつ取り付けてあり、計4台のスライダ6SでX軸テーブル1を支持している。
図1は本発明に係る高加減速位置決め用XYテーブル装置の実施の形態の一例を示す側面図,図2はその平面図であり、従来と同一の部分には同一の符号を付してある。
先ず、構成を説明すると、ベースB1上に、直動案内装置としての一対のリニアガイド装置6を介してX軸テーブル1が取り付けられている。リニアガイド装置6はいわゆるリニアモーション・ベアリングである。すなわち、側面に転動体転動溝を有する案内レール6R上に、多数の転動体(ボール又はころ)が循環移動する無限循環経路を備えたスライダ(ベアリング)6Sが跨架され、転動体が転動体転動溝に沿って転動循環することにより案内レール6Rとスライダ6Sとが相対直線運動をする。その案内レール6Rの方をベースB1上にX軸に沿って平行に固定してある。スライダ6Sは各案内レール6Rごとに2台づつ取り付けてあり、計4台のスライダ6SでX軸テーブル1を支持している。
そのX軸テーブル1の走行駆動システムは、従来のものと同じくサーボモータ10とこれにカップリング11を介してねじ軸12が連結されたボールねじ式走行装置13であり、図外のボールねじナットがX軸テーブル1の下面に固定されている。そして、図示しない位置検出器の位置情報に基づいてサーボモータ10を駆動し、X軸テーブル1の位置をフィードバック制御する。
X軸テーブル1の上面と出力テーブル3との間に配設されて両者を連繋するX軸カップリング4も前記一対のリニアガイド装置6と同タイプのものであるが、スライダ4Sを下に配置してX軸テーブル1に固定し、上に位置する案内レール4RがY軸に沿って出力テーブル3の下面に固定されている。
X軸テーブル1の上面と出力テーブル3との間に配設されて両者を連繋するX軸カップリング4も前記一対のリニアガイド装置6と同タイプのものであるが、スライダ4Sを下に配置してX軸テーブル1に固定し、上に位置する案内レール4RがY軸に沿って出力テーブル3の下面に固定されている。
一方、Y軸テーブル2の方は、ベースB1より高くして段差をつけたベースB2の上に、一対のリニアガイド装置6で支持され、出力テーブル3と同一の高さにされている。二本の案内レール6RはY軸に沿って平行にベースB2に固定されており、各レール6Rごとに2台づつ取り付けた4台のスライダ6SがY軸テーブル2の下面に固定されている。この場合、そのY軸テーブル2の一端面は出力テーブル3の一端面と相い対しており、両者を連繋するリニアガイド装置からなるY軸カップリング9は、従来とは異なり案内レール9Rの方がY軸テーブル2の端面に固定され、スライダ9Sの方は、出力テーブル3の幅の中心に位置させてテーブル端面に固定されている。すなわち、Y軸テーブル2からY軸カップリング9を介して出力テーブル3に加えられる駆動力が、出力テーブル3の重心に作用するようにしてある。なお、この例は出力テーブル3上に負荷が載っていない場合のものであるが、負荷が載置される場合にはその負荷を含めた出力テーブル3の重心に力が作用するように、Y軸テーブル2の高さを調節してもよい。
Y軸テーブル2の走行駆動システムは、X軸テーブル1と同一のボールねじ式走行装置13であり、図示されないボールねじナットがY軸テーブル2の下面に取り付けられている。
Y軸テーブル2の走行駆動システムは、X軸テーブル1と同一のボールねじ式走行装置13であり、図示されないボールねじナットがY軸テーブル2の下面に取り付けられている。
次に上記XYテーブル装置の作用を説明する。
X軸テーブル1及びY軸テーブル2は、それぞれ、ボールねじ式走行装置13により駆動されて、リニアガイド装置6に案内されつつ直線運動する。出力テーブル3はX軸テーブル1によりX軸方向に、Y軸テーブル2によりY軸方向に駆動されて二次元運動を行い所定位置に位置決めされる。
しかして、図3に示すように出力テーブル3とY軸テーブル2とがX軸方向にずれている状態でも、Y軸カップリング9のスライダ9Sを介して加えられるY軸テーブル2からの駆動力Fの方向は、常に出力テーブル3の重心線に一致している。そのためヨーイング剛性が低い出力テーブル3にモーメント力が働からず、したがって出力テーブル3にヨーイングは発生しない。
また、出力テーブル3とY軸テーブル2とは同一高さにあるから、出力テーブル3にY軸カップリング9を介してY軸テーブル2による駆動力を伝達する際に、出力テーブル3にピッチングは発生しない。
X軸テーブル1及びY軸テーブル2は、それぞれ、ボールねじ式走行装置13により駆動されて、リニアガイド装置6に案内されつつ直線運動する。出力テーブル3はX軸テーブル1によりX軸方向に、Y軸テーブル2によりY軸方向に駆動されて二次元運動を行い所定位置に位置決めされる。
しかして、図3に示すように出力テーブル3とY軸テーブル2とがX軸方向にずれている状態でも、Y軸カップリング9のスライダ9Sを介して加えられるY軸テーブル2からの駆動力Fの方向は、常に出力テーブル3の重心線に一致している。そのためヨーイング剛性が低い出力テーブル3にモーメント力が働からず、したがって出力テーブル3にヨーイングは発生しない。
また、出力テーブル3とY軸テーブル2とは同一高さにあるから、出力テーブル3にY軸カップリング9を介してY軸テーブル2による駆動力を伝達する際に、出力テーブル3にピッチングは発生しない。
なお、上記の実施の形態では、X軸テーブル1及びY軸テーブル2の支持機構としていわゆるリニアモーション・ベアリングタイプのリニアガイド装置6を採用した場合を示したが、これに限らず、その他例えばV溝を有して対向する二本のレールの間に多数の円筒ころを交互に90°づつ位相をずらして配列してなる非循環式の転がり案内装置のようなタイプの直線案内機構であっても良く、要はリニアモータ20の固定子と可動子との間の所定ギャップを維持し且つX軸テーブル1やY軸テーブル2の直線移動を滑らかに案内できるものであれば良い。
また、上記実施の形態では、X軸テーブル1及びY軸テーブル2の走行駆動システムとしてボールねじ式走行装置13を用いたが、ボールねじ式走行装置13の代わりにX軸テーブル1及びY軸テーブル2の下面側にリニアモータを配設した走行装置を用いてもよい。
また、上記実施の形態では、X軸テーブル1及びY軸テーブル2の走行駆動システムとしてボールねじ式走行装置13を用いたが、ボールねじ式走行装置13の代わりにX軸テーブル1及びY軸テーブル2の下面側にリニアモータを配設した走行装置を用いてもよい。
1 X軸テーブル
2 Y軸テーブル
3 出力テーブル
4 リニアガイド装置(X軸カップリング)
6 リニアガイド装置(直動案内装置)
9 リニアガイド装置(Y軸カップリング)
9R 案内レール
9S スライダ
13 ボールねじ式走行装置
2 Y軸テーブル
3 出力テーブル
4 リニアガイド装置(X軸カップリング)
6 リニアガイド装置(直動案内装置)
9 リニアガイド装置(Y軸カップリング)
9R 案内レール
9S スライダ
13 ボールねじ式走行装置
Claims (2)
- ベースと、該ベース上に互いに平行に配置された複数のリニアガイド装置からなる第1のテーブル支持機構と、該第1のテーブル支持機構によりX方向に移動可能に支持されたX軸テーブルと、該X軸テーブルをX方向に駆動するボールねじ式走行装置からなるX軸テーブル駆動手段と、前記第1のテーブル支持機構のリニアガイド装置に対して水平面内で直角に且つ互いに平行に配置された複数のリニアガイド装置からなる第2のテーブル支持機構と、該第2のテーブル支持機構によりY方向に移動可能に支持され、前記X軸テーブルと垂直方向に積み重ねることなく水平方向にずらして配置されたY軸テーブルと、該Y軸テーブルをY方向に駆動するボールねじ式走行装置からなるY軸テーブル駆動手段と、前記X軸テーブル上に前記第1のテーブル支持機構のリニアガイド装置と直交するように配置された複数のリニアガイド装置からなる第3のテーブル支持機構と、該第3のテーブル支持機構を介して前記X軸テーブル上に配置され、前記X軸テーブル及び前記Y軸テーブルに連繋してXY方向に移動することにより所定位置に位置決めされる出力テーブルとを備えたXYテーブル装置において、
前記出力テーブルと前記Y軸テーブルとを直動案内装置を介して連繋すると共に、該直動案内装置の案内レールはY軸テーブル側に、スライダは出力テーブル側に固定したことを特徴とするXYテーブル装置。 - 前記出力テーブルと前記Y軸テーブルとをほぼ同一高さに配設したことを特徴とする請求項1記載のXYテーブル装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005157827A JP2005297189A (ja) | 2005-05-30 | 2005-05-30 | Xyテーブル装置 |
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Family Applications (1)
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108568788A (zh) * | 2018-07-11 | 2018-09-25 | 南通理工学院 | 一种智能多功能工作台及控制方法 |
US10183368B2 (en) | 2015-01-13 | 2019-01-22 | Inno6 Inc. | Movable table system |
KR20190014841A (ko) * | 2017-08-04 | 2019-02-13 | 이노6 주식회사 | 이동 가능한 테이블 시스템 |
KR20190108830A (ko) | 2018-03-15 | 2019-09-25 | 이노6 주식회사 | 다축 구조 스테이지 |
KR20220060767A (ko) | 2020-11-05 | 2022-05-12 | 이노6 주식회사 | 반발력 저감 테이블 시스템 |
KR20220121436A (ko) | 2021-02-25 | 2022-09-01 | 이노6 주식회사 | 힌지구조를 갖는 스테이지 |
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2005
- 2005-05-30 JP JP2005157827A patent/JP2005297189A/ja active Pending
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