JP6723642B2 - ステージ装置 - Google Patents
ステージ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6723642B2 JP6723642B2 JP2016097770A JP2016097770A JP6723642B2 JP 6723642 B2 JP6723642 B2 JP 6723642B2 JP 2016097770 A JP2016097770 A JP 2016097770A JP 2016097770 A JP2016097770 A JP 2016097770A JP 6723642 B2 JP6723642 B2 JP 6723642B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- axis direction
- moving body
- drive unit
- connecting member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67715—Changing the direction of the conveying path
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
従来、第1移動体と、第1移動体をX軸方向に駆動するためのX軸駆動部と、第1移動体のX軸方向の移動を案内し、Y軸方向に移動可能に構成された第2移動体と、を備えるステージ装置が知られている。このステージ装置では、X軸駆動部は、第2移動体に支持される。そのため、X軸駆動部が第1移動体を駆動させたときの反力は第2移動体に伝搬しうる。
第1Y軸駆動部20の第1Y軸可動子30のコイルと、第2Y軸駆動部22の第2Y軸可動子36のコイルに電流が供給されると、各コイルとY軸固定子との間に電磁力が発生し、その電磁相互作用によってY軸可動子ひいては第2移動体14(および第1移動体12)がY軸方向に移動する。第1X軸駆動部16の第1X軸可動子54のコイルと、第2X軸駆動部18の第2X軸可動子60のコイルに電流が供給されると、各コイルとX軸固定子との間に電磁力が発生し、その電磁相互作用によってX軸可動子ひいては第1移動体12がX軸方向に移動する。このように第1移動体12および第2移動体14を移動させることにより、第1移動体12のステージ70をXY方向に移動させ、ステージ70に載置される対象物をXY方向に位置決めする。第1X軸駆動部16および第2X軸駆動部18は、連結部材88によりガイドビーム42すなわち第2移動体14に連結されているため、第2移動体14のY軸方向の移動にともなってY軸方向に移動する。
実施の形態では特に言及しなかったが、連結部材88は、第1支持部材56および第2支持部材62よりもX軸方向の剛性が低くなるよう構成されてもよい。これにより、X軸駆動部が第1移動体12を駆動したときの反力は剛性が低い連結部材88には伝搬しにくくなり、したがって反力が連結部材88を介して第2移動体に伝搬するのが抑止される。
実施の形態では、連結部材88が板状の部材である場合について説明したが、これに限られない。連結部材88は、そのX軸方向における合成が、ガイドレール80,84のX軸方向における剛性よりも低くなるよう構成されればよい。図5(a)〜(c)はそれぞれ、変形例に係る連結部材を示す。
実施の形態では、Y軸駆動部は、第2移動体をY軸方向に駆動する場合について説明したが、これに限られない。Y軸駆動部は、X軸駆動部をY軸方向に駆動してもよい。この場合、Y軸駆動部の可動子とX軸駆動部とが連結される。Y軸駆動部に駆動されてX軸駆動部がY軸方向に移動すると、連結部材によりX軸駆動部と連結された第2移動体は、X軸駆動部とともにY軸方向に移動する。
実施の形態および上述の変形例では、第1移動体12とX軸駆動部とが連結部材で連結され、第1移動体12またはX軸駆動部の一方をY軸駆動部により駆動する場合について説明したが、これに限られない。ステージ装置は、第1移動体12をY軸方向に駆動するY軸駆動部に加えて、X軸駆動部をY軸方向に駆動する別のY軸駆動部を備えてもよい。この場合、Y軸駆動部により第1移動体12をY軸方向に移動させるのと実質的に同時に、別のY軸駆動部により第1移動体12と同じ方向にX方向にX軸駆動部を移動させてもよい。
Claims (5)
- 第1移動体と、
前記第1移動体をX軸方向に駆動するためのX軸駆動部と、
前記第1移動体のX軸方向の移動を案内し、Y軸方向に移動可能に構成された第2移動体と、
前記第2移動体をY軸方向に移動させるためのY軸駆動部と、を備え、
前記X軸駆動部と前記第2移動体および前記Y軸駆動部とは、互いに独立して支持され、
前記X軸駆動部は、Y軸方向に移動可能に構成され、
前記Y軸駆動部は、前記第2移動体または前記X軸駆動部をY軸方向に駆動し、
前記第2移動体と前記X軸駆動部とは、連結部材で連結されていることを特徴とするステージ装置。 - 前記X軸駆動部を支持するとともに、前記X軸駆動部のY軸方向の移動を案内するガイドレールを備え、
前記連結部材は、そのX軸方向における剛性が、前記ガイドレールのX軸方向における剛性よりも低くなるよう構成されることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 前記連結部材は、弾性ヒンジであることを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 前記弾性ヒンジは、柱状であることを特徴とする請求項3に記載のステージ装置。
- 前記第2移動体と前記X軸駆動部とは、Y軸方向の両端側のそれぞれにおいて前記連結部材によって連結されることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のステージ装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016097770A JP6723642B2 (ja) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | ステージ装置 |
TW106109766A TWI708653B (zh) | 2016-05-16 | 2017-03-23 | 載物台裝置 |
KR1020170045372A KR102009333B1 (ko) | 2016-05-16 | 2017-04-07 | 스테이지장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016097770A JP6723642B2 (ja) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | ステージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017208373A JP2017208373A (ja) | 2017-11-24 |
JP6723642B2 true JP6723642B2 (ja) | 2020-07-15 |
Family
ID=60417376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016097770A Active JP6723642B2 (ja) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | ステージ装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6723642B2 (ja) |
KR (1) | KR102009333B1 (ja) |
TW (1) | TWI708653B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7370920B2 (ja) * | 2020-03-31 | 2023-10-30 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
KR102547187B1 (ko) * | 2021-02-16 | 2023-06-26 | 재단법인대구경북과학기술원 | 갠트리 스테이지장치 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2714502B2 (ja) * | 1991-09-18 | 1998-02-16 | キヤノン株式会社 | 移動ステージ装置 |
JPH0786377A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-31 | Canon Inc | 位置決め装置 |
US5623853A (en) * | 1994-10-19 | 1997-04-29 | Nikon Precision Inc. | Precision motion stage with single guide beam and follower stage |
JP3634483B2 (ja) * | 1996-02-13 | 2005-03-30 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、及びこれを用いた露光装置やデバイス生産方法 |
JP3635600B2 (ja) * | 1996-08-29 | 2005-04-06 | キヤノン株式会社 | 送り装置 |
JPH10293611A (ja) * | 1997-04-21 | 1998-11-04 | Canon Inc | 位置決め装置 |
JP2001307983A (ja) * | 2000-04-20 | 2001-11-02 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
JP4162838B2 (ja) * | 2000-07-07 | 2008-10-08 | 住友重機械工業株式会社 | X−yステージ装置 |
KR100396020B1 (ko) * | 2001-04-16 | 2003-08-27 | 박희재 | 초정밀 위치결정시스템 |
JP2006173238A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Nikon Corp | ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
JP4231486B2 (ja) * | 2005-02-14 | 2009-02-25 | 住友重機械工業株式会社 | X−yステージ装置 |
TWI457193B (zh) * | 2006-03-02 | 2014-10-21 | Sumitomo Heavy Industries | Stage device |
JP5106981B2 (ja) | 2007-10-19 | 2012-12-26 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
JP2009105439A (ja) * | 2009-02-03 | 2009-05-14 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 基板検査装置 |
US8988655B2 (en) * | 2010-09-07 | 2015-03-24 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, movable body apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method |
JP5785722B2 (ja) * | 2011-02-02 | 2015-09-30 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
JP6132079B2 (ja) * | 2012-04-04 | 2017-05-24 | 株式会社ニコン | 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
JP2014098731A (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Nikon Corp | 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
CN204248537U (zh) * | 2014-11-26 | 2015-04-08 | 广东工业大学 | 异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台 |
-
2016
- 2016-05-16 JP JP2016097770A patent/JP6723642B2/ja active Active
-
2017
- 2017-03-23 TW TW106109766A patent/TWI708653B/zh active
- 2017-04-07 KR KR1020170045372A patent/KR102009333B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102009333B1 (ko) | 2019-10-21 |
TW201741063A (zh) | 2017-12-01 |
KR20170129046A (ko) | 2017-11-24 |
JP2017208373A (ja) | 2017-11-24 |
TWI708653B (zh) | 2020-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5575802B2 (ja) | 一体式ステージ位置決めシステム及び方法 | |
EP2882082A1 (en) | Linear motor and platform device | |
JP6068877B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP2004223647A (ja) | 位置決め装置 | |
JP4970410B2 (ja) | ステージ装置及び半導体検査装置 | |
JP6723642B2 (ja) | ステージ装置 | |
EP2674995A1 (en) | Moving mechanism, electronic component transport device, electronic component inspection device | |
JP2005297189A (ja) | Xyテーブル装置 | |
KR101049722B1 (ko) | Xy 스테이지장치 | |
KR100541740B1 (ko) | 이송장치 | |
JP7370920B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP5106981B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP4580537B2 (ja) | Xyステージ | |
JP4987662B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP5138443B2 (ja) | Xyステージ装置 | |
JP2010151322A (ja) | Xyステージ | |
KR102567650B1 (ko) | Z축스테이지 및 z축스테이지를 포함하는 스테이지장치 | |
KR100428052B1 (ko) | I형 빔으로 구성된 이중 h구조를 이용한 장행정스테이지 | |
KR101094874B1 (ko) | 자기베어링을 이용한 이동장치 | |
JP6584990B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP2014193045A (ja) | プロービング装置 | |
JP6760720B2 (ja) | Xyテーブル装置 | |
JP2023114174A (ja) | テーブル装置 | |
JP2006281426A (ja) | 位置決め装置 | |
JP2017072429A (ja) | 位置決め装置及び位置決め方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190814 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190820 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191017 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191203 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200331 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200528 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200623 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200623 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6723642 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |