JP6723642B2 - ステージ装置 - Google Patents

Description

本発明は、ステージ装置に関する。

対象物を位置決めするためのステージ装置が知られている。従来では、第１移動体と、第１移動体をＸ軸方向に駆動する駆動体と、第１移動体のＸ軸方向の移動を案内し、Ｙ軸方向に移動可能に構成された第２移動体と、を備えるステージ装置が提案されている（例えば特許文献１）。

特開２００９−１０１４２７号公報

本発明のある態様の例示的な目的のひとつは、ステージ装置の高精度化を実現できる技術を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明のある態様のステージ装置は、第１移動体と、第１移動体をＸ軸方向に駆動するためのＸ軸駆動部と、第１移動体のＸ軸方向の移動を案内し、Ｙ軸方向に移動可能に構成された第２移動体と、を備える。Ｘ軸駆動部は、第２移動体を介さずに支持される。

なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本発明の構成要素や表現を方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。

本発明によれば、ステージ装置の高精度化を実現できる。

図１は、実施形態に係るステージ装置を示す図である。 図２（ａ）〜（ｃ）は、実施形態に係るステージ装置を示す図である。 図２（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。 図１のガイドビームの一端とその周辺を示す斜視図である。 図５（ａ）〜（ｃ）は、変形例に係る連結部材を示す図である。

以下、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、工程には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。

実施の形態に係るステージ装置を得るに至った経緯を説明する。
従来、第１移動体と、第１移動体をＸ軸方向に駆動するためのＸ軸駆動部と、第１移動体のＸ軸方向の移動を案内し、Ｙ軸方向に移動可能に構成された第２移動体と、を備えるステージ装置が知られている。このステージ装置では、Ｘ軸駆動部は、第２移動体に支持される。そのため、Ｘ軸駆動部が第１移動体を駆動させたときの反力は第２移動体に伝搬しうる。

ところで、ステージ装置をより大きい対象物の位置決めに使用したいという要求がある。この場合、ステージ装置を大型化する必要があり、それに伴ってＸ軸駆動部も大型化し、Ｘ軸駆動部が第１移動体を駆動させたときの反力も大きくなる。したがって、従来のステージ装置をそのまま大型化すると、この大きい反力が第２移動体に伝搬してしまう。これは、第２移動体の構造部材に起因するヒステリシスおよび振動を誘発する。すなわち、高精度化への妨げとなる。

また、ステージ装置は、半導体デバイスの製造に使用される場合がある。半導体デバイスのデザインルールの微細化や重ね合わせにより、または積層のニーズにより、その製造に使用されるステージ装置には、さらなる高精度化が求められている。

つまり、いずれにせよ、ステージ装置には高精度化が求められている。これに対し、本実施の形態に係るステージ装置では、Ｘ軸駆動部は、第２移動体を介さずに定盤に支持される。これにより、Ｘ軸駆動部が第１移動体を駆動させたときの反力が第２移動体に伝搬するのが抑止され、第２移動体の構造部材に起因するヒステリシスおよび振動が発生しなくなる、あるいはその発生を抑止できる。つまり、より高精度なステージ装置を実現できる。以下、具体的に説明する。

図１、図２（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態に係るステージ装置１００を示す図である。説明の便宜上、図示のように、盤面１０ａ（後述）に平行なある方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向に直交する盤面１０ａに平行な方向をＹ軸方向、両者に直交する（すなわち盤面１０ａに直交する）方向をＺ軸方向とするＸＹＺ直交座標系を定める。図１は、ステージ装置１００を示す斜視図である。図２（ａ）はステージ装置１００の上面図、図２（ｂ）はＸ軸方向から見たステージ装置１００の側面図、図２（ｃ）はＹ軸方向から見たステージ装置１００の側面図である。ステージ装置１００は、ＸＹステージと称され、対象物をＸ軸方向、Ｙ軸方向に位置決めする。

ステージ装置１００は、定盤１０と、第１移動体１２と、第２移動体１４と、第１Ｘ軸駆動部１６と、第２Ｘ軸駆動部１８と、第１Ｙ軸駆動部２０と、第２Ｙ軸駆動部２２と、第１ガイド２４と、第２ガイド２６と、４つの連結部材８８と、を備える。

定盤１０は、平面視で矩形状の部材である。定盤１０の上面である盤面１０ａには、平面加工が施される。また、Ｙ軸方向に沿って延在する第１側面１０ｂにも、平面加工が施される。盤面１０ａおよび第１側面１０ｂは、後述するようにエアベアリングが滑走する滑走面として機能する。

第１Ｙ軸駆動部２０は、第１Ｙ軸固定子２８と、第１Ｙ軸可動子３０と、を含む。第１Ｙ軸固定子２８は、細長い円柱状の部材であり、複数の円柱状の磁石を連結して構成される。第１Ｙ軸固定子２８は、その軸線方向がＹ軸方向と一致するよう配置され、定盤１０の第１側面１０ｂに固定された一対の保持部材（不図示）により両端が保持される。すなわち、第１Ｙ軸固定子２８は、平面視において、定盤１０の外側に配置される。

第１Ｙ軸可動子３０は、ハウジング３２と、コイル（不図示）と、を含む。ハウジング３２には、Ｙ軸方向に貫通する断面が円形の挿通孔が形成されており、第１Ｙ軸固定子２８が挿通される。コイルは、第１Ｙ軸固定子２８を取り囲むよう挿通孔内に配置され、挿通孔の周面に固定される。コイルに電流が流れると、コイルと第１Ｙ軸固定子２８との間に電磁力が発生し、その電磁相互作用によってコイルひいては第１Ｙ軸可動子３０がＹ軸方向に移動する。

第２Ｙ軸駆動部２２は、第２Ｙ軸固定子３４と、第２Ｙ軸可動子３６と、を含む。第２Ｙ軸固定子３４、第２Ｙ軸可動子３６は、第１Ｙ軸固定子２８、第１Ｙ軸可動子３０と同様に構成される。なお、第２Ｙ軸固定子３４は、その軸線方向がＹ軸方向と一致し、かつ、第１Ｙ軸固定子２８と平行に並ぶよう配置される。また、第２Ｙ軸固定子３４は、盤面１０ａ上に固定された一対の保持部材（不図示）により両端が支持される。

第２移動体１４は、第２可動部３８と、複数のＹ軸ヨーエアベアリング４０と、ガイドビーム４２と、複数のＹ軸リフトエアベアリング４４と、を含む。

第２可動部３８は、板状の部材であり、２つの主面がＸ軸方向を向くよう配置される。第２可動部３８は、第１Ｙ軸可動子３０の下方に設けられ、第１Ｙ軸可動子３０に連結される。したがって、第２可動部３８は、第１Ｙ軸可動子３０とともに移動する。第２可動部３８の下側部分は、定盤１０の第１側面１０ｂと対向する。

複数のＹ軸ヨーエアベアリング４０は、定盤１０の第１側面１０ｂと対向する第２可動部３８の下側部分に固定され、第１側面１０ｂに対して空気などの気体を噴出する。その反発力により、第２可動部３８と第１側面１０ｂとの非接触状態が維持される。

ガイドビーム４２は、長尺状の部材であり、第１Ｘ軸固定子５２（後述）と第２Ｘ軸固定子５８（後述）との間に、その長手方向がＸ軸方向に一致するよう配置される。ガイドビーム４２は、一端が第２可動部３８に連結され、他端が第２Ｙ軸可動子３６に連結される。ガイドビーム４２は、Ｘ軸方向に直交する断面の形状が凹形を有する。詳しくは、ガイドビーム４２は、底壁４６と、第１側壁４８と、第２側壁５０と、を含む。底壁４６は、Ｘ軸方向に長い平板状の部材であり、２つの主面がＺ軸方向を向くよう設けられる。第１側壁４８は、Ｘ軸方向に長い立壁であり、底壁４６の上面（すなわち一方の主面）のＹ軸方向の一端から立設する。第２側壁５０は、第１側壁４８と同様、Ｘ軸方向に長い立壁であり、第１側壁４８とＹ軸方向で対向するように底壁４６の上面のＹ軸方向の他端から立設する。

第１側壁４８の外側の面、すなわち第２側壁５０と対向する面とは反対側の面は、平面加工が施され、エアベアリングが滑走するための滑走面として機能する。以下、第１側壁４８の外側の面を第１滑走面４８ａと呼ぶ。同様に、第２側壁５０の外側の面は、平面加工が施され、エアベアリングが滑走するための滑走面として機能する。以下、第２側壁５０の外側の面を第２滑走面５０ａと呼ぶ。

複数のＹ軸リフトエアベアリング４４は、ガイドビーム４２に固定されている。Ｙ軸リフトエアベアリング４４は、定盤１０の盤面１０ａに対して気体を噴出する。その反発力によってＹ軸リフトエアベアリング４４ひいてはガイドビーム４２は、盤面１０ａと非接触のまま、詳しくは盤面１０ａとの間に数μｍ程度の隙間を介して、Ｚ軸方向に支持される。

第１Ｘ軸駆動部１６は、第１Ｘ軸固定子５２と、第１Ｘ軸可動子５４と、第１支持部材５６と、を含む。第１Ｘ軸固定子５２は、第１Ｙ軸固定子２８や第２Ｙ軸固定子３４と同様に構成される。第１Ｘ軸固定子５２は、その軸線方向がＸ軸方向と一致するよう配置され、第１支持部材５６により両端が支持される。第１Ｘ軸可動子５４は、第１Ｙ軸可動子３０や第２Ｙ軸可動子３６と同様に構成され、第１Ｘ軸固定子５２との電磁相互作用によってＸ軸方向に移動する。

第２Ｘ軸駆動部１８は、第２Ｘ軸固定子５８と、第２Ｘ軸可動子６０と、第２支持部材６２と、を含む。第２Ｘ軸固定子５８、第２Ｘ軸可動子６０は、第１Ｘ軸固定子５２と、第１Ｘ軸可動子５４と同様に構成される。第２Ｘ軸固定子５８は、その軸線方向がＸ軸方向と一致し、かつ、第１Ｘ軸固定子５２と平行に並ぶよう配置され、第２支持部材６２により両端が支持される。

図３は、図２（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。第１移動体１２は、第１可動部６４と、複数のＸ軸ヨーエアベアリング６６と、複数のＸ軸リフトエアベアリング６８と、ステージ７０と、を含む。第１可動部６４は、四角筒状の部材であり、ガイドビーム４２が挿通される。第１可動部６４は、底壁７２と、上壁７４と、第１側壁７６と、第２側壁７８と、を含む。第１側壁７６はガイドビーム４２の第１滑走面４８ａと対向し、第２側壁はＹ軸ガイドの第２滑走面５０ａと対向する。第１側壁の外側の面には、接続部材（不図示）を介して第１Ｘ軸可動子５４が連結され、第２側壁の外側の面には、接続部材（不図示）を介して第２Ｘ軸可動子６０が連結されている。したがって、第１可動部６４は、第１Ｘ軸可動子５４および第２Ｘ軸可動子６０とともに移動する。

複数のＸ軸ヨーエアベアリング６６は、第１側壁７６の内面（すなわち第２側壁と対向する面）７６ａ、第２側壁７８の内面（すなわち第１側壁と対向する面）７８ａに固定され、ガイドビーム４２の第１滑走面４８ａ、第２滑走面５０ａに対して気体を噴出する。また、複数のＸ軸リフトエアベアリング６８は、底壁７２の下面７２ａに固定され、盤面１０ａに対して気体を噴出する。第１可動部６４は、Ｘ軸ヨーエアベアリング６６およびＸ軸リフトエアベアリング６８が気体を噴出することによる反発力によって、ガイドビーム４２および盤面１０ａと非接触のまま、詳しくはガイドビーム４２および盤面１０ａとの間に数μｍ程度の隙間を介して、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に支持される。

ステージ７０は、第１可動部６４に固定される。ステージ７０には、例えば、半導体ウェハなどの加工対象物等が載せられる。

図１、図２（ａ）〜（ｃ）に戻り、第１ガイド２４は、第１ガイドレール８０と、２つの第１スライダ８２と、を含む。第１ガイドレール８０は、その延在方向がＹ軸方向に一致するよう盤面１０ａ上に固定される。２つの第１スライダ８２はそれぞれ、複数の転動体を含み、第１ガイドレール８０に沿ってＹ軸方向に移動する。

第２ガイド２６は、第２ガイドレール８４と、２つの第２スライダ８６と、を含む。第２ガイドレール８４、第２スライダ８６は、第１ガイドレール８０、第１スライダ８２と同様に構成される。なお、第２ガイドレール８４は、その延在方向がＹ軸方向に一致し、かつ、第１ガイドレール８０と平行に並ぶよう配置される。

第１Ｘ軸固定子５２を支持する２つの第１支持部材５６は、一方は第１ガイド２４の第１スライダ８２に固定され、他方は第２ガイド２６の第２スライダ８６に支持される。つまり、第１支持部材５６ひいては第１Ｘ軸駆動部１６は、Ｙ軸方向に移動可能に構成される。

同様に、第２Ｘ軸固定子５８を支持する２つの第２支持部材６２は、一方は第１ガイド２４の第１スライダ８２に固定され、他方は第２ガイドの第２スライダ８６に支持される。つまり、第２支持部材６２ひいては第２Ｘ軸駆動部１８は、Ｙ軸方向に移動可能に構成される。

図４は、ガイドビーム４２の一端とその周辺を示す斜視図である。連結部材８８は、ガイドビーム４２と、第１支持部材５６および第２Ｘ軸固定子５８と、を連結する。つまり、連結部材８８は、第２移動体１４と、Ｘ軸駆動部と、を連結する。連結部材８８は、そのＸ軸方向における剛性が、ガイドレール８０，８４のＸ軸方向における剛性よりも低くなるよう構成される。例えば、連結部材８８は、そのＸ軸方向における幅が、ガイドレール８０，８４のＸ軸方向における幅よりも薄くなるよう構成されてもよい。また例えば、連結部材８８は、第１ガイドレール８０よりもヤング率の低い材料により構成されてもよい。

また、本実施の形態では、連結部材８８は、Ｙ軸方向には比較的剛性が高く、Ｘ軸方向には比較的剛性が低く（少なくともＹ軸方向よりも剛性が低く）なるよう構成される。本実施の形態では、連結部材８８は、板状に形成され、その主面がＸ軸方向を向くよう設けられる。すなわち、連結部材８８は、Ｙ軸方向には比較的厚く、Ｘ軸方向には比較的薄く（少なくともＹ軸方向よりも薄く）構成される。

以上のように構成されたステージ装置１００の動作を説明する。
第１Ｙ軸駆動部２０の第１Ｙ軸可動子３０のコイルと、第２Ｙ軸駆動部２２の第２Ｙ軸可動子３６のコイルに電流が供給されると、各コイルとＹ軸固定子との間に電磁力が発生し、その電磁相互作用によってＹ軸可動子ひいては第２移動体１４（および第１移動体１２）がＹ軸方向に移動する。第１Ｘ軸駆動部１６の第１Ｘ軸可動子５４のコイルと、第２Ｘ軸駆動部１８の第２Ｘ軸可動子６０のコイルに電流が供給されると、各コイルとＸ軸固定子との間に電磁力が発生し、その電磁相互作用によってＸ軸可動子ひいては第１移動体１２がＸ軸方向に移動する。このように第１移動体１２および第２移動体１４を移動させることにより、第１移動体１２のステージ７０をＸＹ方向に移動させ、ステージ７０に載置される対象物をＸＹ方向に位置決めする。第１Ｘ軸駆動部１６および第２Ｘ軸駆動部１８は、連結部材８８によりガイドビーム４２すなわち第２移動体１４に連結されているため、第２移動体１４のＹ軸方向の移動にともなってＹ軸方向に移動する。

以上説明した実施の形態に係るステージ装置１００によると、第１Ｘ軸駆動部１６および第２Ｘ軸駆動部１８は、定盤１０の盤面１０ａ上に設けられたガイドに支持される支持部材に支持される。つまり、第１Ｘ軸駆動部１６および第２Ｘ軸駆動部１８は、第２移動体１４を介さずに支持される。これにより、第１Ｘ軸駆動部１６および第２Ｘ軸駆動部１８により第１移動体１２を駆動させたときの反力が第２移動体１４（特に第２可動部３８）に伝搬するのが抑止される。そのため、第２可動部３８の構造部材に起因するヒステリシスおよび振動が発生しなくなる、あるいはその発生が抑止される。つまり、より高精度なステージ装置１００が実現される。また、反力が第２可動部３８に伝搬するのが抑止されるため、その反力による第２可動部３８の振動が比較的早く収まる。これにより、ステージ装置１００を用いた生産のスループットが向上する。

また、実施の形態に係るステージ装置１００によると、連結部材８８は、そのＸ軸方向における剛性が、ガイドレール８０，８４のＸ軸方向における剛性よりも低くなるよう構成される。第１移動体１２を駆動させたときの反力は剛性が高い方に伝わりやすいところ、上述のように構成されることにより、その反力は、第１支持部材５６および第２支持部材６２から連結部材８８を介して第２移動体１４に伝搬するよりも、第１支持部材５６および第２支持部材６２からガイドレール８０，８４を介して定盤１０に伝搬しやすくなる。つまり、Ｘ軸駆動部が第１移動体１２を駆動させたときの反力が第２移動体１４に伝搬するのがより抑止される。

また、実施の形態に係るステージ装置１００によると、連結部材８８は、Ｙ軸方向には比較的高い剛性を有する。これにより、第２移動体１４がＹ軸方向に移動すると、連結部材８８により第２移動体１４に連結されたＸ軸駆動部も第２移動体１４とともにＹ軸方向に移動する。一方で、連結部材８８は、Ｘ軸方向には比較的低い剛性を有する。これにより、そうでない場合と比べて、Ｘ軸駆動部が第１移動体１２を駆動させたときの反力が第２移動体１４に伝搬するのをより抑止できる。

以上、実施の形態にステージ装置について説明した。この実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。以下変形例を示す。

（変形例１）
実施の形態では特に言及しなかったが、連結部材８８は、第１支持部材５６および第２支持部材６２よりもＸ軸方向の剛性が低くなるよう構成されてもよい。これにより、Ｘ軸駆動部が第１移動体１２を駆動したときの反力は剛性が低い連結部材８８には伝搬しにくくなり、したがって反力が連結部材８８を介して第２移動体に伝搬するのが抑止される。

（変形例２）
実施の形態では、連結部材８８が板状の部材である場合について説明したが、これに限られない。連結部材８８は、そのＸ軸方向における合成が、ガイドレール８０，８４のＸ軸方向における剛性よりも低くなるよう構成されればよい。図５（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、変形例に係る連結部材を示す。

図５（ａ）の連結部材１８８は、第１ベース１９０と、第２ベース１９２と、弾性ヒンジ１９４と、を含む。第１ベース１９０、第２ベース１９２は、板状に形成される。第１ベース１９０は支持部材に固定され、第２ベース１９２はガイドビーム４２に固定される。弾性ヒンジ９４は、第１ベース１９０と第２ベース１９２とを連結する。弾性ヒンジ１９４は、第１ベース９０や第２ベース９２と比べて、Ｚ軸方向の厚みが薄く形成される。連結部材１８８は、弾性ヒンジ１９４を有することにより、実施の形態の連結部材８８に比べて、Ｚ軸方向の剛性が比較的低くなる。

図５（ｂ）の連結部材２８８は、第１ベース２９０と、第２ベース２９２と、弾性ヒンジ２９４と、を含む。第１ベース２９０、第２ベース２９２は、円柱状に形成される。第１ベース２９０は支持部材に固定され、第２ベース２９２はガイドビーム４２に固定される。弾性ヒンジ２９４は、第１ベース２９０と第２ベース２９２とを連結する。弾性ヒンジ２９４は、第１ベース２９０や第２ベース２９２と比べて、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の厚みが薄い柱状の弾性ヒンジである。連結部材２８８は、弾性ヒンジ２９４を有することにより、Ｙ軸方向における剛性は比較的高く、その他の方向の剛性は比較的低く（少なくともＹ軸方向における剛性よりも低く）なる。

図５（ｃ）の連結部材３８８は、第１ベース３９０と、第２ベース３９２と、球体３９４と、２つのバネ３９６と、を含む。第１ベース３９０、第２ベース３９２は、板状に形成される。第１ベース３９０は支持部材に固定され、第２ベース３９２はガイドビーム４２に固定される。第２ベース３９２と対向する第１ベース３９０の面、第１ベース３９０と対向する第２ベース３９２の面にはそれぞれ、凹部が形成されている。球体３９４は、この２つの凹部に挟み込まれる。また、第１ベース３９０と第２ベース３９２とは、２つのバネ３９６で連結されている。連結部材３８８は、Ｙ軸方向における剛性は比較的高く、その他の方向の剛性は比較的低く（少なくともＹ軸方向における剛性よりも低く）なる。

ここで、ステージ装置では、第２移動体１４はエアベアリングに支持され、Ｘ軸駆動部はガイドに支持される。したがって、第２移動体１４と、連結部材により第２移動体１４に連結されたＸ軸駆動部とがＹ軸方向に移動するとき、第２移動体１４とＸ軸駆動部とは、互いに非同期に、Ｚ軸方向に微少に上下動する。これに対し、図５（ａ）〜（ｃ）の連結部材では、いずれもＺ軸方向の剛性が比較的低くなるため、第２移動体１４とＸ軸駆動部とが、互いに非同期にＹ軸方向に微少に上下動しても、それに伴う応力が連結部材にかかるのが抑止される。

（変形例３）
実施の形態では、Ｙ軸駆動部は、第２移動体をＹ軸方向に駆動する場合について説明したが、これに限られない。Ｙ軸駆動部は、Ｘ軸駆動部をＹ軸方向に駆動してもよい。この場合、Ｙ軸駆動部の可動子とＸ軸駆動部とが連結される。Ｙ軸駆動部に駆動されてＸ軸駆動部がＹ軸方向に移動すると、連結部材によりＸ軸駆動部と連結された第２移動体は、Ｘ軸駆動部とともにＹ軸方向に移動する。

（変形例４）
実施の形態および上述の変形例では、第１移動体１２とＸ軸駆動部とが連結部材で連結され、第１移動体１２またはＸ軸駆動部の一方をＹ軸駆動部により駆動する場合について説明したが、これに限られない。ステージ装置は、第１移動体１２をＹ軸方向に駆動するＹ軸駆動部に加えて、Ｘ軸駆動部をＹ軸方向に駆動する別のＹ軸駆動部を備えてもよい。この場合、Ｙ軸駆動部により第１移動体１２をＹ軸方向に移動させるのと実質的に同時に、別のＹ軸駆動部により第１移動体１２と同じ方向にＸ方向にＸ軸駆動部を移動させてもよい。

上述した実施の形態と変形例の任意の組み合わせもまた本発明の実施の形態として有用である。組み合わせによって生じる新たな実施の形態は、組み合わされる実施の形態および変形例それぞれの効果をあわせもつ。

１２ 第１移動体、 １４ 第２移動体、 ７０ ステージ、 ８８ 連結部材、 １００ ステージ装置。

Claims (5)

1. 第１移動体と、
   前記第１移動体をＸ軸方向に駆動するためのＸ軸駆動部と、
   前記第１移動体のＸ軸方向の移動を案内し、Ｙ軸方向に移動可能に構成された第２移動体と、
   前記第２移動体をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸駆動部と、を備え、
   前記Ｘ軸駆動部と前記第２移動体および前記Ｙ軸駆動部とは、互いに独立して支持され、
   前記Ｘ軸駆動部は、Ｙ軸方向に移動可能に構成され、
   前記Ｙ軸駆動部は、前記第２移動体または前記Ｘ軸駆動部をＹ軸方向に駆動し、
   前記第２移動体と前記Ｘ軸駆動部とは、連結部材で連結されていることを特徴とするステージ装置。
2. 前記Ｘ軸駆動部を支持するとともに、前記Ｘ軸駆動部のＹ軸方向の移動を案内するガイドレールを備え、
   前記連結部材は、そのＸ軸方向における剛性が、前記ガイドレールのＸ軸方向における剛性よりも低くなるよう構成されることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記連結部材は、弾性ヒンジであることを特徴とする請求項１または２に記載のステージ装置。
4. 前記弾性ヒンジは、柱状であることを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
5. 前記第２移動体と前記Ｘ軸駆動部とは、Ｙ軸方向の両端側のそれぞれにおいて前記連結部材によって連結されることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のステージ装置。

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