JP6132079B2 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- エネルギビームに対して物体を第1方向に移動させながら、前記物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持する物体保持装置と、
前記物体保持装置を下方から支持し前記物体保持装置に対して相対移動可能な第1支持装置と、
前記第1支持装置を支持する第2支持装置と、
前記第1支持装置が前記物体保持装置を下方から支持した状態で、前記第1支持装置を前記第2支持装置に対して前記第1方向へ相対移動させる第1駆動装置と、
前記第1駆動装置を支持し、前記第2支持装置と前記第2支持装置上の前記第1支持装置とを前記第1方向に交差する第2方向へ移動させる第2駆動装置と、を備え、
前記物体保持装置は、前記物体を保持する保持部と前記保持部を下方から支持した状態で前記第1駆動装置に対して相対移動可能な移動体と、を有し、
前記第1駆動装置は、前記第2方向に関して、前記移動体の両側に配置され、上下方向に関して、前記移動体と少なくとも一部重複する位置に設けられ、
前記移動体を、前記第1駆動装置に対して、前記第1及び第2方向に駆動するための第1駆動部材と、前記移動体を、前記第1駆動装置に対して、前記上下方向に駆動するための第2駆動部材とを有する位置制御系をさらに備え、
前記第2駆動部材は、前記第1駆動装置上、且つ、前記上下方向に関して、前記第1駆動装置と少なくとも一部重複した位置に設けられたリニアモータの固定子と、前記移動体に設けられた前記リニアモータの可動子とにより、前記移動体を前記上下方向に駆動する露光装置。 - 前記第1支持装置は、上下方向に関して、前記第1駆動装置が少なくとも一部重複した位置に設けられ、
前記第1支持装置は、前記第2方向に関して、前記第1駆動装置の間に配置される請求項1に記載の露光装置。 - 前記第1駆動部材は、前記第2方向に関して、前記移動体の両側に配置される請求項2に記載の露光装置。
- 前記第2支持装置を下方から支持する一対の第3支持装置を更に備える請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1駆動装置は、前記第1支持装置を前記第1方向に駆動する第1駆動部と、前記第1駆動部を下方から支持する支持部とを有し、
前記第2駆動装置は、前記支持部を下方から支持する請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2駆動装置は、前記第2支持装置を前記第2方向に駆動する第2駆動部と、前記第2駆動部を下方から支持し前記第2駆動部を前記第2方向に案内する案内部を更に備える請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1駆動装置を支持するベース部をさらに備え、
前記ベース部の前記上下方向に関する位置は、前記第1駆動装置を支持する前記案内部の位置と異なる位置に設けられる請求項6に記載の露光装置。 - 前記ベース部は、前記案内部よりも下方に配置される請求項7に記載の露光装置。
- 前記移動体の前記第2方向に沿った位置情報を求めるのに用いられる計測部材を更に備え、
前記計測部材を支持する支持部材が前記外側のベース部材の下方を通過する請求項8に記載の露光装置。 - 前記第1支持装置と前記第1駆動装置とを連結する連結部をさらに備え、
前記第1駆動装置は、前記連結部を介して、前記第1支持装置を第1方向へ駆動する請求項1〜9のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記保持部に保持された前記物体に前記エネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、をさらに備える請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項11に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項12に記載の露光装置。
- 請求項12又は13に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項11に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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