JP7223289B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体製造工程やフラットパネルディスプレイ製造工程において、基板に対して所定の処理を施す処理装置に使用される搬送装置に関する。

半導体製造工程やフラットパネルディスプレイ製造工程において使用され、基板に対して所定の処理を施す処理装置として、特許文献１に開示されたイオン注入装置が知られている。特許文献１のイオン注入装置は、基板を保持する基板保持部と、基板保持部を水平方向へ移動させる基板搬送機構を備えている。このイオン注入装置は、基板保持部が水平方向へ搬送される間に、基板保持部に保持された基板がイオンビームを横切ることで基板にイオンビームが照射される構成である。

特許文献１のイオン注入装置は、基板を冷却するための冷媒が流動する樹脂製配管と、基板搬送機構に電力を供給する電力ケーブルや制御用の信号線をさらに備えている。これらの樹脂製配管、電力ケーブル、および信号線は、いずれも一端部が基板保持部に接続されているとともに、蛇腹状のケーブルガイドに収容されており、所定の範囲内で基板搬送機構の動きに合わせて移動するよう構成されている。しかしながら、樹脂製配管、電力ケーブル、および信号線は、いずれも全体を撓ませた状態でケーブルガイド内に収容されているのみであり、ケーブルガイド内では自由に動くことができる。

また、特許文献２には、基板に薄膜を形成する成膜装置が開示されている。特許文献２の成膜装置は、成膜材料を加熱して蒸発又は昇華させることによって基板に薄膜を形成するものであり、成膜材料を収容する容器を備える成膜源を備えている。この成膜装置は、成膜源をメンテナンス位置と成膜位置との間で往復移動させる搬送機構を備えており、成膜源には、成膜源が備えるヒーターに電力を供給する電力線等が接続されている。

特開２０１４－１６５２８３ 特開２０１６－１４１７４

特許文献１のイオン注入装置においては、樹脂製配管、電力ケーブル、または信号線などの可撓性を有する長尺部材は、ケーブルガイド内で自由に動くことができた。したがって、基板保持部が搬送される間、これらの長尺部材は保持部に追従して動きつつ、互いに接触し合うことや、ケーブルガイドの内面と接触することが懸念される。また、樹脂製配管、電力ケーブル、および信号線に想定よりも大きな変形や屈曲が発生することも懸念される。このように、他の構成要素と接触や摩擦を繰り返すことや、想定よりも大きな変形や屈曲が繰り返し発生すると、これらの長尺部材が損傷するおそれがある。
また、特許文献２のような成膜装置においても、電源ケーブル等の長尺部材を成膜源の動きに追従させるよう撓ませた状態で配置すると特許文献１のイオン注入装置と同様の課題が発生する。

本発明は、上記課題を解決するものであり、保持対象物を保持した状態で一方向に沿った往復移動を行う保持装置を備える搬送装置において、一端部が保持装置に接続された長尺部材の損傷を抑制できる搬送装置を提供することを目的としている。

本発明の搬送装置は、基板に対して所定の処理を施す処理装置の備える収容室内に配置され、保持対象物を保持した状態で一方向に沿った往復移動を行う保持装置を備える搬送装置であって、一端部が前記保持装置に接続され、可撓性を有する長尺部材と、所定の曲げ形状に曲げられた曲げ領域と、前記曲げ領域に隣接し、前記一方向に沿って互いに対向するよう形成された第一支持領域および第二支持領域とを有し、前記長尺部材の一部の領域が固定されるベルトと、前記第一支持領域において前記ベルトに固定され、前記往復移動に追従して前記ベルトを動作させる第一固定部材と、を備え、前記一部の領域は、前記第一支持領域から前記曲げ領域を介して前記第二支持領域に至るよう、前記一端部側から順次前記ベルトに沿うよう配置された状態で前記ベルトに固定され、前記ベルトは、前記曲げ形状を維持しつつ、前記第一支持領域および前記第二支持領域を前記一方向について相対的に反対方向へ移動させることで、前記曲げ領域の位置を前記一方向に沿って移動させるように動作するよう構成されている。

この構成によれば、保持装置が一方向へ移動した場合には、第一固定部材が保持装置に追従して一方向へ移動する。同時に、第一固定部材はベルトの第一支持領域に固定されていることから、ベルトは第一支持領域を一方向に移動させるよう動作する。さらに、長尺部材はベルトに固定されていることから、長尺部材はベルトに追従して動作することになる。すなわち、長尺部材は、第一固定部材およびベルトを介して保持装置の一方向への移動に追従することになる。
このとき、長尺部材の一部の領域が、第一支持領域から曲げ領域を介して第二支持領域に至るようベルトに沿って固定されており、べルトは、所定の曲げ形状を維持しつつ、第一支持領域および第二支持領域を一方向について相対的に反対方向へ移動させることで、曲げ領域の位置を一方向に沿って移動させるように動作する。したがって、長尺部材は、ベルトの曲げ形状によって規定される形状で曲げられながら、第一支持領域および第二支持領域に支持されたそれぞれの領域を一方向について相対的に反対方向へ移動させるようにして、保持装置の移動に追従する。
すなわち、本発明の搬送装置においては、長尺部材は、ベルトによって規定された形状を維持しながら保持装置の移動に追従させられることから、従来と異なり、長尺部材が不規則に動くことがなく、他の構成要素と接触や摩擦を繰り返すことによる損傷が抑制される。
また、長尺部材は、ベルトによって規定された形状で曲げられることから、想定よりも大きな変形や屈曲が発生することがない。すなわち、長尺部材に想定よりも大きな変形や屈曲が繰り返し発生することに起因する長尺部材の損傷が抑制される。

また、本発明の搬送装置は、前記第二支持領域において前記ベルトと前記収容室とを固定する第二固定部材をさらに備える構成としてもよい。

この構成によれば、ベルトは、第二固定部材によって固定された位置において収容室に固定されることから、ベルトは第一固定部材の動作のみに連動して動作できるようになる。したがって、ベルトの動作を規定することが容易となるとともに、搬送装置の構成を簡易なものとすることができる。

また、本発明の搬送装置は、前記第一固定部材は、前記保持装置と一体に動作するよう前記保持装置にさらに固定されており、前記長尺部材は、前記一端部と前記第一支持領域に支持される領域との間において、前記第一固定部材に固定されている構成としてもよい。

この構成によれば、第一固定部材は、保持装置と一体に動作するよう保持装置にさらに固定されていることから、ベルトを保持装置と一体に動作させることができる。また、
長尺部材は、一端部とベルトの第一支持領域に支持される領域との間において、第一固定部材に固定されている。したがって、一端部とベルトの第一支持領域に支持される領域との間においても長尺部材の不規則な動きや屈曲が規制され、長尺部材の損傷が抑制される。

また、本発明の搬送装置は、前記長尺部材を複数備え、各前記長尺部材は、互いに離間した状態で前記ベルトに固定されている構成としてもよい。

この構成によれば、複数の長尺部材が互いに離間した状態で前記ベルトに固定されることから、複数の長尺部材を備える場合であっても、複数の長尺部材が互いに接触することがなく、接触や摩擦による損傷が抑制される。

また、本発明の搬送装置は、前記長尺部材は、前記ベルトに沿って互いに離間して配置された状態で前記ベルトに固定された複数のベルト固定部材を介して前記ベルトに固定されており、前記複数のベルト固定部材のうち、前記長尺部材について前記一端部に最も近い位置に配置された第一ベルト固定部材は、前記往復移動の間、常に第一支持領域に位置し、前記複数のベルト固定部材のうち、前記長尺部材について前記一端部から最も離れた位置に配置された第二ベルト固定部材は、前記往復移動の間、常に第二支持領域に位置するよう構成されていてもよい。

この構成によれば、保持装置が往復移動を行う間、第一ベルト固定部材および第二ベルト固定部材は、それぞれ常に第一支持領域および第二支持領域に位置している。したがって、長尺部材は、第一支持領域から曲げ領域を介して第二支持領域に至るようにベルトに沿わせて固定された状態をより確実に維持されることから、長尺部材の動作をより確実に規定できる。すなわち、長尺部材の損傷をより確実に抑制することができる。

本発明の搬送装置によれば、保持対象物を保持した状態で一方向に沿った往復移動を行う保持装置を備える搬送装置において、一端部が保持装置に接続された長尺部材の損傷を抑制できる。

本発明の一実施形態における搬送装置を使用したイオン注入装置を示す平面図。 同実施形態における基板処理装置を示す斜視図。 同実施形態における基板処理装置を示す側面図。 同実施形態の開始位置における基板処理装置を示す模式的背面図 同実施形態に到達位置における基板処理装置を示す模式的背面図。

本発明の搬送装置は、半導体製造工程またはフラットパネルディスプレイ製造工程において使用され、基板に対して所定の処理を施す処理装置の内部に配置されて使用されるものである。処理装置の例としては、イオン注入装置や成膜装置が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
まず、本発明における一実施形態である搬送装置１０の構成について説明する。図１に示すように、本実施形態における搬送装置１０は、イオン注入装置１００の処理室１０１内に配置され、本発明における収容室である処理室１０１内に導入されたイオンビームＩＢを基板Ｓが横切るよう基板Ｓを搬送するものである。

本実施形態におけるイオン注入装置１００は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造工程において使用され、基板Ｓに対してイオン注入処理を施す装置であり、本実施形態における基板Ｓは矩形状のガラス基板である。
尚、搬送装置１０は、半導体製造工程において使用されるものであってもよい。この場合、基板Ｓは半導体ウェーハとなる。また、本発明における収容室は、搬送装置１０が収容される空間を規定する処理装置の構成要素を指す。例えば、搬送装置１０は、処理室１０１内に配置されることに限らず、イオン注入装置等の処理装置が備える搬送室またはロードロック室に収容されていてもよい。この場合、搬送装置１０が配置される搬送室またはロードロック室が本発明における収容室である。また、搬送装置１０が搬送室と処理室に跨って配置される場合には、本発明における収容室は、搬送室と処理室を含めた構成を指すものとなる。

図１に示すように、本実施形態における搬送装置１０は、本発明における保持対象物である基板Ｓを保持する保持装置２０と、処理室１０１内において保持装置２０を一方向Ｄに往復搬送する移送装置３０を備えている。移送装置３０は、保持装置２０を開始位置Ｐ１から到達位置Ｐ２に移送した後、保持装置２０を再び到達位置Ｐ２から開始位置Ｐ１に移送できるよう構成されている。換言すれば、保持装置２０は、移送装置３０により移送されることによって、一方向Ｄに沿った往復移動を行う構成とされている。
尚、本発明における保持対象物は基板Ｓに限定されるものではない。例えば、特許文献２における成膜装置では、成膜材用を収容した成膜源は、搬送装置に保持された状態でレールに沿って一方向に往復移動できる構成とされている。この場合、成膜源が本発明における保持対象物であり、成膜源を保持する搬送装置が本発明における保持装置であるものと捉えることができる。

図２に示すように、保持装置２０は、基板Ｓを保持するホルダ２１と、ホルダ２１を支持する支持部材２２を備えている。ホルダ２１は全体櫛状をなしており、幅方向両端にシャフト２３を備える。また、支持部材２２は、上方に開口したコ字状（Ｕ字状）をなしており、シャフト２３を回転可能に支持している。また、支持部材２２の内部には、シャフト２３を回転させるためのモーター２５が配置されている。すなわち、ホルダ２１は、シャフト２３を介して支持部材２２に回転可能に支持されており、モーター２５の動力が伝えられてシャフト２３まわりに回転動作するように構成されている。保持装置２０は、外部と基板Ｓの受け渡しを行う場合や、基板Ｓに対するイオンビームＩＢの向きを変更する場合にホルダ２１を回転させ、適切な位置又は姿勢で基板Ｓを保持できる構成とされている。

また、保持装置２０は、支持部材２２の下方において支持部材２２と接合されたスライダ２４を備えている。スライダ２４は、後述する移送装置３０のガイドレール３１に連結されている。

図３に示すように、移送装置３０は、ガイドレール３１と、ガイドレール３１に連結されたスライダ２４をガイドレール３１に沿って直線的に移動させる直動機構（不図示）を備えている。直動機構は、図示されないモーター等の駆動源からの動力をスライダ２４に伝達し、スライダ２４をガイドレール３１に沿って直線的に往復移動させるものである。また、図１に示すように、ガイドレール３１は、一方向Ｄと平行に配置されている。すなわち、保持装置２０は、スライダ２４がガイドレール３１上を移動することにより、一方向Ｄに沿って移動できる構成である。

図１に示すように、本実施形態におけるイオン注入装置１００においては、処理室１０１には外部からイオンビームＩＢが導入されている。搬送装置１０は、基板Ｓを保持した保持装置２０が移送装置３０により、開始位置Ｐ１から到達位置Ｐ２まで一方向Ｄに搬送される間に、基板ＳがイオンビームＩＢを横切るように構成されている。すなわち、基板Ｓは、保持装置２０に保持された状態でイオンビームＩＢを横切ることでイオンビームＩＢに曝されてイオン注入されることになる。

図２に示すように、本実施形態における搬送装置１０は、可撓性を有する二つの長尺部材４０ａ、４０ｂをさらに備えている。本実施形態における長尺部材４０ａはモーター２５または支持部材２２を冷却するための冷却水が流動する冷却管であり、長尺部材４０ｂはモーター２５に電力を供給するための電力ケーブルである。
尚、前述の長尺部材４０ａ、４０ｂの種類や用途は一例であり、本発明における長尺部材の種類や用途を限定するものではない。

長尺部材４０ａ、４０ｂは、それぞれの一端部４１ａ、４１ｂが保持装置２０に接続されている。
尚、長尺部材４０ａ、４０ｂの一端部４１ａ、４１ｂに保持装置２０に接続されている構成とは、一端部４１ａ、４１ｂが保持装置２０と一体となって移動できる構成要素に接続されている構成を含む。すなわち、長尺部材４０ａ、４０ｂの一端部４１ａ、４１ｂに保持装置２０に接続されている構成は、一端部４１ａ、４１ｂが結果として保持装置２０に追従して移動する構成をすべて含んでいる。

図１および図２に示すように、搬送装置１０は、二つのプーリー５０a、５０ｂと、二つのプーリー５０a、５０ｂに巻き掛けられた環状のベルト６０を備える。図４および図５に示すように、プーリー５０a、５０ｂはそれぞれ外周面に複数のプーリー歯５１a、５１ｂを備える歯付きプーリーである。また、ベルト６０は内側に複数のベルト歯６１を有する歯付きベルトから成り、プーリー歯５１a、１ｂとベルト歯６１とが噛み合うことにより、プーリー５０a、５０ｂとベルト６０は連動して動作するよう構成されている。

図２に示すように、ベルト６０は、プーリー５０ａに沿うように所定の曲げ形状に曲げられた曲げ領域６３と、曲げ領域６３に隣接し、一方向Ｄに沿って互いに上下方向において対向するよう形成された第一支持領域６４および第二支持領域６５とを有する。長尺部材４０ａ、４０ｂの一部の領域は、第一支持領域６４から曲げ領域６３を介して第二支持領域６５に至るよう、一端部４１ａ、４１ｂ側から順次ベルト６０に沿うように配置されている。さらに、長尺部材４０ａ、４０ｂはともに後述する五つのベルト固定部材６６ａ～６６ｅによって、ベルト６０の幅方向に所定間隔離間した状態でベルト６０に固定されている。
尚、長尺部材４０ａ、４０ｂはベルト６０の厚さ方向に離間させた状態でベルト６０に固定されていてもよい。

また、搬送装置１０は、第一支持領域６４においてベルト６０に固定され、保持装置２０の往復移動に追従してベルト６０を動作させるための第一固定部材７０を備えている。第一固定部材７０は、保持装置２０にも固定されており、保持装置２０と一体となって動作することができる。すなわち、ベルト６０と保持装置２０は、第一固定部材７０によって連結されており、ベルト６０は第一固定部材７０を介して保持装置２０の往復移動に追従するよう動作する構成である。

また、搬送装置１０は、第二支持領域６５においてベルト６０と処理室１０１とを固定する第二固定部材７２をさらに備えている。より詳細には、第二固定部材７２は、ベルト６０を、処理室１０１が備える構造物１０２に対して固定するものである。

図２に示すように、第一固定部材７０は長尺部材４０ａ、４０ｂを支持する支持面７１を有している。長尺部材４０ａ、４０ｂはともにそれぞれの一端部４１ａ、４１ｂと第一支持領域６４に支持される領域との間の一部が支持面７１に支持されており、バンド等の固定部材７３により第一固定部材７０に固定されている。

図２および図３に示すように、搬送装置１０は、プーリー５０a、５０ｂを回転可能に支持するガイド部材８０a、８０ｂと、ガイド部材８０a、８０ｂを一方向Ｄに沿って直線的に移動するようガイドするレール８１をさらに備えている。ガイド部材８０a、８０ｂは板状の連結部材８２により連結されており、連結部材８２によってプーリー５０a、５０ｂの位置関係が固定されている。プーリー５０a、５０ｂは連結部材８２により位置関係が固定された状態で一方向Ｄに沿って移動できるため、ベルト６０は、プーリー５０a、５０ｂに巻き掛けられた全体形状を変えることなく、動作することができる。

図２に示すように、長尺部材４０ａ、４０ｂは、一部の領域がベルト６０に沿うようにして五つのベルト固定部材６６ａ～６６ｅにより、ベルト６０に固定されている。ベルト固定部材６６ａ～６６ｅはベルト６０に沿って互いに離間して配置されており、ベルト固定部材６６ａ～６６ｅは、いずれもそれぞれベルト６０の隣り合うベルト歯６１間に形成された歯底６２においてベルト６０を厚さ方向に挟むように取り付けられている。また、ベルト固定部材６６ａ～６６ｆは、長尺部材４０ａ、４０ｂを互いにベルト６０の幅方向に所定間隔離間させるとともに、ベルト６０からベルト６０の厚さ方向に所定間隔離間した状態でベルト６０に固定できる構成とされている。

図２に示すように、五つの固定部材６６ａ～６６ｅのうち、長尺部材４０ａ、４０ｂについて見た場合において、長尺部材４０ａ、４０ｂの一端部４１ａ、４１ｂに最も近い位置に配置された固定部材６６ａが、本発明における第一ベルト固定部材である。また、長尺部材４０ａ、４０ｂの一端部４１ａ、４１ｂから最も離れた位置に配置された固定部材６６ｅが、本発明における第二ベルト固定部材である。

図４および図５に示すように、第一ベルト固定部材である固定部材６６ａは、保持装置２０が往復移動する間、常に第一支持領域６４に位置するよう配置されている。また、第二ベルト固定部材である固定部材６６ａは、常に第二支持領域６５に位置するよう配置されている。本実施形態においては、ベルト６０は、第二支持領域６５において第二固定部材７２により処理室１０１に固定しているため、固定部材６６ａは保持装置２０が往復移動する場合においても、処理室１０１に対して位置を変えることはない。

図１および図３に示すように、本発明の搬送装置１０においては、保持装置２０はレール８１に対してイオンビームＩＢに向かう側に位置しており、ベルト６０はレール８１を挟んで保持装置２０と反対側に位置するように配置されている。また、搬送装置１０は、レール８１と保持装置２０との間において一方向Ｄに沿って配置された板状のカバー９０を備えている。カバー９０はベルト６０や長尺部材４０ａ、４０ｂ等をイオンビームＩＢから保護するものである。カバー９０は、保持装置２０が往復移動する間、カバー９０よりイオンビームＩＢの進行方向側に位置する搬送装置１０の構成要素を保護するために設けられているものである。
尚、図２、図３、図４および図５においては、カバー９０の図示は省略されている。

図４は、保持装置２０が開始位置Ｐ１に位置する状態における搬送装置１０を示している。また、図５は、保持装置２０が到達位置Ｐ２に位置する状態における搬送装置１０を示している。図４および図５に示すように、保持装置２０が開始位置Ｐ１から到達位置Ｐ２に移動する間、ベルト６０は、プーリー５０ａで規定される曲げ形状を維持しつつ、第一支持領域６４および第二支持領域６５を一方向Ｄについて相対的に反対方向へ移動させることで、曲げ領域６３の位置を一方向Ｄに沿って移動させるように動作するよう構成されている。
尚、本実施形態においては、プーリー５０ａ、５０ｂ間に位置するベルト６０の二つの領域のうち上方に位置する領域が第一支持領域６４であり、下方に位置する領域が第二支持領域６５である。

より詳細には、保持装置２０が開始位置Ｐ１から到達位置Ｐ２に向かって一方向Ｄに向かって移動すると、第一固定部材７０が保持装置２０に追従して一方向Ｄに移動する。同時に、第一固定部材７０はベルト６０に固定されているため、ベルト６０は第一固定部材７０に追従し開始位置Ｐ１における第一支持領域６４を一方向Ｄに移動させるよう動作する。また、ベルト６０は、第二支持領域６５において第二固定部材７２により処理室１０１に固定されていることから、このとき、プーリー５０ａはベルト６０を第一支持領域６４側から第二支持領域６５側へ巻き込むように動作する。例えば、図４に示すように、保持装置２０が開始位置Ｐ１に位置する状態では、第一支持領域６４上に位置するベルト固定部材６６ｄは、保持装置２０が到達位置Ｐ２に位置する状態では、第二支持領域６５上に位置している。
この場合、保持装置２０が開始位置Ｐ１から到達位置Ｐ２に至る間に、プーリー５０ａが一方向Ｄに移動する距離は、保持装置２０が一方向Ｄに移動する距離の約２分の１となる。
尚、保持装置２０が到達位置Ｐ２から開始位置Ｐ１に移動する場合には、前述と逆の動作となることは明らかであるため説明を省略する。

この間、長尺部材４０ａ、４０ｂは、ベルト６０に沿って配置された状態で、ベルト固定部材６６ａ～６６ｅによりベルト６０に固定されていることから、ベルト６０に沿う形状を維持した状態で、保持装置２０の移動に追従することができる。より詳細には、長尺部材４０ａ、４０ｂのベルト６０に固定される領域は、プーリー５０ａに沿ったベルト６０の曲率に規定された所定の曲げ形状を維持しつつ、ベルト６０がプーリー５０ａに巻き込まれるように移動するのに追従する。プーリー５０ａ、５０ｂから見た場合に長尺部材４０ａ、４０ｂは、プーリー５０ａ、５０ｂの周りをベルト６０とともに回るように移動する。すなわち、長尺部材４０ａ、４０ｂは、第一支持領域６４および第二支持領域６５に支持された長尺部材４０ａ、４０ｂのそれぞれの領域を一方向Ｄについて相対的に反対方向へ移動させるようにして、保持装置２０の移動に追従する。

したがって、本実施形態における搬送装置１０においては、長尺部材４０ａ、４０ｂを、ベルト６０によって規定された形状を維持しながら、保持装置２０の移動に追従させることができる。その結果、長尺部材４０ａ、４０ｂが不規則に動くことがなく、他の構成要素と接触や摩擦を繰り返すことによる損傷が抑制される。同時に、長尺部材４０ａ、４０ｂは、ベルト６０に沿わせて固定されていることで、曲げ形状を規定できることから、長尺部材４０ａ、４０ｂは想定外の大きな曲げが生じることがなくなく、その結果、長尺部材４０ａ、４０ｂの損傷が抑制される。

また、本実施形態における搬送装置１０においては、第二支持領域６５においてベルト６０と処理室１０１とを固定する第二固定部材７２を備えていることから、ベルト６０は第一固定部材７０の動作のみに連動して動作させられるようになる。したがって、ベルト６０の動作を規定することが容易となるとともに、搬送装置１０の構成を簡易なものとすることができる。

また、長尺部材４０ａ、４０ｂは、第一固定部材７０においても固定部材７３により固定されていることから、一端部４１ａ、４１ｂとベルト６０の第一支持領域６４に支持される領域との間においても長尺部材４０ａ、４０ｂの不規則な動きや屈曲が規制され、長尺部材４０ａ、４０ｂの損傷が抑制される。

また、二つの長尺部材４０ａ、４０ｂは、ベルト固定部材６６ａ～６６ｅにより互いに離間した状態でベルト６０に固定されていることから、長尺部材４０ａ、４０ｂが互いに接触することがなく、接触や摩擦による損傷が抑制される。

また、保持装置２０が往復移動を行う間、固定部材６６ａおよび固定部材６６ｅは、それぞれ常に第一支持領域６４および第二支持領域６５に位置している。したがって、長尺部材４０ａ、４０ｂは、第一支持領域６４から曲げ領域６３を介して第二支持領域６５に至るようにベルト６０に沿わせて固定された状態をより確実に維持される。したがって、長尺部材４０ａ、４０ｂの動作をより確実に規定できる。すなわち、長尺部材４０ａ、４０ｂの損傷をより確実に抑制することができる。

上述のように、本実施形態における搬送装置１０においては、プーリー５０ａ、５０ｂおよびベルト６０等の配置や大きさ等を長尺部材４０ａ、４０ｂに合わせて事前に適切に設定することによって、長尺部材４０ａ、４０ｂの曲げや動きをコントロールできるようにしている。本実施形態における搬送装置１０によれば、従来と異なり、長尺部材４０ａ、４０ｂは事前に規定された曲げや動きで保持装置２０に追従できることから、長尺部材４０ａ、４０ｂの損傷が抑制されるものである。

また、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることは言うまでもない。

Ｓ 基板
Ｄ 一方向
Ｐ１ 開始位置
Ｐ２ 到達位置
１００ イオン注入装置
１０１ 処理室
１０ 搬送装置
２０ 保持装置
３０ 移送装置
３１ ガイドレール
４０ａ、４０ｂ 長尺部材
４１ａ、４１ｂ 一端部
５０ａ、５０ｂ プーリー
６０ ベルト
６３ 曲げ領域
６４ 第一支持領域
６５ 第二支持領域
６６ａ～６６ｅ ベルト固定部材
７０ 第一固定部材
７１ 支持面
７２ 第二固定部材
７３ 固定部材

Claims (5)

1. 基板に対して所定の処理を施す処理装置の備える収容室内に配置され、保持対象物を保持した状態で一方向に沿った往復移動を行う保持装置を備える搬送装置であって、
   一端部が前記保持装置に接続され、可撓性を有する長尺部材と、
   所定の曲げ形状に曲げられた曲げ領域と、前記曲げ領域に隣接し、前記一方向に沿って互いに対向するよう形成された第一支持領域および第二支持領域とを有し、前記長尺部材の一部の領域が少なくとも一つのベルト固定部材により固定されるベルトと、
   前記第一支持領域において前記ベルトに固定され、前記往復移動に追従して前記ベルトを動作させる第一固定部材と、を備え、
   前記ベルト固定部材部材は、前記長尺部材を前記ベルトから前記ベルトの厚さ方向に離間させた状態で前記長尺部材を前記ベルトに固定し、
   前記一部の領域は、前記第一支持領域から前記曲げ領域を介して前記第二支持領域に至るよう、前記一端部側から順次前記ベルトに沿うよう配置された状態で前記ベルトに固定され、
   前記ベルトは、前記曲げ形状を維持しつつ、前記第一支持領域および前記第二支持領域を前記一方向について相対的に反対方向へ移動させることで、前記曲げ領域の位置を前記一方向に沿って移動させるように動作するよう構成されている搬送装置。
2. 前記第二支持領域において前記ベルトと前記収容室とを固定する第二固定部材をさらに備える請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記第一固定部材は、前記保持装置と一体に動作するよう前記保持装置にさらに固定されており、
   前記長尺部材は、前記一端部と前記第一支持領域に支持される領域との間において、前記第一固定部材に固定されている請求項１または２に記載の搬送装置。
4. 前記長尺部材を複数備え、各前記長尺部材は、互いに離間した状態で前記ベルトに固定されている請求項１～３のいずれか一項に記載の搬送装置。
5. 前記ベルト固定部材は、前記ベルトに沿って互いに離間するよう複数配置されており、
   前記長尺部材は、前記複数のベルト固定部材を介して前記ベルトに固定されており、
   前記複数のベルト固定部材のうち、前記長尺部材について前記一端部に最も近い位置に配置された第一ベルト固定部材は、前記往復移動の間、常に前記第一支持領域に位置し、
   前記複数のベルト固定部材のうち、前記長尺部材について前記一端部から最も離れた位置に配置された第二ベルト固定部材は、前記往復移動の間、常に前記第二支持領域に位置するよう構成されている請求項１～４のいずれか一項に記載の搬送装置。

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