JP6551762B2 - 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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- 互いに交差する第1方向と第2方向とへ移動可能な移動体と、
前記移動体を前記第1方向と前記第2方向とへ移動させる駆動装置と、
前記駆動装置を支持する第1ベースと、
前記移動体の異なる部分をそれぞれ支持する第1支持部と第2支持部とを有する支持装置と、
前記第1支持部と前記第2支持部とを相対移動可能にそれぞれ非接触支持するガイド部材と、
前記第1方向に関して前記第1ベースとは離間して配置され、前記ガイド部材を支持する第2ベースと、を備え、
前記駆動装置は、前記移動体を支持した状態の前記支持装置を、前記ガイド部材上で移動させる移動体装置。 - 前記第1支持部と前記第2支持部とは、前記移動体の重心を挟むように前記第2方向に関して、互いに離れた前記移動体の部分を支持する請求項1に記載の移動体装置。
- 前記ガイド部材は、前記第1支持部を相対移動可能に支持する第1ガイド部材と前記第2支持部を相対移動可能に支持する第2ガイド部材とを有する請求項1又は2に記載の移動体装置。
- 前記支持装置は、前記第1方向に関して、前記移動体の前記第1支持部が支持する位置と異なる位置を支持する第3支持部を有する請求項3に記載の移動体装置。
- 前記第1支持部と前記第3支持部とは、前記移動体の重心を挟むように前記第1方向に関して、互いに離れた前記移動体の部分を支持する請求項4に記載の移動体装置。
- 前記第1ガイド部材は、前記第3支持部を相対移動可能に非接触支持する請求項4又は5に記載の移動体装置。
- 前記第1から第3支持部は、前記移動体の同一直線上にない3箇所に対応する位置をそれぞれ支持する請求項4〜6の何れか一項に記載の移動体装置。
- 前記移動体は、前記第1方向と前記第2方向とを含む2次元平面内に対して傾斜する方向に更に移動可能であり、
前記第1から第3支持部は、前記移動体の前記傾斜する方向の姿勢に応じて独立して動作する請求項4〜7のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記駆動装置は、
前記移動体を支持する前記支持装置を、前記ガイド部材に対して前記第1方向へ相対移動させる第1駆動部と、
前記支持装置と前記第1及び第2ガイド部材とを前記第2方向へ移動させる第2駆動部と、を有する請求項1〜8の何れか一項に記載の移動体装置。 - 前記第1駆動部と前記支持装置とを接続する接続部を備え、
前記第1駆動部は、前記接続部を介して、前記移動体を支持する前記支持装置を前記第1方向へ移動させる請求項9に記載の移動体装置。 - 前記第2駆動部に支持された前記第1駆動部と、前記第1及び第2ガイド部材と、を接続する接続装置を備え、
前記第2駆動部は、前記第1駆動部を支持した状態で前記第2方向へ移動しながら、前記接続装置を介して、前記支持装置を支持する前記第1及び第2ガイド部材を前記第2方向へ移動させる請求項9に記載の移動体装置。 - 前記支持装置は、前記移動体を非接触支持する請求項1〜11のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記支持装置は、前記支持装置及び前記移動体の一方に設けられたエアベアリングを介して前記移動体を非接触支持する請求項12に記載の移動体装置。
- 前記エアベアリングは、前記第1方向と前記第2方向とを含む2次元平面に対して傾動可能な状態で前記支持装置及び前記移動体の一方に設けられる請求項13に記載の移動体装置。
- 前記移動体に物体が保持される請求項1〜14のいずれか一項に記載の移動体装置と、
エネルギビームを用いて前記物体に所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記物体に前記所定のパターンが形成される際に、前記物体を保持した前記移動体が前記エネルギビームに対して前記第1方向に相対移動する請求項15に記載の露光装置。
- 前記移動体は、前記支持装置に支持される本体部と、前記本体部上に固定され、前記物体が載置される物体載置部とを有し、
前記本体部は、前記2次元平面に平行な方向に関して互いに分離して設けられた複数の部材を含み、該複数の部材は、互いに異なる前記支持装置に支持される請求項15又は16に記載の露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項15〜17のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項18に記載の露光装置。
- 請求項18又は19に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項15〜17のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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