JP2013217950A - 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板ステージ装置20は、XY平面に沿った位置を移動可能な微動ステージ34と、Y軸方向に沿った位置を移動可能なY粗動ステージ26と、Y粗動ステージ26に設けられX軸方向に沿った位置を移動可能なX粗動ステージ30とを含むXYステージと、複数のボイスコイルモータ40x、40yを用いて、微動ステージ34のXYステージに対するXY平面内の位置を制御する位置制御系と、を備え、Y粗動ステージ26は、X軸方向に延び且つY軸方向に離間して設けられた一対のXビーム28を有し、該一対のXビーム28は、Y軸方向に関して、微動ステージ34の外側であって微動ステージ34の一側及び他側に配置されている。
【選択図】図7
Description
Claims (18)
- 所定の二次元平面内の互いに直交する第1及び第2方向に沿った位置を移動可能な移動体と、
前記移動体を支持する支持装置と、
前記第1及び第2方向の一方に沿って延び、前記支持装置を支持し且つ該支持装置と共に前記第1及び第2方向の他方に沿った位置を移動可能なガイド部材と、
前記第1方向に沿った位置を移動可能な第1部材と、前記第1部材に設けられ前記第2方向に沿った位置を移動可能な第2部材とを含み、前記支持装置を前記二次元平面に沿って駆動する駆動装置と、
前記駆動装置に設けられた複数の駆動部材を用いて、前記移動体の前記駆動装置に対する前記二次元平面内の位置、及び前記二次元平面に交差する方向の位置を制御する位置制御系と、を備え、
前記駆動装置の前記第1部材は、前記第2方向に延び且つ前記第1方向に離間して設けられた一対の部材を有し、
前記一対の部材それぞれの前記第1方向に関する位置は、前記移動体の外側であって前記移動体の一側及び他側である移動体装置。 - 前記移動体の前記二次元平面に直交する方向に関する位置と、前記駆動装置の前記二次元平面に直交する方向に関する位置と、が少なくとも一部重複する請求項1に記載の移動体装置。
- 前記二次元平面に直交する方向に関して前記支持装置の位置と前記一対の部材の位置とが少なくとも一部重複し、
前記支持装置は、前記一対の部材間に配置される請求項1又は2に記載の移動体装置。 - 前記複数の駆動部材は、前記第2部材に設けられる請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記位置制御系は、前記移動体を前記二次元平面に沿って駆動するための第1駆動部材と、前記移動体を前記二次元平面に交差する方向に駆動するための第2駆動部材とを有し、
前記第2駆動部材の前記二次元平面に直交する方向に関する位置と、前記第2部材の前記二次元平面に直交する方向に関する位置と、が少なくとも一部重複する請求項4に記載の移動体装置。 - 前記第2駆動部材の前記二次元平面に直交する方向に関する位置と、前記第1部材の前記二次元平面に直交する方向に関する位置と、が少なくとも一部重複する請求項5に記載の移動体装置。
- 前記駆動部材は、リニアモータの固定子であり、
前記移動体には、前記リニアモータの可動子が設けられる請求項1〜6のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記二次元平面に直交する方向に関して前記ガイド部材は、前記一対の部材の下方に配置される請求項1〜7のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記ガイド部材は、前記駆動装置により駆動される請求項1〜8のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2部材の前記第2方向に沿った位置に応じて該第2部材に用力を供給するための部材を案内する案内装置を更に備え、
前記案内装置は、前記一対の部材と前記ガイド部材との間の領域に配置される請求項1〜9のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記駆動装置の前記第1部材は、複数のベース部材上に設けられ、
前記複数のベース部材は、前記二次元平面に直交する方向の位置が異なる請求項1〜10のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記複数のベース部材は、前記第2方向に沿って所定間隔で少なくとも3つ設けられ、
前記少なくとも3つのベース部材のうち、内側のベース部材は、外側のベース部材よりも下方に配置される請求項11に記載の移動体装置。 - 前記移動体の前記第2方向に沿った位置情報を求めるのに用いられる計測部材を更に備え、
前記計測部材を支持する支持部材が前記外側のベース部材の下方を通過する請求項12に記載の移動体装置。 - 請求項1〜13のいずれか一項に記載の移動体装置と、
前記物体保持部材に保持された前記物体にエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項14に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項15に記載の露光装置。
- 請求項15又は16に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項14に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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