JP4987662B2 - ステージ装置 - Google Patents
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- 上面とY軸方向に沿って延在する側面とが滑走面とされたベースと、
磁石を内部に有してY軸方向に沿って延在する一対のY軸シャフトと前記Y軸シャフトを取り囲むコイルによって各々構成される一対のY軸可動子とを有するY軸駆動部と、
前記ベース上面で前記一対のY軸可動子に連結される本体部と前記Y軸可動子に連結されると共に前記ベース側面に対向する側部とを有し、前記ベース上面及び前記ベース側面に沿ってY軸方向へ移動するY軸移動体と、
前記本体部に沿って、Y軸方向と直交する水平方向であるX軸方向へ移動するX軸移動体と、を備え、
前記側部は、前記Y軸可動子の下方に配置され、
前記側部と前記本体部とは連結されて一体的に移動し、
前記ベース側面と、前記側部との間には、前記Y軸移動体をガイドするガイド部が形成されていることを特徴とするステージ装置。 - 前記ガイド部は、
前記ベース側面と前記Y軸移動体の前記側部との間に、互いに引き付け合う引力を発生させる引力発生手段を備えることを特徴とする請求項1記載のステージ装置。 - 前記引力発生手段は、
前記ベース側面に設けられて、Y軸方向に沿って延在する磁石又は磁性体のいずれか一方と、
前記Y軸移動体の前記側部に設けられた前記磁石又は前記磁性体の他方と、から構成されることを特徴とする請求項2記載のステージ装置。 - 前記ガイド部は、前記ベース側面に対して気体を噴出する気体軸受を有し、
前記Y軸移動体の前記側部は、前記気体軸受を、前記側部の外部で支持することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のステージ装置。 - 前記Y軸移動体の前記側部は、前記気体軸受を回動可能に支持する支持部を有することを特徴とする請求項4記載のステージ装置。
- 前記支持部は、球面形状部を介して前記気体軸受を支持することを特徴とする請求項5記載のステージ装置。
- 前記気体軸受は、前記球面形状部の周りに設けられた伸縮可能な弾性力付与部から弾性力を付与されることによって、前記支持部に支持されることを特徴とする請求項6記載のステージ装置。
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