KR101094874B1 - 자기베어링을 이용한 이동장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 자기베어링을 이용한 이동장치에 관한 것으로서, 자기베어링을 이용한 이동장치에 있어서, 경사면을 포함한 복수의 가이드면이 형성되어 있는 제1가이드와 상기 제1가이드와 대칭으로 이루어지는 제2가이드로 구성되는 가이드부, 상기 가이드부의 상기 가이드면과 일정한 간격으로 대향하는 슬라이드면을 가지며 상기 가이드부에 삽입되어 슬라이딩 가능하게 설치되는 몸체부 및 상기 몸체부의 경사면을 포함하는 상기 슬라이드면에 좌우 또는 상하 대칭으로 설치되는 자기베어링부를 포함함으로써 슬라이딩 운동시 자세제어에 필요한 자기베어링의 갯수를 감소시켜 이동장치의 중량을 감소시킴과 아울러 경제적인 구성으로 자기베어링을 이용한 이동장치를 구현할 수 있다.
자기베어링, 리니어 모터, 경사면, 좌표축 분해

Description

자기베어링을 이용한 이동장치{LINEAR MOTION APPARATUS USING MAGNETIC BEARING}
본 발명은 자기베어링을 이용한 이동장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 자기베어링이 장착되는 몸체부의 슬라이딩면이 경사를 가지게 하고 경사를 가진 슬라이딩면에 자기베어링을 배치하여 자세제어에 필요한 자기베어링의 갯수를 감소시킴으로써 이동장치의 중량을 감소시킴과 아울러 경제적인 구성으로 이루어진 자기베어링을 이용한 이동장치이다.
일반적으로 종래의 직선 운동 시스템에 있어서 운동체의 지지베어링으로 사용되고 있는 것은 볼 베어링이나 로럴 베어링이 주종을 이루어 왔다. 그러나, 이러한 볼 베어링과 롤러 베어링은 볼과 롤러의 탄성 변형과 불균일 등으로 인하여 그 정밀도에 한계를 가지는 단점이 있었다.
따라서, 1㎛ 이하의 고정밀도를 필요로 하는 직선 운동 장치에 있어서 직선 운동을 하게 되는 테이블과 이 테이블의 직선 운동을 안내하는 안내면이 비접촉 상 태를 이루도록 하기 위해 오일이나 공기 등의 윤활유체를 사용하여 직선 운동 테이블을 지지할 수 있는 유체 베어링을 많이 사용하고 있다.
이때, 공기나 오일을 베어링의 윤활 유체로 사용하기 위해서는 유체를 일정 압력으로 높이기 위한 압축기와 유체의 불순물을 제거하기 위한 필터를 구비하는 것이 필수적이다.
그러나, 이들 압축기와 필터는 고가일 뿐만 아니라 이들을 장착함으로써 이송 시스템의 구성은 보다 커지고 복잡하게 되므로 관리 및 유지가 어렵고 까다로운 단점이 있다.
한편, 일부 반도체 제조 장비나 이온 빔 가공과 같은 특수한 가공장비 등에 있어서는 진공의 환경을 필요로 하는 경우도 있는데, 직선 운동 시스템의 안내면 윤활제로 유체(공기)가 사용되면 상기한 바와 같은 특수 환경에서는 시스템의 적용이 곤란하게 되는 문제점이 있다.
이를 해결하기 위한 관련기술로서 자기베어링을 이용한 직선운동장치가 있다. 대한민국 등록특허 10-0165371(이하 종래기술이라 한다)에는 상기와 같은 자기베어링을 이용한 직선운동장치에 대해 개시되어 있다.
도2를 참조하면 일반적인 자기베어링은 코어체(21) 상에, 상기 코어체(21)의 각 폴(21a)(21b)(21c)의 사이에 위치하도록 대략 타원체로 형성된 코일 권선체(22)가 삽입되어 있는 형상이다.
또한 도3을 참조하면 종래기술에 따른 자기베어링을 이용한 직선 운동 장치는, 슬라이딩홈(30a)이 마련되어 있는 베드 프레임(30)과, 상판(31a)과 하판(31b) 이 지지부재(31c)에 의해 서로 상하로 대면하도록 된 대칭의 구조를 가지는 직선 운동용 이송 테이블(31)을 구비하고, 상기 이송테이블(31)의 하판(31b)이 상기 베드 프레임(30)의 슬라이딩홈(30a)에 슬라이딩 가능하도록 결합되며, 상기 이송 테이블(31)의 지지부재(31c)와 나란한 위치의 상기 베드 프레임(30)에는 상기 이송 테이블(31)의 슬라이딩 운동을 가이드하는 가이드 플레이트 부재(32)가 지지되어 있는 구조체를 이룬다.
이와 같이 형성된 구조체에 있어서, 상기 이송 테이블(31)은 가이드 플레이트 부재(32) 상을 슬라이딩 하기 위하여 일측 모서리부에 상판 자기베어링(20a), 하판 자기베어링(20b) 및 지지부재 자기베어링(20c)의 3개의 자기베어링을 필요로 하도록 이루어져 있고 결과적으로 총 12개의 자기베어링이 필요하게 된다.
또한 자기베어링(20)에는 이송 테이블(31)이 가이드 플레이트 부재(32) 상을 직선운동할 때 틈간격을 측정하는 센서(41)가 부착되어 있다.
하지만 상기와 같이 3개의 자기베어링을 하나의 세트로 사용하게 되는 구성에서는 이송테이블이 길어지게 되면 자세제어를 위한 자기베어링이 많이 필요하게 되어(상기 도면에서는 12개) 결과적으로 베어링의 수가 많아져 이송테이블의 중량이 증가함과 아울러 제작 단가가 높아진다는 단점이 있다.
따라서, 슬라이딩 운동시 자세제어에 필요한 자기베어링의 갯수를 감소시킴으로써 이동장치의 중량을 감소시킴과 아울러 경제적인 구성으로 이루어진 자기베어링을 이용한 이동장치가 요구된다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 슬라이딩 운동시 자세제어에 필요한 자기베어링의 갯수를 감소시킴으로써 이동장치의 중량을 감소시킴과 아울러 경제적인 구성으로 이루어진 자기베어링을 이용한 이동장치를 제공함을 목적으로 한다.
본 발명의 일 특징에 따른 자기베어링을 이용한 이동장치는, 자기베어링을 이용한 이동장치에 있어서, 경사면을 포함한 복수의 가이드면이 형성되어 있는 제1가이드와 상기 제1가이드와 대칭으로 이루어지는 제2가이드로 구성되는 가이드부, 상기 가이드부의 상기 가이드면과 일정한 간격으로 대향하는 슬라이드면을 가지며 상기 가이드부에 삽입되어 슬라이딩 가능하게 설치되는 몸체부 및 상기 몸체부의 경사면을 포함하는 상기 슬라이드면에 좌우 또는 상하 대칭으로 설치되는 자기베어링부를 포함한다.
본 발명의 자기베어링을 이용한 이동장치는, 상기 가이드부의 제1가이드가 하방으로 비스듬하게 형성되는 제1경사면과 상기 제1경사면에서 연장되고 수평방향으로 형성되는 수평면과 상기 수평면에서 연장되고 상방으로 비스듬하게 형성되는 제2경사면의 3면으로 이루어지는 돌출부가 형성되는 형태일 수 있다.
본 발명의 자기베어링을 이용한 이동장치는, 상기 가이드부의 제1가이드가 상방으로 비스듬하게 형성되는 제1경사면과 상기 제1경사면에서 연장되고 수평방향으로 형성되는 수평면과 상기 수평면에서 연장되고 하방으로 비스듬하게 형성되는 제2경사면의 3면으로 이루어진 홈이 형성되는 형태일 수 있다.
본 발명의 자기베어링을 이용한 이동장치는, 상기 가이드부의 제1가이드와 제2가이드가 각각 수평면과 상기 수평면에서 하방으로 연장되는 수직면과 상기 수직면에서 상기 수평면과 대향하는 하방으로 연장되는 경사면으로 이루어지는 홈을 구비하고 상기 몸체부의 좌측과 우측에서 상기 몸체부를 가이드하고, 상기 몸체부의 상면 중앙 부근에는 테이블과 결합하는 돌출부가 형성되어 있고 상기 몸체부의 하면 중앙 부근에는 리니어 모터와 결합하는 돌출부가 형성되어 있는 형태일 수 있다.
본 발명의 자기베어링을 이용한 이동장치에 따르면, 자기베어링이 장착되는 몸체부의 슬라이딩면이 경사를 가지게 하고 경사를 가진 슬라이딩면에 자기베어링을 배치하여 자세제어에 필요한 자기베어링의 갯수를 감소시킴으로써 이동장치의 중량을 감소시킴과 아울러 경제적인 구성으로 이루어진 자기베어링을 구현할 수 있다.
상술한 본 발명의 특징 및 효과는 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명 을 통하여 보다 분명해 질 것이며, 그에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다.
이하, 종래기술에서 설명된 구성요소에는 동일한 도면부호를 기재하여 나타내고 설명을 생략한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도3은 본 발명의 제1실시예에 따른 자기베어링을 이용한 이동장치이다.
도면을 참조하면 상측에는 제1가이드인 상부가이드(110)가 하측에는 제2가이드인 하부가이드(120)가 설치되어 있고 상기 상부가이드(110)와 상기 하부가이드(120)는 대칭으로 대향하여 마주보고 있다.
상기 상부 가이드의 가이드면은 3면으로 구성되어 있고 하방으로 비스듬하게 형성되는 제1경사면(111)과 상기 제1경사면(111)에서 연장되고 수평방향으로 형성되는 수평면(112)과 상기 수평면(112)에서 연장되고 상방으로 비스듬하게 형성되는 제2경사면(113)으로 구성되어 있다. 즉 상부 가이드의 폭 방향 단면은 윗변이 길고 밑변이 짧은 사다리꼴 모양으로 이루어져 있다.
또한 상기 상부가이드(110)의 아래에는 상기 상부가이드(110)와 대칭으로 대향하여 동일한 모양의 하부가이드(120)가 설치되어 있고 따라서 하부가이드(120)도 3면의 가이드면(121,122,123)을 가진다.
상기 상부가이드(110)와 상기 하부가이드(120) 사이의 공간에는 상기 가이드면(111,112,113,121,122,123)과 일정한 간격으로 대향하는 슬라이드면(131,132,133)을 가지며 상기 상부가이드(110)와 하부가이드(120) 사이에 삽입되어 슬라이딩 가능하게 설치되는 이동장치의 몸체부(130)가 위치한다.
상기 몸체부(130)의 슬라이드면(131,132,133)의 형상은 사다리꼴 모양의 홈이 대칭으로 형성된 형상이고 이에 따라 상기 몸체부(130)는 X자기둥 모양으로 형성된다. 상기 몸체부의(130)의 좌측면(134)과 우측면(135) 중 적어도 어느 한 면은 리니어 모터(미도시)에 연결되어 고정된다.
또한 상기 몸체부(130)의 슬라이드면(131,132,133) 중 경사면(131,133)에는 몸체부(130)의 슬라이딩 방향의 단부 부근에 각각 1개씩 총 8개의 자기베어링(20)이 설치되어 있다. 이는 종래의 자기베어링을 이용한 이동장치가 총 12개의 자기베어링이 필요한 구조였음에 비해 진보된 것이다.
즉 이동장치의 몸체부(130)를 경사면(111,113,121,123)을 가지는 형태로 하고 상기 경사면(111,113,121,123)에 자기베어링(20)을 배치함으로써 적은 수의 자기베어링으로 동일한 성능의 자세제어를 할 수 있다.
도4는 본 발명의 제2실시예에 따른 자기베어링을 이용한 이동장치이다.
도면을 참조하면 상측에는 제1가이드인 상부가이드(210)가 하측에는 제2가이드인 하부가이드(220)가 설치되어 있고 상기 상부가이드(210)와 상기 하부가이드(220)는 대칭으로 대향하여 마주보고 있다.
상기 상부 가이드의 가이드면은 3면으로 구성되어 있고 상방으로 비스듬하게 형성되는 제1경사면(211)과 상기 제1경사면(211)에서 연장되고 수평방향으로 형성되는 수평면(212)과 상기 수평면(212)에서 연장되고 하방으로 비스듬하게 형성되는 제2경사면(213)으로 구성되어 있다. 즉 상부 가이드의 폭 방향 단면은 윗변이 짧고 밑변이 긴 사다리꼴 모양의 홈을 가진 형상으로 이루어져 있다.
또한 상기 상부가이드(210)의 아래에는 상기 상부가이드(210)와 대칭으로 대향하여 동일한 모양의 하부가이드(220)가 설치되어 있고 따라서 하부가이드(220)도 3면의 가이드면(221,222,223)을 가진다.
상기 상부가이드(210)와 상기 하부가이드(220) 사이의 공간에는 상기 가이드면(211,212,213,221,222,223)과 일정한 간격으로 대향하는 슬라이드면(231,232,233)을 가지며 상기 상부가이드(210)와 하부가이드(220) 사이에 삽입되어 슬라이딩 가능하게 설치되는 이동장치의 몸체부(230)가 위치한다.
상기 몸체부(230)의 슬라이드면(231,232,233)의 형상은 사다리꼴 모양의 돌출부가 대칭으로 형성된 형상이고 이에 따라 상기 몸체부(230)는 팔각기둥 모양으로 형성된다. 상기 몸체부의(230)의 좌측면(234)과 우측면(235) 중 적어도 어느 한 면은 리니어 모터(미도시)에 연결되어 고정된다.
또한 상기 몸체부(230)의 슬라이드면(231,232,233) 중 경사면(231,233)에는 몸체부(230)의 슬라이딩 방향의 단부 부근에 각각 1개씩 총 8개의 자기베어링(20)이 설치되어 있다. 이는 종래의 자기베어링을 이용한 이동장치가 총 12개의 자기베어링이 필요한 구조였음에 비해 진보된 것이다.
즉 이동장치의 몸체부(230)를 경사면(211,213,221,223)을 가지는 형태로 하고 상기 경사면(211,213,221,223)에 자기베어링(20)을 배치함으로써 적은 수의 자기베어링으로 동일한 성능의 자세제어를 할 수 있다.
또한 몸체부(230)를 팔각기둥 형상으로 구성함으로써 사각기둥이나 육각기둥 형상에 비해 자기베어링(20)의 부착위치가 중심에서 멀어지므로 작동시 더 많은 모멘트의 이득을 얻을 수 있다.
또한 몸체부(230)의 중심부분에 구멍(235)을 형성하여 스핀들 등을 삽입하여 이동 가능한 형상으로 이루어져 있어 공작기계의 가공 주축의 용도로 사용이 가능하다.
도5는 본 발명의 제3실시예에 따른 자기베어링을 이용한 이동장치이다.
도면을 참조하면 좌측에는 제1가이드인 좌측가이드(310)가 우측에는 제2가이드인 우측가이드(320)가 설치되어 있고 상기 좌측가이드(310)와 상기 우측가이드(320)는 대칭으로 대향하여 마주보고 있다.
상기 좌측가이드(310)의 가이드면은 3면으로 구성되어 있고 수평면(311)과 상기 수평면(311)에서 하방으로 연장되는 수직면(312)과 상기 수직면(312)에서 상기 수평면과 대향하는 하방으로 연장되는 경사면(313)으로 구성되어 있다.
또한 상기 좌측가이드(310)의 우측에는 상기 좌측가이드(310)와 대칭으로 대향하여 동일한 모양의 우측가이드(320)가 설치되어 있고 따라서 우측가이드(320)도 3면의 가이드면(321,322,323)을 가진다.
상기 좌측가이드(310)와 상기 우측가이드(320) 사이의 공간에는 상기 가이드면(311,312,313,321,322,323)과 일정한 간격으로 대향하는 슬라이드면(331,332,333)을 가지며 상기 좌측가이드(310)와 우측가이드(320) 사이에 삽입되어 슬라이딩 가능하게 설치되는 이동장치의 몸체부(330)가 위치한다.
상기 몸체부(330)의 슬라이드면의 형상은 상기 좌측가이드(310)와 상기 우측가이드(320)의 가이드면(311,312,313,321,322,323)과 대향하는 형상으로 형성되고 상기 몸체부(330)의 상면 중앙 부근에는 테이블(340)과 결합하는 돌출부(334)가 형성되어 있고 상기 몸체부(330)의 하면 중앙 부근에는 리니어 모터(350)와 결합하는 열쇠 모양의 돌출부(335)가 형성되어 있어 리니어 모터(350)의 작동에 따라 이동장치의 몸체부(330)가 운동하여 몸체부(330)와 일체화되어 있는 테이블(340)을 이송 가능하도록 되어 있다.
또한 상기 몸체부(330)의 슬라이드면 중 상부좌우의 수평면(331)과 하부좌우의 경사면(332)에는 몸체부(330)의 슬라이딩 방향의 단부 부근에 각각 1개씩 총 8개의 자기베어링(20)이 설치되어 있다.
이는 종래의 자기베어링을 이용한 이동장치가 총 12개의 자기베어링이 필요한 구조였음에 비해 진보된 것이다.
즉 이동장치의 몸체부(330)를 경사면(333)을 가진 형태로 하고 상기 경사 면(333)에 자기베어링(20)을 배치함으로써 적은 수의 자기베어링으로 동일한 성능의 자세제어를 할 수 있다.
다음으로 본 발명의 실시예에 따른 자기베어링을 이용한 이송장치의 작동에 대하여 설명한다.
하기의 설명은 제1실시예를 기준으로 하여 설명하지만 다른 실시예의 경우도 작동방법은 동일하다.
리니어 모터 등에 의해 몸체부(130)가 직선운동을 하게 되면 몸체부(130)에 장착되어 있는 자기베어링(20)의 변위를 센서(41)가 감지하고, 센싱 신호는 센서증폭기(미도시)를 통과하여 제어회로(미도시)에서 제어되며, 제어된 신호는 전류증폭기(미도시)에서 전류로 변환, 증폭되어 자기베어링(20)을 구동하게 된다.
자기베어링(20)이 구동됨에 따라 자기베어링(20)은 자기력을 발생시키고, 상기 자기베어링(20)에서 발생하는 자기력에 의하여 몸체부(130)는 상부가이드(110)와 하부가이드(120)의 가이드면(111,112,113,121,122,123)을 직선운동하게 되며, 이때 상기 몸체부(130)는 자기베어링(20)에 의해 부상하므로 완전 무마찰 상태로 지지되어 직선운동하게 된다.
이 때 상부가이드와 대향하는 제1경사면(131)과 제2경사면(133)에 설치된 자기베어링(20)의 제어는 예를 들면 좌표축 분해를 이용하여 가능하고 따라서 경사면(131,133)의 틈새를 유지하는 제어를 함으로써 상방향과 수평방향의 제어가 가능하다.
또한 하부가이드와 대향하는 제1경사면(131)과 제2경사면(133)의 제어도 마찬가지로 좌표축의 분해를 이용하여 가능하고 따라서 경사면(131,133)의 틈새를 유지하는 제어를 함으로써 하방향과 수평방향 제어를 할 수 있다.
이에 따라, 자기베어링과 상기 가이드부(32) 사이에는 1mm 이하의 틈새에 자장이 형성되어 이송시에 일정한 틈새를 유지하며 외부의 하중이나 외란에 대해 상기 몸체부(31)의 변위가 일정하도록 자기베어링이 능동적으로 작용한다.
이에 따라 중량을 감소시키고 경제적인 구성을 가지는 자기베어링을 이용한 이동장치를 구현할 수 있다. 또한 상기 자기베어링을 이용한 이동장치는 진공 등과 같은 특수한 환경하에서의 적용이 가능하여 향후 반도체 제조장비나 측정 및 검사, 특수한 전용 가공기 등에 있어서 정밀 이송 시스템으로의 활용이 가능하다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도1은 자기베어링을 나타내는 사시도
도2b는 종래기술에 따른 자기베어링을 이용한 이동장치의 사시도 도2b는 종래기술에 따른 자기베어링을 이용한 이동장치의 이동테이블을 나타내는 사시도
도3a는 본 발명의 제1실시예에 따른 자기베어링을 이용한 이동장치의 사시도 3b는 A방향의 단면도
도4a는 본 발명의 제2실시예에 따른 자기베어링을 이용한 이동장치의 사시도 4b는 B방향의 단면도
도5a는 본 발명의 제3실시예에 따른 자기베어링을 이용한 이동장치의 사시도 5b는 C방향의 단면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
20 : 자기베어링 41 : 센서
110,210,310 : 제1가이드 120,220,320 : 제2가이드
130,230,330 : 몸체부

Claims (4)

  1. 삭제
  2. 자기베어링을 이용한 이동장치에 있어서,
    경사면을 포함한 복수의 가이드면이 형성되어 있는 제1가이드와 상기 제1가이드와 대칭으로 이루어지는 제2가이드로 구성되는 가이드부;
    상기 가이드부의 상기 가이드면과 일정한 간격으로 대향하는 슬라이드면을 가지며 상기 가이드부에 삽입되어 슬라이딩 가능하게 설치되는 몸체부; 및
    상기 몸체부의 경사면을 포함하는 상기 슬라이드면에 좌우 또는 상하 대칭으로 설치되는 자기베어링부를 포함하고,
    상기 가이드부의 제1가이드는 하방으로 비스듬하게 형성되는 제1경사면과 상기 제1경사면에서 연장되고 수평방향으로 형성되는 수평면과 상기 수평면에서 연장되고 상방으로 비스듬하게 형성되는 제2경사면의 3면으로 이루어지는 돌출부가 형성되는 것을 특징으로 하는 자기베어링을 이용한 이동장치.
  3. 자기베어링을 이용한 이동장치에 있어서,
    경사면을 포함한 복수의 가이드면이 형성되어 있는 제1가이드와 상기 제1가이드와 대칭으로 이루어지는 제2가이드로 구성되는 가이드부;
    상기 가이드부의 상기 가이드면과 일정한 간격으로 대향하는 슬라이드면을 가지며 상기 가이드부에 삽입되어 슬라이딩 가능하게 설치되는 몸체부; 및
    상기 몸체부의 경사면을 포함하는 상기 슬라이드면에 좌우 또는 상하 대칭으로 설치되는 자기베어링부를 포함하고,
    상기 가이드부의 제1가이드는 상방으로 비스듬하게 형성되는 제1경사면과 상기 제1경사면에서 연장되고 수평방향으로 형성되는 수평면과 상기 수평면에서 연장되고 하방으로 비스듬하게 형성되는 제2경사면의 3면으로 이루어진 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 자기베어링을 이용한 이동장치.
  4. 자기베어링을 이용한 이동장치에 있어서,
    경사면을 포함한 복수의 가이드면이 형성되어 있는 제1가이드와 상기 제1가이드와 대칭으로 이루어지는 제2가이드로 구성되는 가이드부;
    상기 가이드부의 상기 가이드면과 일정한 간격으로 대향하는 슬라이드면을 가지며 상기 가이드부에 삽입되어 슬라이딩 가능하게 설치되는 몸체부; 및
    상기 몸체부의 경사면을 포함하는 상기 슬라이드면에 좌우 또는 상하 대칭으로 설치되는 자기베어링부를 포함하고,
    상기 가이드부의 제1가이드와 제2가이드는 각각 수평면과 상기 수평면에서 하방으로 연장되는 수직면과 상기 수직면에서 상기 수평면과 대향하는 하방으로 연장되는 경사면으로 이루어지는 홈을 구비하고 상기 몸체부의 좌측과 우측에서 상기 몸체부를 가이드하고,
    상기 몸체부의 상면 중앙 부근에는 테이블과 결합하는 돌출부가 형성되어 있고 상기 몸체부의 하면 중앙 부근에는 리니어 모터와 결합하는 돌출부가 형성되어 있는 자기베어링을 이용한 이동장치.
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