JPWO2018055709A1 - リニアコンベア装置 - Google Patents

Abstract

リニアコンベア装置（１）は、リニアモータ可動子（３２）を有するスライダ（３）と、リニアモータ固定子（２２）と、スライダ（３）の移動をガイドする第１、第２ガイドレール（２３Ａ、２３Ｂ）とを上面（２１Ａ）に有するモジュール（２０）の連結体からなる直線搬送部（２）と、カバー部材（６）とを備える。カバー部材（６）は、リニアモータ固定子（２２）及び第１、第２ガイドレール（２３Ａ、２３Ｂ）の上方を覆い隠すように、モジュール（２０）の上面（２１Ａ）を覆っている。スライダ（３）は、直線搬送部（２）の延在方向に移動自在に、カバー部材（６）に嵌合される形状を有している。

Description

本発明は、リニアモータ可動子及び固定子を有するリニアコンベア装置に関する。

リニアモータを駆動源とし、ガイドレールに沿ってスライダを直線的に移動させるリニアコンベアが知られている。可動磁石型リニアモータの場合、前記ガイドレールは、リニアモータ固定子が搭載された基台フレームに組み付けられ、前記スライダにはリニアモータ可動子が取り付けられる。前記リニアモータ固定子は、ガイドレールと平行に配設される電磁石であり、前記リニアモータ可動子は永久磁石である。前記電磁石への通電によって、スライダに推進力が与えられる。また、リニアコンベアは、前記スライダに搭載される磁気スケールと、前記基台フレームに設置される磁気センサとからなるリニアスケールを備える。このリニアスケールによる位置検出結果に基づき前記電磁石への通電が制御されることで、前記スライダが所期の位置へ移動される（例えば特許文献１参照）。

従来、この種のリニアコンベアにおいては、基台フレームに組み付けられたガイドレール、リニアモータ固定子及び磁気センサ等のコンベア構成部材は、前記基台フレームの外表面に露呈している。これは、スライダの前記基台フレームの上における移動を妨げないようにするためには、前記コンベア構成部材とスライダとの間に何らかの部材を配置することが困難だからである。このため、前記コンベア構成部材に塵埃や汚染物が付着したり、異物が衝突したり、或いはスライダによる搬送物が落下して前記コンベア構成部材間に挟まり込んだりする不具合が生じることがあった。

ＵＳＰ６１９１５０７号公報

本発明の目的は、リニアコンベアの構成部材に対する汚染、異物衝突及び落下物に対する問題を解消することができるリニアコンベア装置を提供することにある。

本発明の一局面に係るリニアコンベア装置は、リニアモータ可動子を有するスライダと、リニアモータ固定子と、前記スライダの移動をガイドするガイド部とを上面に備える直線搬送部と、前記リニアモータ固定子及び前記ガイド部の上方を覆い隠すように、前記直線搬送部の上面を覆うカバー部材と、を備え、前記スライダは、前記直線搬送部の延在方向に移動自在に、前記カバー部材に嵌合される形状を有する。

本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。

図１は、本発明の実施形態に係るリニアコンベア装置の全体構成を概略的に示す斜視図である。 図２は、架台上でリニアコンベアを支えるベース部材の斜視図である。 図３は、前記リニアコンベア装置を構成する２つのモジュールの連結体の斜視図である。 図４は、図３に示すリニアコンベア装置の、一つのモジュールのカバー部材を取り外した状態の斜視図である。 図５は、図４のモジュール連結部の拡大斜視図である。 図６は、スライダの下面側の斜視図である。 図７は、前記モジュールの連結部におけるＹ方向断面図である。 図８は、モジュールの組立例を示す斜視図である。 図９は、第１変形例に係るリニアコンベア装置の概略的な断面図である。 図１０は、第２変形例に係るリニアコンベア装置の概略的な断面図である。 図１１は、第３変形例に係るリニアコンベア装置の概略的な断面図である。 図１２は、第４変形例に係るリニアコンベア装置の概略的な断面図である。

［リニアコンベア装置の全体構成］
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態に係るリニアコンベア装置１の全体構成を概略的に示す斜視図である。図１には、ＸＹＺの方向表示を付しており、ここではＸ方向が左右方向（＋Ｘが右、−Ｘが左）、Ｙ方向が前後方向（＋Ｙが前、−Ｙが後）、Ｚ方向が上下方向（＋Ｚが上、−Ｚが下）に各々相当する。他のいくつかの図においても、これに沿った方向表示を付している。

リニアコンベア装置１は、架台１０上に設置され、Ｘ方向に延びる一対の直線搬送部２（第１直線搬送部２Ａ及び第２直線搬送部２Ｂ）と、直線搬送部２の−Ｘ側及び＋Ｘ側端部にそれぞれ位置する第１方向転換部２Ｃ及び第２方向転換部２Ｄと、直線搬送部２に沿って移動するスライダ３と、架台１０上において直線搬送部２を支持するベース部材４とを備えている。直線搬送部２は、架台１０の＋Ｙ側に配置された第１直線搬送部２Ａと、この第１直線搬送部２Ａと平行に−Ｙ側に配置された第２直線搬送部２Ｂとからなる。第１、第２方向転換部２Ｃ、２Ｄは、これら直線搬送部２Ａ、２Ｂの間を−Ｘ側及び＋Ｘ側端部において連絡している。

架台１０は、リニアコンベア装置１の敷設面となる上面１０Ａを備えている。上面１０Ａは平面度が高い面であることが基本的には望ましい。しかし、本実施形態ではベース部材４を用いてリニアコンベア装置１の敷設が行われることから、上面１０Ａの平面度が多少低くても、小さな段差が存在していても、或いは架台１０が分割された台車で構成されており上面１０Ａに繋ぎ目が存在しているような場合でも、これらは特に大きな問題とはならない。

第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂは、スライダ３をＸ方向へ移動させる搬送部である。第１、第２方向転換部２Ｃ、２Ｄは、スライダ３をＹ方向へ移動させる搬送部であって、第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂ間でスライダ３を載せ替える、つまり方向転換を行わせる役目を果たす。第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂは、リニアモータの固定側のユニット、スライダ３は可動側のユニットである。

第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂは、スライダ３のガイド機能を有するモジュール２０が、直線的に複数台連結されてなる。モジュール２０は、スライダ３とリニアモータを形成する固定側の単位ブロックであり、０．２ｍ〜１．０ｍ程度の長さを有する短尺の直線的なブロックである。モジュール２０（後記の基台フレーム２１）は、上面２１Ａと、架台１０と対向する下面２１Ｂとを有し、下面２１Ｂが架台１０の上面１０Ａから浮いた状態でベース部材４にて支持されている。なお、上面２１Ａとは、架台１０と対向する下面２１Ｂと反対側という意味での上面であり、実際のモジュール２０の設置態様において必ず上面２１Ａが上方を向くということを意味しない。

図１では、第１直線搬送部２Ａは、−Ｘから＋Ｘ方向に順次連結されたモジュール２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅで形成されている例を示している。ここでは、モジュール２０Ｄが他に比べて短尺である例を示している。第２直線搬送部２Ｂも同様である。このように、モジュール２０の連結数や、長さの異なるモジュール２０の組合せによって、スライダ３のＸ方向移動長を自在に設定することができる。

第１、第２方向転換部２Ｃ、２Ｄは、スライドレール１１と転換用モジュール２０Ｙとを含む。スライドレール１１は、Ｙ架台１０の上面１０ＡにＹ方向に延びるように敷設されている。転換用モジュール２０Ｙは、スライドレール１１に沿ってＹ方向に移動自在に当該スライドレール１１に係合されている。図略の駆動機構により、転換用モジュール２０Ｙは、第１直線搬送部２Ａの終端部Ｅと第２直線搬送部２Ｂの終端部Ｅとの間の移動、及びこれら終端部Ｅに対する位置決め停止がなされる。

スライダ３は、第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂ及び第１、第２方向転換部２Ｃ、２Ｄによって架台１０上に形成される周回経路を周回移動することが可能である。図１では、４つのスライダ３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄが前記周回経路に配置され、これらが時計回り のスライダ移動方向Ｆに周回する例を示している。スライダ３は、第１直線搬送部２Ａの＋Ｘ側から−Ｘ側に向かって移動し（一時的に＋Ｘ側に逆送される場合もある）、その−Ｘ終端部Ｅから第１方向転換部２Ｃの転換用モジュール２０Ｙに乗り移る。スライダ３を搭載した状態で、転換用モジュール２０Ｙは、第１直線搬送部２Ａから第２直線搬送部２Ｂへ向けて−Ｙ方向へ移動される。次いでスライダ３は、−Ｘ終端部Ｅから第２直線搬送部２Ｂに乗り移り、＋Ｘ側へ移動する。そして、第２方向転換部２Ｄの転換用モジュール２０Ｙに乗り移り、＋Ｙ方向へ移動され、再び第１直線搬送部２Ａへ乗り移る。

図示は省略しているが、スライダ３の周回経路に沿って、基板等のワークの移載、電子部品等の前記基板への実装作業等を実行する各種ロボットが配設される。スライダ３の上面は前記ワーク等の載置部となる。スライダ３は、一の工程を担うロボットの作業位置で停止され、作業後に次の工程を担うロボットの作業位置へ向けて移動するというように、断続的に第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂ上を移動される。

ベース部材４は、モジュール２０同士の連結部Ｊにおいて架台１０とモジュール２０の下面２１Ｂとの間に配置され、連結される一対のモジュール２０を位置決めして支持する。さらに、第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂの終端部Ｅにも、ベース部材４が配置されている。従来、モジュール２０は架台１０に直付けされていたが、本実施形態ではモジュール２０と架台１０との間にベース部材４を介在させると共に、ベース部材４を利用して連結されるモジュール２０同士の位置決めが行われる。

図２は、ベース部材４の単体の概略的な斜視図である。ベース部材４は、アルミニウム等の剛性に優れる金属ブロックで形成され、平板状の底板４１と、底板４１のＹ方向両端付近にそれぞれ立設され、Ｘ方向に延びる一対の凸条４２とを備えている。底板４１の底面４１１は、架台１０の上面１０Ａに当接する。一対の凸条４２間は収容スペース４１２であり、モジュール２０のためのコネクタや電源装置等を収容するスペースとして利用することができる。

一対の凸条４２の上面は、基台フレーム２１の下面２１Ｂとの合わせ面となる支持面４３である。支持面４３は、連結される一対のモジュール２０（基台フレーム２１）のＸ方向端部２１１（図３）を、下方から支持する。この支持面４３には、４個の半球突起５が突設されている。半球突起５は、一対のモジュール２０の位置決めを図るための部材である。基台フレーム２１には、この半球突起５が嵌り込む受け孔２５（図３）が穿孔されている。半球突起５は、例えばボールの上半球によって形成することができる。この場合、支持面４３に、前記ボールを上半球が突出した状態で収容する保持孔が設けられる。なお、半球突起５に代えて、各種形状の突起を位置決め部材として用いるようにしても良い。

連結される一対のモジュール２０のうち、一方が＋Ｘ側の２個の半球突起５に嵌り込み、他方が−Ｘ側の２個の半球突起５に嵌り込むように、両者がベース部材４へ組み付けられる。このようなベース部材４を用いれば、一対のモジュール２０を高精度に連結する連結部Ｊを構築できる。すなわち、モジュール２０同士を直接連結するのではなく、連結されるモジュール２０をそれぞれベース部材４に位置決めして取り付けることをもって、一対のモジュール２０の連結を結果的に達成することができる。このため、ベース部材４の加工精度、つまり半球突起５の位置精度さえ高くすれば、自ずとモジュール２０同士の連結精度を向上させることができる。また、ベース部材４が介在されるので、架台１０の上面１０Ａの状態に影響を受けずにモジュール２０同士を連結することができる。従って、モジュール２０同士を簡単且つ高精度に連結することができる。

［モジュール及びスライダの詳細］
モジュール２０及びスライダ３の具体例を説明する。図３は、直線搬送部２の一部を構成する２つのモジュール２０の連結体の斜視図、図４は、図３に示す２つのモジュール２０のうちの一つのカバー部材６を取り外した状態の斜視図、図５は、図４における連結部Ｊの部分の拡大斜視図、図６は、スライダ３の下面側の斜視図、図７は、モジュール２０の連結部ＪにおけるＹ方向断面図である。

各モジュール２０は、基台フレーム２１、リニアモータ固定子２２、ガイドレール２３（ガイド部）及び磁気センサユニット２４を備える。本実施形態では、これらモジュール２０のそれぞれに、カバー部材６が取り付けられている。スライダ３は、スライダフレーム３１、リニアモータ可動子３２、一対のガイドブロック３３及び磁気スケール３４を有している。

直線搬送部２は、カバー部材６付きモジュール２０の連結体によって構成されている。スライダ３は、カバー部材６に嵌合される態様で、直線搬送部２の延在方向に移動自在に、当該直線搬送部２に取り付けられている。モジュール２０は、その連結部Ｊ及び直線搬送部２の終端部Ｅにおいて、リニアコンベア装置１の設置ベースとなる架台１０上で、上述したベース部材４によって位置決めされた状態で支持されている。

リニアコンベア装置１は、図７に示している通り、モジュール２０及びスライダ３の構成部品によって構築されるリニアモータＬ１、リニアガイドＬ２及びリニアスケールＬ３を有している。リニアモータＬ１は、リニアモータ固定子２２とリニアモータ可動子３２とにより、リニアガイドＬ２は、一対のガイドレール２３（第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂ）と一対のガイドブロック３３（第１、第２ガイドブロック３３Ａ、３３Ｂ）とにより、リニアスケールＬ３は、磁気センサユニット２４と磁気スケール３４とにより、それぞれ構成されている。

＜モジュール＞
モジュール２０の基台フレーム２１は、アルミニウム等の金属からなるフレームであり、上述のモジュール２０の上面２１Ａ及び下面２１Ｂを構成する平板状の部材である。上面２１Ａは、リニアモータ固定子２２、ガイドレール２３及び磁気センサユニット２４が搭載される面である。下面２１Ｂは、架台１０の上面１０Ａと所定間隔を置いて対向する面であって、ベース部材４の支持面４３に当接される面である。基台フレーム２１（モジュール２０）は、Ｘ方向に直線的に延び、Ｘ方向端部２１１において他の基台フレーム２１と連結される。基台フレーム２１のＹ方向端部２１２であってベース部材４と重なり合う部分には、ベース部材４の半球突起５が嵌り込む受け孔２５が穿孔されている。

図５及び図７を主に参照して、基台フレーム２１は、上面２１Ａの側に、コイル収容部２１３、一対のレール台座部２１４Ａ、２１４Ｂ、センサ台座部２１５及び脚取り付け部２１６を有している。コイル収容部２１３は、基台フレーム２１のＹ方向の中央よりも−Ｙ側寄りの位置に設けられた、Ｘ方向に延びる浅い凹溝である。コイル収容部２１３には、リニアモータ固定子２２が組み付けられる。

一対のレール台座部２１４Ａ、２１４Ｂは、基台フレーム２１のＹ方向（スライダの移動方向と直交する幅方向）の一方側（＋Ｙ側）と他方側（−Ｙ側）とに一対で配置された、Ｘ方向に延びる凸条である。＋Ｙ側のレール台座部２１４Ａは基台フレーム２１の＋Ｙ側の端部２１２付近に、−Ｙ側のレール台座部２１４Ｂは基台フレーム２１の−Ｙ側の端部２１２付近に、それぞれ突設されている。＋Ｙ側のレール台座部２１４Ａの上面には第１ガイドレール２３Ａが、−Ｙ側のレール台座部２１４Ｂの上面には第２ガイドレール２３Ｂがそれぞれ取り付けられる。センサ台座部２１５は、基台フレーム２１のＹ方向の中央よりも＋Ｙ側寄りの位置に設けられた平板部である。センサ台座部２１５には、磁気センサユニット２４が載置される。脚取り付け部２１６は、基台フレーム２１のＹ方向中央領域に配置され、カバー部材６の固定部となる部分である。

レール台座部２１４Ａ、２１４Ｂの上面の内側部分には、それぞれ当たり面２１７Ａ、２１７Ｂが設けられている。当たり面２１７Ａ、２１７Ｂは、前記内側部分がレール台座部２１４Ａ、２１４Ｂのガイドレール据え付け面よりも一段高くされた段差加工部である。当たり面２１７Ａ、２１７Ｂには、第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂの下側辺が各々突き当たって位置決めされている。この当たり面２１７Ａ、２１７Ｂの段差加工を、受け孔２５及びベース部材４の前記ボールの保持孔の穿孔加工に続く一連の加工によって形成すれば、当たり面２１７Ａ、２１７Ｂの位置を半球突起５に対して高精度に設定できる。これにより、一対の基台フレーム２１をベース部材４に組み付けるだけで、ガイドレール２３Ａ、２３Ｂ同士の位置決めを高精度に行える。

リニアモータ固定子２２は、複数の電磁石２２Ａの配列体からなる。すなわちリニアモータ固定子２２は、コア２２１と該コア２２１に巻回されたコイル２２２とからなる単位電磁石２２Ａの複数個が、Ｘ方向に一列に配列されることによって形成されている（図５）。電磁石２２Ａは、ホルダ２２３（図７）で保持され、このホルダ２２３が基台フレーム２１のコイル収容部２１３に嵌め込まれている。

第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂは、スライダ３の移動をガイドする部材である。第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂは、基台フレーム２１のレール台座部２１４Ａ、２１４Ｂの上面に各々取り付けられ、Ｘ方向に延びる２条の軌道を上面２１Ａに形成している。複数の基台フレーム２１のＸ方向端部２１１同士を突き合わせて連結することによって、各基台フレーム２１の一対の単位ガイドレール２３Ａ、２３Ｂが互いに連結され、無限長に延びるガイドレール２３Ａ、２３Ｂを形成することが可能である。

磁気センサユニット２４は、センサ基板２４１と、センサ基板２４１にマウントされた磁気センサ２４２と、センサ基板２４１を保持するハウジング２４３とを含む。このような磁気センサユニット２４の複数個が、Ｘ方向に所定ピッチで配列されている。磁気センサ２４２は、例えばホール素子、ＭＲ素子であり、後述のスライダ３側の磁気スケール３４を検出し、磁束密度に応じた出力電圧の信号を発生する。本実施形態では、３つの磁気センサ２４２がＹ方向に並んでセンサ基板２４１に取り付けられている例を示している。ハウジング２４３は、基台フレーム２１はセンサ台座部２１５にネジ止めによって固定されている。

＜カバー部材＞
カバー部材６は、基台フレーム２１（直線搬送部２）の上面２１Ａを覆うように当該上面２１Ａに取り付けられている。カバー部材６は、アルミニウム等の金属の押出成型体からなり、支持脚６１、水平カバー部６２及び一対の側面カバー部６３を備え、Ｙ方向断面形状が略Ｔ型乃至はＥ字型の部材である。

支持脚６１は、Ｙ方向断面視で鉛直方向（Ｚ方向）に延び、Ｘ方向に長尺の平板部分であり、カバー部材６のＹ方向中心付近に位置している。支持脚６１の下端面６１１は、基台フレーム２１の脚取り付け部２１６に固定されている。すなわち、支持脚６１は、基台フレーム２１の上面２１Ａの幅方向中央領域に立設されている。水平カバー部６２は、支持脚６１の上端から＋Ｙ側（幅方向の一方側）及び−Ｙ側（他方側）に水平に延びている。一対の側面カバー部６３は、水平カバー部６２の＋Ｙ側及び−Ｙ側の端部から各々下方に延びている。

水平カバー部６２は、基台フレーム２１の上面２１Ａに取り付けられたリニアモータ固定子２２、一対のガイドレール２３及び磁気センサユニット２４の上方を覆い隠すように、上面２１Ａを覆っている。側面カバー部６３は、第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂの外側の側方を覆っている。モジュール２０の構成部品の位置関係を説明すると、リニアモータ固定子２２は、支持脚６１と第２ガイドレール２３Ｂ（ガイド部の一方）との間において、上面２１Ａに配置されている。一方、磁気センサユニット２４は、支持脚６１と第１ガイドレール２３Ａ（ガイド部の他方）との間において、上面２１Ａに配置されている。このようなカバー部材６の取り付けにより、上面２１Ａへの汚染物や異物の進入を防止することができる。

＜スライダ＞
図６、図７を参照して、スライダ３のスライダフレーム３１は、アルミニウム等の金属の押出成型体からなる金属ブロックからなり、ワークの載置部３Ｓとなる上面を備えている。スライダフレーム３１は、カバー部材６付きの基台フレーム２１に対して、Ｘ方向端部２１１から嵌め込み可能な嵌合部３０を有している。スライダフレーム３１は、上板３１１、一対の側板３１２、一対の底板３１３、一対の内側板３１４、第１下板３１５Ａ（対向部）及び第２下板３１５Ｂ（対向部）を含む。

上板３１１は、基台フレーム２１のＹ方向幅と略同じ幅を有し、所定のＸ方向長さを有する水平板からなる。上板３１１の上面が載置部３Ｓである。側板３１２、底板３１３、内側板３１４及び第１、第２下板３１５Ａ、３１５Ｂは、上板３１１と同じＸ方向長さを有している。一対の側板３１２は、上板３１１の＋Ｙ側及び−Ｙ側の端部から各々下方に延びる垂直板である。一対の底板３１３（下板の一部）は、各側板３１２の下端から各々幅方向中央（支持脚６１）に向けて延びる、Ｙ方向に短尺の水平板である。底板３１３は、スライダ３において最も下方に突出した部分である。

一対の内側板３１４は、各底板３１３の内側端から各々上方に向けて延びる垂直板である。内側板３１４の上下幅は、側板３１２の半分程度である。第１下板３１５Ａは、＋Ｙ側の内側板３１４の上端から幅方向中央（−Ｙ方向）に向けて延びている。第２下板３１５Ｂは、−Ｙ側の内側板３１４の上端から幅方向中央（＋Ｙ方向）に向けて延びている。第１下板３１５Ａの内側端面である第１内端面３１６Ａと、第２下板３１５Ｂの第２内端面３１６Ｂとは、同じ高さ位置で対向している。

上板３１１、側板３１２、底板３１３、内側板３１４及び第１、第２下板３１５Ａ、３１５Ｂは、カバー部材６に嵌合される形状、つまり嵌合部３０を形成している。嵌合部３０は、カバー部材６を受け入れるキャビティを区画している。スライダ３がモジュール２０に係合されると共に、嵌合部３０にカバー部材６が嵌合された状態では、上板３１１がカバー部材６の水平カバー部６２の上側に位置する。すなわち、載置部３Ｓはカバー部材６の上方に位置している。一対の側板３１２は、水平カバー部６２の＋Ｙ側、−Ｙ側の端部の外側にそれぞれ位置する。底板３１３は、側面カバー部６３の下端縁の下方に、内側板３１４は、側面カバー部６３の内面側に位置する。第１、第２下板３１５Ａ、３１５Ｂの上面は上板３１１の下面と対向し、下面は基台フレーム２１の上面２１Ａ（レール台座部２１４Ａ、２１４Ｂ）と対向する。

リニアモータ可動子３２は、Ｘ方向に配列された複数の永久磁石３２１と、これら永久磁石３２１を保持するバックヨーク３２２とを含む。バックヨーク３２２は、永久磁石３２１を保持すると共に磁路を形成する部材である。バックヨーク３２２は、下方に向けて開口する門型構造を有し、当該門型構造を形成する一対の側板間に、電磁石２２Ａ（リニアモータ固定子２２）が入り込んでいる。複数の永久磁石３２１は、バックヨーク３２２の前記一対の側板（電磁石２２Ａのコア２２１との対向面）の各々に、対向面にＮ極とＳ極とが交互に現れるように配列されている。リニアモータ可動子３２は、リニアモータ固定子２２に上下方向に対向する位置において、スライダフレーム３１に取り付けられている。具体的には、第２下板３１５Ｂの第２内端面３１６Ｂ（下板の一方）に、バックヨーク３２２の−Ｙ側面が取り付けられている。

第１、第２ガイドブロック３３Ａ、３３Ｂ（被ガイド部）は、第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂに係合され、第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３ＢよってガイドされてＸ方向に移動する。ガイドブロック３３は、ガイドレール２３に接して転動するベアリングを備えている。一対のガイドブロック３３Ａ、３３Ｂは、一対のガイドレール２３Ａ、２３Ｂにそれぞれ対向する位置において、スライダフレーム３１の下面に取り付けられている。具体的には、第１下板３１５Ａの下面に第１ガイドブロック３３Ａが取り付けられ、第２下板３１５Ｂの下面に第２ガイドブロック３３Ｂが取り付けられている。

磁気スケール３４は、スケール基板３４１と、スケール基板３４１のホルダ３４２とを備える。スケール基板３４１は、磁気センサユニット２４との対向面に、Ｎ極とＳ極とが交互に現れるようにＸ方向に配列された永久磁石（図略）を含む。本実施形態では前記永久磁石の配列体は、３つの磁気センサ２４２に各々対向するように、Ｙ方向に３列並んで配置される。磁気スケール３４は、第１下板３１５Ａの第１内端面３１６Ａ（下板の他方）に、ホルダ３４２の＋Ｙ側面が取り付けられることによって、スライダ３に搭載されている。

第１、第２ガイドブロック３３Ａ、３３Ｂと第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂとが各々係合された状態において、嵌合部３０の内周面とカバー部材６の外周面とは、所定幅の隙間を置いて対向する。つまり、スライダ３は、カバー部材６の上面、両側面及び下面の一部を外側から囲い込む形状を有している。このため、カバー部材６が基台フレーム２１の上面２１Ａに取り付けられていても、スライダ３はカバー部材６と干渉することなく、Ｘ方向に自在に移動することができる。また、リニアモータ可動子３２及び磁気スケール３４は、上面２１Ａとの対向面となる第１、第２下板３１５Ａ、３１５Ｂに各々取りけられているので、カバー部材６が介在されていても、リニアモータ可動子３２はリニアモータ固定子２２と対向し、磁気スケール３４も磁気センサユニット２４と対向することができる。

リニアモータ可動子３２は、基台フレーム２１側のリニアモータ固定子２２とリニアモータＬ１を形成する。図略のモータコントローラにより、互いに位相が異なるＵ相、Ｖ相、Ｗ相のうちの何れかの相の電流がリニアモータ固定子２２（電磁石２２Ａのコイル２２２）に供給される。これによりコイル２２２に生じる磁束と、リニアモータ可動子３２が備える永久磁石３２１の磁束との相互作用により磁気的な推進力が生成され、この推進力によりスライダ３を＋Ｘ又は−Ｘ方向に移動させることができる。

第１、第２ガイドブロック３３Ａ、３３Ｂは、第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３ＢとリニアガイドＬ２を構成している。前記推進力を受けたスライダ３は、第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂに沿ってＸ方向へ直進する。また、磁気スケール３４は、磁気センサユニット２４とリニアスケールＬ３を構成している。リニアスケールＬ３は、スライダ３のＸ方向の位置を検出するものであり、当該リニアスケールＬ３によるスライダ３の位置検出結果に基づき、電磁石２２Ａのコイル２２２への通電が制御されることで、スライダ３が目標位置へ移動されるものである。

［モジュールの組立例］
図８は、モジュール２０の組立例を示す斜視図である。図８には、ベース部材４の上面部分の一部が示されている。図７も参照して、ベース部材４は、図２に示したベース部材４と同様に、底板４１、凸条４２及び支持面４３を備えており、支持面４３には半球突起５（ボールの下半球を支持面４３に埋め込んで形成）が配置されている。底板４１の底面は、架台１０の上面１０Ａに接面し、支持面４３はモジュール２０同士の連結部Ｊにおいて基台フレーム２１の下面２１Ｂを支持している。半球突起５に基台フレーム２１の受け孔２５が嵌り込むように、モジュール２０がベース部材４に取り付けられることによって、連結される一対のモジュール２０同士の位置決めが図られている。

ベース部材４は、支持面４３に上下方向に穿孔されたネジ孔４３１と、底板４１の−Ｙ側及び＋Ｙ側の端部に上下方向に穿孔された貫通孔からなる固定部４０１とを備える。ネジ孔４３１は、各モジュール２０をベース部材４に対して着脱自在に固定するためのネジ孔である。ネジ孔４３１の上に、基台フレーム２１に備えられた取り付け孔２１２Ａが重畳され、固定ネジ２１２Ｂがネジ孔４３１に螺合及びその解除が行われることによって、モジュール２０がベース部材４に着脱される。

一方、固定部４０１は、架台１０に対してベース部材４を着脱自在に固定するための孔である。固定部４０１は、上面１０Ａに穿孔された図略のボルト孔に位置合わせされ、図略のボルトによって架台１０に締結される。このように、モジュール２０のベース部材４に対する着脱、ベース部材４の架台１０に対する着脱が自在とされており、ユーザにモジュール２０の増設、割り入れ、交換等を容易に行わせることが可能とされている。

図８では、第１モジュール２０Ａと第２モジュール２０Ｂとの間に、短尺の第３モジュール２０Ｃが割り入れられるケースを例示している。第１、第２モジュール２０Ａ、２０Ｂの連結部が第１ベース部材４で支持されていたとすると、新たに第２ベース部材４Ａが追加される。この場合、第２モジュール２０Ｂを第１ベース部材４から取り外すと共に、＋Ｘ方向へ第３モジュール２０Ｃの長さ分だけシフトさせる。第２ベース部材４０Ａは、第１ベース部材４に対して第３モジュール２０Ｃの長さ分のピッチを置いて、固定部４０１において架台１０に固定される。

第２モジュール２０Ｂは、第２ベース部材４Ａの＋Ｘ側の支持面４３に取り付けられる。一方、第１ベース部材４の＋Ｘ側の支持面４３と、第２ベース部材４Ａの−Ｘ側の支持面４３が、第３モジュール２０Ｃの支持面となる。第３モジュール２０Ｃの基台フレーム２１が備える−Ｘ側及び＋Ｘ側の受け孔２５が、それぞれの支持面４３に担持されている半球突起５に嵌り込むように、第３モジュール２０Ｃが第１、第２ベース部材４、４Ａ上に載置される。しかる後、固定ネジ２１２Ｂが、取り付け孔２１２Ａを通してネジ孔４３１に螺合されることで、第３モジュール２０Ｃの割り入れ作業が完了する。

このように、第３モジュール２０Ｃを、半球突起５を備えた第１、第２ベース部材４、４Ａ上に取り付けるだけで、リニアコンベアの構築に必要なあらゆる部品を高精度で連結することができる。すなわち、前記取り付けによって、第３モジュール２０Ｃが備えるリニアモータ固定子２２、一対のガイドレール２３Ａ、２３Ｂ及び磁気センサユニット２４からなる部品群が、第１、第２モジュール２０Ａ、２０Ｂが備える同部品群と高精度に位置合わせされた状態で連結される。さらに、連結されるモジュールのカバー部材６同士の端面位置合わせも完了する。従って、第３モジュール２０Ｃの割り入れを簡単な作業で済ませることができる。第１〜第３モジュール２０Ａ〜２０Ｃが既に連結されている場合において第３モジュール２０Ｃを入れ替える場合や、既存の直線搬送部２の終端部Ｅに新たなモジュールを増設する場合等も、上記に準じた簡単な作業で済ませることができる。

［作用効果］
本実施形態のリニアコンベア装置１によれば、次のような作用効果を奏する。リニアコンベア装置１は、リニアモータ固定子２２、ガイドレール２３Ａ、２３Ｂ及び磁気センサユニット２４の上方を覆い隠すように、基台フレーム２１（直線搬送部２）の上面２１Ａを覆うカバー部材６を備える。このため、これらリニアコンベアの構成部材に対する上方からの汚染物、異物等の進入を防止することができる。また、スライダ３は、カバー部材６に嵌合される嵌合部３０を有するので、スライダ３の移動も妨げられることはない。

カバー部材６の支持脚６１は、基台フレーム２１の上面２１Ａの幅方向中央領域に立設され、水平カバー部６２は、支持脚６１の上端から＋Ｙ及び−Ｙ方向に延びている。このように、カバー部材６を幅方向断面がＴ字型の形状とすることで、基台フレーム２１の上面２１Ａを水平カバー部６２で完全に覆い隠す構造を、幅方向のバランスが良い態様で形成することができる。このため、予期しない荷重がカバー部材６に加わった場合、例えば作業者がカバー部材６にもたれ掛かったり、手を突いたりした場合でも、カバー部材６が変形し難くすることができる。さらに、当該カバー部材６に嵌合されるスライダ３もまた、幅方向のバランスの良い形状とし易いメリットがある。

本実施形態では、カバー部材６は、水平カバー部６２の＋Ｙ端部及び−Ｙ端部から各々下方に延びる側面カバー部６３をさらに備える。この側面カバー部６３により、基台フレーム２１の側方（第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂの側方）も覆い隠すことができるので、カバー部材６による汚染物、異物等に対する保護性能を一層向上させることができる。

リニアモータ固定子２２は、支持脚６１と第２ガイドレール２３Ｂとの間に、磁気センサユニット２４、支持脚６１と第１ガイドレール２３Ａとの間において、基台フレーム２１の上面２１Ａに配置されている。本実施形態では、図７に示すように、支持脚６１の−Ｙ側側面、＋Ｙ側側面に各々隣接する態様で、リニアモータ固定子２２、磁気センサユニット２４が配置されている。水平カバー部６２は、第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂの上方を覆うことができるＹ方向幅を有している。第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂよりも内側に存在するリニアモータ固定子２２及び磁気センサユニット２４は、水平カバー部６２によって確実に覆われ、万全に保護することができる。

スライダ３のスライダフレーム３１は、カバー部材６と嵌合する嵌合部３０を備える。嵌合部３０は、上板３１１、側板３１２、底板３１３、内側板３１４及び第１、第２下板３１５Ａ、３１５Ｂによって形成され、カバー部材６を包み込む構造を形成している。そして、第１、第２下板３１５Ａ、３１５Ｂにリニアモータ可動子３２、第１、第２ガイドブロック３３Ａ、３３Ｂ及び磁気スケール３４が取り付けられている。従って、カバー部材６が基台フレーム２１の上面２１Ａに取り付けられていても、モジュール２０とスライダ３とによりリニアコンベアの機能を構築できると共に、スライダが直線搬送部２の延在方向に自在に移動できる構成を達成できる。また、スライダ３は、カバー部材６の端縁から容易に嵌め込むことができ、第１、第２方向転換部２Ｃ、２Ｄにおけるオペレーションにも問題は生じない。

スライダフレーム３１の底板３１３は、スライダ３において最も下方に突出した位置にある。底板３１３は平板部であり、支持脚６１の下端面６１１よりも下方に突出すると共に、第１、第２下板３１５Ａ、３１５Ｂに保持されているリニアモータ可動子３２、第１、第２ガイドブロック３３Ａ、３３Ｂ及び磁気スケール３４のいずれの下面よりも下方に突出している。従って、スライダ３がモジュール２０から取り外され、例えば架台１０の上面１０Ａなどに載置された場合、底板３１３が上面１０Ａに接面し、スライダ３の他の部分は接面しない。従って、スライダ３に担持されているリニアコンベア部品の損傷、汚濁等を防止することができる。

直線搬送部２は、モジュール２０が直線的に複数台連結されてなり、カバー部材６は、モジュール２０の各々に備えられている。このため、モジュール２０を所望台数だけ連結することで、直線搬送部２の搬送路長を自在に設定することができる。しかも、カバー部材６がモジュール２０の各々に備えられているので、モジュール２０同士を連結するだけで各モジュールの汚染物、異物等に対する保護も達成できる。

［変形実施形態の説明］
スライダ３及びカバー部材６の変形実施形態を例示する。図９は、第１変形例に係るリニアコンベア装置１Ａの幅方向の概略的な断面図である。リニアコンベア装置１Ａのカバー部材６Ａは、支持脚６１及び水平カバー部６２を備えるが、上記実施形態の側面カバー部６３を備えていない。但し、水平カバー部６２により、リニアモータ固定子２２、第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂ及び磁気センサユニット２４の上方は覆い隠されている。

スライダ３Ａは、このようなＴ字型のカバー部材６Ａの周囲を取り囲むように、上板３１１、側板３１２及び第１、第２下板３１５Ａ、３１５Ｂを備えている。第１、第２下板３１５Ａ、３１５Ｂは、側板３１２の下端部から幅方向内側に各々延びており、上記実施形態で示した底板３１３及び内側板３１４は存在していない。リニアモータ可動子３２、第１、第２ガイドブロック３３Ａ、３３Ｂ及び磁気スケール３４は、それぞれリニアモータ固定子２２、第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂ及び磁気センサユニット２４と対向するように、第１、第２下板３１５Ａ、３１５Ｂの適所に取り付けられている。

この第１変形例によれば、水平カバー部６２が基台フレーム２１の上面２１Ａを覆うので、上面２１Ａに配置されたリニアコンベアの構成部品に対する汚染物、異物等の進入を防止することができる。また、側面カバー部６３を省いている分、形状のシンプルなカバー部材６Ａとすることができ、製造コストを低減することが可能となる。例えば、押出成形によらず、支持脚６１用の平板と水平カバー部６２用の平板とをネジ接合、溶接する等の方法によって、カバー部材６Ａを製造することが可能となる。

図１０は、第２変形例に係るリニアコンベア装置１Ｂの幅方向の概略的な断面図である。スライダ３Ａ及びカバー部材６Ａの形態は、図９の第１変形例と同じである。相違する点は、基台フレーム２１の上面２１Ａの＋Ｙ及び−Ｙ端部から、それぞれ側板６４が立設されている点である。側板６４の上端の高さは、水平カバー部６２の高さ位置とほぼ同じである。スライダ３Ａの一対の側板３１２は、側板６４の各々と水平カバー部６２の＋Ｙ及び−Ｙ端部との間の隙間を貫いている。この第２変形例によれば、基台フレーム２１の上面２１Ａを、上方側だけでなく、側方側についても側板６４で覆うことができるので、より良好に上面２１Ａをガードすることができる。

図１１は、第３変形例に係るリニアコンベア装置１Ｃの幅方向の概略的な断面図である。リニアコンベア装置１Ｃのカバー部材６Ｂは、側端支持脚６３１及び水平カバー部６２１を含むＬ字型の部材である。側端支持脚６３１は、基台フレーム２１の上面２１Ａの−Ｙ端部（幅方向の一端）に立設されている。水平カバー部６２１は、側端支持脚６３１の上端から基台フレーム２１の＋Ｙ端部付近まで水平方向に延び、リニアモータ固定子２２、第１、第２ガイドレール２３Ａ、２３Ｂ及び磁気センサユニット２４の上方を覆い隠している。

リニアコンベア装置１Ｃのスライダ３Ｂは、上板３１１Ａ、垂直板３１７Ａ及び底板３１７Ｂを含む、Ｕ字型の部材である。水平板である上板３１１Ａと底板３１７Ｂとは、上下方向に所定間隔を置いて平行に配置され、これらの＋Ｙ端部同士が、垂直板３１７Ａで連結されている。上板３１１Ａと底板３１７Ｂとの間のキャビティに水平カバー部６２１を収容する態様で、スライダ３Ｂは、基台フレーム２１に組み付けられている。上板３１１Ａの下面には、リニアモータ可動子３２、第１、第２ガイドブロック３３Ａ、３３Ｂ及び磁気スケール３４が取り付けられている。

図１２は、第４変形例に係るリニアコンベア装置１Ｄの幅方向の概略的な断面図である。リニアコンベア装置１Ｄのカバー部材６Ｃは、一対の側端支持脚６３２及び一対の水平カバー部６２２を備えている。側端支持脚６３２は、基台フレーム２１の上面２１Ａの＋Ｙ及び−Ｙ端部からそれぞれ立設されている。水平カバー部６２２は、側端支持脚６３２の上端から、それぞれ基台フレーム２１の幅方向中央に向けて水平方向に延びている。一対の水平カバー部６２２の先端部間にはスリット６３３が形成されている。

リニアコンベア装置１Ｄのスライダ３Ｃは、上板３１１Ｂ、垂直板３１８Ａ及び底板３１８Ｂを含む、Ｈ字型の部材である。平板である上板３１１Ｂと底板３１８Ｂとは、上下方向に所定間隔を置いて平行に配置され、これらの幅方向中央位置において垂直板３１８Ａが両者を結合している。垂直板３１８Ａはスリット６３３を上下方向に貫通し、底板３１８Ｂは一対の水平カバー部６２２によって区画されるキャビティ内に収容されている。上板３１１Ｂは、水平カバー部６２２の上方に位置している。底板３１８Ｂの下面には、リニアモータ可動子３２、第１、第２ガイドブロック３３Ａ、３３Ｂ及び磁気スケール３４が取り付けられている。

第３、第４変形例によっても、一対のガイドレール２３Ａ、２３Ｂにてスライダ３Ｂ、３Ｃを安定してガイドすることができる構造を維持しつつ、カバー部材６Ｂ、６Ｃによって基台フレーム２１の上面２１Ａが覆い隠されるので、上面２１Ａを保護することができる。また、カバー部材６Ｂ、６Ｃは、上面２１Ａに立設される支持脚としての側端支持脚６３１、６３２を有するので、基台フレーム２１への当該カバー部材６Ｂ、６Ｃの組み付け構造を簡素化することができる。さらに、カバー部材６Ｂ、６Ｃ自体の形状もシンプル化することができる。

なお、上述した具体的実施形態には以下の構成を有する発明が主に含まれている。

本発明の一局面に係るリニアコンベア装置は、リニアモータ可動子を有するスライダと、リニアモータ固定子と、前記スライダの移動をガイドするガイド部とを上面に備える直線搬送部と、前記リニアモータ固定子及び前記ガイド部の上方を覆い隠すように、前記直線搬送部の上面を覆うカバー部材と、を備え、前記スライダは、前記直線搬送部の延在方向に移動自在に、前記カバー部材に嵌合される形状を有する。

このリニアコンベア装置によれば、カバー部材によりリニアモータ固定子及びガイド部の上方が覆われる。このため、これらの部材に対する上方からの汚染物、異物等の進入を防止することができる。また、スライダは、直線搬送部の延在方向に移動自在にカバー部材に嵌合される形状を有するので、前記スライダの移動も妨げられることはない。

上記のリニアコンベア装置において、前記直線搬送部は、前記リニアモータ固定子及び前記ガイド部を保持する上面を有する基台フレームを備え、前記ガイド部は、前記基台フレームの上面の前記移動方向と直交する幅方向の一方側と他方側とに一対で配置され、前記カバー部材は、前記基台フレームの上面に立設された支持脚と、該支持脚の上端から前記一対のガイド部の上方を覆い隠すように前記幅方向に延びる水平カバー部とを含むことが望ましい。

このリニアコンベア装置によれば、ガイド部が基台フレームに一対で設けられるので、スライダを安定してガイドすることができる。また、カバー部材は、基台フレームの上面に立設される支持脚を有するので、リニアコンベアへの当該カバー部材の組み付け構造を簡素化することができる。さらに、カバー部材は前記支持脚と水平カバー部とを含む構造であり、当該カバー部材自体の形状もシンプル化することができる。

上記のリニアコンベア装置において、前記支持脚は、前記基台フレームの上面の前記幅方向中央領域に立設され、前記水平カバー部は、前記支持脚の上端から前記幅方向の一方側及び他方側に延びているカバー部材とすることが望ましい。

このリニアコンベア装置によれば、カバー部材の幅方向断面がＴ字型となる。このため、基台フレームの上面を水平カバー部で完全に覆い隠す構造を容易に形成できると共に、幅方向のバランスの良いカバー部材とすることができる。これにより、当該カバー部材に嵌合されるスライダもまた、前記幅方向のバランスの良い形状とし易いメリットがある。

この場合、前記カバー部材は、水平カバー部の前記幅方向の一方側端部及び他方側端部から各々下方に延びる側面カバー部をさらに備えることが望ましい。

このリニアコンベア装置によれば、側面カバー部により、基台フレームの側方も覆い隠すことができるので、汚染物、異物等に対する保護性能を一層向上させることができる。

上記のリニアコンベア装置において、前記リニアモータ固定子は、前記支持脚と前記一対のガイド部の一方との間において、前記基台フレームの上面に配置されていることが望ましい。

このリニアコンベア装置によれば、ガイド部の一方はカバー部材の前記水平カバー部によって覆われるので、上記の通りリニアモータ固定子を配置することで、当該リニアモータ固定子もまた、前記水平カバー部によって確実に覆われる構造とすることができる。

この場合、前記スライダに搭載される磁気スケールと、前記基台フレームに設置される磁気センサとからなるリニアスケールをさらに備え、前記磁気センサは、前記支持脚と前記一対のガイド部の他方との間において、前記基台フレームの上面に配置されていることが望ましい。

このリニアコンベア装置によれば、磁気センサもカバー部材によって覆われる構造とすることができる。また、上記の通り磁気センサを配置することで、ガイド部の他方を覆う前記水平カバー部によって前記磁気センサが確実に覆われる構造とすることができる。

上記のリニアコンベア装置において、前記スライダは、前記ガイド部によってガイドされる被ガイド部と、前記カバー部材の上方に位置する載置部と、前記直線搬送部の上面と対向し、前記リニアモータ可動子及び前記被ガイド部を保持する対向部と、を備えることが望ましい。

このリニアコンベア装置によれば、搬送物を前記載置部に載置しつつ、直線搬送部の延在方向に移動するスライダとすることができる。

上記のリニアコンベア装置において、前記スライダは、前記水平カバー部の上側に位置する上板と、前記上板の前記幅方向の一方側及び他方側の端部から各々下方に延び、水平カバー部の前記幅方向の一方側端部及び他方側端部の外側に位置する一対の側板と、前記一対の側板の各々下端から前記幅方向の中央に向けて延びる一対の下板と、を含み、前記上板、前記一対の側板及び前記一対の下板によって前記カバー部材に嵌合される嵌合部が形成され、前記一対の下板に、前記ガイド部によってガイドされる被ガイド部が各々取り付けられ、前記一対の下板の一方に、前記リニアモータ可動子が取り付けられていることが望ましい。

このリニアコンベア装置によれば、前記上板、前記一対の側板及び前記一対の下板によって、前記支持脚の部分を除いて、スライダがカバー部材を包み込む構造となる。そして、下板に被ガイド部及びリニアモータ可動子が取り付けられるので、リニアガイド及びリニアモータの機能を構築できる。従って、カバー部材が基台フレームの上面を完全に覆っていても、スライダが前記直線搬送部の延在方向に自在に移動できる構成を達成できる。また、スライダをカバー部材の端縁から容易に嵌め込むことができる。

上記に加え、前記一対の下板の他方に、前記磁気スケールが取り付けられていることが望ましい。このリニアコンベア装置によれば、さらに下板に磁気スケールが取り付けられるので、リニアスケールの機能も構築できる。

上記のリニアコンベア装置において、前記直線搬送部は、前記リニアモータ固定子と前記ガイド部とを備えるモジュールが直線的に複数台連結されてなり、前記カバー部材は、前記モジュールの各々に備えられていることが望ましい。

このリニアコンベア装置によれば、モジュールを所望台数だけ連結することで、直線搬送部の搬送路長を自在に設定することができる。しかも、カバー部材がモジュールの各々に備えられているので、前記モジュールを連結するだけで各モジュールの汚染物、異物等に対する保護も達成できる。

上記のリニアコンベア装置において、前記モジュール同士の連結部において、当該リニアコンベア装置の設置ベースとなる架台と前記モジュールの下面との間に配置され、前記モジュールを位置決めして支持するベース部材をさらに備えることが望ましい。

このリニアコンベア装置によれば、モジュール同士を直接連結するのではなく、連結されるモジュールをそれぞれベース部材に位置決めして取り付けることをもって、両者の連結を結果的に達成することが可能となるので、両者の位置合わせの管理が容易となる。また、ベース部材が介在されるので、架台の状態に影響を受けずにモジュール同士を連結できる。従って、モジュール同士を簡単且つ高精度に連結することができる。

以上説明した本発明に係るリニアコンベア装置によれば、リニアコンベアの構成部材に対する汚染、異物衝突及び落下物に対する問題を解消することができるリニアコンベア装置を提供することができる。従って、ユーザサイドにおけるリニアコンベア装置のメンテナンス作業等の大幅な簡素化に寄与することができる。

［符号の説明］
１、１Ａ〜１Ｄ リニアコンベア装置
１０ 架台
２ 直線搬送部
２０ モジュール
２１ 基台フレーム
２１Ａ 上面
２２ リニアモータ固定子
２３Ａ 第１ガイドレール（ガイド部）
２３Ｂ 第２ガイドレール（ガイド部）
２４ 磁気センサユニット
３、３Ａ〜３Ｃ スライダ
３Ｓ 載置部
３０ 嵌合部
３１１ 上板
３１２ 側板
３１５Ａ、３１５Ｂ 第１、第２下板（対向部）
３２ リニアモータ可動子
３３Ａ 第１ガイドブロック（被ガイド部）
３３Ｂ 第２ガイドブロック（被ガイド部）
３４ 磁気スケール
４ ベース部材
６、６Ａ〜６Ｃ カバー部材
６１ 支持脚
６２、６２１、６２２ 水平カバー部
６３ 側面カバー部
６３１、６３２ 側端支持脚（支持脚）
Ｊ 連結部

Claims (11)

1. リニアモータ可動子を有するスライダと、
   リニアモータ固定子と、前記スライダの移動をガイドするガイド部とを上面に備える直線搬送部と、
   前記リニアモータ固定子及び前記ガイド部の上方を覆い隠すように、前記直線搬送部の上面を覆うカバー部材と、を備え、
   前記スライダは、前記直線搬送部の延在方向に移動自在に、前記カバー部材に嵌合される形状を有する、リニアコンベア装置。
2. 請求項１に記載のリニアコンベア装置において、
   前記直線搬送部は、前記リニアモータ固定子及び前記ガイド部を保持する上面を有する基台フレームを備え、
   前記ガイド部は、前記基台フレームの上面の前記移動方向と直交する幅方向の一方側と他方側とに一対で配置され、
   前記カバー部材は、前記基台フレームの上面に立設された支持脚と、該支持脚の上端から前記一対のガイド部の上方を覆い隠すように前記幅方向に延びる水平カバー部とを含む、リニアコンベア装置。
3. 請求項２に記載のリニアコンベア装置において、
   前記支持脚は、前記基台フレームの上面の前記幅方向中央領域に立設され、
   前記水平カバー部は、前記支持脚の上端から前記幅方向の一方側及び他方側に延びている、リニアコンベア装置。
4. 請求項３に記載のリニアコンベア装置において、
   前記カバー部材は、水平カバー部の前記幅方向の一方側端部及び他方側端部から各々下方に延びる側面カバー部をさらに備える、リニアコンベア装置。
5. 請求項３又は４に記載のリニアコンベア装置において、
   前記リニアモータ固定子は、前記支持脚と前記一対のガイド部の一方との間において、前記基台フレームの上面に配置されている、リニアコンベア装置。
6. 請求項５に記載のリニアコンベア装置において、
   前記スライダに搭載される磁気スケールと、前記基台フレームに設置される磁気センサとからなるリニアスケールをさらに備え、
   前記磁気センサは、前記支持脚と前記一対のガイド部の他方との間において、前記基台フレームの上面に配置されている、リニアコンベア装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載のリニアコンベア装置において、
   前記スライダは、
   前記ガイド部によってガイドされる被ガイド部と、
   前記カバー部材の上方に位置する載置部と、
   前記直線搬送部の上面と対向し、前記リニアモータ可動子及び前記被ガイド部を保持する対向部と、を備えるリニアコンベア装置。
8. 請求項３〜５のいずれか１項に記載のリニアコンベア装置において、
   前記スライダは、
   前記水平カバー部の上側に位置する上板と、
   前記上板の前記幅方向の一方側及び他方側の端部から各々下方に延び、水平カバー部の前記幅方向の一方側端部及び他方側端部の外側に位置する一対の側板と、
   前記一対の側板の各々下端から前記幅方向の中央に向けて延びる一対の下板と、を含み、
   前記上板、前記一対の側板及び前記一対の下板によって前記カバー部材に嵌合される嵌合部が形成され、
   前記一対の下板に、前記ガイド部によってガイドされる被ガイド部が各々取り付けられ、
   前記一対の下板の一方に、前記リニアモータ可動子が取り付けられている、リニアコンベア装置。
9. 請求項６に記載のリニアコンベア装置において、
   前記スライダは、
   前記水平カバー部の上側に位置する上板と、
   前記上板の前記幅方向の一方側及び他方側の端部から各々下方に延び、水平カバー部の前記幅方向の一方側端部及び他方側端部の外側に位置する一対の側板と、
   前記一対の側板の各々下端から前記幅方向の中央に向けて延びる一対の下板と、を含み、
   前記上板、前記一対の側板及び前記一対の下板によって前記カバー部材に嵌合される嵌合部が形成され、
   前記一対の下板に、前記ガイド部によってガイドされる被ガイド部が各々取り付けられ、
   前記一対の下板の一方に、前記リニアモータ可動子が取り付けられ、前記一対の下板の他方に、前記磁気スケールが取り付けられている、リニアコンベア装置。
10. 請求項１〜９のいずれか１項に記載のリニアコンベア装置において、
    前記直線搬送部は、前記リニアモータ固定子と前記ガイド部とを備えるモジュールが直線的に複数台連結されてなり、
    前記カバー部材は、前記モジュールの各々に備えられている、リニアコンベア装置。
11. 請求項１０に記載のリニアコンベア装置において、
    前記モジュール同士の連結部において、当該リニアコンベア装置の設置ベースとなる架台と前記モジュールの下面との間に配置され、前記モジュールを位置決めして支持するベース部材をさらに備える、リニアコンベア装置。
    

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