JP2010130892A - リニアモータシステムの製造方法及びリニアモータシステム - Google Patents

Abstract

【課題】 磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムを高い作業性と精度で組みあげる。
【解決手段】 ベース１の上に下固定子コア２、可動子コア４、上固定子コア３を各々独立して支持する。これにより、組み立てが容易に行え、また、交差の累積を小さく抑えられることで組みあがりの精度が安定する。上固定子コア３の支持については、ベース１上に一対の上固定子支持架台５，５を立て、その上に支持させることとする。これにより、上固定子コア３の位置決めおよび取り付け作業が容易になる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムの製造方法及びリニアモータシステムに関する。

リニアモータを用いた搬送装置は、クリーンな環境での搬送を要する半導体部品などの物品の搬送に用いられる。リニアモータを用いた搬送装置は、位置決めの精度が高く、精密な搬送を要する、工作機械のテーブル送りなども好適である。さらに、リニアモータを用いた搬送装置は、磨耗部分が少なく耐久性に優れるという利点も有する。

磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムは、典型的な磁気回路を用いたものに比べ、大きさ同じでも、より大きな推力を取り出すことが可能である。

図１３よび図１４は磁石埋め込み型磁気回路の原理を説明する図で、リニアモータシステムの固定子１相分を示したものである。図１３は無励磁状態、図１４は励起状態を示す。固定子コア２０１の可動子コア２０２と対向する側には固定子歯２０３が設けられ、可動子コア２０２の固定子コア２０１と対向する側には可動子歯２０４が一定のピッチＰで配列して設けられている。1相分の固定子コア２０１の領域は隣り合う２つの固定子歯２０３，２０３を有し、これら２つの固定子歯２０３，２０３が1相分の固定子コア２０１の極Ａと極Ａ´に相当する。固定子歯２０３は、可動子歯２０４のピッチＰに対してＰ／２の位相差で配列されている。それぞれの固定子歯２０３には複数の永久磁石２０５が埋め込まれている。隣り合う永久磁石２０５は磁化の方向が互いに逆向きとなっている。

図１３に示す無励磁状態では、固定子歯２０３に埋め込まれた永久磁石２０５の磁束のほとんどは固定子コア２０１内で短絡されることで、固定子歯２０３と可動子歯２０４とのギャップに出てくる磁束は僅かである。図１４に示すように、固定子歯２０３に巻き付けられたコイル２０６に通電し、固定子コア２０１に図中反時計回り方向の起磁力Ｕｃを与えると、それまで固定子コア２０１内を循環していた永久磁石磁束はそれぞれ以下のように規制される。

一方の極Ａでは上向き方向の磁束成分はコイル起磁力と逆方向となって打ち消され、下向き方向の成分は加勢される。また、他方の極Ａ´では、逆に上向き方向の磁束成分はコイル起磁力と同方向になって加勢され、下向き方向の成分は打ち消される。その結果、主磁束は図１５に実線で示すように流れ、図中左方向に推力が発生する。コイル２０６への通電の極性を反転させれば、逆の方向の推力が発生する。

この磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムによれば、１つの相の励磁によって極Ａ、極Ａ´とも推力発生に有効に磁束を発生させるとともに、歯の溝からの漏れ磁束もなくなることによって、より大きな推力を発生させることができる。特許文献１には、このような磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムが開示されている。

次に、この磁石埋め込み型磁気回路を用いた従来のリニアモータシステムを説明する。図１５は、この磁石埋め込み型磁気回路を用いた従来のリニアモータシステム３００の構成を説明する図である。同図に示すように、このリニアモータシステム３００は、可動子コア３０４の上下に固定子コア３０２，３０３が配置され、可動子コア３０４の両側で固定子コア３０２，３０３との間での磁路が形成されることによって、より大きな推力を得るようにしたものである（例えば非特許文献１参照）。

このリニアモータシステム３００では、下の固定子コア３０２がベース３０１の上に固定され、さらに上下の固定子コア３０２，３０３どうしが左右の連結板３０５，３０５を介して連結されている。
特開平０３−１３９１５９号公報 中川洋，前田豊，苅田充二著「高密度型磁路構造を採用したリニアモータの動特性」電気学会リニアドライブ研究会資料ＬＤ−９４−８（１９９４年２月２４日）

しかし、上下の固定子コアどうしを連結板によって連結する構造では、連結作業の際に各部品どうしの位置合わせと螺子止めとを同時に行う必要がある。例えば、図１５のリニアモータシステム３００において、下の固定子コア３０２に連結板３０５，３０５を固定した後、上の固定子コア３０３を連結板３０５，３０５に螺子止めする際に、上の固定子コア３０３の側面に設けられた螺子穴３１２の位置と連結板３０５，３０５に設けられた貫通螺子穴３１５の位置とを合わせながら螺子止めが行われるが、この際、上の固定子コア３０３と連結板３０５，３０５との位置関係を、何らかの方法例えば作業員が手で上の固定子コア３０３を支えるなどして保持する必要があるなど、組み立て作業が煩雑になるという問題がある。また、上下の固定子コア３０２，３０３に設けられた螺子穴３１２や連結板３０５，３０５に設けられた貫通螺子穴３０５の位置や大きさなどの公差の累積により、特に上の固定子コア３０３の取り付け精度が安定しない、という問題があった。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムを高い作業性と精度で組みあげることのできるリニアモータシステムの製造方法及びリニアモータシステムを提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明のリニアモータシステムの製造方法は、表裏対向する２つの面にそれぞれ複数の第１の歯を有する可動子部材を前記可動子部材を移動自在に支持する第１の支持部材を介してベース上に配置するステップと、前記可動子部材の前記２つの面の前記複数の第１の歯にそれぞれ対向配置される複数の第２の歯をそれぞれ有する２つの固定子部材を前記ベース上に互いに独立して配置するステップとを有する。

本発明によれば、可動子部材および２つの固定子部材が各々ベースに独立して支持されているので、連結板を用いて上下の固定子コアを連結する方法などに比べ、組み立てが容易で、生産性が向上する。また、公差の累積を小さく抑えられ、組みあがりの精度が大幅に向上する。

本発明のリニアモータシステムの製造方法において、前記ベース上に、下から、一方の前記固定子部材および前記可動子部材を配置した後、他方の前記固定子部材を前記ベース上に固定された第２の支持部材の上に位置決めして支持させるように連結してもよい。このことにより、他方の固定子部材を第２の支持部材の上に載せた状態で連結作業を行えるので、容易に他方の固定子部材を連結させることができる。

また、本発明の別の観点に基づくリニアモータシステムは、ベースと、表裏対向する２つの面にそれぞれ複数の第１の歯を有する可動子部材と、前記ベース上に設けられ、前記可動子部材を移動自在に支持する第１の支持部材と、前記可動子部材の前記２つの面の前記複数の第１の歯にそれぞれ対向配置される複数の第２の歯をそれぞれ有し、互いに前記ベースに対して独立して支持された２つの固定子部材と具備する。これにより、組み立てが容易で、生産性に優れ、また、公差の累積を小さく抑えられることで組みあがりの精度の安定したリニアモータシステムを提供できる。

本発明のリニアモータシステムにおいて、前記可動子部材および前記２つの固定子部材がそれぞれ、前記第１の歯間および前記第２の歯間それぞれの溝の稜線が水平方向に沿った姿勢となる向きで配置されるようにしてもよい。この場合、一方の前記固定子部材、前記可動子部材、および他方の前記固定子部材がベース上に下から順に配置され、他方の前記固定子部材を位置決めしてベース上に支持する第２の支持部材をさらに具備するように本発明のリニアモータは構成されてもよい。この構成により、他方の固定子部材を第２の支持部材の上に載せた状態で連結作業を行えるので、容易に他方の固定子部材を連結させることのできるリニアモータシステムを提供できる。

さらに、本発明のリニアモータシステムにおいて、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材はそれぞれ一対の部品で構成され、一方の前記固定子部材の、前記可動子部材の移動自在方向に対して直交する第１の方向の両側にそれぞれ該固定子部材の側から前記第２の支持部材、前記第１の支持部材の順に配置され、前記可動子部材は、前記一対の第１の支持部材それぞれに対する支持のため前記第１の方向に突出する第３の支持部材を一体に有し、前記一対の第２の支持部材は前記可動子部材の移動過程での前記第３の支持部材との干渉を回避する形状を有するものとしてもよい。この構成によれば、第２の支持部材が障害物になることによっての可動子部材の移動範囲の制限を緩和することができる。

本発明のリニアモータシステムは、前記ベース上に、一方の前記固定子部材、前記可動子部材、および他方の前記固定子部材が、前記第１の歯間および前記第２の歯間それぞれの溝の稜線が鉛直方向に沿った姿勢となる向きで、それぞれ独立して支持されたものであってもよい。

以上のように、本発明のリニアモータシステムの製造方法によれば、磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムを高い作業性と精度で組みあげることができる。また、本発明によれば、組み立てが容易で、生産性に優れ、また、公差の累積を小さく抑えられることで組みあがりの精度の安定したリニアモータシステムを提供することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
まず、本発明の第１の実施形態に係る磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムとその製造方法について図１乃至図１０を用いて説明する。

図１は本発明の第１の実施形態に係る磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムの全体の斜視図、図２は図１の平面図、図３は図１をＸ軸方向から見た側面図、図４は図１をＹ軸方向から見た側面図、図５は図１から可動子コアと上固定子コアを取り除いた状態の斜視図、図６は図５をＸ軸方向から見た側面図、図７は図５をＹ軸方向から見た側面図、図８は図１から上固定子コアを取り除いた状態の斜視図、図９は図８をＸ軸方向から見た側面図、図１０は図８をＹ軸方向から見た側面図である。

このリニアモータシステム１００は、ベース１、固定子コア２，３、可動子コア４、上固定子支持架台５，５、リニアベアリング６，６、リニアガイドレール７，７、制御用センサ８などで構成される。

ベース１は、リニアモータシステム１００の全体の構造を支持する、表面が平坦なプレート状の部品である。固定子コア２，３は、可動子コア４の上下両側に配置される。以後、可動子コア４の下側に配置された固定子コア２を「下固定子コア２」と呼び、可動子コア４の上側に配置された固定子コア３を「上固定子コア３」と呼ぶ。

下固定子コア２は、ベース１の上に支持されている。一方、上固定子コア３はベース１の上に設けられた一対の上固定子支持架台５，５を介してベース１の上に支持されている。上固定子支持架台５，５の構成については後で説明する。

下固定子コア２と上固定子コア３それぞれの、可動子コア４との対向面には、固定子歯（図５の符号２１を参照）がＸ軸方向に一定のピッチで設けられている。ここで、Ｘ軸方向とは、可動子コア４の可動方向である。それぞれの固定子歯には複数の永久磁石が埋め込まれている。隣り合う永久磁石は磁化の方向が互いに逆向きとなっている。また、下固定子コア２の複数の歯と永久磁石からなる極にはコイル２２が、上固定子コア３の固定子歯にはコイル３２がそれぞれ巻き回されている（図３参照）。なお、図５においては、固定子極２１が６個並べて設けられ、３相モータとなっている。また、下固定子コア２および上固定子コア３それぞれの、少なくとも可動子コア４との対向面は、透磁率の高い薄い材料からなるカバー２４（図３、図５参照）で覆われることで、固定子歯の保護がなされている。下固定子コア２はベース１の上に支持されている。各コイル２２は絶縁保護のため樹脂によりモールドされている。また、歯面は薄い材料によりカバーされていてもよい。可動子コア４の溝部はカバーで覆われていたり、もしくはモールド樹脂が充填されていてもよい。

下固定子コア２のＹ軸方向の両外には上記の一対の上固定子支持架台５，５がそれぞれ設けられている。上固定子支持架台５，５は、Ｙ軸方向の幅（厚さ）が一定な部材であり、上固定子コア３を支持するために十分な耐荷重強度を有する。上固定子支持架台５，５は、ベース１の上に固定される部位であるベース固定部５１，５１と、上固定子コア３に装着された後述する支持受け部９，９の下面を受けて支える部位である固定子受け部５２，５２と、ベース固定部５１，５１と固定子受け部５２，５２との間の部位である胴部５３，５３とを有している（図５乃至図７参照）。上固定子支持架台５，５は、その固定子受け部５２，５２の上端が平坦面となっており、この平坦面で、上固定子コア３に固定された後述する支持受け部９，９の下面を受けて支える。上固定子コア３のＸ軸方向のほぼ全長部分を支えるように、固定子受け部５２，５２の平坦面のＸ軸方向の長さは上固定子コア３のＸ軸方向の長さと同等とされている

一対の上固定子支持架台５，５の固定子受け部５２，５２どうしの内々の距離は、上固定子コア３のＹ軸方向の幅より大きいので、上固定子コア３の単体では上固定子支持架台５，５の固定子受け部５２，５２の上に載らない。そこで、上固定子コア３のＹ軸方向の両側にサイズ拡張のための支持受け部９，９を装着して、一対の上固定子支持架台５，５の固定子受け部５２，５２の上端の平坦面で支持受け部９，９の下面を受けることによって上固定子コア３の支持を可能としている。

上固定子コア３の支持受け部９，９が取り付けられる部位の側面には、支持受け部９，９を固定するための複数の螺子穴（図示せず）が設けられている。一方、支持受け部９，９には、上固定子コア３の上記の各螺子穴にそれぞれが連通する複数の貫通螺子穴９１が設けられている。上固定子コア３への支持受け部９，９の装着は、上固定子コア３の各螺子穴と支持受け部９，９の貫通螺子穴９１の位置を合わせ、支持受け部９，９の貫通螺子穴９１側から止め螺子を挿入して螺合することによって、簡単に行うことが可能である。

また、上固定子支持架台５，５の固定子受け部５２，５２の平坦面には、上固定子コア３に装着された支持受け部９，９との連結のための図示しない複数の螺子穴５４（図８参照）が設けられている。一方、支持受け部９，９には、上固定子支持架台５，５の固定子受け部５２，５２の平坦面に設けられた各螺子穴５４とそれぞれが連通する複数の貫通螺子穴９２（図１参照）が設けられている。これらの螺子穴５４と貫通螺子穴９２の軸心の向きはＺ軸方向となっている。一対の上固定子支持架台５，５への上固定子コア３の連結は、一対の上固定子支持架台５，５の固定子受け部５２，５２の平坦面に上固定子コア３に装着された支持受け部９，９を載せた後、上固定子支持架台５，５の固定子受け部５２，５２の平坦面に設けられた各螺子穴５４と支持受け部９，９の各貫通螺子穴９２の位置を合わせ、支持受け部９，９の貫通螺子穴９２側から止め螺子を挿入して螺合することによって、簡単に行うことが可能である。

次に、可動子コア４の説明を行う。可動子コア４の、上固定子コア３および下固定子コア２それぞれとの対向面には可動子歯４２（図１、図８参照）が一定のピッチで設けられている。また、可動子コア４には、リニアベアリング６への支持のための複数の支持部材４１が設けられている。支持部材４１は、可動子コア４の荷重を均等に各リニアベアリング６に分散して受けさせることができるように対称的なレイアウトで設けられている。リニアベアリング６はベース１上に配置されたリニアガイドレール７，７上でＸ軸方向に移動自在に支持された部品である。

それぞれのリニアガイドレール７，７は、下固定子コア２から見てＹ軸方向の両外の上固定子支持架台５，５のさらに外側にそれぞれ配置されているので、必然的に可動子コア４の各支持部材４１は上固定子支持架台５，５よりもＹ軸方向において外側に突出した形状となる。このことから、可動子コア４の移動過程での各支持部材４１と上固定子支持架台５，５との干渉によって、可動子コア４の移動範囲が制限されるおそれがある。そこで、本実施形態では、一対の上固定子支持架台５，５においてベース固定部５１，５１と固定子受け部５２，５２との間の胴部５３，５３のＸ軸方向の長さと位置を、支持部材４１との干渉回避を考慮して選定している。より具体的には、Ｘ軸方向の長さおいて、胴部５３，５３をベース固定部５１，５１および固定子受け部５２，５２よりも短くして、ベース固定部５１，５１と固定子受け部５２，５２との間に支持部材４１が出入りする空間をＸ軸方向の前後に対称に設ける。これにより、上固定子支持架台５，５による可動子コア４の移動範囲の制限を緩和することができる。

このように、可動子コア４は、鉄心（コア）とこれを支持する構造部材だけで構成されるので、堅牢で信頼性の高いリニアモータシステム１００を提供することができる。また、可動子コア４を軽量化できるので、推力／質量比の大きい高応答および高頻度の駆動が可能になる。

次に、本実施形態のリニアモータシステム１００の組み立て手順を説明する。
まず、図５乃至図７に示すように、ベース１の上に、下固定子コア２、一対の上固定子支持架台５，５、一対のリニアガイドレール７，７（リニアベアリング６を含む。）を固定する。一対の上固定子支持架台５，５は下固定子コア２のＹ軸方向の両外に配置され、さらにその外側に一対のリニアガイドレール７，７が配置される。

次に、図８乃至図１０に示すように、下固定子コア２の上方に可動子コア４を配置するために、可動子コア４の各支持部材４１をリニアベアリング６の上に載せ、位置決め後、螺子などにより連結する。

次に、図１に示すように、可動子コア４の上方に上固定子コア３を配置するために、一対の上固定子支持架台５，５の固定子受け部５２，５２の平坦面に上固定子コア３に装着された支持受け部９，９を載せた後、上固定子支持架台５，５の固定子受け部５２，５２の平坦面に設けられた各螺子穴５４と支持受け部９，９の各貫通螺子穴９２の位置を合わせ、支持受け部９，９の貫通螺子穴９２側から止め螺子を挿入して螺合する。この後、制御用センサ８などのセンサ類を一方の上固定子支持架台５の側面などに取り付ける。以上で、磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステム１００が完成となる。

以上のように、上固定子コア３の位置決めおよび取り付け作業は、支持受け部９，９の取り付けを終えた上固定子コア３を一対の上固定子支持架台５，５の固定子受け部５２，５２の上に載せた状態で行えるので、従来の連結板を用いて上下の固定子コアを連結する場合のように、位置決め状態を作業員が手で上の固定子コアを支えるなどして保持する必要がなく、容易に上固定子コア３を組み込むことができる。また、本実施形態では、下固定子コア２、可動子コア４、および上固定子コア３が互いにベース１に独立して支持されているので、連結板を用いて上下の固定子コアを連結する方法に比べ、公差の累積を小さく抑えられ、上固定子コア３を精度良く取り付けることが可能になり、組みあがりの精度が大幅に向上する。

＜変形例＞
次に、第１の実施形態の変形例を説明する。

第１の実施形態のリニアモータシステム１００では、Ｘ軸方向の長さおいて、一対の上固定子支持架台５，５の胴部５３，５３をベース固定部５１，５１および固定子受け部５２，５２よりも短くすることによって、支持部材４１と上固定子支持架台５，５との干渉を回避するように構成した。図１１は、可動子コア４との干渉を回避する上固定子支持架台５，５の変形例を示す図である。この変形例の一対の上固定子支持架台５ａ，５ａは、Ｘ軸方向の全長が下固定子コア２および上固定子コア３の長さに対して十分長い。一対の上固定子支持架台５ａ，５ａのＸ軸方向の両端部には、ベース１の上に下部が固定された脚部５５，５５がそれぞれ設けられている。Ｘ軸方向において各脚部５５，５５の間には、可動子コア４の各支持部材４１との干渉を回避するための開口部５６が設けられている。この開口部５６のＸ軸方向の長さは可動子コア４の移動範囲に合わせて選定される。さらに、この変形例における一対の上固定子支持架台５ａ，５ａの上端は全長に亘って平坦面とされ、上固定子コア３に装着された支持受け部９，９との連結のための図示しない複数の螺子穴を有している。このような上固定子支持架台５，５を採用したリニアモータシステム１００ａによっても、第１の実施形態と同様、上固定子コア３の連結作業が容易になるとともに、全体の組みあがりの精度が向上する。

＜第２の実施形態＞
次に、本発明の第２の実施形態を説明する。
図１２は、本発明の第２の実施形態に係る磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムの縦断面図である。

この実施形態のリニアモータシステム１００ｂでは、２つの固定子コア２ｂ、３ｂおよび可動子コア４ｂのそれぞれが、歯間の溝の稜線１０１が鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿った姿勢となる向きで、ベース１ｂの上にそれぞれ独立して支持されている。以後、可動子コア４ｂの図中左側に配置された固定子コア２ｂを「第１の固定子コア２ｂ」と呼び、可動子コア４の図中右側に配置された固定子コア３を「第２の固定子コア３ｂ」と呼ぶ。符合２２ｂは第１の下固定子コア２ｂの複数の歯と永久磁石からなる極に巻き回されたコイルであり、符号３２ｂは第２の下固定子コア３ｂの複数の歯と永久磁石からなる極に巻き回されたコイルである。

ベース１ｂ上には、第１の固定子コア２ｂおよび第２の固定子コア３ｂはそれぞれベース１ｂ上に独立して支持されるとともに、一対のリニアガイドレール７ｂ，７ｂが支持されている。一対のリニアガイドレール７ｂ，７ｂの上にはリニアベアリング６ｂ，６ｂを介して、可動子コア４ｂを支持する可動子支持架台１５ｂが紙面の奥行き方向に移動自在に支持されている。一対のリニアガイドレール７ｂ，７ｂは、可動子コア４ｂより見て第１の固定子コア２ｂおよび第２の固定子コア３ｂよりＹ軸方向の両外に配置されていることから、可動子支持架台１５ｂと第１の固定子コア２ｂおよび第２の固定子コア３ｂとの干渉を回避しつつ可動子コア４ｂの移動範囲の選定の自由度を高めるために、第１の固定子コア２ｂおよび第２の固定子コア３ｂにはそれぞれ紙面の奥行き方向の両端部に切欠きなどの干渉回避部１６ｂが設けられている。

この実施形態によっても、ベース１ｂ上に第１の固定子コア２ｂ、第２の固定子コア３ｂ、および可動子コア４ｂがそれぞれベース１ｂ上に独立して支持された構造であるため、容易にリニアモータシステム１００ｂを組み上げることができる。連結板を用いて上下の固定子コアを連結する方法に比べ、公差の累積を小さく抑えられ、組みあがりの精度が大幅に向上する。

なお、本発明は以上説明した実施の形態には限定されるものではなく、本発明の技術思想の範囲内で種々の変形が可能である。

本発明の第１の実施形態に係る磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムの全体の斜視図である。 図１の平面図である。 図１をＸ軸方向から見た側面図である。 図１をＹ軸方向から見た側面図である。 図１から可動子コアと上固定子コアを取り除いた状態の斜視図である。 図５をＸ軸方向から見た側面図である。 図５をＹ軸方向から見た側面図である。 図１から上固定子コアを取り除いた状態の斜視図である。 図８をＸ軸方向から見た側面図である。 図８をＹ軸方向から見た側面図である。 第１の実施形態の変形例のリニアモータシステムの全体の斜視図である。 本発明の第２の実施形態に係る磁石埋め込み型磁気回路を用いたリニアモータシステムの縦断面図である。 磁石埋め込み型磁気回路の原理を説明するための無励磁状態を示す図である。 磁石埋め込み型磁気回路の原理を説明するための励磁状態を示す図である。 磁石埋め込み型磁気回路を用いた従来のリニアモータシステムの構成を説明する図である。

符号の説明

１…ベース
２…下固定子コア
３…上固定子コア
４…可動子コア
５．５…上固定子支持架台
６．６…リニアベアリング
７．７…リニアガイドレール
９．９…支持受け部
２１…固定子極
２２，３２…コイル
４１…支持部材
４２…可動子歯
５１…ベース固定部
５２…固定子受け部
５３…胴部
１００…リニアモータシステム

Claims (6)

1. 表裏対向する２つの面にそれぞれ複数の第１の歯を有する可動子部材を前記可動子部材を移動自在に支持する第１の支持部材を介してベース上に配置するステップと、
   前記可動子部材の前記２つの面の前記複数の第１の歯にそれぞれ対向配置される複数の第２の歯をそれぞれ有する２つの固定子部材を前記ベース上に互いに独立して配置するステップと
   を有するリニアモータシステムの製造方法。
2. 請求項１に記載のリニアモータシステムの製造方法であって、
   前記ベース上に、下から、一方の前記固定子部材および前記可動子部材を配置した後、他方の前記固定子部材を前記ベース上に固定された第２の支持部材の上に位置決めして支持させるように連結する
   リニアモータシステムの製造方法。
3. ベースと、
   表裏対向する２つの面にそれぞれ複数の第１の歯を有する可動子部材と、
   前記ベース上に設けられ、前記可動子部材を移動自在に支持する第１の支持部材と、
   前記可動子部材の前記２つの面の前記複数の第１の歯にそれぞれ対向配置される複数の第２の歯をそれぞれ有し、互いに前記ベースに対して独立して支持された２つの固定子部材とを具備する
   リニアモータシステム。
4. 請求項３に記載のリニアモータシステムであって、
   一方の前記固定子部材、前記可動子部材、および他方の前記固定子部材が前記ベース上に下から順に配置され、前記他方の前記固定子部材を位置決めして前記ベース上に支持する第２の支持部材をさらに具備する
   リニアモータシステム。
5. 請求項４に記載のリニアモータシステムであって、
   前記第１の支持部材および前記第２の支持部材はそれぞれ一対の部品で構成され、一方の前記固定子部材の、前記可動子部材の移動自在方向に対して直交する第１の方向の両側にそれぞれ該固定子部材の側から前記第２の支持部材、前記第１の支持部材の順に配置され、前記可動子部材は、前記一対の第１の支持部材それぞれに対する支持のため前記第１の方向に突出する第３の支持部材を一体に有し、前記一対の第２の支持部材は前記可動子部材の移動過程での前記第３の支持部材との干渉を回避する干渉回避部を有する
   リニアモータシステム。
6. 請求項３に記載のリニアモータシステムであって、
   前記ベース上に、一方の前記固定子部材、前記可動子部材、および他方の前記固定子部材が、前記第１の歯間および前記第２の歯間それぞれの溝の稜線が鉛直方向に沿った姿勢となる向きで配置される
   リニアモータシステム。

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