JPH118263A - 積荷を高度に精密かつ動的に移動させるためのｘ−ｙテーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積荷用のキャリッジを安定に正確に移動させ
る。 【解決手段】 このＸ−Ｙテーブルは直角の能動方向
（Ｘ、Ｙ）に沿って積荷（ＣＨ）を移動することができ
る。このテーブルは、ベース（１）と、各方向ごとのス
ライド手段（３、４）を介して能動方向（Ｘ、Ｙ）に沿
ってベース上を移動するように実装された積荷（ＣＨ）
用のキャリッジ（４）と、固定子（５）およびキャリッ
ジ（４）に連結された移動素子（６）を各々が含む２個
のリニアモータ（Ｂ、Ｃ）とを含んでいる。キャリッジ
（４）に当該モータ（Ｂ、Ｃ）の能動方向に沿った駆動
力を加え、同時に、前記固定子素子に対して別の能動方
向での移動性を移動素子に許容するように、コイルと磁
石とがそれぞれ移動素子と固定子とに埋込まれている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、２つの直角軸に沿
って種々の積荷を確実に移動させることができるＸ−Ｙ
テーブルに関する。

【０００２】より具体的には、本発明は例えば集積回路
のような、寸法が小さいか微小である部品を製造するよ
うに設計された機械に要求される場合が多い、高度に動
的で精密な方法で積荷を移動するために使用されるＸ−
Ｙテーブルに関する。特にこのような分野では、Ｘ−Ｙ
テーブルは１マイクロメータまたはそれ未満の位置決め
精度、それぞれの軸に沿った数ｍ／ｓの移動速度、およ
び静的および動的の双方の高レベルの剛性を有する必要
がある。

【０００３】本発明に基づくＸ−Ｙテーブルの１つの用
途は接続線を集積回路に結合するための機械での用途で
ある。もちろん、いかなる意味でもそれに限定されるも
のではない。

【０００４】

【従来の技術】この種のテーブルはスイス特許明細書第
６７８，９０７号に開示されている。これにはスライド
板を上に固定するベースが含まれている。積荷を保持す
るキャリッジが極めて僅かな摩擦力で板上を慴動可能で
ある。キャリッジは直角な２つの方向Ｘ−Ｙに沿って移
動するように強制する案内手段と連携している。キャリ
ッジを駆動するための電動モータが備えられている。電
動モータは、一方の方向に沿って移動するモータによっ
てキャリッジが他方向に沿って移動できるように設計さ
れている。モータの移動素子はキャリッジと直接連結さ
れており、その固定素子はテーブルのベース上に配置さ
れている。

【０００５】前記の先行技術の文献に記載され、その図
３に示されている代替実施形態の１つでは、各モータ
は、互いに重ねて配置され、双方の間にある程度のギャ
ップを有する２個の強磁性部品からなる磁性体フレーム
を備えている。このギャップは、その内部をモータの移
動素子が移動する空隙を構成している。また移動素子は
キャリッジに直接連結されている。各強磁性部品にはコ
イルが巻回されている。コイルは移動素子が搬送する磁
石と共働する。

【０００６】このような構造では、モータの能動方向が
例えばＸ方向であると想定すると、非能動方向であるＹ
方向での強磁性部品と空隙とのサイズは、同じ方向での
移動素子のサイズよりも小さい。かくして、このような
構成によって、能動方向であるＸ方向用に移動するよう
に意図された移動素子はＹ方向に沿っても移動すること
が可能になる。

【０００７】更に、この同じモータ内のコイルの巻回軸
はＸ方向を向いているので、磁束は、その基本面がＸ方
向と平行であり、その中心軸がＹ方向に延びる仮想ルー
プを辿る。

【０００８】この公知の構造は４個の固定子磁極、すな
わち強磁性部品ごとに２個ずつの固定子磁極しか有する
ことができないので、移動素子はそれ自体の能動方向に
沿って限定的にしか進行できない。各モータもこの同じ
欠点の影響を受けるので、双方向へのキャリッジの移動
行程も同程度に限定される。

【０００９】このようなテーブル・モータの構造の別の
重大な欠点は、移動素子が位置している間隙によって規
定される各モータ内の横方向の開口部がモータの能動方
向に対して直角に向いているので、モータがキリャッジ
に加える牽引力は、能動方向の平面内のキャリッジに力
のモーメントを発生する応力中心距離を有し、そのため
にこの力のモーメントによってキャリッジはこの平面に
対して直角な軸を支点に回転するので、良好な移動力学
が損なわれるということである。

【００１０】少なくとも２個のリニアモータから形成さ
れているＸ−Ｙテーブルがドイツ特許明細書第３０３７
１４８号からも公知である。特に異なる実施形態では、
各リニアモータは一方では単一の励磁、または付勢コイ
ルから形成され、他方ではモータの能動方向に沿って位
置合わせされた互いに極性が逆の２個の永久磁石によっ
て形成されている。これらの全ての特定の実施形態（図
１から９および図１５から１７を参照）では、テーブル
の移動部分の変位面にある所定モータの能動方向に対し
て直角な方向に沿った永久磁石の寸法は、前記所定のモ
ータの移動素子と関連するコイルの対応する寸法よりも
かなり小さい。

【００１１】固定子の磁気アーマチュアと関連する固定
コイルと、移動素子と関連する２個の永久磁石とを備え
た実施形態は極めて不利であり、極めて繊細な設計であ
ることが知られている。事実、磁石によって引っ張られ
る永久磁石は平衡が不安定な中心位置に保持されなけれ
ばならない。磁石がこの中心位置以外に位置するや否
や、磁石は磁気アーェチュアによって強く引っ張られ、
それによって不安定さが生じ、リニアモータの効率が大
幅に低下する。

【００１２】ドイツ特許明細書第３０３７６４８号に開
示されている固定された永久磁石を有するＸ−Ｙテーブ
ルの全ての代替実施形態にも、スイス特許明細書第６７
８９０７号に開示されているＸ−Ｙテーブルについて述
べたものと同一の欠点がある。確かに、例えばこのドイ
ツ特許の図１および図２に示されているＸ−Ｙテーブル
を検討すると、リニアモータによって移動部分に加えら
れる力は、リニアモータの固定子の永久磁石に対するモ
ータの移動素子と関連するコイルの相対位置の関数とし
て移動部分の重心に応じて変化することが認められる。
更に、コイルおよび極性が逆の２個の永久磁石を有する
単相構造では移動行程が僅かな動きに限定されてしま
う。

【００１３】移動部分が他方のリニアモータによって一
方のリニアモータの能動方向に対して直角方向に沿って
移動、または駆動される場合に、リニアモータによって
移動部分に加えられる力が移動部分の重心に応じて変化
するという事実は、永久磁石に対して重ね合わされたコ
イル部分だけが励磁するという事実による。言い換える
と、リニアモータの力はＸ−Ｙテーブルの固定子に対し
て実質的に定まった直線を規定する。従って、前述のド
イツ特許に開示されているＸ−Ｙテーブルの動作中に、
移動部分の不安定性を生ずる可変的な力のモーメント
（トルク）が発生する。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、先行
技術のテーブルに関する前述の欠点を取り除いた、高度
に動的なＸ−Ｙテーブルを提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】したがって、本発明は、
ツールのような積荷を相互に直角な能動方向に沿って移
動するＸ−Ｙテーブルであって、 − ベースと、 − 積荷を受けるようにされ、かつ方向に沿ってベース
上を移動するキャリッジと、 − ２つの能動方向に沿ってキャリッジをそれぞれ駆動
するように配置された少なくとも２個の電動リニアモー
タ、とを含んでおり、２個のモータは各々が永久磁石を
備えた固定子と少なくとも１個の励磁コイルを備え、か
つキャリッジと機械的に結合された移動部分とを含んで
いるＸ−Ｙテーブルに関する。永久磁石と励磁コイルと
は、励磁コイルが給電されると相互の磁気結合によって
所定のモータの能動方向に沿って駆動力を発生するよう
に構成されており、移動部分は２つの能動方向のそれぞ
れに沿って移動可能であるように構成されている。この
テーブルは、２個のモータのいずれか一方の少なくとも
１個の励磁コイルの、２個のモータのうちの他方の能動
方向に沿った寸法は、モータの永久磁石の対応する寸法
よりも小さく、これら２つの寸法の差異は、２個のモー
タのうちの他方の能動方向に沿った一方のモータの移動
素子の移動行程に実質的に等しいか、またはそれ以上で
あることを特徴としている。

【００１６】

【作用】このような機構の結果、各モータによって発生
される力は、移動キャリッジの変位面内のモータの能動
方向に対して直角方向での移動素子の位置に関わりな
く、モータの移動素子に対して固定位置にあるモータの
能動方向に沿った直線を規定する。その結果、移動する
キャリッジに加わる力は、移動キャリッジに接続する基
準線内で空間的に固定された状態に留まる。

【００１７】本発明の特に有利な機構によれば、リニア
モータは、直角な２つの方向Ｘ−Ｙに沿った２個の能動
リニアモータで得れる力によって規定されるそれぞれの
直線が、モータの移動素子が取付けられた移動部材の重
心を通る縦の直線と実質的に交差するように配置されて
いる。

【００１８】好適な実施態様では、直角な２つの方向Ｘ
−Ｙに沿って移動する部材は、単一の同一の移動部分を
形成し、前述の２個のリニアモータの力によって規定さ
れる２つの直線は、単一の同一移動部分の重心を通る縦
の直線と実質的に交差する。この好適な実施形態の好適
な代替実施形態では、Ｘ−Ｙテーブルは、２つの力によ
って規定される２つの直線が、単一の同一移動部分の重
心上に実質的に整合するように構成される。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明を、単に例示する目的で、
添付図面に関連して述べた以下の説明によってより詳細
に説明する。先ず、本発明に基づくＸ−Ｙテーブルの動
作原理を説明するために図１を参照する。

【００２０】Ｘ−Ｙテーブルは３つの主要ユニット、す
なわちＸ−Ｙ面のＸ−Ｙ移動ユニットＡと、能動方向Ｘ
に沿った移動を確実にする第１リニアモータＢと、Ｘ方
向とは直角である能動方向Ｙに沿った移動を確実にする
第２リニアモータＣとを含んでおり、リニアモータＢと
Ｃとは同一設計である。《能動方向》とは、リニアモー
タの牽引力または推進力が加わる方向を意味するものと
して用いられる。

【００２１】移動ユニットＡは任意の種類の作業台（図
示せず）上に載置されたベース１を有し、このベースは
説明する例ではほぼ矩形の形状である。第１のプレート
２が適当なライド手段（図１には図示せず）を介してＸ
方向に沿ってベース上を慴動可能である。積荷ＣＨ（図
１に記号で示す）を担持するように意図されたキャリッ
ジ４に固定されている第２のプレート３は、第１プレー
ト上を第２スライド手段（これも図示せず）を介してＹ
方向に沿って慴動可能である。プレート２と３、および
それらに連結された作業台はキャリッジ４をＸ−Ｙの２
方向に最小限の摩擦力で移動できるようにする移動式担
持手段を形成していることに留意されたい。

【００２２】リニアモータＢおよびＣは各々固定子５と
移動素子６とを有し、移動素子は連結部品７および、こ
の分野では公知の適当な固定手段とを介して、キャリッ
ジ４に固定的に取付けられている。

【００２３】図１から図６を参照して例示する実施形態
では、Ｘ−Ｙの２つの能動方向に沿ってそれぞれ移動す
る第１と第２の部材が示されている。これらの第１、第
２の移動部材は各々キャリッジ４とプレート３とを含ん
でおり、Ｘ軸に沿って駆動される第１の移動部材は第２
移動部材の他にプレート２を含んでいる。すなわち、第
１移動部材は第１、第２のプレートとキャリッジとから
なり、第１モータでＸ軸方向に移動され、第２移動部材
は第２プレート３とキャリッジ４とからなり、第２モー
タでＹ軸方向に移動される。これらの第１と第２の移動
部材はそれぞれの重心ＧＸとＧＹを有する。本実施形態
に基づいて、リニアモータＢおよびＣによってそれぞれ
発生される力ＦＢおよびＦＣは、キャリッジ４の位置に
関わりなくキャリッジ４に対して直角な第１と第２の定
まった直線を規定する。本発明のこのような特徴をもた
らす構成については後に詳述する。Ｙの能動方向と平行
であり、モータＣによって発生される力によって規定さ
れる第２の直線は、前述の重心ＧＹを通る縦の直線と実
質的に交差することが直ちに認められよう。好適には、
第１の直線は、キャリッジ４がテーブルの中心位置にあ
る場合に第１移動部材の重心ＧＸを通る縦の直線と実質
的に交差する。

【００２４】本発明に基づくＸ−Ｙテーブルの概略を示
す図１には、プレート２と３とが互いに重なる時に、同
じ縦の直線Ｚ上で整列する２つの重心ＧＸおよびＧＹを
有するという特徴がある。この状況は、第１と第２の移
動部材の各々が図示した２個のリニアモータとそれぞれ
関連する移動素子６を備えていると仮定した場合に特別
に生じることに留意されたい。このように、この特殊な
状況は、キャリッジ４上に積荷ＣＨを特殊に位置決めす
ることによるものである。

【００２５】本発明の好適な実施形態では、キャリッジ
４は少なくとも１つの空気軸受または磁気軸受によって
浮遊される。このような場合、第１と第２の移動部材は
２つの能動方向Ｘ−Ｙに沿った単一の同一移動部分を形
成する。

【００２６】この好適な実施形態では、重心ＧＸとＧＹ
は同一である。２個のモータＢとＣによってそれぞれ規
定された第１と第２の直線は各々が単一の同じ移動部分
の単一の重心を通る縦の直線と実質的に交差することが
好ましい。この特に有利な実施形態によって、一切の不
安定性、およびＸ−Ｙ変位面での力のモーメントを除去
することが可能になる。確かに、第１と第２の方向を移
動部分、特にキャリッジ４に対して固定するならば、移
動部分に加わる力は、移動部分のＸ−Ｙテーブルの変位
面での位置に関わりなく移動部分に対して空間的に固定
された状態に留まる。

【００２７】このように、本実施形態に基づくＸ−Ｙテ
ーブルの構成、特にリニアモータの構成によって、テー
ブルの移動部分に一定の推進力を加えることが可能にな
る。リニアモータの移動素子をキャリッジ４およびキャ
リッジ上に積載された積荷に対して適切に配置すること
によって、テーブルの移動部分の各リニアモータによっ
て加えられる力は、移動部分の重心の方向に加えられ
る。より正確には、２個のリニアモータの力によって規
定される直線は、（２つのＸ−Ｙ軸に沿って移動する部
材が同一である場合）、移動部分の重心を通る縦の直線
と実質的に交差する。

【００２８】好適な代替実施形態では、モータの移動素
子は移動部分に対して直角位置に配置されているので、
モータの力によって規定される直線は移動部分の重心で
実質的に互いに交差する。このような場合、Ｘ−Ｙテー
ブルは特に安定し、移動部分は高度に正確かつ動的に移
動することができる。

【００２９】モータＢおよびＣは各々独自の能動方向Ｘ
またはＹに沿ったある程度の自由度と他のモータの能動
方向に沿った付加的な自由度ＤＬＢおよびＤＬＣを有し
ている。しかし、この付加的な自由度は図１でそれぞれ
示され、モータＢおよびＣの設計によって定められるあ
る程度の距離ＤＢおよびＤＣによって限定される。図示
した例では、距離ＤＢとＤＣは同一であるが、これは必
須条件ではない。

【００３０】図２および図３は図１に概略的に示した実
施形態に対応する、本発明に基づくＸ−Ｙテーブルを示
している。図２は一方ではベース１と第１プレート２と
の間に、他方では第１プレート２と第２プレートとの間
に挿入されたスライド手段の一つの可能な形状を示して
いる。これらのスライド手段はそれぞれ線形軸受８ａ−
８ｂおよび９ａ−９ｂによって形成されている。更に、
各モータＢおよびＣは冷却ウイング１０を有している。

【００３１】例えば、キャリッジ４は、それ自体は公知
であり、特に集積回路パッド上でボンディングを実施す
ることができるボンディング・ツールＯＳを特に有して
いるボンディング・ユニットＯによって形成された積荷
を担持している。このボンディング・ユニットＯは本発
明の一部を形成するものではないので、詳細には説明し
ない。勿論、これも公知の態様で、Ｘ−Ｙテーブルに、
キャリッジ４のＸ−Ｙ位置を永久的に検出し、かつキャ
リッジ４の動きを所望の信号の関数として制御する電子
手段が使用できる位置信号を生成するための位置センサ
（図示せず）を取付けてもよい。

【００３２】図４から図６は、本発明実施形態に基づく
リニアモータＢおよびＣの各々の構造を示している。固
定子素子５は、ほぼ矩形の形状で適切な強磁性材料製の
２枚のプレート１１ａおよび１１ｂを含んでいる。２枚
のプレートそれぞれには極性が交互に南と北である並置
された一連の磁石１２ａおよび１２ｂが備えられ、一方
のプレートの磁石１２ａの磁極Ｎは他方のプレートの磁
石１２ｂの磁極Ｓと相対し、またその逆の場合も同様で
ある。プレート１１ａと１１ｂは支柱部分１３ａおよび
１３ｂによって互いに所定距離だけ隔てられており、こ
れらの支柱部分は同時にモータの２つの空隙をも決定す
る。各モータの磁石１２ａおよび１２ｂの全ての磁性軸
は互いに平行であり、かつ能動方向Ｘ−Ｙによって規定
される平面に対して直角である。

【００３３】本実施形態では、磁石１２ａおよび１２ｂ
の長さＤＢまたはＤＣはコイル２０および２１の長さＬ
よりも長く、これらの長さはモータの移動素子のＸ−Ｙ
変位面内の当該モータの能動方向に対して直角な向きに
ある。更に、長さＤＢまたはＤＣと長さＬとの差異は、
２個のモータＢおよびＣのうちの一方のモータの移動素
子の、他方のモータの能動方向に沿った移動行程とほぼ
等しいか、それ以上である。

【００３４】各リニアモータＢまたはＣの移動素子６
は、ほぼ矩形の、モータの第２の自由度を許容するよう
に支柱１３ａと１３ｂとの距離よりも幅が狭いプレート
１４（図２、４および６）を含んでいる。クランプ１５
がプレート１４の縁部に堅牢に固定されている。このク
ランプ１５は移動素子６を接続部分７に接続するための
接続部としての役割を果たし、クランプは接続部分７に
例えばボルト止めによって耐久性のあるように固定され
ている。クランプ１５は更に移動部分６をシース１６を
介して外部の制御および給電回路（図示せず）に電気的
に接続するようにも構成されている。クランプを使用し
ない設計も可能である。

【００３５】２群のコイル１７ａおよび１７ｂは、例え
ば非磁性体部材内に型込めすることによって埋込みされ
てプレート１４内に配置されている。このように、移動
素子６は本質的に非磁性体である。プレート１４は機械
的耐性が強く熱伝導性が高い材料、例えば炭素繊維で強
化されたプラスチック材料製で、その中にコイル群１７
ａ、１７ｂが型込めによって埋込みされる。図面には図
示されていない実施形態ではプレート１４内に組み込ま
れた強制空冷または水冷を使用してもよい。

【００３６】エポキシまたはセラミックのような強固な
非磁性体材料からなる平滑で均一かつ完全に平坦な表面
組織の層１８をプレートに被覆することによって、プレ
ート１４の移動方向に対して直角な曲げ抵抗を高めても
よく、また、固定子５の永久磁石１２ａおよび１２ｂ
（層１９、図５を参照）にもこのような材料を被覆して
もよい。コイルの電気的な時定数を低減するために、磁
石に導電性金属板（銅、鉄、またはアルミニウム）を被
覆してもよい。このようにして、モータの空隙内に極め
て僅かな機械的遊隙を形成することができ、この遊隙内
では空気層が振動の吸収または緩衝体としての役割を果
たすことができよう。このような構成にはコイルと磁石
との間の熱伝導性を高めるという利点もあり、それによ
って所定の寸法のモータの部品において、モータの有効
出力を高めることが可能になる。

【００３７】説明している実施形態では、コイル群１７
ａと１７ｂとは、モータＢまたはＣが２相同期モータに
なるように構成されている。勿論、この構成は例として
選択されたものに過ぎず、任意のコイル構成、例えば
群、または連続的な、単層または３相構成も可能であ
る。各コイル群は３個のコイル２０および２１をそれぞ
れ含んでおり、２つの群はこの例では同じ群のコイルに
よって規定される空間間隔の半分の距離を隔てて千鳥形
に配列されている。各コイル２０および２１は、前述し
たものと同一の空間間隔を有する固定子５の永久磁石の
磁性軸と平行な巻回軸に沿って、プレート１４内で平坦
に巻回される。コイルは、電流が導通すると同じ群のコ
イルが交互に磁極ＮとＳを生ずるように巻回される。

【００３８】図７は本発明に基づくＸ−Ｙテーブルの代
替実施形態を示しており、この実施形態ではリニアモー
タＣが能動方向がＹ方向である２個の駆動ユニットＣ１
およびＣ２に分割されている。能動方向Ｙ用に２個の駆
動ユニットを使用することによって、その寸法を縮小す
ることができ、ひいてはツールＯＳが掃引する作業ゾー
ンＺＴの左から右への最大の隙間が得られる。更に、Ｘ
−Ｙテーブルの移動部分のいずれかの側にモータＣによ
って加えられる力が配分されることによって、前記移動
部分が移動中に更に良好な安定性が得られる。

【００３９】

【発明の効果】２個のモータのいずれか一方の少なくと
も１個の励磁コイルの、２個のモータのうちの他方の能
動方向に沿った寸法が、前記モータの前記永久磁石の対
応する寸法よりも小さく、これら２つの寸法の差異が、
前記２個のモータのうちの他方の能動方向に沿った一方
のモータの移動素子の移動行程に実質的に等しいか、ま
たはそれ以上であるように構成することによって、従来
形のＸ−Ｙテーブルの前記の欠点が取り除かれ、移動部
分の安定性と、高度の自由度が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に基づくＸ−Ｙテーブルの概略透視図
である。

【図２】 前記テーブルのより詳細な透視図で、この場
合はボンディング動作を実施する意図のボンディング・
ツールである、テーブルによって駆動されることができ
る積荷の例を特に示す。

【図３】 図２に示したＸ−Ｙテーブルの平面図であ
る。

【図４】 本発明に基づくＸ−Ｙテーブルで使用される
リニアモータの１つの拡大透視図である。

【図５】 リニアモータの１つから分解した固定子の透
視図である。

【図６】 本発明に基づくＸ−Ｙテーブルのリニアモー
タの１つの移動素子を示した、特にそのコイルを図示す
るための概略平面図である。

【図７】 本発明に基づくＸ−Ｙテーブルの代替実施形
態の概略平面図である。

【符号の説明】

１ ベース、２ 第１プレート、３ 第２プレー
ト、４ キャリッジ、５ 固定子、６ 移動素
子、７ 連結部品、８ａ−８ｂ 線形軸受、９ａ−９
ｂ 線形軸受、１１ プレート、１２ 磁石、１３ 支
柱部、１４ プレート、１５ クランプ、１７ コイ
ル、Ａ 移動ユニット、Ｂ 、Ｃ リニアモータ、Ｃ
Ｈ 積荷、ＧＸ、ＧＹ 重心、

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ツールのような積荷（ＣＨ；Ｏ、ＯＳ）
   を相互に直角な２つの能動方向（Ｘ、Ｙ）に沿って移動
   させるＸ−Ｙテーブルであって、 − ベース（１）と、 − 積荷（ＣＨ；Ｏ、ＯＳ）を受け、かつ前記方向
   （Ｘ、Ｙ）に沿ってベース上を移動するように取り付け
   られたキャリッジ（４）と、 − ２つの能動方向（Ｘ、Ｙ）に沿ってキャリッジをそ
   れぞれ駆動するように配置された少なくとも２個の電動
   リニアモータ（Ｂ、Ｃ；Ｂ、Ｃ１、Ｃ２）、とを含んで
   おり、２個のモータは各々が永久磁石（１２ａ、１２
   ｂ）を備えた固定子（５）と、少なくとも１個の励磁コ
   イル（２０、２１）を備え、かつキャリッジと機械的に
   結合された移動部分（６）とを含み、永久磁石と励磁コ
   イルとは、励磁コイルに給電されると相互の磁気結合に
   よって所定のモータの能動方向に沿って駆動力を発生す
   るように構成されており、移動部分は２つの能動方向
   （Ｘ、Ｙ）のそれぞれに沿って移動するように構成され
   たＸ−Ｙテーブルにおいて、２個のモータのいずれか一
   方の少なくとも１個の励磁コイルの、前記２個のモータ
   のうちの他方の能動方向に沿った寸法は、モータの永久
   磁石の対応する寸法よりも小さく、これら２つの寸法の
   差異が２個のモータのうちの他方の能動方向に沿ったモ
   ータの移動素子の移動行程に実質的に等しいかそれ以上
   であることを特徴とするＸ−Ｙテーブル。
2. 【請求項２】 ２個のモータの各々の移動素子が本質的
   に非磁性体材料からなることを特徴とする請求項１に記
   載のＸ−Ｙテーブル。
3. 【請求項３】 ２個のモータの少なくとも１個の移動部
   分（６）は並置された幾つかの平坦なコイルが備えら
   れ、その巻回軸は２つの能動方向（Ｘ−Ｙ）によって規
   定される平面に対して直角であることを特徴とする請求
   項１または２に記載のＸ−Ｙテーブル。
4. 【請求項４】 幾つかのコイルを備えた少なくとも１個
   のモータが多相モータであることを特徴とする請求項３
   に記載のＸ−Ｙテーブル。
5. 【請求項５】 多相モータの各々の相が幾つかのコイル
   のうちの少なくとも２個のコイル（２０、２１）と関連
   することを特徴とする請求項４に記載のＸ−Ｙテーブ
   ル。
6. 【請求項６】 前記多相モータの各々の相が多相モータ
   の能動方向に沿って極性が交互に変化する少なくとも１
   群の並置されたコイルと関連し、多相モータの固定子
   （５）の永久磁石の極性もその能動方向に沿って交互に
   変化し、群内のコイルによって規定される空間間隔は永
   久磁石（１２ａ、１２ｂ）の空間間隔と実質的に等しい
   ことを特徴とする請求項５に記載のＸ−Ｙテーブル。
7. 【請求項７】 ２個のモータのうちの第１のモータ
   （Ｃ）がその能動方向に沿って第１移動部材を駆動し、
   ２個のモータのうちの第２のモータ（Ｂ）がその能動方
   向に沿って第２の移動部材を駆動し、第１モータによっ
   て加えられる力は第１移動部材の重心（ＧＹ）を通る縦
   の直線と実質的に交差する第１の直線を規定し、その第
   １の直線は第１移動部材に対して定位置を有することを
   特徴とする先行請求項のいずれか一つに記載のＸ−Ｙテ
   ーブル。
8. 【請求項８】 キャリッジ（４）が、テーブルの２つの
   能動方向（Ｘ、Ｙ）の各々についてスライド手段（３、
   ４、８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂ）を介してベース（１）上
   を移動するように取り付けられていることを特徴とする
   請求項７に記載のＸ−Ｙテーブル。
9. 【請求項９】 第１と第２の部材が、テーブルの２つの
   能動方向（Ｘ、Ｙ）に沿って移動する単一の同一移動部
   分を形成し、第２モータ（Ｂ）によって加えられる力が
   縦の直線と実質的に交差する第２の直線方向であり、そ
   の第２の直線が単一の同一移動部分に対して定位置とな
   ることを特徴とする請求項７に記載のＸ−Ｙテーブル。
10. 【請求項１０】 第１と第２の直線が前記単一の同一移
    動部分の重心と実質的に交差することを特徴とする請求
    項９に記載のＸ−Ｙテーブル。
11. 【請求項１１】 キャリッジ（４）が、少なくとも１個
    の空気軸受または磁気軸受によって前記ベース（１）上
    を移動するように実装されることを特徴とする請求項９
    または１０に記載のＸ−Ｙテーブル。
12. 【請求項１２】 ２個のリニアモータの各々ごとに、他
    方に面して位置する各々一対の永久磁石が同じ方向の２
    つの磁軸を規定するように移動素子（６）のいずれかの
    側に配置された２列の永久磁石（１２ａ、１２ｂ）を備
    えることを特徴とする先行請求項のいずれか一つに記載
    のＸ−Ｙテーブル。
13. 【請求項１３】 ２個のリニアモータの一方が可動キャ
    リッジ（４）のいずれかの側に位置する２個の個別駆動
    ユニット（Ｃ１、Ｃ２）によって形成されることを特徴
    とする先行請求項のいずれか一つに記載のＸ−Ｙテーブ
    ル。