JPH0699327A - Ｘ−ｙテーブルの駆動装置 - Google Patents
Ｘ−ｙテーブルの駆動装置Info
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- JPH0699327A JPH0699327A JP27534492A JP27534492A JPH0699327A JP H0699327 A JPH0699327 A JP H0699327A JP 27534492 A JP27534492 A JP 27534492A JP 27534492 A JP27534492 A JP 27534492A JP H0699327 A JPH0699327 A JP H0699327A
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- Japan
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- magnetic poles
- poles
- movable
- magnetic pole
- fixed
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 同期機形ブラシレスリニヤモータで駆動され
るＸ−Ｙテーブルの駆動装置に関する。 【構成】 Ｘ方向テーブル２とＹ方向テーブル４自体の
側縁部の両面に、それぞれ移動方向にＮ極とＳ極を等間
隔で交互に形成させた永久磁石からなる可動側磁極６
ａ、６ｂおよび７ａ、７ｂを設け、テーブルを挟んで各
可動側磁極に対向する固定側磁極８ａ、８ｂおよび１１
ａ、１１ｂを設ける。両面の固定側磁極相互の位置を半
ピッチずらせてコギングトルクを打ち消す。また、テー
ブル両面の空隙を調整して磁気吸引力の差によりテーブ
ルの荷重を負担させる。 【効果】 駆動装置が小形になり、コギングトルクや磁
気吸引力の影響をなくすことができ、テーブルの移動が
円滑になる。
るＸ−Ｙテーブルの駆動装置に関する。 【構成】 Ｘ方向テーブル２とＹ方向テーブル４自体の
側縁部の両面に、それぞれ移動方向にＮ極とＳ極を等間
隔で交互に形成させた永久磁石からなる可動側磁極６
ａ、６ｂおよび７ａ、７ｂを設け、テーブルを挟んで各
可動側磁極に対向する固定側磁極８ａ、８ｂおよび１１
ａ、１１ｂを設ける。両面の固定側磁極相互の位置を半
ピッチずらせてコギングトルクを打ち消す。また、テー
ブル両面の空隙を調整して磁気吸引力の差によりテーブ
ルの荷重を負担させる。 【効果】 駆動装置が小形になり、コギングトルクや磁
気吸引力の影響をなくすことができ、テーブルの移動が
円滑になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、同期機形ブラシレスリ
ニヤモータで駆動されるＸ−Ｙテーブルの駆動装置に関
する。
ニヤモータで駆動されるＸ−Ｙテーブルの駆動装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｘ−Ｙテーブルは、たとえば特開
昭６３−２３７８３１号のように、Ｘ軸とＹ軸をそれぞ
れ送りねじで駆動しているが、リニヤモータを用いて駆
動させることが要求され、このため前記送りねじに替え
てＸ方向およびＹ方向のリニヤモータを設け、各モータ
の移動子をアームを介してそれぞれのテーブルに連結す
ることが考えられる。
昭６３−２３７８３１号のように、Ｘ軸とＹ軸をそれぞ
れ送りねじで駆動しているが、リニヤモータを用いて駆
動させることが要求され、このため前記送りねじに替え
てＸ方向およびＹ方向のリニヤモータを設け、各モータ
の移動子をアームを介してそれぞれのテーブルに連結す
ることが考えられる。
【０００３】また、ＯＡ機器のキャリッジやヘッドを送
るためのモータとして、たとえば特開平１−１７４２６
２号などに示されているように、移動子の両面に対向す
る固定子を設けたリニヤパルスモータを用いるものがあ
るが、このモータは図９に示すように、永久磁石のＮ極
とＳ極を交互に等ピッチで移動方向に配置したヨーク磁
極５１をヘッドに取り付け、前記永久磁石と等ピッチの
歯をそなえ、ヨーク磁極５１を囲んで両面に対向させ、
図示していないコイルで励磁されるＡ相磁極５２と、Ａ
相磁極と同じ構造でヨーク磁極に対して半ピッチずらせ
たＢ相磁極５３とをそなえている。
るためのモータとして、たとえば特開平１−１７４２６
２号などに示されているように、移動子の両面に対向す
る固定子を設けたリニヤパルスモータを用いるものがあ
るが、このモータは図９に示すように、永久磁石のＮ極
とＳ極を交互に等ピッチで移動方向に配置したヨーク磁
極５１をヘッドに取り付け、前記永久磁石と等ピッチの
歯をそなえ、ヨーク磁極５１を囲んで両面に対向させ、
図示していないコイルで励磁されるＡ相磁極５２と、Ａ
相磁極と同じ構造でヨーク磁極に対して半ピッチずらせ
たＢ相磁極５３とをそなえている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、Ｘ−Ｙテ
ーブルをリニヤモータで駆動する場合に、単に従来の送
りねじを既存のリニヤモータに置き換えて、モータの移
動子をアーム等でテーブルと直結させるものでは、テー
ブルの外側にモータを設けアームにより連結する機構が
必要になり、送りねじに比してモータの取付スペースが
大きくなる欠点がある。
ーブルをリニヤモータで駆動する場合に、単に従来の送
りねじを既存のリニヤモータに置き換えて、モータの移
動子をアーム等でテーブルと直結させるものでは、テー
ブルの外側にモータを設けアームにより連結する機構が
必要になり、送りねじに比してモータの取付スペースが
大きくなる欠点がある。
【０００５】また、一方方向にのみ往復移動するＯＡ機
器の駆動に用いられているリニヤモータを、直交する２
方向に移動するＸ−Ｙテーブルに転用しても、小形軽量
で一方方向にのみ往復移動するＯＡ機器のヘッドと、２
重に構成されたテーブルをそなえ、各テーブルをそれぞ
れの駆動装置により単独あるいは関連して直角方向に駆
動させるＸＹテーブルとでは、装置の規模や動作が異な
っており、装置の大形化を防ぎ、コギングトルクや磁気
吸引力の影響をなくしてテーブルの円滑な動作を得るた
めには、単に送りねじの駆動機構をこのようなモータで
駆動させるだけでは問題が解決しなかった。本発明はこ
のような点にかんがみ、各テーブルと一体化させた駆動
装置を構成し、Ｘ−Ｙテーブルに適した駆動装置を提供
するものである。
器の駆動に用いられているリニヤモータを、直交する２
方向に移動するＸ−Ｙテーブルに転用しても、小形軽量
で一方方向にのみ往復移動するＯＡ機器のヘッドと、２
重に構成されたテーブルをそなえ、各テーブルをそれぞ
れの駆動装置により単独あるいは関連して直角方向に駆
動させるＸＹテーブルとでは、装置の規模や動作が異な
っており、装置の大形化を防ぎ、コギングトルクや磁気
吸引力の影響をなくしてテーブルの円滑な動作を得るた
めには、単に送りねじの駆動機構をこのようなモータで
駆動させるだけでは問題が解決しなかった。本発明はこ
のような点にかんがみ、各テーブルと一体化させた駆動
装置を構成し、Ｘ−Ｙテーブルに適した駆動装置を提供
するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このため、Ｘ方向および
Ｙ方向に移動するそれぞれのテーブル自体の側縁部の表
裏両面に、それぞれ移動方向にＮ極とＳ極を等間隔で交
互に形成させた永久磁石からなる可動側磁極を構成さ
せ、この可動側磁極に対向させて複数の磁性歯をもった
固定側磁極をテーブルを挟んで両面に設けるようにして
いる。また、テーブルの両面に設けた固定側磁極相互の
可動側磁極との対向位置関係を、半ピッチずらせるよう
にし、また、テーブルの荷重に応じて両面相互の固定側
磁極と可動側磁極との空隙を調整するようにしている。
Ｙ方向に移動するそれぞれのテーブル自体の側縁部の表
裏両面に、それぞれ移動方向にＮ極とＳ極を等間隔で交
互に形成させた永久磁石からなる可動側磁極を構成さ
せ、この可動側磁極に対向させて複数の磁性歯をもった
固定側磁極をテーブルを挟んで両面に設けるようにして
いる。また、テーブルの両面に設けた固定側磁極相互の
可動側磁極との対向位置関係を、半ピッチずらせるよう
にし、また、テーブルの荷重に応じて両面相互の固定側
磁極と可動側磁極との空隙を調整するようにしている。
【０００７】
【作用】したがって、各テーブルの側縁部自体がそれぞ
れの駆動モータの可動側磁極として構成され、固定側磁
極をテーブル側縁部の両面に配置させてモータ推力発生
部のスペースを小さくし、全体を小形化するとともに、
テーブル両面に作用する磁気吸引力を相殺させる。ま
た、各テーブル両面の固定側磁極位置のずれによってコ
ギングトルクを少なくすることができ、テーブル両面相
互の磁気空隙を異ならせてテーブル両面に作用する磁気
吸引力を荷重に応じて調整し、テーブルの保持レールに
加わる負担を少なくして移動を円滑に行わせる。
れの駆動モータの可動側磁極として構成され、固定側磁
極をテーブル側縁部の両面に配置させてモータ推力発生
部のスペースを小さくし、全体を小形化するとともに、
テーブル両面に作用する磁気吸引力を相殺させる。ま
た、各テーブル両面の固定側磁極位置のずれによってコ
ギングトルクを少なくすることができ、テーブル両面相
互の磁気空隙を異ならせてテーブル両面に作用する磁気
吸引力を荷重に応じて調整し、テーブルの保持レールに
加わる負担を少なくして移動を円滑に行わせる。
【０００８】
【実施例】これを図１ないし図４に示す実施例について
説明すると、１は基台、２はＸ方向テーブルで、基台１
上に設けた保持レール３によりＸ軸方向に摺動自由に支
持させている。４はＹ方向テーブルで、前記Ｘ方向テー
ブル２上に設けた保持レール５によりＹ軸方向に摺動自
由に支持されている。６ａ、６ｂはＸ方向テーブル２の
一方の側縁部両面に設けた可動側磁極で、図４に示すよ
うに、テーブル自体の側縁にそれぞれＸ軸方向にＮ極と
Ｓ極を交互に等ピッチで着磁させた永久磁石で形成され
ており、あらかじめ着磁した永久磁石を張り付けるよう
にしてもよい。７ａ、７ｂはＹ方向テーブル４の側縁部
両面に設けた前記と同様の永久磁石からなる可動側磁極
である。
説明すると、１は基台、２はＸ方向テーブルで、基台１
上に設けた保持レール３によりＸ軸方向に摺動自由に支
持させている。４はＹ方向テーブルで、前記Ｘ方向テー
ブル２上に設けた保持レール５によりＹ軸方向に摺動自
由に支持されている。６ａ、６ｂはＸ方向テーブル２の
一方の側縁部両面に設けた可動側磁極で、図４に示すよ
うに、テーブル自体の側縁にそれぞれＸ軸方向にＮ極と
Ｓ極を交互に等ピッチで着磁させた永久磁石で形成され
ており、あらかじめ着磁した永久磁石を張り付けるよう
にしてもよい。７ａ、７ｂはＹ方向テーブル４の側縁部
両面に設けた前記と同様の永久磁石からなる可動側磁極
である。
【０００９】８ａは基台１上に取り付け前記可動側磁極
６ａと対向させた固定側磁極で、可動側磁極の永久磁石
と等ピッチに複数の磁性歯をそなえ、励磁コイル９たと
えば３相平衡巻線を巻装してある。８ｂは基台１の支持
ポスト１０に取り付け、可動側磁極６ｂと対向させた固
定側磁極で、前記固定側磁極８ａと同様に構成されてい
る。１１ａは基台１上に取り付け、前記Ｙ方向テーブル
４の可動側磁極７ａに対向させて、永久磁石のピッチと
等ピッチの磁性歯と励磁コイルをそなえた固定側磁極、
１１ｂは基台１に前記支持ポスト１０の直角方向に設け
た支持ポスト１２を介して可動側磁極７ｂに対向させた
固定側磁極である。なお、支持ポスト１２の内側幅（ス
パン）を大きくし、Ｙ方向テーブル４がＸ方向テーブル
とともにＸ軸方向に移動するために必要なスペースをそ
なえている。
６ａと対向させた固定側磁極で、可動側磁極の永久磁石
と等ピッチに複数の磁性歯をそなえ、励磁コイル９たと
えば３相平衡巻線を巻装してある。８ｂは基台１の支持
ポスト１０に取り付け、可動側磁極６ｂと対向させた固
定側磁極で、前記固定側磁極８ａと同様に構成されてい
る。１１ａは基台１上に取り付け、前記Ｙ方向テーブル
４の可動側磁極７ａに対向させて、永久磁石のピッチと
等ピッチの磁性歯と励磁コイルをそなえた固定側磁極、
１１ｂは基台１に前記支持ポスト１０の直角方向に設け
た支持ポスト１２を介して可動側磁極７ｂに対向させた
固定側磁極である。なお、支持ポスト１２の内側幅（ス
パン）を大きくし、Ｙ方向テーブル４がＸ方向テーブル
とともにＸ軸方向に移動するために必要なスペースをそ
なえている。
【００１０】固定側磁極８ａ、８ｂの励磁コイル９に通
電すると、その移動磁界によって可動側磁極６ａ、６ｂ
を介してテーブル両面に推力を発生させ、Ｘ方向テーブ
ル２を保持レール５とともにＸ軸方向に移動させる。こ
のため、Ｘ方向テーブル上の保持レール５に支持された
Ｙ方向テーブル４と、その可動側磁極７ａ、７ｂもＸ軸
方向に移動し、これと同時あるいは別に固定側磁極１１
ａ、１１ｂを励磁することにより、可動側磁極７ａ、７
ｂに推力を発生させ、Ｙ方向テーブル４をＹ軸方向に移
動させる。
電すると、その移動磁界によって可動側磁極６ａ、６ｂ
を介してテーブル両面に推力を発生させ、Ｘ方向テーブ
ル２を保持レール５とともにＸ軸方向に移動させる。こ
のため、Ｘ方向テーブル上の保持レール５に支持された
Ｙ方向テーブル４と、その可動側磁極７ａ、７ｂもＸ軸
方向に移動し、これと同時あるいは別に固定側磁極１１
ａ、１１ｂを励磁することにより、可動側磁極７ａ、７
ｂに推力を発生させ、Ｙ方向テーブル４をＹ軸方向に移
動させる。
【００１１】図５は、別の実施例におけるＸ方向テーブ
ルの可動側磁極６ａ、６ｂと、固定側磁極８ａ、８ｂ部
分のみを拡大して示す側面図で、この実施例において
は、両面の固定側磁極８ａ、８ｂの可動側磁極６ａ、６
ｂとの対向位置を半ピッチずらせている。このため、固
定側磁極８ａ、８ｂに生じるコギングトルク相互の位相
が１８０°ずれ、相殺されて打ち消され、滑らかな移動
が得られる。。Ｙ方向テーブル両面相互の固定側磁極１
１ａ、１１ｂと可動側磁極７ａ、７ｂとの対向位置につ
いても同様である。
ルの可動側磁極６ａ、６ｂと、固定側磁極８ａ、８ｂ部
分のみを拡大して示す側面図で、この実施例において
は、両面の固定側磁極８ａ、８ｂの可動側磁極６ａ、６
ｂとの対向位置を半ピッチずらせている。このため、固
定側磁極８ａ、８ｂに生じるコギングトルク相互の位相
が１８０°ずれ、相殺されて打ち消され、滑らかな移動
が得られる。。Ｙ方向テーブル両面相互の固定側磁極１
１ａ、１１ｂと可動側磁極７ａ、７ｂとの対向位置につ
いても同様である。
【００１２】図６および図７は、固定側磁極と可動側磁
極を各テーブルの両側縁に設け、Ｙ方向テーブルを駆動
する固定側磁極をＸ方向テーブル上に設けた場合の実施
例を示し、図１ないし図４と同じ部分に同一の符号を付
してある。この実施例では、Ｘ方向テーブル２の両側縁
部にそれぞれ可動側磁極６ａ、６ｂを設け、それぞれに
固定側磁極８ａ、８ｂを対向させており、このＸ方向テ
ーブル２の上にＹ方向テーブル４の保持レール５および
固定側磁極１１ａ、１１ｂを支持ポスト１２とともに設
けている。したがって、固定側磁極８ａ、８ｂの励磁に
より、Ｘ方向テーブル２とともに固定側磁極１１ａ、１
１ｂが移動し、Ｙ方向テーブルの可動側磁極７ａ、７ｂ
および支持ポスト１２の幅を小さくすることができる。
また、同一のトルクを得る場合は、可動側磁極および固
定側磁極を両側に分割して可動側磁極の突出量を小さく
でき、両側の固定側磁極相互を半ピッチずらせることに
よりコギングトルクを減少させ、テーブルの移動を円滑
にする。
極を各テーブルの両側縁に設け、Ｙ方向テーブルを駆動
する固定側磁極をＸ方向テーブル上に設けた場合の実施
例を示し、図１ないし図４と同じ部分に同一の符号を付
してある。この実施例では、Ｘ方向テーブル２の両側縁
部にそれぞれ可動側磁極６ａ、６ｂを設け、それぞれに
固定側磁極８ａ、８ｂを対向させており、このＸ方向テ
ーブル２の上にＹ方向テーブル４の保持レール５および
固定側磁極１１ａ、１１ｂを支持ポスト１２とともに設
けている。したがって、固定側磁極８ａ、８ｂの励磁に
より、Ｘ方向テーブル２とともに固定側磁極１１ａ、１
１ｂが移動し、Ｙ方向テーブルの可動側磁極７ａ、７ｂ
および支持ポスト１２の幅を小さくすることができる。
また、同一のトルクを得る場合は、可動側磁極および固
定側磁極を両側に分割して可動側磁極の突出量を小さく
でき、両側の固定側磁極相互を半ピッチずらせることに
よりコギングトルクを減少させ、テーブルの移動を円滑
にする。
【００１３】図８は他の実施例を示す一部側面図であ
る。Ｘ−Ｙテーブルでは、先の実施例のようにＸ方向テ
ーブル２とＹ方向テーブル４はそれぞれ保持レール３、
５で移動方向にのみ摺動するように保持されているが、
Ｙ方向テーブル４には図示しない取付機器の荷重が加わ
り、Ｘ方向テーブル２にはＹ方向テーブル４の荷重が加
わる。したがって、図８のようにＸ方向テーブル２の上
面に荷重が加わる場合、荷重を加える側になるＸ方向テ
ーブル上面の可動側磁極６ｂと固定側磁極８ｂとの対向
空隙ｇ2 を、荷重を受ける側であるＸ方向テーブル下面
の空隙ｇ1 より小さくしてある。このため、たとえば固
定側磁極や支持ポストの取付部に挿入したライナー１３
などで空隙を調整する。したがって、上側の可動側磁極
６ｂに作用する磁気吸引力が、下側の磁気吸引力より大
きくなり、この磁気吸引力の差に応じてテーブルを持ち
あげ、負荷荷重によるテーブルの下降を少なくして保持
レールの接触抵抗を減じ、テーブルの動作を円滑にする
ことができる。Ｙ方向テーブル４の可動側磁極７ａ、７
ｂと固定側磁極１１ａ、１１ｂについても同様である。
る。Ｘ−Ｙテーブルでは、先の実施例のようにＸ方向テ
ーブル２とＹ方向テーブル４はそれぞれ保持レール３、
５で移動方向にのみ摺動するように保持されているが、
Ｙ方向テーブル４には図示しない取付機器の荷重が加わ
り、Ｘ方向テーブル２にはＹ方向テーブル４の荷重が加
わる。したがって、図８のようにＸ方向テーブル２の上
面に荷重が加わる場合、荷重を加える側になるＸ方向テ
ーブル上面の可動側磁極６ｂと固定側磁極８ｂとの対向
空隙ｇ2 を、荷重を受ける側であるＸ方向テーブル下面
の空隙ｇ1 より小さくしてある。このため、たとえば固
定側磁極や支持ポストの取付部に挿入したライナー１３
などで空隙を調整する。したがって、上側の可動側磁極
６ｂに作用する磁気吸引力が、下側の磁気吸引力より大
きくなり、この磁気吸引力の差に応じてテーブルを持ち
あげ、負荷荷重によるテーブルの下降を少なくして保持
レールの接触抵抗を減じ、テーブルの動作を円滑にする
ことができる。Ｙ方向テーブル４の可動側磁極７ａ、７
ｂと固定側磁極１１ａ、１１ｂについても同様である。
【００１４】
【発明の効果】このように本発明は、Ｘ−Ｙテーブルに
おける各テーブル側縁部の両面に、移動方向にＮ極とＳ
極を等間隔で交互に形成させた永久磁石からなる可動側
磁極を形成し、両面の可動側磁極に対向して、それぞれ
励磁によって前記可動側磁極に推力を加える固定側磁極
をそなえているので、駆動装置をテーブル自体の側縁部
で構成することができ、モータ推力発生部を両面に分割
配置させるので、平面スペースが小さくなり、駆動装置
とテーブルとの連結機構が不要になって全体が小形化さ
れるだけでなく、両面の磁気吸引力が相殺されてテーブ
ルに磁気吸引力による力が加わらず保持が容易になる。
また、前記各テーブル両面の固定側磁極相互を、可動側
磁極に対して半ピッチずらせることによって、コギング
トルクを減少させることができる。さらに、テーブル両
面の磁気空隙を、テーブルに加わる荷重に応じて調整
し、磁気吸引力の差によってテーブルを保持させ、荷重
によるテーブル保持部の接触抵抗を減じ、円滑な移動を
行わせることができるなどの効果がある。
おける各テーブル側縁部の両面に、移動方向にＮ極とＳ
極を等間隔で交互に形成させた永久磁石からなる可動側
磁極を形成し、両面の可動側磁極に対向して、それぞれ
励磁によって前記可動側磁極に推力を加える固定側磁極
をそなえているので、駆動装置をテーブル自体の側縁部
で構成することができ、モータ推力発生部を両面に分割
配置させるので、平面スペースが小さくなり、駆動装置
とテーブルとの連結機構が不要になって全体が小形化さ
れるだけでなく、両面の磁気吸引力が相殺されてテーブ
ルに磁気吸引力による力が加わらず保持が容易になる。
また、前記各テーブル両面の固定側磁極相互を、可動側
磁極に対して半ピッチずらせることによって、コギング
トルクを減少させることができる。さらに、テーブル両
面の磁気空隙を、テーブルに加わる荷重に応じて調整
し、磁気吸引力の差によってテーブルを保持させ、荷重
によるテーブル保持部の接触抵抗を減じ、円滑な移動を
行わせることができるなどの効果がある。
【図１】本発明の実施例を示す上面図である。
【図２】図１の下側からみた側面図で、一部を断面で示
している。
している。
【図３】図１の右側からみた側面図である。
【図４】図２の磁極部分の拡大図である。
【図５】別の実施例における一部の拡大図で、図４に相
当する側面図である。
当する側面図である。
【図６】他の実施例を示す上面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図８】さらに別の実施例における要部の構成を示す側
面図である。
面図である。
【図９】従来のリニヤモータの例を示す要部構成図であ
る。
る。
１ 基台 ２ Ｘ方向テーブル ３ 保持レール ４ Ｙ方向テーブル ５ 保持レール ６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂ 可動側磁極 ８ａ、８ｂ、１１ａ、１１ｂ 固定側磁極 ９ 励磁コイル １０、１２ 支持ポスト
Claims (3)
- 【請求項１】 基板上にＸ軸方向に移動するように支持
されたＸ方向テーブルと、Ｘ方向テーブル上でＹ軸方向
に移動するように支持されたＹ方向テーブルをそなえ、
前記各テーブル側縁部の両面に、それぞれ移動方向にＮ
極とＳ極を等間隔で交互に形成させた永久磁石からなる
可動側磁極を設け、前記各テーブル両面の可動側磁極に
対向して、移動方向に複数の磁性歯を有し励磁コイルを
巻装した固定側磁極をそなえたことを特徴とするＸ−Ｙ
テーブルの駆動装置。 - 【請求項２】 前記テーブル両面の固定側磁極相互が、
可動側磁極との対向位置関係を半ピッチずらせているこ
とを特徴とする請求項１記載のＸ−Ｙテーブルの駆動装
置。 - 【請求項３】 前記各テーブル両面の可動側磁極と、こ
れに対向する固定側磁極との対向空隙を、それぞれのテ
ーブルに加わる荷重に応じて、荷重を加える側の空隙を
小さく、荷重を受ける側の空隙を大きくしたことを特徴
とする請求項１または２記載のＸ−Ｙテーブルの駆動装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27534492A JPH0699327A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | Ｘ−ｙテーブルの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27534492A JPH0699327A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | Ｘ−ｙテーブルの駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0699327A true JPH0699327A (ja) | 1994-04-12 |
Family
ID=17554169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27534492A Pending JPH0699327A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | Ｘ−ｙテーブルの駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0699327A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19611446A1 (de) * | 1995-03-23 | 1996-10-02 | Toyoda Automatic Loom Works | Mehrachsige Antriebseinrichtung |
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- 1992-09-18 JP JP27534492A patent/JPH0699327A/ja active Pending
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