JP2010029026A - リニアモータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のリニアモータ8では、ベースヨーク41には、第1のマグネット群48及び第2のマグネット群49の延在方向に対して略直交する方向に突出する位置決め用突出部41a,41cが設けられ、突出部41a,41cの先端面41b,41dがサイドヨークの外面から突出しているので、ベースヨーク41と突出部41a,41cの先端面41b,41dとをヨーク収納部33の壁面に突き当てると、第1のサイドヨーク42及び第2のサイドヨーク43をヨーク収納部33に対して非接触な状態にすることができる。これにより、コイル50cの設計上の移動方向とコイル50cに作用するローレンツ力の向きとの誤差が大きくなることが抑制されるので、コイル50cのスムーズな移動が確保され、リニアモータ8の信頼性の向上が図られる。
【選択図】図2
Description
図1に示すように、ステージ装置1は、ベース2のX軸方向における両側に配置された枠部3と、ベース2上に並設されてY軸方向に延在する一対の石定盤5と、石定盤5に沿ってY軸方向へ移動する可動ステージ7と、可動ステージ7の駆動部として機能する一対のリニアモータ8と、を備えている。
第2の実施形態に係るリニアモータは、第1の実施形態と比較してヨークの構成が相違している。
Claims (4)
- 一列の第1のマグネット群と、前記第1のマグネット群に対向して配列された一列の第2のマグネット群と、前記第1のマグネット群と前記第2のマグネット群とを支持するヨークと、前記第1のマグネット群と前記第2のマグネット群との間に配置されたコイルと、を有するリニアモータにおいて、
前記ヨークは、
前記第1のマグネット群が固定された第1のサイドヨークと、
前記第2のマグネット群が固定された第2のサイドヨークと、
前記第1のサイドヨークと前記第2のサイドヨークとが固定されたベースヨークとを有し、
前記ベースヨークには、前記第1及び第2のマグネット群の延在方向に対して略直交する方向に突出する位置決め用突出部が設けられ、
前記突出部の先端面は、前記第1のサイドヨーク及び前記第2のサイドヨークのうち少なくとも一方の外面から突出していることを特徴とするリニアモータ。 - 前記突出部は、前記第1のサイドヨーク及び前記第2のサイドヨークのうち少なくとも一方を貫通して、前記サイドヨークの外面から前記突出部の前記先端面が突出していることを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
- 前記位置決め用突出部は、前記ベースヨークと一体に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のリニアモータ。
- 前記位置決め用突出部は、前記ベースヨークと別体に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のリニアモータ。
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