CN114830513A - 线性输送机 - Google Patents

Abstract

该线性输送机(101、501)具备：线性电动机定子(5e)，包括具有芯(251a)和线圈(251b)的定子部(251)；磁传感器(152)，检测滑动件(4)的位置；及磁屏蔽构件(5h、505h)，配置在磁传感器(152)与线性电动机定子(5e)之间，遮挡从线性电动机定子(5e)朝向磁传感器(152)的磁通。

Description

线性输送机

技术领域

本发明涉及线性输送机，尤其涉及具备检测滑动件的位置的磁传感器的线性输送机。

背景技术

以往，已知有具备检测滑动件的位置的磁传感器的线性输送机。这种线性输送机例如在国际公开第2018/055709号中被公开。

在上述国际公开第2018/055709号中，公开了具备检测滑动件的位置的磁传感器的线性输送机装置(线性输送机)。线性输送机装置包括滑动件、线性电动机定子和导轨。滑动件具有线性电动机动子。线性电动机定子包括芯和卷绕于芯的线圈。芯在与上下方向和导轨的延伸方向正交的左右方向上延伸。磁传感器检测与滑动件的移动相伴的磁通的变化。

上述国际公开第2018/055709号的滑动件以能够在导轨的延伸方向上移动的状态被导轨支承。滑动件通过线性电动机定子和线性电动机动子而沿着导轨的延伸方向移动。滑动件的上表面是基板等工件的载置部。

这样，在线性输送机装置中，基于由磁传感器检测出的滑动件的位置，通过使滑动件移动而使工件的载置部移动到规定位置，由此执行电子元件等向基板的安装作业。

在上述国际公开第2018/055709号的线性输送机装置中，基于由磁传感器检测出的磁通变化来检测滑动件的位置。在此，在该线性输送机装置中，为了抑制磁传感器误检测在线性电动机定子中发出的磁通的情况，以由磁传感器检测的磁通的方向与从线性电动机定子发出的磁通的方向不同的方式配置磁传感器和线性电动机定子。另外，为了抑制磁传感器对磁通的误检测，在线性输送机装置中，也考虑将磁传感器和线性电动机定子配置成使磁传感器与线性电动机定子之间的间隔尽可能大。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2018/055709号

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在上述国际公开第2018/055709号的线性输送机装置中，为了抑制磁传感器对磁通的误检测，需要以由磁传感器检测的磁通的方向与从线性电动机定子发出的磁通的方向不同的方式，将磁传感器和线性电动机定子配置在线性输送机装置内，因此磁传感器及线性电动机定子的配置位置的自由度受到限制。另外，虽然在上述国际公开第2018/055709号的线性输送机装置中没有公开，但在为了抑制磁传感器对磁通的误检测而增大磁传感器与线性电动机定子之间的间隔的现有的线性输送机装置的情况下，由于磁传感器与线性电动机定子之间的间隔，磁传感器及线性电动机定子的配置位置的自由度也受到限制。因此，在上述国际公开第2018/055709号的线性输送机装置中，期望抑制磁传感器对磁通的误检测，并且通过提高磁传感器及线性电动机定子的配置位置的自由度而使线性输送机装置(线性输送机)小型化。

本发明是为了解决如上所述的课题而完成的，本发明的一个目的在于提供一种线性输送机，能够抑制磁传感器对磁通的误检测，并且通过提高磁传感器及线性电动机定子的配置位置的自由度而使线性输送机小型化。

用于解决课题的技术方案

本发明的一个方面的线性输送机具备：线性电动机定子，包括具有芯和卷绕于芯的线圈的定子部；滑动件，包括具有永久磁铁的线性电动机动子；导轨，引导滑动件的移动；磁传感器，检测滑动件的位置；及磁屏蔽构件，配置在磁传感器与线性电动机定子之间，屏蔽从线性电动机定子朝向磁传感器的磁通。

在本发明的一个方面的线性输送机中，如上所述，设置磁屏蔽构件，该磁屏蔽构件配置在磁传感器与线性电动机定子之间，遮挡从线性电动机定子朝向磁传感器的磁通。由此，通过利用磁屏蔽构件遮挡从线性电动机定子放出的磁通，能够抑制由从线性电动机定子放出的磁通引起的磁传感器的误检测。因此，不需要将磁传感器和线性电动机定子配置成使在线性电动机定子中发出的磁通的方向与由磁传感器检测的磁通的方向不同，并且不需要增大磁传感器与线性电动机定子之间的间隔。由此，通过磁屏蔽构件能够提高磁传感器及线性电动机定子的配置位置的自由度。其结果是，能够抑制磁传感器的误检测，并且通过提高磁传感器及线性电动机定子的配置位置的自由度而使线性输送机小型化。

在上述一个方面的线性输送机中，优选地，磁屏蔽构件构成为，通过引入从线性电动机定子发出的磁通来遮挡从线性电动机定子朝向磁传感器的磁通。如果这样构成，则通过利用磁屏蔽构件引入从线性电动机定子朝向磁传感器的磁通，能够使磁通不易到达磁传感器，因此能够容易地确保由从线性电动机定子发出的磁通引起的磁传感器对滑动件的位置的检测精度。

在上述一个方面的线性输送机中，优选地，磁屏蔽构件形成为沿着导轨的延伸方向延伸的板状。如果这样构成，则能够在导轨的延伸方向上屏蔽从线性电动机定子发出的磁通，因此能够使从线性电动机定子发出的磁通不易到达磁传感器。另外，通过将磁屏蔽构件形成为沿着导轨的延伸方向延伸的板状，与将磁屏蔽构件形成为块状的情况相比，能够减小磁屏蔽构件的厚度，因此能够抑制线性输送机的大型化。

在该情况下，优选地，线性电动机定子、磁屏蔽构件和磁传感器沿着与导轨的延伸方向正交的导轨的宽度方向排列配置，芯沿着导轨的宽度方向延伸，板状的磁屏蔽构件具有在导轨的宽度方向上至少覆盖定子部的芯的大小。如果这样构成，则能够利用磁屏蔽构件至少覆盖放出磁通最多的部位(定子部的芯)，因此能够利用磁屏蔽构件有效地遮挡从线性电动机定子发出的磁通。

在上述具备至少覆盖芯的板状的磁屏蔽构件的线性输送机中，优选地，在与导轨的延伸方向和导轨的宽度方向正交的方向上，板状的磁屏蔽构件的长度大于芯的长度。如果这样构成，则能够利用磁屏蔽构件覆盖比芯更大的上述正交的方向的范围，因此能够更有效地屏蔽从线性电动机定子一边扩展一边朝向磁传感器的磁通。

在上述具备至少覆盖芯的板状的磁屏蔽构件的线性输送机中，优选地，定子部沿着导轨的延伸方向排列配置有多个，在导轨的延伸方向上，板状的磁屏蔽构件比多个定子部中的配置于端部的定子部的芯向外侧延伸。如果这样构成，则能够覆盖沿着导轨的延伸方向排列配置的多个定子部的芯，因此能够有效地遮挡从线性电动机定子向磁屏蔽构件发出的磁通。

在上述具备沿着导轨的延伸方向排列配置的多个定子部的线性输送机中，优选地，在导轨的延伸方向上，磁屏蔽构件的一侧端部比多个定子部中的配置于一侧端部的定子部的芯向一侧延伸，并且磁屏蔽构件的另一侧端部比多个定子部中的配置于另一侧端部的定子部的芯向另一侧延伸。如果这样构成，则能够利用磁屏蔽构件从导轨的延伸方向的一端部侧到另一端部侧覆盖沿着导轨的延伸方向排列配置的多个定子部的芯，因此能够更可靠地屏蔽从线性电动机定子朝向磁传感器的磁通。

在上述一个方面的线性输送机中，优选地，还具备安装磁屏蔽构件的紧固构件，磁屏蔽构件具有供紧固构件插入的插入孔，插入孔的线性电动机定子侧的缘部具有朝向线性电动机定子侧弯曲的插入孔弯曲部。如果这样构成，则能够将被磁屏蔽构件屏蔽并从插入孔的边缘放出的磁通沿着插入孔弯曲部放出到线性电动机定子侧，因此能够使从磁屏蔽构件放出的磁通不易到达磁传感器。

在该情况下，优选地，紧固构件由非磁性体构成。如果这样构成，则与紧固构件为磁性体的情况不同，由于紧固构件不磁化，因此能够抑制因从线性电动机定子发出的磁通使紧固构件磁化而导致从紧固构件发出的磁通到达磁传感器的情况。其结果是，能够使从线性电动机定子发出的磁通不易到达磁传感器。

在上述一个方面的线性输送机中，优选地，磁屏蔽构件构成为将从线性电动机定子朝向磁传感器侧发出的磁通引入，并且向线性电动机定子侧放出。如果这样构成，则能够将被磁屏蔽构件引入的磁通向与磁传感器侧相反的一侧(线性电动机定子侧)放出，因此能够使从磁屏蔽构件放出的磁通不易到达磁传感器。

在该情况下，优选地，在与导轨的延伸方向和同导轨的延伸方向正交的导轨的宽度方向正交的方向上，磁屏蔽构件包括一个端部以朝向线性电动机定子侧的方式弯曲而成的第一弯曲部和另一个端部以朝向线性电动机定子侧的方式弯曲而成的第二弯曲部中的至少任一方。如果这样构成，则通过第一弯曲部和第二弯曲部中的至少任一方，能够向与磁传感器侧相反的一侧(线性电动机定子侧)放出被磁屏蔽构件引入的磁通。另外，通过设置第一弯曲部和第二弯曲部中的至少任一方，与将一个端部和另一个端部沿着上述正交的方向形成为直线状的情况(不弯曲)的磁屏蔽构件相比，能够抑制磁屏蔽构件向上述正交的方向的大型化。其结果是，能够使从磁屏蔽构件放出的磁通不易到达磁传感器，并且能够抑制线性输送机向上述正交的方向的大型化。

在上述具备将所引入的磁通向线性电动机定子侧放出的磁屏蔽构件的线性输送机中，优选地，磁屏蔽构件包括导轨的延伸方向上的一侧端部以朝向线性电动机定子侧的方式弯曲而成的一侧弯曲部和导轨的延伸方向上的另一侧端部以朝向线性电动机定子侧的方式弯曲而成的另一侧弯曲部中的至少任一方。如果这样构成，则通过一侧弯曲部和另一侧弯曲部中的至少任一方，能够向与磁传感器侧相反的一侧(线性电动机定子侧)放出被磁屏蔽构件引入的磁通。另外，通过设置一侧弯曲部和另一侧弯曲部中的至少任一方，与将一侧端部和另一侧端部沿着导轨的延伸方向形成为直线状的情况(不弯曲)的磁屏蔽构件相比，能够抑制磁屏蔽构件向导轨的延伸方向的大型化。其结果是，能够使从磁屏蔽构件放出的磁通不易到达磁传感器，并且能够抑制线性输送机向导轨的延伸方向的大型化。

在上述一个方面的线性输送机中，优选地，滑动件还包括磁性标尺，该磁性标尺配置成与磁传感器相对，并放出由磁传感器检测的磁通，定子部的芯沿着磁传感器与磁性标尺相对的方向延伸配置，磁屏蔽构件在磁传感器与磁性标尺相对的方向上配置在芯与磁传感器和磁性标尺之间。如果这样构成，则通过利用磁屏蔽构件屏蔽从线性电动机定子朝向磁性标尺的磁通，能够使磁通不易到达磁性标尺，因此能够保护磁性标尺不受从线性电动机定子发出的磁通的影响。

在上述一个方面的线性输送机中，优选地，还具备支承线性电动机定子和导轨的支承构件，支承构件具有设置在磁传感器与线性电动机定子之间并向上方向突出的安装壁，磁传感器安装于安装壁的与线性电动机定子侧相反的一侧的侧面，并且磁屏蔽构件安装于与磁传感器共用的安装壁的线性电动机定子侧的侧面。如果这样构成，则通过将磁传感器和磁屏蔽构件安装于共用的安装壁，能够抑制支承构件的构造的复杂化和大型化，因此能够抑制线性输送机的构造的复杂化和大型化。

在上述一个方面的线性输送机中，优选地，定子部沿着导轨的延伸方向排列配置有多个，线性输送机还具备多个单元构件，该多个单元构件通过将多个定子部按每个规定的区间进行划分而设置，并被单独地进行通电控制，多个单元构件中的每一个包括磁传感器，磁屏蔽构件在多个单元构件的全部中配置在磁传感器与定子部之间。如果这样构成，则即使在横跨两个以上的单元构件进行通电控制而从定子部发出磁通的情况下，也能够通过磁屏蔽构件可靠地屏蔽磁通，因此能够确保磁传感器对滑动件的位置的检测精度。

在上述一个方面的线性输送机中，优选地，磁屏蔽构件由磁性体构成。如果这样构成，通过利用从线性电动机定子朝向磁传感器的磁通使磁屏蔽构件磁化，能够利用磁屏蔽构件引入从线性电动机定子朝向磁传感器的磁通。其结果是，能够使磁通不易到达磁传感器，因此能够确保磁传感器对滑动件的位置的检测精度。

在该情况下，优选地，作为磁性体的磁屏蔽构件由铁或钢等磁性体的铁系材料形成。如果这样构成，则能够利用从线性电动机定子朝向磁传感器的磁通容易地使磁屏蔽构件磁化，因此能够利用磁屏蔽构件可靠地引入从线性电动机定子朝向磁传感器的磁通。

发明效果

根据本发明，如上所述，能够抑制磁传感器对磁通的误检测，并且通过提高磁传感器及线性电动机定子的配置位置的自由度而使线性输送机小型化。

附图说明

图1是表示将第一实施方式的线性输送机设置于支架的状态的立体图。

图2是表示第一实施方式的线性输送机的线性输送机模块和滑动件的立体图。

图3是沿着图2的100-100线的剖视图。

图4是从Y2方向侧观察在第一实施方式的线性输送机的线性输送机模块中拆下了罩构件的状态的立体图。

图5是从Y1方向侧观察在第一实施方式的线性输送机的线性输送机模块中拆下了罩构件的状态的立体图。

图6是从Z1方向侧观察在第一实施方式的线性输送机的线性输送机模块中拆下了罩构件的状态的俯视图。

图7是表示第一实施方式的线性输送机的线性输送机模块中的磁屏蔽构件附近的局部剖视图。

图8是表示第一实施方式的线性输送机的磁屏蔽构件的立体图。

图9是从Z1方向侧观察在第一实施方式的线性输送机的线性输送机模块中拆下了罩构件的状态下的X1方向侧的端部和X2方向侧的端部的俯视图。

图10是表示第二实施方式的线性输送机的线性输送机模块中的X1方向侧附近的局部立体图。

图11是从Z1方向侧观察在第二实施方式的线性输送机的线性输送机模块中拆下了罩构件的状态下的X1方向侧的端部和X2方向侧的端部的俯视图。

具体实施方式

以下，基于附图对将本发明具体化的实施方式进行说明。

[第一实施方式]

参照图1～图9，对设置在支架102上的第一实施方式的线性输送机101进行说明。

(线性输送机的结构)

如图1和图2所示，线性输送机101铺设于支架102的上表面102a。另外，虽然未图示，但在支架102设置有执行基板等工件的移载、电子元件等向基板的安装作业等的各种机器人。各种机器人沿着后述的滑动件4的环绕路径103配置。

线性输送机101构成为使滑动件4朝向各种机器人的作业位置移动。具体而言，线性输送机101具备多个(两个)方向转换用模块1、多个(六个)凹部2、多个(六个)连结构件3、滑动件4和多个(八个)线性输送机模块5。多个方向转换用模块1和多个线性输送机模块5形成了滑动件4的环绕路径103。

在此，将线性输送机模块5的延伸方向设为X方向，将X方向中的一方设为X1方向，将X方向中的另一方设为X2方向。将方向转换用模块1的延伸方向设为Y方向，将Y方向中的一方设为Y1方向，将Y方向中的另一方设为Y2方向。将与X方向和Y方向正交的方向设为Z方向(上下方向)，将Z方向中的一方设为Z1方向(上方向)，将Z方向中的另一方设为Z2方向(下方向)。另外，X方向是发明请求保护的范围的“导轨的延伸方向”的一例。另外，Y方向是发明请求保护的范围的“导轨的宽度方向”的一例。另外，Z方向是发明请求保护的范围的“与导轨的延伸方向和导轨的宽度方向正交的方向”及“与导轨的延伸方向和同导轨的延伸方向正交的导轨的宽度方向正交的方向”的一例。

多个(两个)方向转换用模块1分别配置于X1方向侧和X2方向侧。多个方向转换用模块1各自的构造相同，因此仅对X1方向侧的方向转换用模块1进行说明。

方向转换用模块1是使滑动件4向Y方向移动的输送装置。

方向转换用模块1包括导轨11、模块主体12和驱动机构(未图示)。导轨11铺设于支架102的上表面102a。导轨11在Y方向上延伸。模块主体12以能够在Y方向上移动的方式被导轨11支承。驱动机构构成为使模块主体12沿着导轨11在Y方向上移动。

在凹部2收容有固定于支架102的状态的连结构件3。即，从Y1方向侧观察，在凹部2的内表面与支架102的上表面102a之间配置有固定于支架102的状态的连结构件3。

连结构件3构成为固定于支架102，将多个线性输送机模块5彼此连结，并且在固定于支架102的状态下对线性输送机模块5进行定位。在此，连结构件3在X方向上横跨相邻的线性输送机模块5而设置。

如图1所示，滑动件4在环绕路径103上配置有多个(四个)。由于多个滑动件4均具有相同的结构，因此仅对多个滑动件4中的一个进行说明。

滑动件4构成为在环绕路径103上直线地滑动移动。具体而言，如图2和图3所示，滑动件4包括滑动件框架4a、线性电动机动子4b、一对引导块4c和磁性标尺4d。

滑动件框架4a由铝等金属材料形成。滑动件框架4a的Z1方向侧的上表面为载置工件的载置面4e。在滑动件框架4a形成有供后述的线性输送机模块5的罩构件5a插入的插入空间4f。

线性电动机动子4b具有后轭4g和永久磁铁4h。后轭4g是保持永久磁铁4h并且形成磁路的构件，由铁或钢等磁性体的铁系材料形成。后轭4g具有朝向Z2方向开口的门型构造。永久磁铁4h配置成在Y方向上N极与S极相对。永久磁铁4h沿着X方向交替地排列配置有多个N极和S极。永久磁铁4h以这样的排列被后轭4g保持。后轭4g配置成在X方向上覆盖全部永久磁铁4h。

引导块4c与后述的线性输送机模块5的导轨5e卡合，并且构成为能够沿着导轨5e的延伸方向(X方向)移动。引导块4c具有与导轨5e相接而滚动的轴承。引导块4c在Y方向上配置有一对。引导块4c的Z1方向侧的端部安装于滑动件框架4a。

磁性标尺4d配置成在Y方向上与后述的磁传感器152相对，并构成为放出由磁传感器152检测的磁通。具体而言，磁性标尺4d具有标尺基板41和保持件42。标尺基板41被保持件42保持。标尺基板41在与磁传感器单元5d相对的相对面包括以N极和S极交替出现的方式在X方向上排列的永久磁铁(未图示)。虽未图示，但标尺基板41的永久磁铁配置成在Y方向上与磁传感器单元5d的磁传感器152(参照图4)相对。

多个线性输送机模块5在X方向上直线状地连结。多个线性输送机模块5在Y1方向侧配置有四个。多个线性输送机模块5在Y2方向侧配置有四个。由于多个线性输送机模块5各自的构造相同，所以对配置于Y1方向侧且X方向的中央部分的X1方向侧的(图1的K部分的)线性输送机模块5进行说明。另外，线性输送机模块5也可以在支架102配置有2～7个及9个以上。

线性输送机模块5是使滑动件4向X方向移动的输送装置。即，线性输送机模块5构成为使滑动件4在机器人的作业位置停止，并且在作业后使滑动件4朝向下一个机器人的作业位置移动。另外，线性输送机模块5是具有约0.2～约1.0[m]的长度的直线模块。

具体而言，如图2和图3所示，线性输送机模块5包括罩构件5a、支承构件5b、紧固构件5c、磁传感器单元5d、导轨5e、线性电动机定子5f、单元构件5g(参照图6)和磁屏蔽构件5h。

罩构件5a由铝等金属形成。罩构件5a构成为覆盖支承构件5b的上表面51a(Z1方向侧的面)。即，罩构件5a从Z1方向侧覆盖安装于支承构件5b的线性电动机定子5f、导轨5e及磁传感器单元5d。罩构件5a通过紧固构件(未图示)而固定于支承构件5b的Z1方向侧的端部。罩构件5a具有能够插入于滑动件框架4a的插入空间4f的形状。即，罩构件5a在沿着Y方向的截面中具有大致T字形状。

支承构件5b支承导轨5e和线性电动机定子5f。支承构件5b由铝等金属形成。这样，支承构件5b是金属制的框架。支承构件5b在沿着Y方向的截面中具有大致U字形状。支承构件5b具有上壁部51、一对侧壁部52、凸缘部53和安装壁54。

如图3及图4所示，上壁部51具有在X方向上较长地延伸的长方形形状。在上壁部51的上表面51a设置有线性电动机定子5f、导轨5e及磁传感器单元5d。侧壁部52具有在X方向上较长地延伸的长方形形状。侧壁部52以在Y方向上相对的方式设置有一对。凸缘部53从侧壁部52的Z2方向侧的端部在Y方向上向外侧突出。凸缘部53具有在X方向上较长地延伸的长方形形状。

安装壁54一体地设置于上壁部51。即，安装壁54设置在磁传感器152与线性电动机定子5f之间，并向上方向突出。安装壁54具有上表面54a、电动机侧侧面54b、传感器侧侧面54c和贯通孔54d。另外，电动机侧侧面54b是发明请求保护的范围的“安装壁的线性电动机定子侧的侧面”的一例。另外，传感器侧侧面54c是发明请求保护的范围的“安装壁的与线性电动机定子侧相反的一侧的侧面”的一例。

上表面54a是安装壁54的Z1方向侧的面。在上表面54a安装有罩构件5a。电动机侧侧面54b是Y1方向侧的面。在电动机侧侧面54b安装有磁屏蔽构件5h。传感器侧侧面54c是Y2方向侧的面。在传感器侧侧面54c安装有磁传感器单元5d。这样，磁传感器152安装于传感器侧侧面54c，并且磁屏蔽构件5h安装于与磁传感器152共用的安装壁54的电动机侧侧面54b。贯通孔54d沿着Y方向贯通安装壁54。贯通孔54d是供紧固构件5c插入的沉孔。贯通孔54d沿着X方向在安装壁54形成有多个(四个)。多个贯通孔54d在Z方向上形成于安装壁54的中央部分。另外，贯通孔54d的数量也可以是1～3个及5个以上。

紧固构件5c将磁屏蔽构件5h安装于支承构件5b。详细而言，紧固构件5c在插入到贯通孔54d中的状态下与磁屏蔽构件5h螺合，从而将磁屏蔽构件5h固定于安装壁54。紧固构件5c由非磁性体构成。详细而言，紧固构件5c由奥氏体系不锈钢形成。紧固构件5c与多个(四个)贯通孔54d对应地配置有多个(四个)。即，紧固构件5c与贯通孔54d对应地，在Z方向上配置于安装壁54的中央部分。另外，紧固构件5c的数量只要与贯通孔54d的数量相同即可，也可以是1～3个及5个以上。

磁传感器单元5d在X方向上以规定间距排列有多个(三个)。另外，磁传感器单元5d也可以不在X方向上以规定间距排列有多个，例如，通过设定磁传感器单元彼此的传感器间间距并存储于未图示的控制部的存储部，能够使磁传感器单元彼此的传感器间间距不同地排列多个磁传感器单元。另外，磁传感器单元5d的数量也可以是一个及两个、或者四个以上。

磁传感器单元5d具有传感器基板151、磁传感器152和壳体153。

磁传感器152构成为检测滑动件4的位置。具体而言，磁传感器152构成为检测滑动件4的X方向的位置。磁传感器152在传感器基板151沿着Z方向安装有多个(三个)。即，磁传感器152沿着安装壁54的突出方向配置有多个(三个)。另外，磁传感器152的数量也可以是一个及两个、或者四个以上。磁传感器152例如是霍尔元件和MR(Magnet Resistive：磁阻)元件等。磁传感器152通过检测滑动件4的磁性标尺4d的磁通，产生与磁通密度相应的输出电压的信号。壳体153保持传感器基板151。壳体153通过紧固构件(未图示)而固定于支承构件5b的安装壁54。

导轨5e具有引导滑动件4的功能。导轨5e在Y方向上相对地设置有一对。导轨5e在X方向上延伸。

如图3和图5所示，线性电动机定子5f由多个电磁铁构成。即，线性电动机定子5f具有定子部251和保持件252。定子部251具有芯251a和卷绕于芯251a的线圈251b。线性电动机定子5f通过在X方向上一列地配置作为单元电磁铁的定子部251而形成。芯251a是沿着磁传感器152与磁性标尺4d相对的方向(Y方向)延伸配置的铁芯。保持件252保持芯251a和线圈251b。保持件252安装于支承构件5b的上壁部51。在保持件252收容有在X方向上排列的多个定子部251。

如上所述的线性输送机101具有线性电动机、线性引导件及线性标尺。线性电动机由线性电动机动子4b和线性电动机定子5f构成。线性引导件由导轨5e和引导块4c构成。线性标尺由磁传感器单元5d和磁性标尺4d构成。

在线性电动机中，利用通过相位相互不同的U相、V相和W相中的任一相的电流被供给到线性电动机定子5f而在线圈251b产生的磁通与线性电动机动子4b所具备的永久磁铁4h的磁通之间的相互作用，生成了磁性的推进力。即，滑动件4通过上述推进力而能够向X1方向或X2方向移动。

如图6所示，单元构件5g构成了线性输送机101的控制系统中的一个控制区间。即，单元构件5g通过将多个(18个)定子部251按每一个控制区间进行划分而设置，并构成为被单独地进行通电控制。详细而言，单元构件5g构成为对向分配给每一个控制区间的多个(六个)定子部251供给的电流进行控制。另外，一个控制区间是发明请求保护的范围的“规定的区间”的一例。另外，多个定子部251的数量也可以是2～17个及19个以上。另外，分配给每一个控制区间的定子部251的数量也可以是2～5个及7个以上。

这样的单元构件5g在线性输送机模块5中沿X方向排列配置有多个(三个)。在此，将多个单元构件5g中的配置于最靠X1方向侧的单元构件5g设为第一单元构件351，将在第一单元构件351的X2方向侧相邻的单元构件5g设为第二单元构件352，将在第二单元构件352的X2方向侧相邻的单元构件5g设为第三单元构件353。另外，单元构件5g的数量也可以是两个或四个以上。

具体而言，第一单元构件351具有上述磁传感器152、多个(六个)上述定子部251和电动机控制器(以下称为第一电动机控制器351a)。另外，第二单元构件352也同样具有上述磁传感器152、多个(六个)上述定子部251和电动机控制器(以下称为第二电动机控制器352a)。第三单元构件353也同样具有上述磁传感器152、多个(六个)上述定子部251和电动机控制器(以下称为第三电动机控制器353a)。

线性输送机101构成为，基于滑动件4的位置，通过第一电动机控制器351a、第二电动机控制器352a和第三电动机控制器353a来控制滑动件4的移动和停止。详细而言，线性输送机101构成为，在滑动件4的移动过程中，基于多个单元构件5g各自的磁传感器152检测到磁性标尺4d的情况，取得多个单元构件5g的同步，并且控制单元构件5g的多个定子部251全部的电流。

由此，例如，如图6所示，在滑动件4位于横跨第二单元构件352和第三单元构件353的位置的情况下，第二单元构件352的多个定子部251全部的电流被控制，并且第三单元构件353的多个定子部251全部的电流被控制。此时，如带阴影的箭头所示，从定子部251放出磁通。从定子部251放出的磁通中的线性电动机动子4b所处的部分的磁通作用于线性电动机动子4b的永久磁铁4h。即，线性电动机动子4b所处的部分的磁通因永久磁铁4h的极性而被与定子部251侧相反的极性的永久磁铁4h引入，但未被永久磁铁4h引入的磁通也最终被后轭4g引入。另一方面，从定子部251放出的磁通中的线性电动机动子4b外的磁通不作用于线性电动机动子4b而被直接放出。

(磁屏蔽构件)

本实施方式的磁屏蔽构件5h是抑制不作用于线性电动机动子4b而被直接放出的上述磁通对磁传感器152的磁影响的构件。即，磁屏蔽构件5h配置在磁传感器152与线性电动机定子5f之间，并构成为遮挡从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通。在此，磁屏蔽构件5h在磁传感器152与磁性标尺4d相对的方向(Y方向)上也配置在芯251a与磁传感器152和磁性标尺4d之间。由此，磁屏蔽构件5h也是抑制不作用于线性电动机动子4b而被直接放出的上述磁通对磁性标尺4d的磁影响的构件。这样，线性电动机定子5f、磁屏蔽构件5h和磁传感器152在Y方向上排列配置。

具体而言，如图7和图8所示，磁屏蔽构件5h构成为，通过引入从线性电动机定子5f发出的磁通来遮挡从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通。即，磁屏蔽构件5h构成为，通过从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通而被磁化。磁屏蔽构件5h由磁性体构成。详细而言，作为磁性体的磁屏蔽构件5h由铁或钢形成。

磁屏蔽构件5h形成为沿着X方向延伸的板状。详细而言，磁屏蔽构件5h形成为在沿着Y方向的方向上具有厚度的薄板状。磁屏蔽构件5h的沿着Y方向的截面形状(沿着与X方向正交的面的截面的形状)是向线性电动机定子5f侧弯曲的大致C字形状。

板状的磁屏蔽构件5h具有在Y方向上至少覆盖定子部251的芯251a的大小。即，从Y1方向侧观察，板状的磁屏蔽构件5h与定子部251的芯251a重叠(参照图5)。详细而言，在Z方向上，板状的磁屏蔽构件5h的长度L1大于芯251a的长度L2。在Z方向上，在板状的磁屏蔽构件5h的上端部(Z1方向侧的端部)与下端部(Z2方向侧的端部)之间配置有定子部251。即，在Z方向上，在板状的磁屏蔽构件5h的上端部与下端部之间至少配置有芯251a。另外，在Z方向上，在板状的磁屏蔽构件5h的上端部与下端部之间配置有在Z方向上排列配置的多个磁传感器152的主要部分。另外，在Z方向上，在板状的磁屏蔽构件5h的上端部与下端部之间配置有磁性标尺4d的标尺基板41的主要部分。

另外，如图8和图9所示，在X方向上，板状的磁屏蔽构件5h比多个定子部251中的配置于端部S的定子部251的芯251a向外侧延伸。详细而言，在X方向上，磁屏蔽构件5h的X1方向侧的端部S1(一侧端部S1)比多个定子部251中的配置于一侧端部S1的定子部251的芯251a向X1方向侧延伸。并且，磁屏蔽构件5h的X2方向侧的端部S2(另一侧端部S2)比多个定子部251中的配置于另一侧端部S2的定子部251的芯251a向X2方向侧延伸。即，磁屏蔽构件5h的一侧端部S1位于线性输送机模块5的X1方向侧的端部E1附近。并且，磁屏蔽构件5h的另一侧端部S2位于线性输送机模块5的X2方向侧的端部E2附近。

这样，在X方向上，板状的磁屏蔽构件5h在从线性输送机模块5的X1方向侧的端部E1到X2方向侧的端部E2的大致整体范围内延伸。即，磁屏蔽构件5h在多个单元构件5g的全部中配置在磁传感器152与定子部251之间。详细而言，磁屏蔽构件5h是从线性输送机模块5的X1方向侧的端部E1附近到线性输送机模块5的X2方向侧的端部E2附近不中断地延伸的一张板。

如图7和图8所示，磁屏蔽构件5h具有供紧固构件5c插入的插入孔451。在插入孔451的线性电动机定子5f侧的部分形成有与紧固构件5c的外螺纹部螺合的内螺纹部。插入孔451通过对板状的磁屏蔽构件5h实施翻边加工而形成。因此，插入孔451在Y方向上具有向线性电动机定子5f侧突出的形状。具体而言，插入孔451的线性电动机定子5f侧的缘部具有朝向线性电动机定子5f侧弯曲的插入孔弯曲部451a。插入孔弯曲部451a在从Y1方向侧观察时形成为圆状。插入孔弯曲部451a在Y方向上随着朝向线性电动机定子5f侧而向插入孔451的中心侧弯曲。

磁屏蔽构件5h构成为使从线性电动机定子5f朝向磁传感器152侧发出的磁通的朝向变化。即，磁屏蔽构件5h构成为将从线性电动机定子5f朝向磁传感器152侧发出的磁通引入，并且向线性电动机定子5f侧放出。

具体而言，磁屏蔽构件5h具有上侧弯曲部452和下侧弯曲部453。另外，上侧弯曲部452是发明请求保护的范围的“第一弯曲部”的一例。另外，下侧弯曲部453是发明请求保护的范围的“第二弯曲部”的一例。

上侧弯曲部452是磁屏蔽构件5h的上端部以朝向线性电动机定子5f侧的方式弯曲而成的。上侧弯曲部452在Y方向上随着朝向线性电动机定子5f侧而向Z1方向侧倾斜。在此，为了形成上侧弯曲部452而对磁屏蔽构件5h实施了弯曲加工。下侧弯曲部453是磁屏蔽构件5h的下端部以朝向线性电动机定子5f侧的方式弯曲而成的。下侧弯曲部453沿着Y方向延伸。在此，为了形成下侧弯曲部453而对磁屏蔽构件5h实施了弯曲加工。

这样，虽然为了形成上侧弯曲部452和下侧弯曲部453而对磁屏蔽构件5h实施了弯曲加工，但磁屏蔽构件5h的磁传感器152侧的面在上侧弯曲部452和下侧弯曲部453处不具有角部而具有R形状(带圆角的平滑的形状)。

(第一实施方式的效果)

在第一实施方式中，能够得到如下的效果。

在第一实施方式中，如上所述，设置磁屏蔽构件5h，该磁屏蔽构件5h配置在磁传感器152与线性电动机定子5f之间，遮挡从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通。由此，通过利用磁屏蔽构件5h遮挡从线性电动机定子5f放出的磁通，能够抑制由从线性电动机定子5f放出的磁通引起的磁传感器152的误检测。因此，不需要将磁传感器152和线性电动机定子5f配置成使在线性电动机定子5f中发出的磁通的方向与由磁传感器152检测的磁通的方向不同，并且不需要增大磁传感器152与线性电动机定子5f之间的间隔。由此，通过磁屏蔽构件5h能够提高磁传感器152及线性电动机定子5f的配置位置的自由度。其结果是，能够抑制磁传感器152对磁通的误检测，并且通过提高磁传感器152及线性电动机定子5f的配置位置的自由度而使线性输送机101小型化。

另外，在第一实施方式中，如上所述，将磁屏蔽构件5h构成为，通过引入从线性电动机定子5f发出的磁通来遮挡从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通。由此，通过利用磁屏蔽构件5h引入从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通，能够使磁通不易到达磁传感器152，因此能够确保磁传感器152对滑动件4的位置的检测精度。

另外，在第一实施方式中，如上所述，将磁屏蔽构件5h形成为沿着X方向延伸的板状。由此，由于能够在X方向上屏蔽从线性电动机定子5f发出的磁通，因此能够使从线性电动机定子5f发出的磁通不易到达磁传感器152。另外，通过将磁屏蔽构件5h形成为沿着X方向延伸的板状，与将磁屏蔽构件5h形成为块状的情况相比，能够减小Y方向上的磁屏蔽构件5h的厚度，因此能够抑制线性输送机101的Y方向的大型化。

另外，在第一实施方式中，如上所述，将线性电动机定子5f、磁屏蔽构件5h和磁传感器152沿着Y方向排列配置。将芯251a沿着Y方向延伸。将板状的磁屏蔽构件5h设置成在Y方向上至少覆盖定子部251的芯251a的大小。由此，由于能够利用磁屏蔽构件5h至少覆盖放出磁通最多的部位(定子部251的芯251a)，因此能够利用磁屏蔽构件5h有效地遮挡从线性电动机定子5f发出的磁通。

另外，在第一实施方式中，如上所述，在Z方向上，使板状的磁屏蔽构件5h的长度大于芯251a的长度。由此，能够利用磁屏蔽构件5h覆盖比芯251a更大的Z方向的范围，因此能够更可靠地屏蔽从线性电动机定子5f一边扩展一边朝向磁传感器152的磁通。

另外，在第一实施方式中，如上所述，使板状的磁屏蔽构件5h比多个定子部251中的配置于端部的定子部251的芯251a向外侧延伸。由此，能够覆盖沿着X方向排列配置的多个定子部251的芯251a，因此能够有效地遮挡从线性电动机定子5f向磁屏蔽构件5h发出的磁通。

另外，在第一实施方式中，如上所述，在X方向上，使磁屏蔽构件5h的一侧端部S1比多个定子部251中的配置于一侧端部S1的定子部251的芯251a向一侧延伸。在X方向上，使磁屏蔽构件5h的另一侧端部S2比多个定子部251中的配置于另一侧端部S2的定子部251的芯251a向另一侧延伸。由此，能够利用磁屏蔽构件5h从X方向的一侧端部S1到另一侧端部S2覆盖沿着X方向排列配置的多个定子部251的芯251a，因此能够更可靠地屏蔽从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通。

另外，在第一实施方式中，如上所述，在磁屏蔽构件5h设置供紧固构件5c插入的插入孔451。在插入孔451的线性电动机定子5f侧的缘部设置朝向线性电动机定子5f侧弯曲的插入孔弯曲部451a。由此，能够将被磁屏蔽构件5h屏蔽并从插入孔451的边缘放出的磁通沿着插入孔弯曲部451a放出到线性电动机定子5f侧，因此能够使从磁屏蔽构件5h放出的磁通不易到达磁传感器152。

另外，在第一实施方式中，如上所述，由非磁性体构成紧固构件5c。由此，与紧固构件5c为磁性体的情况不同，由于紧固构件5c不磁化，因此能够抑制因从线性电动机定子5f发出的磁通使紧固构件5c磁化而导致从紧固构件5c发出的磁通到达磁传感器152的情况。其结果是，能够使从线性电动机定子5f发出的磁通不易到达磁传感器152。

另外，在第一实施方式中，如上所述，将磁屏蔽构件5h构成为，将从线性电动机定子5f朝向磁传感器152侧发出的磁通引入，并且向线性电动机定子5f侧放出。由此，能够将被磁屏蔽构件5h引入的磁通向与磁传感器152侧相反的一侧(线性电动机定子5f侧)放出，因此能够使从磁屏蔽构件5h放出的磁通不易到达磁传感器152。

另外，在第一实施方式中，如上所述，在Z方向上，在磁屏蔽构件5h设置上端部以朝向线性电动机定子5f侧的方式弯曲而成的上侧弯曲部452及下端部以朝向线性电动机定子5f侧的方式弯曲而成的下侧弯曲部453。由此，通过上侧弯曲部452和下侧弯曲部453，能够向远离磁传感器152的部位放出被磁屏蔽构件5h引入的磁通。另外，通过设置上侧弯曲部452和下侧弯曲部453，与将上端部和下端部沿着上下方向形成为直线状的情况(不弯曲的情况)的磁屏蔽构件5h相比，能够抑制磁屏蔽构件5h向上下方向的大型化。其结果是，能够使从磁屏蔽构件5h放出的磁通不易到达磁传感器152，并且能够抑制线性输送机101向Z方向的大型化。

另外，在第一实施方式中，如上所述，在滑动件4设置磁性标尺4d，该磁性标尺4d配置成与磁传感器152相对，并放出由磁传感器152检测的磁通。将磁屏蔽构件5h在Y方向上配置在芯251a与磁传感器152和磁性标尺4d之间。由此，通过利用磁屏蔽构件5h屏蔽从线性电动机定子5f朝向磁性标尺4d的磁通，能够使磁通不易到达磁性标尺4d，因此能够保护磁性标尺4d不受从线性电动机定子5f发出的磁通的影响。

另外，在第一实施方式中，如上所述，在支承构件5b设置安装壁54，该安装壁54设置在磁传感器152与线性电动机定子5f之间，并向Z1方向突出。将磁传感器152安装于安装壁54的与线性电动机定子5f侧相反的一侧的传感器侧侧面54c。将磁屏蔽构件5h安装于与磁传感器152共用的安装壁54的线性电动机定子5f侧的电动机侧侧面54b。由此，通过将磁传感器152和磁屏蔽构件5h安装于共用的安装壁54，能够抑制支承构件5b的构造的复杂化和大型化，因此能够抑制线性输送机101的构造的复杂化和大型化。

另外，在第一实施方式中，如上所述，在线性输送机101设置多个单元构件5g，该多个单元构件5g通过将多个定子部251按每一个控制区间进行划分而设置，并被单独地进行通电控制。将磁屏蔽构件5h在多个单元构件5g的全部中配置在磁传感器152与定子部251之间。由此，即使在横跨两个以上的单元构件5g进行通电控制而从定子部251发出磁通的情况下，也能够通过磁屏蔽构件5h可靠地屏蔽磁通，因此能够确保磁传感器152的位置的检测精度。

另外，在第一实施方式中，如上所述，由磁性体构成磁屏蔽构件5h。由此，通过利用从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通使磁屏蔽构件5h磁化，能够利用磁屏蔽构件5h引入从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通。其结果是，能够使磁通不易到达磁传感器152，因此能够确保磁传感器152对滑动件4的位置的检测精度。

另外，在第一实施方式中，如上所述，由铁或钢形成作为磁性体的磁屏蔽构件5h。由此，能够利用从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通容易地使磁屏蔽构件5h磁化，因此能够利用磁屏蔽构件5h可靠地引入从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通。

[第二实施方式]

接着，参照图10和图11对第二实施方式的线性输送机501进行说明。详细而言，第二实施方式的线性输送机501与在磁屏蔽构件5h的X方向的两端部未设置弯曲部的上述第一实施方式的线性输送机101不同，在磁屏蔽构件505h的X方向的两端部设置有弯曲部。另外，在第二实施方式中，对于与上述第一实施方式同样的结构，标注相同的标号并省略说明。

如图10和图11所示，第二实施方式的线性输送机501的线性输送机模块505包括罩构件5a(参照图3)、支承构件5b、紧固构件5c(未图示)、磁传感器单元5d、导轨5e、线性电动机定子5f、单元构件5g(参照图6)和磁屏蔽构件505h。

(磁屏蔽构件)

第二实施方式的磁屏蔽构件505h构成为将从线性电动机定子5f朝向磁传感器152侧发出的磁通引入，并且向线性电动机定子5f侧放出。

具体而言，磁屏蔽构件505h具有一侧弯曲部654和另一侧弯曲部655。一侧弯曲部654设置于板状的磁屏蔽构件505h的X1方向侧的端部。一侧弯曲部654是X方向的X1方向侧的端部(一侧端部S1)以朝向线性电动机定子5f侧的方式弯曲而成的。另一侧弯曲部655是X方向的X2方向侧的端部(另一侧端部S2)以朝向线性电动机定子5f侧的方式弯曲而成的。由此，磁屏蔽构件505h构成为，能够将从X方向的X1方向侧的端部放出的磁通、及从X方向的X2方向侧的端部放出的磁通这两者放出到线性电动机定子5f侧。另外，第二实施方式的其他结构与上述第一实施方式的结构相同。

(第二实施方式的效果)

对第二实施方式的效果进行说明。

在第二实施方式中，如上所述，设置磁屏蔽构件505h，该磁屏蔽构件505h配置在磁传感器152与线性电动机定子5f之间，遮挡从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通。由此，能够抑制磁传感器152对磁通的误检测，并且通过提高磁传感器152及线性电动机定子5f的配置位置的自由度而使线性输送机101小型化。

另外，在第二实施方式中，如上所述，在磁屏蔽构件505h设置X方向的一侧端部S1以朝向线性电动机定子5f侧的方式弯曲而成的一侧弯曲部654。在磁屏蔽构件505h设置X方向的另一侧端部S2以朝向线性电动机定子5f侧的方式弯曲而成的另一侧弯曲部655。由此，通过一侧弯曲部654和另一侧弯曲部655，能够向与磁传感器152侧相反的一侧(线性电动机定子5f侧)放出被磁屏蔽构件505h引入的磁通。另外，通过设置一侧弯曲部654和另一侧弯曲部655，与将一侧端部和另一侧端部沿着X方向形成为直线状的情况(不弯曲的情况)的磁屏蔽构件505h相比，能够抑制磁屏蔽构件505h向X方向的大型化。其结果是，能够使从磁屏蔽构件505h放出的磁通不易到达磁传感器152，并且能够抑制线性输送机101的X方向的大型化。另外，第二实施方式的其他效果与上述第一实施方式的效果相同。

[变形例]

另外，应当认为本次公开的实施方式在所有方面均是例示，而不是限制性的。本发明的范围并不是由上述的实施方式的说明示出，而是由发明请求保护的范围示出，而且包括与发明请求保护的范围等同的含义和范围内的所有改变(变形例)。

例如，在上述第一及第二实施方式中，示出了紧固构件5c由奥氏体系不锈钢形成的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，紧固构件也可以由其他非磁性体的金属形成。

另外，在上述第一及第二实施方式中，示出了作为磁性体的磁屏蔽构件5h(505h)由铁或钢形成的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，磁屏蔽构件也可以是其他作为磁性体的金属材料。

另外，在上述第一及第二实施方式中，示出了磁屏蔽构件5h(505h)具有上侧弯曲部452(第一弯曲部)和下侧弯曲部453(第二弯曲部)的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，磁屏蔽构件可以不具有第一弯曲部和第二弯曲部这两者，也可以不具有第一弯曲部和第二弯曲部中的任一个。

另外，在上述第二实施方式中，示出了磁屏蔽构件505h包括一侧弯曲部654和另一侧弯曲部655这两者的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，磁屏蔽构件可以不包括一侧弯曲部和另一侧弯曲部这两者，也可以包括一侧弯曲部和另一侧弯曲部中的任一个。

另外，在上述第一及第二实施方式中，示出了磁屏蔽构件5h(505h)形成为沿着X方向(导轨5e的延伸方向)延伸的板状的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，磁屏蔽构件也可以形成为块状等。

另外，在第一及第二实施方式中，示出了磁屏蔽构件5h(505h)构成为通过引入从线性电动机定子5f发出的磁通来遮挡从线性电动机定子5f朝向磁传感器152的磁通的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，磁屏蔽构件也可以构成为，通过使从线性电动机定子发出的磁通反射等来遮挡从线性电动机定子朝向磁传感器的磁通。

另外，在第一及第二实施方式中，示出了磁屏蔽构件5h(505h)安装于与磁传感器152共用的安装壁54的线性电动机定子5f侧的侧面的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，磁屏蔽构件也可以安装于与磁传感器不同的部位。

另外，在上述第一及第二实施方式中，示出了X方向的长度相同的线性输送机模块5在X方向上排列有多个的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，也可以是X方向的长度不同的线性输送机模块彼此在X方向上排列。

另外，在上述第一及第二实施方式中，示出了磁屏蔽构件5h(505h)是从线性输送机模块5(505)的X1方向侧的端部E1附近到线性输送机模块5(505)的X2方向侧的端部E2附近不中断地延伸的一张板的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，磁屏蔽构件也可以被分割成多个。

另外，在上述第一及第二实施方式中，示出了磁屏蔽构件5h(505h)通过紧固构件5c而安装于支承构件5b的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，磁屏蔽构件也可以通过粘接剂等而安装于支承构件。

另外，在上述第一及第二实施方式中，示出了紧固构件5c在Z方向(上下方向)上配置于安装壁54的中央部分的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，紧固构件也可以在上下方向上配置于比安装壁的中央部分靠上侧或下侧。

另外，在上述第一及第二实施方式中，示出了磁传感器152安装于传感器侧侧面54c，并且磁屏蔽构件5h(505)安装于与磁传感器152共用的安装壁54的电动机侧侧面54b的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，磁传感器也可以直接安装于磁屏蔽构件的与线性电动机定子相反的一侧的面。

标号说明

4 滑动件；

4b 线性电动机动子；

4d 磁性标尺；

4h 永久磁铁；

5b 支承构件；

5c 紧固构件；

5e 导轨；

5f 线性电动机定子；

5g 单元构件；

5h、505h 磁屏蔽构件；

54 安装壁；

54b 电动机侧侧面(线性电动机定子侧的侧面)；

54c 传感器侧侧面(与线性电动机定子侧相反的一侧的侧面)；

101、501 线性输送机；

152 磁传感器；

251 定子部；

251a 芯；

251b 线圈；

451 插入孔；

451a 插入孔弯曲部；

452 上侧弯曲部(第一弯曲部)；

453 下侧弯曲部(第二弯曲部)；

654 一侧弯曲部；

655 另一侧弯曲部；

L1 (磁屏蔽构件的)长度；

L2 (芯的)长度；

S1 (磁屏蔽构件的)一侧端部；

S2 (磁屏蔽构件的)另一侧端部。

Claims (17)

1.一种线性输送机，具备：

线性电动机定子，包括具有芯和卷绕于所述芯的线圈的定子部；

滑动件，包括具有永久磁铁的线性电动机动子；

导轨，引导所述滑动件的移动；

磁传感器，检测所述滑动件的位置；及

磁屏蔽构件，配置在所述磁传感器与所述线性电动机定子之间，遮挡从所述线性电动机定子朝向所述磁传感器的磁通。

2.根据权利要求1所述的线性输送机，其中，

所述磁屏蔽构件构成为，通过引入从所述线性电动机定子发出的磁通来遮挡从所述线性电动机定子朝向所述磁传感器的磁通。

3.根据权利要求1或2所述的线性输送机，其中，

所述磁屏蔽构件形成为沿着所述导轨的延伸方向延伸的板状。

4.根据权利要求3所述的线性输送机，其中，

所述线性电动机定子、所述磁屏蔽构件和所述磁传感器沿着与所述导轨的延伸方向正交的所述导轨的宽度方向排列配置，

所述芯沿着所述导轨的宽度方向延伸，

板状的所述磁屏蔽构件具有在所述导轨的宽度方向上至少覆盖所述定子部的所述芯的大小。

5.根据权利要求4所述的线性输送机，其中，

在与所述导轨的延伸方向和所述导轨的宽度方向正交的方向上，板状的所述磁屏蔽构件的长度大于所述芯的长度。

6.根据权利要求4或5所述的线性输送机，其中，

所述定子部沿着所述导轨的延伸方向排列配置有多个，

在所述导轨的延伸方向上，板状的所述磁屏蔽构件比多个所述定子部中的配置于端部的所述定子部的所述芯向外侧延伸。

7.根据权利要求6所述的线性输送机，其中，

在所述导轨的延伸方向上，所述磁屏蔽构件的一侧端部比多个所述定子部中的配置于一侧端部的所述定子部的所述芯向一侧延伸，并且所述磁屏蔽构件的另一侧端部比多个所述定子部中的配置于另一侧端部的所述定子部的所述芯向另一侧延伸。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的线性输送机，其中，

所述线性输送机还具备安装所述磁屏蔽构件的紧固构件，

所述磁屏蔽构件具有供所述紧固构件插入的插入孔，

所述插入孔的所述线性电动机定子侧的缘部具有朝向所述线性电动机定子侧弯曲的插入孔弯曲部。

9.根据权利要求8所述的线性输送机，其中，

所述紧固构件由非磁性体构成。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的线性输送机，其中，

所述磁屏蔽构件构成为，将从所述线性电动机定子朝向所述磁传感器侧发出的磁通引入，并且向所述线性电动机定子侧放出。

11.根据权利要求10所述的线性输送机，其中，

在与所述导轨的延伸方向和同所述导轨的延伸方向正交的所述导轨的宽度方向正交的方向上，所述磁屏蔽构件包括一个端部以朝向所述线性电动机定子侧的方式弯曲而成的第一弯曲部和另一个端部以朝向所述线性电动机定子侧的方式弯曲而成的第二弯曲部中的至少任一方。

12.根据权利要求10或11所述的线性输送机，其中，

所述磁屏蔽构件包括所述导轨的延伸方向上的一侧端部以朝向所述线性电动机定子侧的方式弯曲而成的一侧弯曲部和所述导轨的延伸方向上的另一侧端部以朝向所述线性电动机定子侧的方式弯曲而成的另一侧弯曲部中的至少任一方。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的线性输送机，其中，

所述滑动件还包括磁性标尺，该磁性标尺配置成与所述磁传感器相对，并放出由所述磁传感器检测的磁通，

所述定子部的所述芯沿着所述磁传感器与所述磁性标尺相对的方向延伸配置，

所述磁屏蔽构件在所述磁传感器与所述磁性标尺相对的方向上配置在所述芯与所述磁传感器和所述磁性标尺之间。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的线性输送机，其中，

所述线性输送机还具备支承所述线性电动机定子和所述导轨的支承构件，

所受支承构件具有设置在所述磁传感器与所述线性电动机定子之间并向上方向突出的安装壁，

所述磁传感器安装于所述安装壁的与所述线性电动机定子侧相反的一侧的侧面，并且所述磁屏蔽构件安装于与所述磁传感器共用的所述安装壁的所述线性电动机定子侧的侧面。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的线性输送机，其中，

所述定子部沿着所述导轨的延伸方向排列配置有多个，

所述线性输送机还具备多个单元构件，该多个单元构件通过将多个所述定子部按每个规定的区间进行划分而设置，并被单独地进行通电控制，

所述多个单元构件中的每一个包括所述磁传感器，

所述磁屏蔽构件在所述多个单元构件的全部中配置在所述磁传感器与所述定子部之间。

16.根据权利要求1至15中任一项所述的线性输送机，其中，

所述磁屏蔽构件由磁性体构成。

17.根据权利要求16所述的线性输送机，其中，

作为磁性体的所述磁屏蔽构件由铁或钢形成。

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