JP2005134408A

JP2005134408A - 寸法測定方法

Info

Publication number: JP2005134408A
Application number: JP2005030046A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Munakata; 浩昭宗像; Teruo Umehara; 輝雄梅原
Original assignee: Neomax Co Ltd; Hitachi Metals Kiko Co Ltd
Current assignee: Hitachi Metals Ltd; Neomax Kiko Co Ltd
Priority date: 2005-02-07
Filing date: 2005-02-07
Publication date: 2005-05-26

Abstract

【課題】小型、軽量であり、長い寸法のものでも高精度で測定できる寸法測定装置による寸法測定方法を提供する。
【解決手段】測定子を有するシャフトと、シャフトを前記被測定物に対して軸線方向に移動させる移動手段と、前記測定子の移動位置を検出する検出手段とを有する寸法測定装置による寸法測定方法であって、前記移動手段を、複数個の永久磁石を有する固定子と、多相コイルを備えた可動子と、前記可動子を支持する保持部材と、この保持部材に接続された質量調整部材とにより構成し、前記検出手段を、前記可動子に設けたリニアスケールと前記リニアスケールの磁極を検出する磁気センサとにより構成すると共に、前記質量調整部材を、前記シャフトと平行なガイドシャフトにローラを介して係合させると共に、前記可動子に対して相対移動可能に支持して構成した寸法測定方法。
【選択図】図２

Description

本発明は、被測定物の被測定面に、例えば曲率半径の小なる曲面に形成した測定子を先端に備えてなるシャフトを進退可能に形成して測定子を接触させて寸法を測定する装置による寸法測定方法に関するものである。

従来から、測定子を被測定物に接触させて寸法（長さ、厚さ、表面形状等）を測定する装置としては、測定子の変位量を検出する検出機構部に圧縮コイルばねを設けて、測定子を被測定物に押圧する構成のものが使用されている。しかしこのような構成の装置においては、圧縮コイルばねの弾性力によって測定子を被測定物に押圧するため、圧縮コイルばねの変位が大になると測定圧も大になる。このため、被測定物が変形し易いようなものでは、測定誤差が発生し易い。一方測定圧を減少させるために圧縮コイルばねのばね定数を小にすると、測定子が被測定物に忠実に接触しない場合があり、測定誤差が発生するという問題点がある。

また上記のようなばね式のものにおいては、ばね定数が一定であることにより、測定力（押圧力）を簡単に調整することができないため、測定子の移動方向が重力に沿う方向であると、測定子および／または移動手段の自重により測定力が変化するという問題点がある。

上記のようなばね式のものの欠点を解決するために、駆動手段を介して測定子を直線的に移動させる方式の寸法測定装置が提案されている。例えばモータによってボールねじを回転させて測定子を直線移動させるもの、ボイスコイルモータによって測定子を被測定物に押圧するようにしたもの、あるいは測定子の支持部材を圧縮空気により直線的に駆動するように構成したもの等が提案されている。
実開昭６２−１６７１１１号公報

しかしながら、上記の測定子を直線的に駆動する手段を使用した装置においては、下記のような問題点がある。まずボールねじを使用するものにおいては、ボールねじ構成部材の相互間に間隙が存在するため、測定子に振れが発生し、高精度の測定が行えないと共に、測定子の移動速度が遅いため、測定時間が長くなるという問題点がある。

次に測定子の直線駆動手段としてボイスコイルモータを使用するものにおいては、可動子（コイル）のストロークを長く形成することができず（２０〜３０ｍｍが限度）、従って測定子のストロークも当然に小となり、測定範囲が狭いという欠点がある。一方上記ストロークを長くするためには、ヨークおよび永久磁石を含む磁気回路部を長くする必要があり、装置全体が大型化するという問題点がある。

また圧縮空気により直線駆動するものにおいては、測定子の移動距離を厳密に制御することが困難であるため、高精度の測定ができないのみならず、測定圧力の制御もまた困難であるという問題点がある。

更に上記従来の寸法測定装置においては、測定子の移動方向が重力に沿う方向、すなわち垂直方向に近づくと、測定圧に測定子および／または駆動手段の自重が加算されるため、測定圧が変動するのみならず、測定子を所定位置に保持できなくなることもあり、寸法測定装置としての機能が低く、使いにくいものであるという問題点も併存する。

本発明は、上記従来技術に存在する問題点を解決し、小型かつ軽量であり、高精度の測定を行い得ると共に、測定子を所定位置に確実に保持し得る寸法測定装置による寸法測定方法を提供することを課題とする。

上記の課題を解決するために、本発明の寸法測定方法は、被測定物と接触する測定子を先端に備えてなるシャフトと、このシャフトを前記被測定物に対して軸線方向に進退可能に移動させる移動手段と、前記測定子の移動位置を検出する検出手段とを有し、前記移動手段と前記検出手段とがケースの内部に収容された寸法測定装置による寸法測定方法であって、前記移動手段を、対向して配設された一対のヨークと少なくとも一方のヨークの対向内面に固着されかつ長手方向に沿ってＮ極とＳ極とが交互に現れるように形成された複数個の永久磁石とを有する固定子と、多相コイルを備えかつこの多相コイルが前記永久磁石の表面に沿って移動するように形成された可動子と、前記可動子を支持するように形成された保持部材と、この保持部材に接続された質量調整部材とによって構成し、前記検出手段を、前記固定子に固定されかつ前記可動子の移動方向に沿ってＮ極とＳ極とが交互に現れるように形成されたリニアスケールと、前記可動子に設けられ前記リニアスケールの磁極を検出する磁気センサとによって構成すると共に、前記質量調整部材を、前記シャフトと平行に配置されたガイドシャフトにローラを介して係合させると共に、前記可動子に対して相対移動可能に支持したことを特徴とする。
前記リニアスケールの一端を長手方向不拘束状態に固定するのが好ましい。
また、前記質量調整部材を、銅合金からなるベース板上に、銅合金、鉛および重金属等からなる少なくとも２種のバランスウェイトを固着して形成し、前記ガイドシャフトは２本からなり、前記ベース板に回転可能に支持された２個のローラを前記ガイドシャフトの一方に係合させ、前記ベース板に回転可能に支持された1個のローラを前記ガイドシャフトの他方に係合させると共に、前記ケース内に回動可能に支持された無端状のワイヤを前記ベース板に固着して構成するのが好ましい。

本発明によれば、小型、軽量かつ低コストとすることができると共に、例えば測定子のストロークが１００ｍｍのような大寸法の測定においても、繰り返し精度±１μｍ、絶対精度±５μｍのような高精度が得られる。また測定子の駆動を停止しても、質量調整部材によって測定子を所定の位置に確実に保持することができるため、測定方向の如何に拘らず寸法測定ができるという効果を奏し得る。

図１は本発明の実施の形態を示す説明図であり、（ａ）は左側面、（ｂ）は一部省略正面を示す。図２は図１（ｂ）におけるＡ−Ａ線拡大断面図、図３は本発明の実施の形態における要部構成部材を示す分解斜視図である。

図１ないし図３において、１は測定子であり、例えば鋼球からなり、円柱状に形成されたシャフト２の先端に固着されて、被測定物（図示せず）と接触する。次に３は移動手段であるリニアモータであり、前記シャフト２を被測定物に対して軸線方向に進退可能に移動させ得るように構成する。４は検出手段であり、リニアモータ３と長手方向に平行に設けられ、測定子１の移動位置を検出するものである。なおリニアモータ３および検出手段４は後述するように構成され、例えば鉄板のような磁性材料により、中空角筒状に形成したケース５内に収容される。

次にリニアモータ３は固定子６と可動子７とによって構成される。まず固定子６は、例えば帯状の鉄板により形成され、かつ所定の間隔を介して対向配設されたヨーク８，９と、ヨーク８の対向内面に固着された複数個の永久磁石１０とを有する。ヨーク８，９は各々長手方向両端部において、例えば止めねじ（図示せず）を介してベース１１に固着されている。

上記永久磁石１０は、例えば角板状に形成され、厚さ方向に着磁されると共に、ヨーク８の長手方向に沿ってＮ極とＳ極とが交互に現れるように配設される。このような磁気回路の構造によれば、センターヨークがなく、かつ磁気空隙内で磁束が複数の閉ループを構成し、磁路の一部に磁束が集中しないため、長いストロークであってもそのストローク全体に亘って均一な磁束密度が得られるという利点がある。

なお永久磁石１０としては、公知の永久磁石を使用できるが、装置の小型・軽量化のために希土類磁石を使用することが好ましく、特にＲ−Ｆｅ−Ｂ系磁石（ＲはＰｒ，Ｎｄ等を含む希土類元素のうちの少なくとも１種）を使用することがより好ましい。またＲ−Ｆｅ−Ｂ系磁石の具体的組成および製造方法は、例えば特公昭６１−３４２４２号公報に記載されたものでもよいが、最大エネルギー積が３５ＭＧＯｅ以上の磁気特性を有するような組成および製造方法を選定することが望ましい。

次に可動子７は、コイル基板１２上に固着された複数個の偏平コイル１３からなる多相コイル１４を有し、この多相コイル１４は正弦波状の電流を供給する駆動回路（図示せず）に接続されている。この場合コイルの相数をｎとすると、永久磁石１０の磁極ピッチ（相隣るＮ極とＳ極との間隔）の１／ｎの幅で、図２において紙面と直交する面内で巻回されているｎ個の偏平コイル１３をコイル幅だけずらし、かつ相互の偏平コイル１３の中央部が重ならないように配置することにより多相コイル１４が形成される。なおコイルの相数が多くなる程力率が低下するので、入力電流の増加を防ぐためには２相または３相のコイルとすることが望ましい。例えば３相コイルとする場合には、夫々の相をすべて直列接続とすると共に、夫々の相間をＹ形結線とすればよい。

次に可動子７のコイル基板１２には、通電すべきコイルを選定し、かつ電流の方向を切り換えるために、前記永久磁石１０の磁極位置を検出すべきｎ個（ｎはコイルの相数）の例えばホール素子のような位置検出素子１５が設けられ、例えば同期式ＡＣサーボモータで使用されるものと同様の構成の制御回路（図示せず）を介して、前記駆動回路に接続されている。図２および図３においては位置検出素子１５が１個のみ設けられたものが示されているが、夫々の位置検出素子１５は、磁極の配列方向に沿ってかつ理論的にはコイルピッチの１／ｎの間隔を介してコイル基板１２に固着される。

また可動子７を構成するコイル基板１２の下方には、例えば鉄鋼材料のような強磁性材料からなる保持部材１６が固着されると共に、この保持部材１６はベース１１を構成する支持枠１７上に固着されたレール１８に沿って摺動するリニアガイド１９上に設けられている。なおシャフト２の後端は保持部材１６と固着されると共に、シャフト２はベース１１の端部の軸受部２０内に設けられかつ後述するように構成された軸受部材２１によって摺動可能に支持されている。

次に２２は質量調整部材であり、後述するように形成され、支持枠１７内に設けられた２本のガイドシャフト２３を介して長手方向移動可能に介装されている。２４はワイヤであり、支持枠１７に設けられたガイドローラ２５に巻回され、その中間部が前記質量調整部材２２と固着されると共に、両端部は前記保持部材１６に接続されたアーム２６に接続される。従って保持部材１６を介して保持された可動子７と質量調整部材２２とはワイヤ２４を介して相対移動可能であると共に、前記測定子１の移動方向が垂直方向に近い場合であっても、測定子１を所定の位置に静止保持することができるのである。

検出手段４は、ベース１１を構成する支持枠１７上にスケールプレート２８を介して設けられたリニアスケール２９と、可動子７を構成する保持部材１６にリニアスケール２９と近接対向して設けられた磁気センサ３０とによって構成される。リニアスケール２９は、例えば異方性フェライト磁石材料によって帯板状に形成されると共に、その長手方向、すなわち可動子７の移動方向に沿って、その表面にＮ極とＳ極とが例えば数μｍの微小間隔で現れるように着磁されて形成される。磁気センサ３０は前記保持部材１６の底面に適宜の結合手段を介して支持されたＦＰＣ３１の先端に形成されている。

なおスケールプレート２８は、例えば鉄鋼材料によって形成されて、支持枠１７上に止めねじ等によって固着される。リニアスケール２９は一方の端部をスケールプレート２８に例えば接着剤を介して固着されるが、他方の端部は例えば後述するように形成された保持ばね３２を介して、長手方向不拘束状態に固定する。このような構成により、スケールプレート２８とリニアスケール２９との構成材料の相違による熱膨張差を吸収することができる。

磁気センサ３０としては、検出手段４から例えば２相のエンコーダ信号を得るために磁気抵抗素子（ＭＲ素子）が使用される。このＭＲ素子は磁界を加えるとその電気抵抗が変化する性質を利用するものであり、例えばＮｉ−Ｆｅ系またはＮｉ−Ｃｏ系の強磁性材料を使用して作製することができる。なおこの磁気センサ３０とリニアモータ３を構成する磁気回路部（固定子６）との間には、強磁性材料からなる保持部材１６が介在しているので、磁気センサ３０を永久磁石１０の磁束に対して磁気的にシールドすることができるのである。

図４は図３における軸受部材２１を示す説明図であり、（ａ）は左側面、（ｂ）は要部縦断面、（ｃ）は右側面を示す。図４において、４１は本体であり、例えば鉄鋼材料やアルミニウム合金により中空円筒状に形成すると共に、軸線と平行に例えば３個のスリット４２を設ける。なお本体４１は前記図３に示す軸受部２０内に同軸的に嵌装可能に形成される。次に４３は支持軸であり、例えばばね鋼により横断面形状を円形に、かつ全体をＣ字状の円環状に形成し、この支持軸４３に例えば３個のローラ４４を回転可能に介装させる。

なおローラ４４は本体４１に設けられたスリット４２内に収容され、かつローラ４４の外周面がシャフト２の外周面に当接し、シャフト２を軸線方向移動可能に支持するように形成する。４５は止めねじであり、本体４１に螺合され、支持軸４３の外周面の近傍にその先端部が当接するように設けられる。４６はねじ穴であり、軸受部材２１を例えば図３に示す軸受部２０内に同軸的に嵌装するためのものである。

上記の構成により、止めねじ４５を本体４１に螺合させることにより、支持軸４３を所定の位置に固定することができると共に、支持軸４３の直径寸法を調整してローラ４４が確実にシャフト２の外周面と当接し、かつシャフト２を本体４１と同軸的に保持することができる。

図５は図３における保持ばね３２を示す説明図であり、（ａ）は平面、（ｂ）は側面を示す。図５において、保持ばね３２は例えばばね用リン青銅（Ｃ５２１０）からなる板材により、先端にＵ字状の保持部４７を設けて形成する。４８は取付穴である。なお保持部４７の内法寸法は、前記図２および図３に示すリニアスケール２９の幅寸法と実質的に同一に形成する。

上記構成により、保持ばね３２を図３に示すようにスケールプレート２８に取り付ければ、保持部４７がリニアスケール２９の端部を長手方向不拘束状態に固定することができるのである。

図６は図３における質量調整部材２２を示す説明図であり、（ａ）は平面、（ｂ）は底面、（ｃ）は（ａ）におけるＢ矢視を示す。図６において、５１はベース板であり、例えば銅合金からなる板材により、擬似台形状に形成する。次に５２〜５４は夫々バランスウエイトであり、夫々銅合金、鉛および重金属によって板状に形成し、ベース板５１の上面に、例えば接着剤を介して固着する。なおバランスウエイト５４を形成する重金属としては、オスミウム、イリジウム、白金、タングステン、金等の比重５．０以上（特に１０以上）の金属（価格の点からタングステン合金が好ましい）を使用できる。

次に５５はローラであり、ベース板５１の長辺側にピン５６を介して回転可能に設ける。なおベース板５１の短辺側には、後述するように形成してなるローラ５７を位置調整可能かつ回転可能に設ける。５８は支持部材、５９はピン、６０は取付ねじ、６１は貫通穴、６２は溝である。

図７は図６における支持部材５８その他を示す説明図であり、（ａ）は平面、（ｂ）は正面を示し、同一部分は前記図６と同一の参照符号で示す。図７において支持部材５８は、例えば銅合金により略Ｌ字形に形成され、ピン５９を介してローラ５７を回転可能に支持するように形成される。６３は取付穴である。

上記構成の支持部材５８は、前記図６に示されるように、ローラ５７を貫通穴６１からベース板５１の上方に臨ませて取付ねじ６０によってベース板に取り付けられる。そして図６におけるローラ５５，５７を前記図２に示す２本のガイドシャフト２３に係合させることにより質量調整部材２２を介装する。この場合、支持部材５８を若干外方に揺動させて固定することにより、ローラ５５，５７とガイドシャフト２３との係合状態を調整することができる。

上記の構成により、図２に示すように組み立てた後、複数個の偏平コイル１３に選択的に正弦波駆動電流を供給し、かつ電流の向きを切り換えることにより、可動子７、シャフト２および測定子１（図１参照）を紙面と直交する方向に直線移動させることができる。すなわち偏平コイル１３の巻線方向は永久磁石１０の磁束と直交しているので、可動子７にはフレミングの左手の法則に基づいて、紙面の表から裏若しくは裏から表の方向の推力が付与され、前記測定子１を直線移動させることができるのである。

図８および図９は各々本発明の実施の形態および従来のものにおける測定子の位置と摺動抵抗との関係を示す図である。この場合、従来のものとしては、先端に測定子を有するシャフトは、シャフトの外面と軸受部材の内面との間に多数の鋼球を転動可能に介装させたボールスプライン若しくはリニアブッシュ構造によって支持されるものとした。また摺動抵抗は、荷重変換器によりシャフトを軸線方向に押すことによって測定した。

図８から明らかなように、本発明の実施の形態においては、測定子１を先端に備えたシャフト２を、図４に示すように複数個のローラ４４により確実に当接保持する構成の軸受部材２１によって支持する構成としたことにより、摺動抵抗の変動およびバラツキを極めて小なる範囲内に抑制することができる。これに対して図９に示すように、従来のものにおいては、摺動抵抗の変動およびバラツキが大であり、シャフトの直線移動状態が極めて不安定であることがわかる。特に測定子の位置によって局部的に摺動抵抗のピーク値が頻繁に現れるため、寸法測定装置としての操作性が低いことが示されている。

次に本発明の実施の形態における被測定物の寸法や表面状態の測定例について記述する。

以下、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明はそれらの実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
図１０は本発明の第１実施例における測定状態を示す説明図であり、同一部分は前記図１と同一の参照符号で示す。図１０において、Ｓは基盤であり、被測定物Ｗが載置されており、被測定物Ｗの上方に前記構成の寸法測定装置Ｍを直立状態で保持する。この状態において被測定物Ｗの高さ寸法ｈ若しくは段差を測定するには、シャフト２を介して測定子１を基盤Ｓおよび被測定物Ｗの上面まで移動させて、移動量Ｌ_０およびＬ_１を検出し、両者の差（Ｌ_０−Ｌ_１）を算出すれば上記高さ寸法ｈが得られる。

この場合の移動量Ｌ_０，Ｌ_１は、前記図２および図３におけるリニアスケール２９上の移動量を磁気センサ３０によって検出される。なお複数個の被測定物Ｗを測定する場合において、寸法測定装置Ｍを所定位置に固定しておけば、移動量Ｌ_０が一定となり、測定子１をその都度基盤Ｓまで移動させる必要はない。

（実施例２）
図１１は本発明の第２実施例における測定状態を示す説明図であり、同一部分は前記図１０と同一の参照符号で示す。図１１において、まずシャフト２を下方に移動させて測定子１を被測定物Ｗの表面に当接させた後、寸法測定装置Ｍを水平方向に移動させ、測定子１を被測定物Ｗの表面に追従して移動させることにより、被測定物Ｗの表面の形状を測定することができる。

（実施例３）
図１２は本発明の第３実施例における測定状態を示す説明図であり、同一部分は前記図１０および図１１と同一の参照符号で示す。図１２において、Ｓ_１は基準ゲージであり、基盤Ｓ上の高さ寸法ｈ_０に形成されている。まず測定子１を基準ゲージＳ_１の上面に当接させて電気的信号処理回路（図示せず）により、磁気センサ３０（図２および図３参照）をリニアスケール２９の特定の位置に原点を形成する。

次に測定子１を被測定物Ｗに当接させて、測定子１の上記原点からの移動量（ｈ_０−ｈ_１）を測定することにより、被測定物Ｗの高さ寸法ｈ_１を測定することができる。なお上記原点の形成は、基準ゲージＳ_１によることなく、上記リニアスケール２９上に絶対位置として形成するようにしてもよい。

上記のように、本発明によれば、測定子１を多極多相型のリニアモータによって移動させる構成であるため、駆動手段であるモータ部の体積がボイスコイルモータと同一であっても、３倍以上のストロークが得られる。すなわち、例えばストロークが３０ｍｍのボイスコイルモータを、それと同一の体積のリニアモータに代えることにより、そのストロークは１００ｍｍ以上になるのである。従って測定子１の移動位置の何れの位置においても一定の測定圧力が得られ、被測定物Ｗの性状に影響されず、その寸法を正確に測定することができるのである。

次に測定子１を駆動するための可動子３には、質量調整部材２２が接続されかつ可動子３と相対移動可能に構成されているため、測定子１の移動方向が垂直方向であっても可動子３が所定位置に保持される。従って可動子３への通電を停止した場合においても、測定子１を所定位置に確実に保持することができるのである。

また可動子３の移動位置を検出する磁気センサ３０は、リニアモータの磁気回路からの漏洩磁束に起因するノイズの発生がないように磁性材料からなる保持部材１６によって保護されているため、高精度の測定を行うことができる。

更にリニアモータを構成するヨーク８，９をベース１１と一体化した構成であるため、装置の剛性を高め得ると共に、構成部材を磁性材料からなるケース５内に収容した構成とすることにより、外部へのおよび外部からの漏洩磁束を遮蔽することができ、装置使用の自由度を大にできる。

なお検出手段４を構成するリニアスケール２９は、スケールプレート２８に一方の端部のみを接着剤等によって固着されるが、他方の端部は例えば保持ばね３２を介して長手方向不拘束状態に固定されているため、両者の構成材料の相違によるいわゆるバイメタル効果に起因する反り等の変形が防止され、磁気センサ３０とリニアスケール２９との間隙を極めて小にすることができ、検出精度を向上させ得る。

上記の発明の実施の形態においては、ヨーク８の内面にのみ永久磁石１０を固着した例について記述したが、対向する他のヨーク９の内面にも永久磁石１０を固着した構成としてもよい。またリニアスケール２９はスケールプレート２８を介することなくベース１１若しくは支持枠１７に直接固定してもよい。なおリニアスケール２９の一方の端を固着する手段としては、接着剤以外の機械的固着手段を使用することができる。更にシャフト２の先端に固着する測定子１としては、鋼球以外のものでもよく、また形状として球形以外の曲率半径が小なる曲面を有するものとすることができる。

本発明の実施の形態を示す説明図であり、（ａ）は左側面、（ｂ）は一部省略正面を示す。図１（ｂ）におけるＡ−Ａ線拡大断面図である。本発明の実施の形態における要部構成部材を示す分解斜視図である。図３における軸受部材２１を示す説明図であり、（ａ）は左側面、（ｂ）は要部縦断面、（ｃ）は右側面を示す。図３における保持ばね３２を示す説明図であり、（ａ）は平面、（ｂ）は側面を示す。図３における質量調整部材２２を示す説明図であり、（ａ）は平面、（ｂ）は底面、（ｃ）は（ａ）におけるＢ矢視を示す。図６における支持部材５８その他を示す説明図であり、（ａ）は平面、（ｂ）は正面を示す。本発明の実施の形態における測定子の位置と摺動抵抗との関係を示す図である。従来のものにおける測定子の位置と摺動抵抗との関係を示す図である。本発明の第１実施例における測定状態を示す説明図である。本発明の第２実施例における測定状態を示す説明図である。本発明の第３実施例における測定状態を示す説明図である。

符号の説明

１測定子
２シャフト
４検出手段
６固定子
７可動子

Claims

被測定物と接触する測定子を先端に備えてなるシャフトと、このシャフトを前記被測定物に対して軸線方向に進退可能に移動させる移動手段と、前記測定子の移動位置を検出する検出手段とを有し、前記移動手段と前記検出手段とがケースの内部に収容された寸法測定装置による寸法測定方法であって、
前記移動手段を、対向して配設された一対のヨークと少なくとも一方のヨークの対向内面に固着されかつ長手方向に沿ってＮ極とＳ極とが交互に現れるように形成された複数個の永久磁石とを有する固定子と、多相コイルを備えかつこの多相コイルが前記永久磁石の表面に沿って移動するように形成された可動子と、前記可動子を支持するように形成された保持部材と、この保持部材に接続された質量調整部材とによって構成し、
前記検出手段を、前記固定子に固定されかつ前記可動子の移動方向に沿ってＮ極とＳ極とが交互に現れるように形成されたリニアスケールと、前記可動子に設けられ前記リニアスケールの磁極を検出する磁気センサとによって構成すると共に、
前記質量調整部材を、前記シャフトと平行に配置されたガイドシャフトにローラを介して係合させると共に、前記可動子に対して相対移動可能に支持したことを特徴とする寸法測定方法。
前記リニアスケールの一端を長手方向不拘束状態に固定したことを特徴とする請求項１に記載の寸法測定方法。
前記質量調整部材を、銅合金からなるベース板上に、銅合金、鉛および重金属等からなる少なくとも２種のバランスウェイトを固着して形成し、前記ガイドシャフトは２本からなり、前記ベース板に回転可能に支持された２個のローラを前記ガイドシャフトの一方に係合させ、前記ベース板に回転可能に支持された1個のローラを前記ガイドシャフトの他方に係合させると共に、前記ケース内に回動可能に支持された無端状のワイヤを前記ベース板に固着して構成したことを特徴とする請求項１または２に記載の寸法測定方法。