WO2021124439A1

WO2021124439A1 - リニアコンベア

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Publication number: WO2021124439A1
Application number: PCT/JP2019/049358
Authority: WO
Inventors: 基範川内
Original assignee: ヤマハ発動機株式会社
Priority date: 2019-12-17
Filing date: 2019-12-17
Publication date: 2021-06-24
Also published as: CN114830513A; US20230353027A1; JP7350887B2; JPWO2021124439A1; DE112019007974T5

Abstract

このリニアコンベア（１０１、５０１）は、コア（２５１ａ）と、コイル（２５１ｂ）とを有する固定子部（２５１）を含むリニアモータ固定子（５ｅ）と、スライダ（４）の位置を検出する磁気センサ（１５２）と、磁気センサ（１５２）とリニアモータ固定子（５ｅ）との間に配置され、リニアモータ固定子（５ｅ）から磁気センサ（１５２）に向かう磁束を遮る磁気遮蔽部材（５ｈ、５０５ｈ）とを備える。

Description

リニアコンベア

　この発明は、リニアコンベアに関し、特に、スライダの位置を検出する磁気センサを備えるリニアコンベアに関する。

　従来、スライダの位置を検出する磁気センサを備えるリニアコンベアが知られている。このようなリニアコンベアは、たとえば、国際公開第２０１８／０５５７０９号に開示されている。

　上記国際公開第２０１８／０５５７０９号には、スライダの位置を検出する磁気センサを備えるリニアコンベア装置（リニアコンベア）が開示されている。リニアコンベア装置は、スライダと、リニアモータ固定子と、ガイドレールとを含んでいる。スライダは、リニアモータ可動子を有している。リニアモータ固定子は、コアと、コアに巻き回されたコイルとを含んでいる。コアは、上下方向およびガイドレールの延びる方向に直交する左右方向に延びている。磁気センサは、スライダの移動に伴う磁束の変化を検出する。

　上記国際公開第２０１８／０５５７０９号のスライダは、ガイドレールの延びる方向に移動可能な状態でガイドレールに支持されている。スライダは、リニアモータ固定子およびリニアモータ可動子により、ガイドレールの延びる方向に沿って移動する。スライダの上面は、基板などのワークの載置部である。

　このように、リニアコンベア装置では、磁気センサにより検出されるスライダの位置に基づいて、スライダを移動させることによりワークの載置部を所定位置まで移動させることによって、電子部品などの基板への実装作業が実行される。

　上記国際公開第２０１８／０５５７０９号のリニアコンベア装置では、磁気センサにより検出された磁束変化に基づいてスライダの位置が検出される。ここで、このリニアコンベア装置では、磁気センサがリニアモータ固定子において発せられる磁束を誤検出することを抑制するため、磁気センサにより検出する磁束の方向と、リニアモータ固定子から発せられる磁束の方向とが異なるように、磁気センサとリニアモータ固定子とが配置されている。また、磁気センサによる磁束の誤検出を抑制するために、リニアコンベア装置では、磁気センサとリニアモータ固定子との間隔を可能な限り大きくなように、磁気センサとリニアモータ固定子とを配置することも考えられる。

国際公開第２０１８／０５５７０９号

　しかしながら、上記国際公開第２０１８／０５５７０９号のリニアコンベア装置では、磁気センサによる磁束の誤検出を抑制するために、磁気センサにより検出する磁束の方向と、リニアモータ固定子から発せられる磁束の方向とが異なるように、磁気センサとリニアモータ固定子とをリニアコンベア装置内に配置する必要があるので、磁気センサおよびリニアモータ固定子の配置位置の自由度が制限される。また、上記国際公開第２０１８／０５５７０９号のリニアコンベア装置には開示されていないが、磁気センサによる磁束の誤検出を抑制するために、磁気センサとリニアモータ固定子との間隔を大きくする従来のリニアコンベア装置の場合でも、磁気センサとリニアモータ固定子との間隔に起因して磁気センサおよびリニアモータ固定子の配置位置の自由度が制限される。これらのため、上記国際公開第２０１８／０５５７０９号のリニアコンベア装置では、磁気センサによる磁束の誤検出を抑制しつつ、磁気センサおよびリニアモータ固定子の配置位置の自由度を向上させることにより、リニアコンベア装置（リニアコンベア）を小型化することが望まれている。

　この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、磁気センサによる磁束の誤検出を抑制しつつ、磁気センサおよびリニアモータ固定子の配置位置の自由度を向上させることにより、リニアコンベアを小型化することが可能なリニアコンベアを提供することである。

　この発明の一の局面によるリニアコンベアは、コアと、コアに巻き回されたコイルとを有する固定子部を含むリニアモータ固定子と、永久磁石を有するリニアモータ可動子を含むスライダと、スライダの移動をガイドするガイドレールと、スライダの位置を検出する磁気センサと、磁気センサとリニアモータ固定子との間に配置され、リニアモータ固定子から磁気センサに向かう磁束を遮る磁気遮蔽部材とを備える。

　この発明の一の局面によるリニアコンベアでは、上記のように、磁気センサとリニアモータ固定子との間に配置され、リニアモータ固定子から磁気センサに向かう磁束を遮る磁気遮蔽部材を設ける。これにより、磁気遮蔽部材によりリニアモータ固定子から放出される磁束を遮ることによって、リニアモータ固定子から放出される磁束に起因する磁気センサの誤検出を抑制することができる。したがって、リニアモータ固定子において発せられる磁束の方向と磁気センサにより検出する磁束の方向とを異ならせるように、磁気センサとリニアモータ固定子とを配置する必要がないとともに、磁気センサとリニアモータ固定子との間隔を大きくする必要がない。これにより、磁気遮蔽部材により、磁気センサおよびリニアモータ固定子の配置位置の自由度を向上させることができる。これらの結果、磁気センサの誤検出を抑制しつつ、磁気センサおよびリニアモータ固定子の配置位置の自由度を向上させることにより、リニアコンベアを小型化することができる。

　上記一の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、磁気遮蔽部材は、リニアモータ固定子から発せられる磁束を引き込むことにより、リニアモータ固定子から磁気センサに向かう磁束を遮るように構成されている。このように構成すれば、リニアモータ固定子から磁気センサに向かう磁束を磁気遮蔽部材により引き込むことによって、磁気センサに磁束が到達しにくくすることができるので、リニアモータ固定子から発せられる磁束に起因する磁気センサによるスライダの位置の検出精度を容易に確保することができる。

　上記一の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、磁気遮蔽部材は、ガイドレールの延びる方向に沿って延びる板状に形成されている。このように構成すれば、ガイドレールの延びる方向において、リニアモータ固定子から発せられる磁束を遮蔽することができるので、リニアモータ固定子から発せられる磁束を磁気センサに到達しにくくすることができる。また、磁気遮蔽部材をガイドレールの延びる方向に沿って延びる板状に形成することにより、磁気遮蔽部材をブロック状に形成する場合と比較して、磁気遮蔽部材の厚みを小さくすることができるので、リニアコンベアの大型化を抑制することができる。

　この場合、好ましくは、リニアモータ固定子、磁気遮蔽部材および磁気センサは、ガイドレールの延びる方向に直交するガイドレールの幅方向に沿って並んで配置され、コアは、ガイドレールの幅方向に沿って延びており、板状の磁気遮蔽部材は、ガイドレールの幅方向において、少なくとも固定子部のコアを覆う大きさを有している。このように構成すれば、磁束が最も多く放出される箇所（固定子部のコア）を磁気遮蔽部材により少なくとも覆うことができるので、磁気遮蔽部材によりリニアモータ固定子から発せられる磁束を効果的に遮ることができる。

　上記少なくともコアを覆う板状の磁気遮蔽部材を備えるリニアコンベアにおいて、好ましくは、ガイドレールの延びる方向と、ガイドレールの幅方向とに直交する方向において、板状の磁気遮蔽部材の長さは、コアの長さより大きい。このように構成すれば、コアよりも上記直交する方向の広い範囲を磁気遮蔽部材により覆うことができるので、リニアモータ固定子から広がりながら磁気センサに向かう磁束をより効果的に遮蔽することができる。

　上記少なくともコアを覆う板状の磁気遮蔽部材を備えるリニアコンベアにおいて、好ましくは、固定子部は、ガイドレールの延びる方向に沿って複数並んで配置され、ガイドレールの延びる方向において、板状の磁気遮蔽部材は、複数の固定子部のうち端部に配置された固定子部のコアよりも外側に延びている。このように構成すれば、ガイドレールの延びる方向に沿って複数並んで配置される固定子部のコアを覆うことができるので、リニアモータ固定子から磁気遮蔽部材に発せられる磁束を効果的に遮ることができる。

　上記ガイドレールの延びる方向に沿って複数並んで配置される固定子部を備えるリニアコンベアにおいて、好ましくは、ガイドレールの延びる方向において、磁気遮蔽部材の一方側端部は、複数の固定子部のうち一方側端部に配置された固定子部のコアよりも一方側に延びているとともに、磁気遮蔽部材の他方側端部は、複数の固定子部のうち他方側端部に配置された固定子部のコアよりも他方側に延びている。このように構成すれば、ガイドレールの延びる方向に沿って複数並んで配置される固定子部のコアを磁気遮蔽部材によりガイドレールの延びる方向の一方端部側から他方端部側にわたって覆うことができるので、リニアモータ固定子から磁気センサに向かう磁束をより確実に遮蔽することができる。

　上記一の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、磁気遮蔽部材を取り付ける締結部材をさらに備え、磁気遮蔽部材は、締結部材が挿入される挿入孔を有し、挿入孔のリニアモータ固定子側の縁部は、リニアモータ固定子側に向かって曲げられた挿入孔曲げ部を有する。このように構成すれば、磁気遮蔽部材により遮蔽され挿入孔の縁から放出される磁束を挿入孔曲げ部に沿ってリニアモータ固定子側に放出することができるので、磁気遮蔽部材から放出される磁束を磁気センサに到達しにくくすることができる。

　この場合、好ましくは、締結部材は、非磁性体により構成されている。このように構成すれば、締結部材が磁性体である場合と異なり、締結部材が磁化しないので、リニアモータ固定子から発せられる磁束により締結部材が磁化されることに起因して締結部材から発せられる磁束が磁気センサに到達してしまうことを抑制することができる。その結果、リニアモータ固定子から発せられる磁束を磁気センサに到達しにくくすることができる。

　上記一の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、磁気遮蔽部材は、リニアモータ固定子から磁気センサ側に向かって発せられる磁束を引き込むとともに、リニアモータ固定子側に放出するように構成されている。このように構成すれば、磁気遮蔽部材に引き込まれた磁束を磁気センサ側とは反対側（リニアモータ固定子側）に放出することができるので、磁気遮蔽部材から放出された磁束を磁気センサに到達しにくくすることができる。

　この場合、好ましくは、ガイドレールの延びる方向と、ガイドレールの延びる方向に直交するガイドレールの幅方向とに直交する方向において、磁気遮蔽部材は、一方の端部がリニアモータ固定子側に向くように曲げられた第１曲げ部、および、他方の端部がリニアモータ固定子側に向くように曲げられた第２曲げ部のうち少なくともいずれかを含む。このように構成すれば、第１曲げ部および第２曲げ部の少なくともいずれかにより、磁気センサ側とは反対側（リニアモータ固定子側）に、磁気遮蔽部材に引き込まれた磁束を放出することができる。また、第１曲げ部および第２曲げ部のうち少なくともいずれかを設けることにより、一方の端部および他方の端部を上記直交する方向に沿って直線状にした場合（曲げない）の磁気遮蔽部材と比較して、磁気遮蔽部材の上記直交する方向への大型化を抑制することができる。これらの結果、磁気遮蔽部材から放出された磁束を磁気センサに到達しにくくすることができるとともに、リニアコンベアの上記直交する方向への大型化を抑制することができる。

　上記引き込んだ磁束をリニアモータ固定子側に放出する磁気遮蔽部材を備えるリニアコンベアにおいて、好ましくは、磁気遮蔽部材は、ガイドレールの延びる方向の一方側端部がリニアモータ固定子側に向くように曲げられた一方側曲げ部、および、ガイドレールの延びる方向の他方側端部がリニアモータ固定子側に向くように曲げられた他方側曲げ部のうち少なくともいずれかを含む。このように構成すれば、一方側曲げ部および他方側曲げ部の少なくともいずれかにより、磁気センサ側とは反対側（リニアモータ固定子側）に、磁気遮蔽部材に引き込まれた磁束を放出することができる。また、一方側曲げ部および他方側曲げ部のうち少なくともいずれかを設けることにより、一方側端部および他方側端部をガイドレールの延びる方向に沿って直線状にした場合（曲げない）の磁気遮蔽部材と比較して、磁気遮蔽部材のガイドレールの延びる方向への大型化を抑制することができる。これらの結果、磁気遮蔽部材から放出された磁束を磁気センサに到達しにくくすることができるとともに、リニアコンベアのガイドレールの延びる方向への大型化を抑制することができる。

　上記一の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、スライダは、磁気センサに対向するように配置され、磁気センサにより検出される磁束を放出する磁気スケールをさらに含み、固定子部のコアは、磁気センサと磁気スケールとが対向する方向に沿って延びて配置され、磁気遮蔽部材は、磁気センサと磁気スケールとが対向する方向において、コアと、磁気センサおよび磁気スケールとの間に配置されている。このように構成すれば、リニアモータ固定子から磁気スケールに向かう磁束を磁気遮蔽部材により遮蔽することによって、磁気スケールに磁束が到達しにくくすることができるので、リニアモータ固定子から発せられる磁束から磁気スケールを保護することができる。

　上記一の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、リニアモータ固定子およびガイドレールを支持する支持部材をさらに備え、支持部材は、磁気センサとリニアモータ固定子との間に設けられ、上方向に突出した取付壁を有し、磁気センサは、取付壁におけるリニアモータ固定子側とは反対側の側面に取り付けられているとともに、磁気遮蔽部材は、磁気センサと共通の取付壁におけるリニアモータ固定子側の側面に取り付けられている。このように構成すれば、磁気センサと磁気遮蔽部材とを共通の取付壁に取り付けることにより、支持部材の構造の複雑化および大型化を抑制することができるので、リニアコンベアの構造の複雑化および大型化を抑制することができる。

　上記一の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、固定子部は、ガイドレールの延びる方向に沿って複数並んで配置され、複数の固定子部を所定の区間ごとに分けることにより設けられ、別個に通電制御される複数のユニット部材をさらに備え、複数のユニット部材の各々は、磁気センサを含み、磁気遮蔽部材は、複数のユニット部材の全てにわたって、磁気センサと固定子部との間に配置されている。このように構成すれば、２個以上のユニット部材にまたがって通電制御が行われて固定子部から磁束が発せられる場合であっても、磁気遮蔽部材により確実に磁束を遮蔽することができるので、磁気センサによるスライダの位置の検出精度を確保することができる。

　上記一の局面によるリニアコンベアにおいて、好ましくは、磁気遮蔽部材は、磁性体により構成されている。このように構成すれば、リニアモータ固定子から磁気センサに向かう磁束により磁気遮蔽部材を磁化させることによって、リニアモータ固定子から磁気センサに向かう磁束を磁気遮蔽部材により引き込むことができる。その結果、磁気センサに磁束が到達しにくくすることができるので、磁気センサによるスライダの位置の検出精度を確保することができる。

　この場合、好ましくは、磁性体としての磁気遮蔽部材は、鉄または鋼などの磁性体の鉄系材料により形成されている。このように構成すれば、リニアモータ固定子から磁気センサに向かう磁束により磁気遮蔽部材を容易に磁化させることができるので、リニアモータ固定子から磁気センサに向かう磁束を磁気遮蔽部材により確実に引き込むことができる。

　本発明によれば、上記のように、磁気センサによる磁束の誤検出を抑制しつつ、磁気センサおよびリニアモータ固定子の配置位置の自由度を向上させることにより、リニアコンベアを小型化することができる。

第１実施形態のリニアコンベアを架台に設置した状態を示した斜視図である。第１実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールおよびスライダを示した斜視図である。図２の１００－１００線に沿った断面図である。第１実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールにおいてカバー部材を外した状態をＹ２方向側から視た斜視図である。第１実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールにおいてカバー部材を外した状態をＹ１方向側から視た斜視図である。第１実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールにおいてカバー部材を外した状態をＺ１方向側から視た平面図である。第１実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールにおいて磁気遮蔽部材付近を示した部分断面図である。第１実施形態のリニアコンベアの磁気遮蔽部材を示した斜視図である。第１実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールにおいてカバー部材を外した状態のＸ１方向側の端部およびＸ２方向側の端部をＺ１方向側から視た平面図である。第２実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールにおいてＸ１方向側付近を示した部分斜視図である。第２実施形態のリニアコンベアのリニアコンベアモジュールにおいてカバー部材を外した状態のＸ１方向側の端部およびＸ２方向側の端部をＺ１方向側から視た平面図である。

　以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

［第１実施形態］
　図１～図９を参照して、架台１０２上に設置される第１実施形態のリニアコンベア１０１について説明する。

（リニアコンベアの構成）
　図１および図２に示すように、リニアコンベア１０１は、架台１０２の上面１０２ａに敷設されている。また、図示はしないが、架台１０２には、基板などのワークの移載、電子部品などの基板への実装作業などを実行する各種ロボットが設置されている。各種ロボットは、後述するスライダ４の周回経路１０３に沿って配置されている。

　リニアコンベア１０１は、各種ロボットの作業位置に向けてスライダ４を移動させるように構成されている。具体的には、リニアコンベア１０１は、複数（２個）の方向転換用モジュール１と、複数（６個）の凹部２と、複数（６個）の連結部材３と、スライダ４と、複数（８個）のリニアコンベアモジュール５とを備えている。複数の方向転換用モジュール１および複数のリニアコンベアモジュール５は、スライダ４の周回経路１０３を形成している。

　ここで、リニアコンベアモジュール５の延びる方向をＸ方向とし、Ｘ方向のうち一方をＸ１方向とし、Ｘ方向のうちの他方をＸ２方向とする。方向転換用モジュール１の延びる方向をＹ方向とし、Ｙ方向のうち一方をＹ１方向とし、Ｙ方向のうちの他方をＹ２方向とする。Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向をＺ方向（上下方向）とし、Ｚ方向のうち一方をＺ１方向（上方向）とし、Ｚ方向のうちの他方をＺ２方向（下方向）とする。なお、Ｘ方向は、請求の範囲の「ガイドレールの延びる方向」の一例である。また、Ｙ方向は、請求の範囲の「ガイドレールの幅方向」の一例である。また、Ｚ方向は、請求の範囲の「ガイドレールの延びる方向と、ガイドレールの幅向に直交する方向」および「ガイドレールの延びる方向と、ガイドレールの延びる方向に直交するガイドレールの幅方向とに直交する方向」の一例である。

　複数（２個）の方向転換用モジュール１は、それぞれ、Ｘ１方向側およびＸ２方向側に配置されている。複数の方向転換用モジュール１の各々の構造は、同じであるので、Ｘ１方向側の方向転換用モジュール１についてのみ説明する。

　方向転換用モジュール１は、スライダ４をＹ方向へ移動させる搬送装置である。

　方向転換用モジュール１は、ガイドレール１１と、モジュール本体１２と、駆動機構（図示せず）とを含む。ガイドレール１１は、架台１０２の上面１０２ａに敷設されている。ガイドレール１１は、Ｙ方向に延びている。モジュール本体１２は、ガイドレール１１にＹ方向に移動可能に支持されている。駆動機構は、モジュール本体１２をガイドレール１１に沿ってＹ方向に移動させるように構成されている。

　凹部２には、架台１０２に固定された状態の連結部材３が収容されている。すなわち、Ｙ１方向側から視て、凹部２の内面と、架台１０２の上面１０２ａとの間には、架台１０２に固定された状態の連結部材３が配置されている。

　連結部材３は、架台１０２に固定され、複数のリニアコンベアモジュール５同士を互いに連結するとともに、架台１０２に固定された状態でリニアコンベアモジュール５を位置決めするように構成されている。ここで、連結部材３は、Ｘ方向において、隣接するリニアコンベアモジュール５にまたがって設けられている。

　図１に示すように、スライダ４は、周回経路１０３上に複数（４個）配置されている。複数のスライダ４はいずれも同じ構成を有しているので、複数のスライダ４のうちの１つについて説明する。

　スライダ４は、周回経路１０３上を直線的にスライド移動するように構成されている。具体的には、図２および図３に示すように、スライダ４は、スライダフレーム４ａと、リニアモータ可動子４ｂと、一対のガイドブロック４ｃと、磁気スケール４ｄとを含んでいる。

　スライダフレーム４ａは、アルミニウムなどの金属材料により形成されている。スライダフレーム４ａのＺ１方向側の上面は、ワークを載置する載置面４ｅである。スライダフレーム４ａには、後述するリニアコンベアモジュール５のカバー部材５ａが挿入される挿入空間４ｆが形成されている。

　リニアモータ可動子４ｂは、バックヨーク４ｇと、永久磁石４ｈとを有している。バックヨーク４ｇは、永久磁石４ｈを保持するとともに磁路を形成する部材であり、鉄または鋼などの磁性体の鉄系材料で形成されている。バックヨーク４ｇは、Ｚ２方向に向けて開口する門型構造を有している。永久磁石４ｈは、Ｙ方向において、Ｎ極とＳ極とが対向するように配置されている。永久磁石４ｈは、Ｘ方向に沿って複数Ｎ極とＳ極が交互に並んで配置されている。このような配列で永久磁石４ｈは、バックヨーク４ｇに保持されている。バックヨーク４ｇはＸ方向において永久磁石４ｈをすべて覆うように配置されている。

　ガイドブロック４ｃは、後述するリニアコンベアモジュール５のガイドレール５ｅに係合するとともに、ガイドレール５ｅの延びる方向（Ｘ方向）に沿って移動可能に構成されている。ガイドブロック４ｃは、ガイドレール５ｅに接して転動するベアリングを備えている。ガイドブロック４ｃは、Ｙ方向において、一対配置されている。ガイドブロック４ｃのＺ１方向側の端部は、スライダフレーム４ａに取り付けられている。

　磁気スケール４ｄは、後述する磁気センサ１５２にＹ方向に対向するように配置され、磁気センサ１５２により検出される磁束を放出するように構成されている。具体的には、磁気スケール４ｄは、スケール基板４１と、ホルダ４２とを有している。スケール基板４１は、ホルダ４２に保持されている。スケール基板４１は、磁気センサユニット５ｄとの対向面に、Ｎ極とＳ極とが交互に現れるようにＸ方向に配列された永久磁石（図示せず）を含んでいる。図示はしないが、スケール基板４１の永久磁石は、磁気センサユニット５ｄの磁気センサ１５２（図４参照）にＹ方向において対向するように、配置されている。

　複数のリニアコンベアモジュール５は、Ｘ方向に直線状に連結されている。複数のリニアコンベアモジュール５は、Ｙ１方向側に４個配置されている。複数のリニアコンベアモジュール５は、Ｙ２方向側に４個配置されている。複数のリニアコンベアモジュール５の各々の構造は、同じであるので、Ｙ１方向側であり、かつ、Ｘ方向の中央部分のＸ１方向側に配置された（図１のＫ部分の）リニアコンベアモジュール５について説明する。なお、リニアコンベアモジュール５は、２～７個および９個以上架台１０２に配置されてもよい。

　リニアコンベアモジュール５は、スライダ４をＸ方向へ移動させる搬送装置である。すなわち、リニアコンベアモジュール５は、ロボットの作業位置でスライダ４を停止させるとともに、作業後に次のロボットの作業位置へ向けてスライダ４を移動させるように構成されている。また、リニアコンベアモジュール５は、約０．２～約１．０［ｍ］の長さを有する直線的なモジュールである。

　具体的には、図２および図３に示すように、リニアコンベアモジュール５は、カバー部材５ａと、支持部材５ｂと、締結部材５ｃと、磁気センサユニット５ｄと、ガイドレール５ｅと、リニアモータ固定子５ｆと、ユニット部材５ｇ（図６参照）と、磁気遮蔽部材５ｈとを含んでいる。

　カバー部材５ａは、アルミニウムなどの金属により形成されている。カバー部材５ａは、支持部材５ｂの上面５１ａ（Ｚ１方向側の面）を覆うように構成されている。すなわち、カバー部材５ａは、支持部材５ｂに取り付けられたリニアモータ固定子５ｆ、ガイドレール５ｅおよび磁気センサユニット５ｄをＺ１方向側から覆っている。カバー部材５ａは、締結部材（図示せず）により、支持部材５ｂのＺ１方向側の端部に固定されている。カバー部材５ａは、スライダフレーム４ａの挿入空間４ｆに挿入可能な形状を有している。すなわち、カバー部材５ａは、Ｙ方向に沿った断面において、略Ｔ字形状を有している。

　支持部材５ｂは、ガイドレール５ｅおよびリニアモータ固定子５ｆを支持している。支持部材５ｂは、アルミニウムなどの金属により形成されている。このように、支持部材５ｂは、金属製のフレームである。支持部材５ｂは、Ｙ方向に沿った断面において、略Ｕ字形状を有している。支持部材５ｂは、上壁部５１と、一対の側壁部５２と、フランジ部５３と、取付壁５４とを有している。

　図３および図４に示すように、上壁部５１は、Ｘ方向に長く延びた長方形形状を有している。上壁部５１の上面５１ａには、リニアモータ固定子５ｆ、ガイドレール５ｅおよび磁気センサユニット５ｄが設置されている。側壁部５２は、Ｘ方向に長く延びた長方形形状を有している。側壁部５２は、Ｙ方向において対向するように一対設けられている。フランジ部５３は、側壁部５２のＺ２方向側の端部からＹ方向において外側に突出している。フランジ部５３は、Ｘ方向に長く延びた長方形形状を有している。

　取付壁５４は、上壁部５１に一体的に設けられている。すなわち、取付壁５４は、磁気センサ１５２とリニアモータ固定子５ｆとの間に設けられ、上方向に突出している。取付壁５４は、上面５４ａと、モータ側側面５４ｂと、センサ側側面５４ｃと、貫通孔５４ｄとを有している。なお、モータ側側面５４ｂは、請求の範囲の「取付壁におけるリニアモータ固定子側の側面」の一例である。なお、センサ側側面５４ｃは、請求の範囲の「取付壁におけるリニアモータ固定子側とは反対側の側面」の一例である。

　上面５４ａは、取付壁５４のＺ１方向側の面である。上面５４ａには、カバー部材５ａが取り付けられている。モータ側側面５４ｂは、Ｙ１方向側の面である。モータ側側面５４ｂには、磁気遮蔽部材５ｈが取り付けられている。センサ側側面５４ｃは、Ｙ２方向側の面である。センサ側側面５４ｃには、磁気センサユニット５ｄが取り付けられている。このように、磁気センサ１５２は、センサ側側面５４ｃに取り付けられているとともに、磁気遮蔽部材５ｈは、磁気センサ１５２と共通の取付壁５４におけるモータ側側面５４ｂに取り付けられている。貫通孔５４ｄは、取付壁５４をＹ方向に沿って貫通している。貫通孔５４ｄは、締結部材５ｃが挿入されるざぐり孔である。貫通孔５４ｄは、Ｘ方向に沿って複数（４個）取付壁５４に形成されている。複数の貫通孔５４ｄは、Ｚ方向において、取付壁５４の中央部分に形成されている。なお、貫通孔５４ｄの数は、１～３個および５個以上であってもよい。

　締結部材５ｃは、支持部材５ｂに磁気遮蔽部材５ｈを取り付けている。詳細には、締結部材５ｃは、貫通孔５４ｄに挿入された状態で、磁気遮蔽部材５ｈに螺合されることにより、取付壁５４に磁気遮蔽部材５ｈを固定している。締結部材５ｃは、非磁性体により構成されている。詳細には、締結部材５ｃは、オーステナイト系ステンレス鋼により形成されている。締結部材５ｃは、複数（４個）の貫通孔５４ｄに合わせて複数（４個）配置されている。すなわち、締結部材５ｃは、貫通孔５４ｄに合わせて、Ｚ方向において、取付壁５４の中央部分に配置されている。なお、締結部材５ｃの数は、貫通孔５４ｄの数と同じであればよく、１～３個および５個以上であってもよい。

　磁気センサユニット５ｄは、Ｘ方向に所定ピッチで複数個（３個）配列されている。なお、磁気センサユニット５ｄは、Ｘ方向に所定ピッチで複数個配列されていなくてもよく、たとえば、磁気センサユニット同士のセンサ間ピッチを設定し、図示しない制御部の記憶部に記憶させることにより、磁気センサユニット同士のセンサ間ピッチを異ならせて、磁気センサユニットを複数個配列することが可能である。また、磁気センサユニット５ｄの数は、１および２個、または、４個以上であってもよい。

　磁気センサユニット５ｄは、センサ基板１５１と、磁気センサ１５２と、ハウジング１５３とを有している。

　磁気センサ１５２は、スライダ４の位置を検出するように構成されている。具体的には、磁気センサ１５２は、スライダ４のＸ方向の位置を検出するように構成されている。磁気センサ１５２は、センサ基板１５１にＺ方向に沿って複数（３個）取り付けられている。すなわち、磁気センサ１５２は、取付壁５４の突出する方向に沿って複数（３個）配置されている。なお、磁気センサ１５２の数は、１および２個、または、４個以上であってもよい。磁気センサ１５２は、たとえば、ホール素子およびＭＲ（Ｍａｇｎｅｔ　Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）素子などである。磁気センサ１５２は、スライダ４の磁気スケール４ｄの磁束を検出することにより、磁束密度に応じた出力電圧の信号を発生する。ハウジング１５３は、センサ基板１５１を保持している。ハウジング１５３は、締結部材（図示せず）により、支持部材５ｂの取付壁５４に固定されている。

　ガイドレール５ｅは、スライダ４をガイドする機能を有している。ガイドレール５ｅは、Ｙ方向に対向して一対設けられている。ガイドレール５ｅは、Ｘ方向に延びている。

　図３および図５に示すように、リニアモータ固定子５ｆは、複数の電磁石により構成されている。すなわち、リニアモータ固定子５ｆは、固定子部２５１と、ホルダ２５２とを有している。固定子部２５１は、コア２５１ａと、コア２５１ａに巻回されたコイル２５１ｂとを有している。リニアモータ固定子５ｆは、Ｘ方向に一列に単位電磁石としての固定子部２５１が配置されることによって形成されている。コア２５１ａは、磁気センサ１５２と磁気スケール４ｄとが対向する方向（Ｙ方向）に沿って延びて配置された鉄心である。ホルダ２５２は、コア２５１ａおよびコイル２５１ｂを保持している。ホルダ２５２は、支持部材５ｂの上壁部５１に取り付けられている。ホルダ２５２には、Ｘ方向に複数並んだ固定子部２５１が収容されている。

　上記したようなリニアコンベア１０１は、リニアモータ、リニアガイドおよびリニアスケールを有している。リニアモータは、リニアモータ可動子４ｂおよびリニアモータ固定子５ｆにより構成されている。リニアガイドは、ガイドレール５ｅおよびガイドブロック４ｃにより構成されている。リニアスケールは、磁気センサユニット５ｄおよび磁気スケール４ｄにより構成されている。

　リニアモータでは、互いに位相が異なるＵ相、Ｖ相およびＷ相のうちのいずれかの相の電流がリニアモータ固定子５ｆに供給されることによりコイル２５１ｂに生じる磁束と、リニアモータ可動子４ｂが備える永久磁石４ｈの磁束との相互作用によって、磁気的な推進力が生成されている。すなわち、スライダ４は、上記推進力により、Ｘ１方向またはＸ２方向に移動可能である。

　図６に示すように、ユニット部材５ｇは、リニアコンベア１０１の制御システムにおける一制御区間を構成している。すなわち、ユニット部材５ｇは、複数（１８個）の固定子部２５１を一制御区間ごとに分けることにより設けられ、別個に通電制御されるように構成されている。詳細には、ユニット部材５ｇは、一制御区間ごとに割り当てられた複数（６個）の固定子部２５１に供給される電流を制御するように構成されている。なお、一制御区間は、請求の範囲の「所定の区間」の一例である。また、複数の固定子部２５１の数は、２～１７個および１９個以上であってもよい。また、一制御区間ごとに割り当てられる固定子部２５１の数は、２～５個および７個以上であってもよい。

　このようなユニット部材５ｇは、リニアコンベアモジュール５において、Ｘ方向に複数（３個）並んで配置されている。ここで、複数のユニット部材５ｇのうち最もＸ１方向側に配置されるユニット部材５ｇを第１ユニット部材３５１とし、第１ユニット部材３５１のＸ２方向側に隣接するユニット部材５ｇを第２ユニット部材３５２とし、第２ユニット部材３５２のＸ２方向側に隣接するユニット部材５ｇを第３ユニット部材３５３とする。なお、ユニット部材５ｇの数は、２個、または、４個以上であってもよい。

　具体的には、第１ユニット部材３５１は、上記磁気センサ１５２と、複数（６個）の上記固定子部２５１と、モータコントローラ（以下、第１モータコントローラ３５１ａという）とを有している。なお、第２ユニット部材３５２も同様に、上記磁気センサ１５２と、複数（６個）の上記固定子部２５１と、モータコントローラ（以下、第２モータコントローラ３５２ａという）とを有している。第３ユニット部材３５３も同様に、上記磁気センサ１５２と、複数（６個）の上記固定子部２５１と、モータコントローラ（以下、第３モータコントローラ３５３ａという）とを有している。

　リニアコンベア１０１は、スライダ４の位置に基づいて、第１モータコントローラ３５１ａ、第２モータコントローラ３５２ａおよび第３モータコントローラ３５３ａによりスライダ４の移動および停止を制御するように構成されている。詳細には、リニアコンベア１０１は、スライダ４の移動中、複数のユニット部材５ｇの各々の磁気センサ１５２が磁気スケール４ｄを検出したことに基づいて、複数のユニット部材５ｇの同期をとりながら、ユニット部材５ｇの複数の固定子部２５１の全ての電流を制御するように構成されている。

　これにより、たとえば、図６に示すように、第２ユニット部材３５２と第３ユニット部材３５３とにまたがってスライダ４が位置している場合、第２ユニット部材３５２の複数の固定子部２５１の全ての電流が制御されるとともに、第３ユニット部材３５３の複数の固定子部２５１の全ての電流が制御される。この際、ハッチングを付した矢印により示すように、固定子部２５１から磁束が放出される。固定子部２５１から放出される磁束のうちリニアモータ可動子４ｂが位置する部分の磁束は、リニアモータ可動子４ｂの永久磁石４ｈに作用する。すなわち、リニアモータ可動子４ｂが位置する部分の磁束は永久磁石４ｈの極性により固定子部２５１側と反対の極性の永久磁石４ｈに引き込まれるが、永久磁石４ｈに引き込まれない磁束も最終的にはバックヨーク４ｇに引き込まれる。一方で、固定子部２５１から放出される磁束のうちリニアモータ可動子４ｂ外の磁束は、リニアモータ可動子４ｂに作用することなくそのまま放出される。

（磁気遮蔽部材）
　本実施形態の磁気遮蔽部材５ｈは、リニアモータ可動子４ｂに作用することなくそのまま放出された上記磁束の磁気センサ１５２に対する磁気的な影響を抑制する部材である。すなわち、磁気遮蔽部材５ｈは、磁気センサ１５２とリニアモータ固定子５ｆとの間に配置され、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束を遮るように構成されている。ここで、磁気遮蔽部材５ｈは、磁気センサ１５２と磁気スケール４ｄとが対向する方向（Ｙ方向）において、コア２５１ａと、磁気センサ１５２および磁気スケール４ｄとの間にも配置されている。これにより、磁気遮蔽部材５ｈは、リニアモータ可動子４ｂに作用することなくそのまま放出された上記磁束の磁気スケール４ｄに対する磁気的な影響も抑制する部材である。このように、リニアモータ固定子５ｆ、磁気遮蔽部材５ｈおよび磁気センサ１５２は、Ｙ方向に並んで配置されている。

　具体的には、図７および図８に示すように、磁気遮蔽部材５ｈは、リニアモータ固定子５ｆから発せられる磁束を引き込むことにより、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束を遮るように構成されている。すなわち、磁気遮蔽部材５ｈは、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束により磁化されるように構成されている。磁気遮蔽部材５ｈは、磁性体により構成されている。詳細には、磁性体としての磁気遮蔽部材５ｈは、鉄または鋼により形成されている。

　磁気遮蔽部材５ｈは、Ｘ方向に沿って延びる板状に形成されている。詳細には、磁気遮蔽部材５ｈは、Ｙ方向に沿った方向に厚みを有する薄板状に形成されている。磁気遮蔽部材５ｈのＹ方向に沿った断面形状（Ｘ方向に直交する面に沿った断面の形状）は、リニアモータ固定子５ｆ側に曲げられた略Ｃ字形状である。

　板状の磁気遮蔽部材５ｈは、Ｙ方向において、少なくとも固定子部２５１のコア２５１ａを覆う大きさを有している。すなわち、板状の磁気遮蔽部材５ｈと固定子部２５１のコア２５１ａとは、Ｙ１方向側から視て、オーバーラップしている（図５参照）。詳細には、Ｚ方向において、板状の磁気遮蔽部材５ｈの長さＬ１は、コア２５１ａの長さＬ２より大きい。Ｚ方向において、板状の磁気遮蔽部材５ｈの上端部（Ｚ１方向側の端部）と下端部（Ｚ２方向側の端部）との間には、固定子部２５１が配置されている。すなわち、Ｚ方向において、板状の磁気遮蔽部材５ｈの上端部と下端部との間には、少なくともコア２５１aが配置されている。また、Ｚ方向において、板状の磁気遮蔽部材５ｈの上端部と下端部との間には、Ｚ方向に並んで配置された複数の磁気センサ１５２の主な部分が配置されている。また、Ｚ方向において、板状の磁気遮蔽部材５ｈの上端部と下端部との間には、磁気スケール４ｄのスケール基板４１の主な部分が配置されている。

　また、図８および図９に示すように、Ｘ方向において、板状の磁気遮蔽部材５ｈは、複数の固定子部２５１のうち端部Ｓに配置された固定子部２５１のコア２５１ａよりも外側に延びている。詳細には、Ｘ方向において、磁気遮蔽部材５ｈのＸ１方向側の端部Ｓ１（一方側端部Ｓ１）は、複数の固定子部２５１のうち一方側端部Ｓ１に配置された固定子部２５１のコア２５１ａよりもＸ１方向側に延びている。そして、磁気遮蔽部材５ｈのＸ２方向側の端部Ｓ２（他方側端部Ｓ２）は、複数の固定子部２５１のうち他方側端部Ｓ２に配置された固定子部２５１のコア２５１ａよりもＸ２方向側に延びている。すなわち、磁気遮蔽部材５ｈの一方側端部Ｓ１は、リニアコンベアモジュール５のＸ１方向側の端部Ｅ１近傍に位置している。そして、磁気遮蔽部材５ｈの他方側端部Ｓ２は、リニアコンベアモジュール５のＸ２方向側の端部Ｅ２近傍に位置している。

　このように、Ｘ方向において、板状の磁気遮蔽部材５ｈは、リニアコンベアモジュール５のＸ１方向側の端部Ｅ１からＸ２方向側の端部Ｅ２の略全体にわたって延びている。すなわち、磁気遮蔽部材５ｈは、複数のユニット部材５ｇの全てにわたって、磁気センサ１５２と固定子部２５１との間に配置されている。詳細には、磁気遮蔽部材５ｈは、リニアコンベアモジュール５のＸ１方向側の端部Ｅ１近傍からリニアコンベアモジュール５のＸ２方向側の端部Ｅ２近傍にわたって途切れることなく延びる一枚板である。

　図７および図８に示すように、磁気遮蔽部材５ｈは、締結部材５ｃが挿入される挿入孔４５１を有している。挿入孔４５１のリニアモータ固定子５ｆ側の部分には、締結部材５ｃのおねじ部が螺合されるめねじ部が形成されている。挿入孔４５１は、板状の磁気遮蔽部材５ｈにバーリング加工を施すことにより形成されている。したがって、挿入孔４５１は、Ｙ方向において、リニアモータ固定子５ｆ側に突出した形状を有している。具体的には、挿入孔４５１のリニアモータ固定子５ｆ側の縁部は、リニアモータ固定子５ｆ側に向かって曲げられた挿入孔曲げ部４５１ａを有している。挿入孔曲げ部４５１ａは、Ｙ１方向側から視て、円状に形成されている。挿入孔曲げ部４５１ａは、Ｙ方向において、リニアモータ固定子５ｆ側に向かうにしたがって、挿入孔４５１の中心側に湾曲している。

　磁気遮蔽部材５ｈは、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２側に向かって発せられる磁束の向きを変化させるように構成されている。すなわち、磁気遮蔽部材５ｈは、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２側に向かって発せられる磁束を引き込むとともに、リニアモータ固定子５ｆ側に放出するように構成されている。

　具体的には、磁気遮蔽部材５ｈは、上側曲げ部４５２と、下側曲げ部４５３とを有している。なお、上側曲げ部４５２は、請求の範囲の「第１曲げ部」の一例である。また、下側曲げ部４５３は、請求の範囲の「第２曲げ部」の一例である。

　上側曲げ部４５２は、磁気遮蔽部材５ｈの上端部がリニアモータ固定子５ｆ側に向くように曲げられている。上側曲げ部４５２は、Ｙ方向において、リニアモータ固定子５ｆ側に向かうにしたがってＺ１方向側に傾斜している。ここで、磁気遮蔽部材５ｈには、上側曲げ部４５２を形成するために、曲げ加工が施されている。下側曲げ部４５３は、磁気遮蔽部材５ｈの下端部がリニアモータ固定子５ｆ側に向くように曲げられている。下側曲げ部４５３は、Ｙ方向に沿って延びている。ここで、磁気遮蔽部材５ｈには、下側曲げ部４５３を形成するために、曲げ加工が施されている。

　このように、磁気遮蔽部材５ｈには上側曲げ部４５２および下側曲げ部４５３を形成するために曲げ加工が施されているが、磁気遮蔽部材５ｈの磁気センサ１５２側の面は、上側曲げ部４５２および下側曲げ部４５３において、角ではなくＲ形状（丸みを帯びた滑らかな形状）を有している。

（第１実施形態の効果）
　第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

　第１実施形態では、上記のように、磁気センサ１５２とリニアモータ固定子５ｆとの間に配置され、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束を遮る磁気遮蔽部材５ｈを設ける。これにより、磁気遮蔽部材５ｈによりリニアモータ固定子５ｆから放出される磁束を遮ることによって、リニアモータ固定子５ｆから放出される磁束に起因する磁気センサ１５２の誤検出を抑制することができる。したがって、リニアモータ固定子５ｆにおいて発せられる磁束の方向と磁気センサ１５２により検出する磁束の方向とを異ならせるように、磁気センサ１５２とリニアモータ固定子５ｆとを配置する必要がないとともに、磁気センサ１５２とリニアモータ固定子５ｆとの間隔を大きくする必要がない。これにより、磁気遮蔽部材５ｈにより、磁気センサ１５２およびリニアモータ固定子５ｆの配置位置の自由度を向上させることができる。これらの結果、磁気センサ１５２による磁束の誤検出を抑制しつつ、磁気センサ１５２およびリニアモータ固定子５ｆの配置位置の自由度を向上させることにより、リニアコンベア１０１を小型化することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、磁気遮蔽部材５ｈを、リニアモータ固定子５ｆから発せられる磁束を引き込むことにより、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束を遮るように構成する。これにより、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束を磁気遮蔽部材５ｈにより引き込むことによって、磁気センサ１５２に磁束が到達しにくくすることができるので、磁気センサ１５２によるスライダ４の位置の検出精度を確保することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、磁気遮蔽部材５ｈを、Ｘ方向に沿って延びる板状に形成する。これにより、Ｘ方向において、リニアモータ固定子５ｆから発せられる磁束を遮蔽することができるので、リニアモータ固定子５ｆから発せられる磁束を磁気センサ１５２に到達しにくくすることができる。また、磁気遮蔽部材５ｈをＸ方向に沿って延びる板状に形成することにより、磁気遮蔽部材５ｈをブロック状に形成する場合と比較して、Ｙ方向における磁気遮蔽部材５ｈの厚みを小さくすることができるので、リニアコンベア１０１のＹ方向の大型化を抑制することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、リニアモータ固定子５ｆ、磁気遮蔽部材５ｈおよび磁気センサ１５２を、Ｙ方向に沿って並んで配置する。コア２５１ａを、Ｙ向に沿って延ばす。板状の磁気遮蔽部材５ｈを、Ｙ方向において、少なくとも固定子部２５１のコア２５１ａを覆う大きさに設ける。これにより、磁束が最も多く放出される箇所（固定子部２５１のコア２５１ａ）を磁気遮蔽部材５ｈにより少なくとも覆うことができるので、磁気遮蔽部材５ｈによりリニアモータ固定子５ｆから発せられる磁束を効果的に遮ることができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、Ｚ方向において、板状の磁気遮蔽部材５ｈの長さを、コア２５１ａの長さより大きくする。これにより、コア２５１ａよりもＺ方向の広い範囲を磁気遮蔽部材５ｈにより覆うことができるので、リニアモータ固定子５ｆから広がりながら磁気センサ１５２に向かう磁束をより確実に遮蔽することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、板状の磁気遮蔽部材５ｈを、複数の固定子部２５１のうち端部に配置された固定子部２５１のコア２５１ａよりも外側に延ばす。これにより、Ｘ方向に沿って複数並んで配置される固定子部２５１のコア２５１ａを覆うことができるので、リニアモータ固定子５ｆから磁気遮蔽部材５ｈに発せられる磁束を効果的に遮ることができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、Ｘ方向において、磁気遮蔽部材５ｈの一方側端部Ｓ１を、複数の固定子部２５１のうち一方側端部Ｓ１に配置された固定子部２５１のコア２５１ａよりも一方側に延ばす。Ｘ方向において、磁気遮蔽部材５ｈの他方側端部Ｓ２を、複数の固定子部２５１のうち他方側端部Ｓ２に配置された固定子部２５１のコア２５１ａよりも他方側に延ばす。これにより、Ｘ方向に沿って複数並んで配置される固定子部２５１のコア２５１ａを磁気遮蔽部材５ｈによりＸ方向法の一方側端部Ｓ１から他方側端部Ｓ２にわたって覆うことができるので、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束をより確実に遮蔽することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、磁気遮蔽部材５ｈに、締結部材５ｃが挿入される挿入孔４５１を設ける。挿入孔４５１のリニアモータ固定子５ｆ側の縁部に、リニアモータ固定子５ｆ側に向かって曲げられた挿入孔曲げ部４５１ａを設ける。これにより、磁気遮蔽部材５ｈにより遮蔽され挿入孔４５１の縁から放出される磁束を挿入孔曲げ部４５１ａに沿ってリニアモータ固定子５ｆ側に放出することができるので、磁気遮蔽部材５ｈから放出される磁束を磁気センサ１５２に到達しにくくすることができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、締結部材５ｃを、非磁性体により構成する。これにより、締結部材５ｃが磁性体の場合と異なり、締結部材５ｃが磁化しないので、リニアモータ固定子５ｆから発せられる磁束により締結部材５ｃが磁化されることに起因して締結部材５ｃから発せられる磁束が磁気センサ１５２に到達してしまうことを抑制することができる。この結果、リニアモータ固定子５ｆから発せられる磁束を磁気センサ１５２に到達しにくくすることができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、磁気遮蔽部材５ｈを、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２側に向かって発せられる磁束を引き込むとともに、リニアモータ固定子５ｆ側に放出するように構成する。これにより、磁気遮蔽部材５ｈに引き込まれた磁束を磁気センサ１５２側とは反対側（リニアモータ固定子５ｆ側）に放出することができるので、磁気遮蔽部材５ｈから放出された磁束を磁気センサ１５２に到達しにくくすることができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、Ｚ方向において、磁気遮蔽部材５ｈに、上端部がリニアモータ固定子５ｆ側に向くように曲げられた上側曲げ部４５２、および、下端部がリニアモータ固定子５ｆ側に向くように曲げられた下側曲げ部４５３を設ける。これにより、上側曲げ部４５２および下側曲げ部４５３により、磁気センサ１５２から離れた箇所に、磁気遮蔽部材５ｈに引き込まれた磁束を放出することができる。また、上側曲げ部４５２および下側曲げ部４５３を設けることにより、上端部および下端部を上下方向に沿って直線状にした場合（曲げない場合）の磁気遮蔽部材５ｈと比較して、磁気遮蔽部材５ｈの上下方向への大型化を抑制することができる。これらの結果、磁気遮蔽部材５ｈから放出された磁束を磁気センサ１５２に到達しにくくすることができるとともに、リニアコンベア１０１のＺ方向への大型化を抑制することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、スライダ４に、磁気センサ１５２に対向するように配置され、磁気センサ１５２により検出される磁束を放出する磁気スケール４ｄを設ける。磁気遮蔽部材５ｈを、Ｙ方向において、コア２５１ａと、磁気センサ１５２および磁気スケール４ｄとの間に配置する。これにより、リニアモータ固定子５ｆから磁気スケール４ｄに向かう磁束を磁気遮蔽部材５ｈにより遮蔽することによって、磁気スケール４ｄに磁束が到達しにくくすることができるので、リニアモータ固定子５ｆから発せられる磁束から磁気スケール４ｄを保護することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、支持部材５ｂに、磁気センサ１５２とリニアモータ固定子５ｆとの間に設けられ、Ｚ１方向に突出した取付壁５４を設ける。磁気センサ１５２を、取付壁５４におけるリニアモータ固定子５ｆ側とは反対側のセンサ側側面５４ｃに取り付ける。磁気遮蔽部材５ｈを、磁気センサ１５２と共通の取付壁５４におけるリニアモータ固定子５ｆ側のモータ側側面５４ｂに取り付ける。これにより、磁気センサ１５２と磁気遮蔽部材５ｈとを共通の取付壁５４に取り付けることにより、支持部材５ｂの構造の複雑化および大型化を抑制することができるので、リニアコンベア１０１の構造の複雑化および大型化を抑制することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、リニアコンベア１０１に、複数の固定子部２５１を一制御区間ごとに分けることにより設けられ、別個に通電制御される複数のユニット部材５ｇを設ける。磁気遮蔽部材５ｈを、複数のユニット部材５ｇの全てにわたって、磁気センサ１５２と固定子部２５１との間に配置する。これにより、２個以上のユニット部材５ｇにまたがって通電制御が行われて固定子部２５１から磁束が発せられる場合であっても、磁気遮蔽部材５ｈにより確実に磁束を遮蔽することができるので、磁気センサ１５２の位置の検出精度を確保することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、磁気遮蔽部材５ｈを、磁性体により構成する。これにより、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束により磁気遮蔽部材５ｈを磁化させることによって、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束を磁気遮蔽部材５ｈにより引き込むことができる。この結果、磁気センサ１５２に磁束が到達しにくくすることができるので、磁気センサ１５２によるスライダ４の位置の検出精度を確保することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、磁性体としての磁気遮蔽部材５ｈを、鉄または鋼により形成する。これにより、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束により磁気遮蔽部材５ｈを容易に磁化させることができるので、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束を磁気遮蔽部材５ｈにより確実に引き込むことができる。

［第２実施形態］
　次に、図１０および図１１を参照して、第２実施形態のリニアコンベア５０１について説明する。第２実施形態のリニアコンベア５０１は、詳細には、磁気遮蔽部材５ｈのＸ方向の両端部に曲げ部が設けられていない上記第１実施形態のリニアコンベア１０１とは異なり、磁気遮蔽部材５０５ｈのＸ方向の両端部に曲げ部が設けられている。なお、第２実施形態において、上記第１実施形態と同様の構成に関しては、同じ符号を付して説明を省略する。

　図１０および図１１に示すように、第２実施形態のリニアコンベア５０１のリニアコンベアモジュール５０５は、カバー部材５ａ（図３参照）と、支持部材５ｂと、締結部材５ｃ（図示せず）と、磁気センサユニット５ｄと、ガイドレール５ｅと、リニアモータ固定子５ｆと、ユニット部材５ｇ（図６参照）と、磁気遮蔽部材５０５ｈとを含んでいる。

（磁気遮蔽部材）
　第２実施形態の磁気遮蔽部材５０５ｈは、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２側に向かって発せられる磁束を引き込むとともに、リニアモータ固定子５ｆ側に放出するように構成されている。

　具体的には、磁気遮蔽部材５０５ｈは、一方側曲げ部６５４と、他方側曲げ部６５５とを有している。一方側曲げ部６５４は、板状の磁気遮蔽部材５０５ｈのＸ１方向側の端部に設けられている。一方側曲げ部６５４は、Ｘ方向のＸ１方向側の端部（一方側端部Ｓ１）がリニアモータ固定子５ｆ側に向くように曲げられている。他方側曲げ部６５５は、Ｘ方向のＸ２方向側の端部（他方側端部Ｓ２）がリニアモータ固定子５ｆ側に向くように曲げられている。これにより、磁気遮蔽部材５０５ｈは、Ｘ方向のＸ１方向側の端部から放出される磁束、および、Ｘ方向のＸ２方向側の端部から放出される磁束の両方をリニアモータ固定子５ｆ側に放出可能に構成されている。なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態の構成と同様である。

（第２実施形態の効果）
　第２実施形態の効果について説明する。

　第２実施形態では、上記のように、磁気センサ１５２とリニアモータ固定子５ｆとの間に配置され、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束を遮る磁気遮蔽部材５０５ｈを設ける。これにより、磁気センサ１５２による磁束の誤検出を抑制しつつ、磁気センサ１５２およびリニアモータ固定子５ｆの配置位置の自由度を向上させることにより、リニアコンベア１０１を小型化することができる。

　また、第２実施形態では、上記のように、磁気遮蔽部材５０５ｈに、Ｘ方向の一方側端部Ｓ１がリニアモータ固定子５ｆ側に向くように曲げられた一方側曲げ部６５４を設ける。磁気遮蔽部材５０５ｈに、Ｘ方向の他方側端部Ｓ２がリニアモータ固定子５ｆ側に向くように曲げられた他方側曲げ部６５５を設ける。これにより、一方側曲げ部６５４および他方側曲げ部６５５により、磁気センサ１５２側とは反対側（リニアモータ固定子５ｆ側）に、磁気遮蔽部材５０５ｈに引き込まれた磁束を放出することができる。また、一方側曲げ部６５４および他方側曲げ部６５５を設けることにより、一方側端部および他方側端部をＸ方向に沿って直線状にした場合（曲げない場合）の磁気遮蔽部材５０５ｈと比較して、磁気遮蔽部材５０５ｈのＸ方向への大型化を抑制することができる。これらの結果、磁気遮蔽部材５０５ｈから放出された磁束を磁気センサ１５２に到達しにくくすることができるとともに、リニアコンベア１０１のＸ方向の大型化を抑制することができる。なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態の効果と同様である。

［変形例］
　なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

　たとえば、上記第１および第２実施形態では、締結部材５ｃは、オーステナイト系ステンレス鋼により形成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、締結部材は、他の非磁性体の金属により形成されてもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、磁性体としての磁気遮蔽部材５ｈ（５０５ｈ）は、鉄または鋼により形成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気遮蔽部材は、他の磁性体である金属材料であってもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、磁気遮蔽部材５ｈ（５０５ｈ）は、上側曲げ部４５２（第１曲げ部）と、下側曲げ部４５３（第２曲げ部）とを有している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気遮蔽部材は、第１曲げ部および第２曲げ部の両方を有していなくてもよいし、第１曲げ部および第２曲げ部のいずれか１つを有していなくてもよい。

　また、上記第２実施形態では、磁気遮蔽部材５０５ｈは、一方側曲げ部６５４および他方側曲げ部６５５の両方を含む例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気遮蔽部材は、一方側曲げ部および他方側曲げ部の両方を含んでいなくてもよいし、一方側曲げ部および他方側曲げ部のいずれか１つを含んでいてもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、磁気遮蔽部材５ｈ（５０５ｈ）は、Ｘ方向（ガイドレール５ｅの延びる方向）に沿って延びる板状に形成されている例を示したが、本発明は、これに限られない。本発明では、磁気遮蔽部材は、ブロック状などに形成されてもよい。

　また、第１および第２実施形態では、磁気遮蔽部材５ｈ（５０５ｈ）は、リニアモータ固定子５ｆから発せられる磁束を引き込むことにより、リニアモータ固定子５ｆから磁気センサ１５２に向かう磁束を遮るように構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気遮蔽部材は、リニアモータ固定子から発せられる磁束を反射などさせることにより、リニアモータ固定子から磁気センサに向かう磁束を遮るように構成されていてもよい。

　また、第１および第２実施形態では、磁気遮蔽部材５ｈ（５０５ｈ）は、磁気センサ１５２と共通の取付壁５４におけるリニアモータ固定子５ｆ側の側面に取り付けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気遮蔽部材は、磁気センサとは異なる箇所に取り付けられてもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、Ｘ方向の長さが同じリニアコンベアモジュール５が、Ｘ方向に複数並んでいる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、Ｘ方向の長さの異なるリニアコンベアモジュール同士が、Ｘ方向に並んでいてもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、磁気遮蔽部材５ｈ（５０５ｈ）は、リニアコンベアモジュール５（５０５）のＸ１方向側の端部Ｅ１近傍からリニアコンベアモジュール５（５０５）のＸ２方向側の端部Ｅ２近傍にわたって途切れることなく延びる一枚板である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気遮蔽部材は、複数に分割されていてもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、磁気遮蔽部材５ｈ（５０５ｈ）は、締結部材５ｃにより、支持部材５ｂに取り付けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気遮蔽部材は、接着剤などにより、支持部材に取り付けられていてもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、締結部材５ｃは、Ｚ方向(上下方向)において、取付壁５４の中央部分に配置されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、締結部材は、上下方向において、取付壁の中央部分よりも上側または下側に配置されていてもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、磁気センサ１５２は、センサ側側面５４ｃに取り付けられているとともに、磁気遮蔽部材５ｈ（５０５）は、磁気センサ１５２と共通の取付壁５４におけるモータ側側面５４ｂに取り付けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気センサが、磁気遮蔽部材のリニアモータ固定子とは反対側の面に直接取り付けられてもよい。

　４　スライダ
　４ｂ　リニアモータ可動子
　４ｄ　磁気スケール
　４ｈ　永久磁石
　５ｂ　支持部材
　５ｃ　締結部材
　５ｅ　ガイドレール
　５ｆ　リニアモータ固定子
　５ｇ　ユニット部材
　５ｈ、５０５ｈ　磁気遮蔽部材
　５４　取付壁
　５４ｂ　モータ側側面（リニアモータ固定子側の側面）
　５４ｃ　センサ側側面（リニアモータ固定子側とは反対側の側面）
　１０１、５０１　リニアコンベア
　１５２　磁気センサ
　２５１　固定子部
　２５１ａ　コア
　２５１ｂ　コイル
　４５１　挿入孔
　４５１ａ　挿入孔曲げ部
　４５２　上側曲げ部（第１曲げ部）
　４５３　下側曲げ部（第２曲げ部）
　６５４　一方側曲げ部
　６５５　他方側曲げ部
　Ｌ１　（磁気遮蔽部材の）長さ
　Ｌ２　（コアの）長さ
　Ｓ１　（磁気遮蔽部材の）一方側端部
　Ｓ２　（磁気遮蔽部材の）他方側端部

Claims

　コアと、前記コアに巻き回されたコイルとを有する固定子部を含むリニアモータ固定子と、
　永久磁石を有するリニアモータ可動子を含むスライダと、
　前記スライダの移動をガイドするガイドレールと、
　前記スライダの位置を検出する磁気センサと、
　前記磁気センサと前記リニアモータ固定子との間に配置され、前記リニアモータ固定子から前記磁気センサに向かう磁束を遮る磁気遮蔽部材とを備える、リニアコンベア。
　前記磁気遮蔽部材は、前記リニアモータ固定子から発せられる磁束を引き込むことにより、前記リニアモータ固定子から前記磁気センサに向かう磁束を遮るように構成されている、請求項１に記載のリニアコンベア。
　前記磁気遮蔽部材は、前記ガイドレールの延びる方向に沿って延びる板状に形成されている、請求項１または２に記載のリニアコンベア。
　前記リニアモータ固定子、前記磁気遮蔽部材および前記磁気センサは、前記ガイドレールの延びる方向に直交する前記ガイドレールの幅方向に沿って並んで配置され、
　前記コアは、前記ガイドレールの幅方向に沿って延びており、
　板状の前記磁気遮蔽部材は、前記ガイドレールの幅方向において、少なくとも前記固定子部の前記コアを覆う大きさを有している、請求項３に記載のリニアコンベア。
　前記ガイドレールの延びる方向と、前記ガイドレールの幅方向とに直交する方向において、板状の前記磁気遮蔽部材の長さは、前記コアの長さより大きい、請求項４に記載のリニアコンベア。
　前記固定子部は、前記ガイドレールの延びる方向に沿って複数並んで配置され、
　前記ガイドレールの延びる方向において、板状の前記磁気遮蔽部材は、複数の前記固定子部のうち端部に配置された前記固定子部の前記コアよりも外側に延びている、請求項４または５に記載のリニアコンベア。
　前記ガイドレールの延びる方向において、前記磁気遮蔽部材の一方側端部は、複数の前記固定子部のうち一方側端部に配置された前記固定子部の前記コアよりも一方側に延びているとともに、前記磁気遮蔽部材の他方側端部は、複数の前記固定子部のうち他方側端部に配置された前記固定子部の前記コアよりも他方側に延びている、請求項６に記載のリニアコンベア。
　前記磁気遮蔽部材を取り付ける締結部材をさらに備え、
　前記磁気遮蔽部材は、前記締結部材が挿入される挿入孔を有し、
　前記挿入孔の前記リニアモータ固定子側の縁部は、前記リニアモータ固定子側に向かって曲げられた挿入孔曲げ部を有する、請求項１～７のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
　前記締結部材は、非磁性体により構成されている、請求項８に記載のリニアコンベア。
　前記磁気遮蔽部材は、前記リニアモータ固定子から前記磁気センサ側に向かって発せられる磁束を引き込むとともに、前記リニアモータ固定子側に放出するように構成されている、請求項１～９のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
　前記ガイドレールの延びる方向と、前記ガイドレールの延びる方向に直交する前記ガイドレールの幅方向とに直交する方向において、前記磁気遮蔽部材は、一方の端部が前記リニアモータ固定子側に向くように曲げられた第１曲げ部、および、他方の端部が前記リニアモータ固定子側に向くように曲げられた第２曲げ部のうち少なくともいずれかを含む、請求項１０に記載のリニアコンベア。
　前記磁気遮蔽部材は、前記ガイドレールの延びる方向の一方側端部が前記リニアモータ固定子側に向くように曲げられた一方側曲げ部、および、前記ガイドレールの延びる方向の他方側端部が前記リニアモータ固定子側に向くように曲げられた他方側曲げ部のうち少なくともいずれかを含む、請求項１０または１１に記載のリニアコンベア。
　前記スライダは、前記磁気センサに対向するように配置され、前記磁気センサにより検出される磁束を放出する磁気スケールをさらに含み、
　前記固定子部の前記コアは、前記磁気センサと前記磁気スケールとが対向する方向に沿って延びて配置され、
　前記磁気遮蔽部材は、前記磁気センサと前記磁気スケールとが対向する方向において、前記コアと、前記磁気センサおよび前記磁気スケールとの間に配置されている、請求項１～１２のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
　前記リニアモータ固定子および前記ガイドレールを支持する支持部材をさらに備え、
　前記支持部材は、前記磁気センサと前記リニアモータ固定子との間に設けられ、上方向に突出した取付壁を有し、
　前記磁気センサは、前記取付壁における前記リニアモータ固定子側とは反対側の側面に取り付けられているとともに、前記磁気遮蔽部材は、前記磁気センサと共通の前記取付壁における前記リニアモータ固定子側の側面に取り付けられている、請求項１～１３のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
　前記固定子部は、前記ガイドレールの延びる方向に沿って複数並んで配置され、
　複数の前記固定子部を所定の区間ごとに分けることにより設けられ、別個に通電制御される複数のユニット部材をさらに備え、
　前記複数のユニット部材の各々は、前記磁気センサを含み、
　前記磁気遮蔽部材は、前記複数のユニット部材の全てにわたって、前記磁気センサと前記固定子部との間に配置されている、請求項１～１４のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
　前記磁気遮蔽部材は、磁性体により構成されている、請求項１～１５のいずれか１項に記載のリニアコンベア。
　磁性体としての前記磁気遮蔽部材は、鉄または鋼により形成されている、請求項１６に記載のリニアコンベア。