JP5106833B2 - リニアモータおよび一軸アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、リニアモータおよびこのモータを用いてテーブル等を一軸向に移動させる一軸アクチュエータに関するものである。

従来から、表面側の磁極がＮ極及びＳ極となる永久磁石を交互に一方向に配列した固定子と、この固定子に対向して配置され、電機子コイルを巻装した電機子コアを具備した可動子とを備え、上記コイルに対する通電が制御されることにより可動子が永久磁石の配列方向に直線的に移動するように構成されたリニアモータは一般に知られている。この種のリニアモータは各種分野において物品の搬送等に用いられ、単軸ロボット等にも適用されている。

なお、このようなリニアモータでは、可動子は、例えば電機子コアが櫛形、すなわち板状のティースが一定間隔で平行に並ぶ形状に形成され、各ティースに前記電機子コイルが巻装された構成となっているが、この構造の場合、可動子両端（ストローク方向両端）でスロットが開放され鎖交磁束が同中央部分とは異なるため、端効果により、電機子コアに対し移動方向に作用する電磁力が脈動、いわゆるコギング力が発生して推力にむらが生じ易くなる。そのため、従来では、電機子コアの両端に上記ティース（主ティースという）とは別に補助ティースを設け、主ティースに働くコギング力を補助ティースによるコギング力で相殺するこれによりトータル的なコギング力を低減させて推力むらを改善することが行われていた（特許文献１）。
特公昭６０−３０１９５号公報

上記のように電機子コアに補助ティースを設けた構成によれば、コギング力を低減させる上で有効と考えられているが、実際にはコギング力を完全に解消することは難しく、推力むらを完全に無くすことはできない。これはリニアモータの具体的な構造との関係に因るものと考えられる。そのため、推進むらをより改善するために、このような具体的な構造との関係で、コギング力をより低減できるようにすることが望まれる。

本発明は、上記の事情に鑑みて成されたものであって、コギング力をより効果的に低減することで、推進むらをより改善することを目的とするものである。

本発明は、上記の事情に鑑み、交互に極性が異なるように複数の磁石が一軸方向に並べて配置された界磁部と、前記磁石と所定隙間を隔てて対向配置される電機子とを備え、界磁部と電機子とが前記一軸方向に相対的に移動するように構成されたリニアモータにおいて、前記電機子は、互いに平行な状態で前記一軸方向に並ぶ板状の複数の主ティースおよびこれら主ティースの並び方向両側に配置される板状の一対の補助ティースを具備する電機子コアと、各主ティースに巻装されるコイルとを備え、前記各ティースは、前記一軸方向と直交する方向に沿って細長い断面長方形であり、前記主ティースに対して前記各補助ティースが斜めになる状態で配置されており、前記界磁部の各磁石は、前記一軸方向と直交する方向に沿って細長い断面長方形であり、隣接する磁石同士が互いに平行でかつ前記主ティースに対して斜めになる状態で配置されているものである。

具体的には、界磁部の各磁石が、前記一軸方向に対して斜めに配置され、前記各主ティースが、前記一軸方向に対面するようにそれぞれ配置され、前記各補助ティースが、互いに平行に、かつ前記磁石と対称な傾き、又はそれに近い傾き状態で配置されているものである。あるいは、前記界磁部の各磁石が、前記一軸方向に対して斜めに配置され、前記各主ティースが、前記一軸方向に対面するようにそれぞれ配置され、前記各補助ティースが、互いに平行に、かつ前記磁石と同じ又はそれに近い傾き状態で配置されているものである。

具体的には、前記磁石および各ティースが次のように設けられる。すなわち、前記界磁部の各磁石は、長手方向が前記一軸方向に対して斜めになる状態で配置され、前記各主ティースは、長手方向が前記一軸方向と直交する状態で配置され、前記各補助ティースは、互いに平行に、かつ長手方向が前記一軸方向に対して前記磁石とは逆向きに傾いた状態で配置される。また、前記界磁部の各磁石は、長手方向が前記一軸方向に対して斜めになる状態で配置され、前記各主ティースは、長手方向が前記一軸方向と直交する状態で配置され、前記各補助ティースは、互いに平行に、かつ長手方向が前記一軸方向に対して前記磁石と同じ向きに傾いた状態で配置される。また、前記界磁部の各磁石は、長手方向が前記一軸方向と直交する状態で配置され、前記各主ティースは、長手方向が前記一軸方向に対して斜めになる状態で配置され、前記各補助ティースは、互いに平行に、かつ長手方向が前記一軸方向と直交する状態で配置される。また、前記界磁部の各磁石は、長手方向が前記一軸方向と直交する状態で配置され、前記各主ティースは、長手方向が前記一軸方向に対して斜めになる状態で配置され、前記各補助ティースは、互いに平行に、かつ長手方向が前記一軸方向に対して前記主ティースとは逆向きに傾いた状態で配置される。

このような構成によると、電機子コアの主ティースの外側に補助ティースが設けられているため、主ティースに働くコギング力と補助ティースによるコギング力とが相殺されてトータル的なコギング力が効果的に低減される。この際、主ティースに働くコギング力の強さは、界磁部の磁石の影響を受けて周期的に変動するものの各主ティース間ピッチの微妙な相違等の種々の要因の影響を受けてやや複雑に変動することとなるが、補助ティースが主ティースに対して斜めに配置されている上記の構成によると、発明の実施形態中で説明するように、このように複雑に変動する主ティースのコギング力を効果的に相殺してトータル的なコギング力を低減することができるようになる。

一方、本発明に係る一軸アクチュエータは、ベース部材と、このベース部材に対して一軸方向に移動自在に支持されるテーブルと、前記ベース部材に固定される界磁部およびこれに対向するように前記ベース部に固定される電機子を具備したリニアモータとを備えた単軸ロボットにおいて、前記リニアモータとして上記のようなリニアモータを備えているものである。

この一軸アクチュエータによると、トータル的なコギング力を効果的に低減可能な上記のリニアモータが適用されているので、推力むらの発生を抑えてよりスムーズにテーブルを移動させることが可能となる。

本発明に係るリニアモータによれば、主ティースに働くコギング力と補助ティースによるコギング力との相殺効果をより高めることができる。従って、トータル的なコギング力を効果的に低減することができ、その結果、推力むらをより確実に解消することができる。

そして、このようなリニアモータを備えた本発明に係る単軸ロボットによると、よりスムーズにテーブルを移動させることが可能となる。

本発明の実施形態について図面を用いて説明する。

図１および図２は、本発明に係るリニアモータであるムービングコイル型リニアモータの概略を示しており、図１は側面図で、図２は断面図（図１のII−II断面図）でそれぞれリニアモータを示している。

これらの図に示すように、リニアモータ１は、固定部２（界磁部）と、この固定部２に対して移動可能に配置される可動部３（電機子）とを有している。

前記固定部２は、一軸方向（図１では左右方向；可動部３の移動方向）に延びる細長板状の固定ヨーク１２と、この固定ヨーク１２の上面に配置され、交互に極性が異なるように（表面側の磁極がＮ、Ｓ、Ｎ、Ｓ…となるように）上記一軸方向に配列される複数の永久磁石１４とから構成されている。なお、以下の説明では、便宜上、上記一軸方向を移動方向とよび、これと直交する方向（図２では上下方向）を左右方向として説明を進める。

各永久磁石１４は、平面視長方形の板状に形成されており、互いに平行に、かつ一定ピッチで、図２に示すように一対の長辺が移動方向に並ぶように一列に並べられている。また、各永久磁石１４は、長手方向が移動方向に対して斜めになるように配置されており、この実施形態では、永久磁石１４の中心線（長辺と平行な線）が移動方向に対して反時計回りにθ１（＝８０°）傾いた状態で各永久磁石１４が配置されている。

前記可動部３は、電機子コア２０と、これに巻装されるコイル２４とから構成されている。電機子コア２０は、移動方向に一列に並ぶ板状の複数の主ティース２２と、これら主ティース２２の両側（移動方向両側）に配置される板状の一対の補助ティース２３と有しており、各主ティース２２には前記コイル２４がそれぞれ巻装されている。

各ティース２２，２３は、永久磁石１４側の下側面が永久磁石１４の表面と所定隙間を保って移動可能とされており、各ティース２２，２３の下端面は長方形をしている。

各主ティース２２は、前記下側面の長方形状の長手方向が移動方向と直交する状態で、互いに平行に一定ピッチで設けられている。一方、前記一対の補助ティース２３は、互いに平行に、かつ主ティース２４に対して斜めに配置さている。この実施形態では、各補助ティース２３は、主ティース２２と１０°の角度差を有するように設けられている。つまり、補助ティース２３は、中心線（長辺と平行な線分）が移動方向に対して反時計回りにθ２（＝１００°）傾いた状態で設けられており、換言すれば、各補助ティース２３は永久磁石１４とは対称な傾き状態で設けられている。

このように構成された実施形態のリニアモータ１において、図外の駆動装置からコイル２４に駆動電流が供給されると、これにより磁束（各コイル２４による磁束）が発生、この磁束と永久磁石１４との相互作用により固定部２と可動部３との間に推力が発生し、可動部３が一軸方向に移動することとなる。

この場合、主ティース２２の長手方向と永久磁石１４の長手方向が相対的に角度を有するので、主ティース２２による推力の脈動、すなわちコギング力が緩和される。さらに、電機子コア２０において主ティース２２の両側に補助ティース２３が設けられているため、主ティース２２に働くコギング力と補助ティース２３によるコギング力とが相殺され、これによってトータル的なコギング力が低減されて推力むらの発生が抑えられる。特に、この実施形態の電機子コア２０では、補助ティース２３が主ティース２２に対して上記のように斜めに設けられている結果、従来のこの種のリニアモータに比べてコギング力をより効果的に低減することが可能となる。

すなわち、可動部３が固定部２に対して移動すると、これに伴い主ティース２２に、周期的に変化するコギング力ｆ１が働くが、補助ティース２３を設け、そのピッチ等を整備すると、ちょうど主ティース２２のコギング力ｆ１とは逆位相のコギング力ｆ２が補助ティース２３に働き、これによってコギング力ｆ１，ｆ２が相殺されて、トータル的なコギング力Ｆが低減される。この際、主ティース２２のコギング力ｆ１の強さは、主に永久磁石１４の影響を受けて周期的に変動するが、各主ティース２２間ピッチの微妙な相違等、他の要因も少なからず影響する。一方、補助ティースのコギング力ｆ２の強さは、専ら永久磁石１４の影響だけを受けて変動する。そのため、主ティース２２と補助ティース２３とを平行に配置した従来の構成では、例えば図３に示すように、主ティース２２に働くコギング力ｆ１が周期的にではあるがやや複雑に変動するのに対して、補助ティース２３は比較的正弦波に近い変動を示す。従って、両コギング力ｆ１，ｆ２の強さの変動が厳密には対称とはならず、その結果、主ティース２２に働くコギング力ｆ１が補助ティース２３に働くコギング力ｆ２では十分に相殺されず、トータル的には依然としてコギング力（同図中の符号Ｆ）が残存する場合がある。これに対して、実施形態のように主ティース２２に対して補助ティース２３が斜めに配置された構成によると、左右方向において補助ティース２３に働くコギング力が一様で無くなっている結果、補助ティース２３に働くコギング力もやや複雑に変動することとなる。そのため、補助ティース２３の傾き角度θ２等を整備することで、補助ティース２３のコギング力ｆ２を主ティース２２のコギング力ｆ１により近い状態で変動させることが可能となり、これによって主ティース２２に働くコギング力と補助ティース２３によるコギング力とをより効果的に相殺することができるようなる。当実施形態では、上記の通り補助ティース２３を主ティースに対して１０°だけ斜めに設けることにより良好な結果を確認している。

従って、この実施形態のリニアモータ１によると、トータル的なコギング力Ｆをより効果的に低減することができ、これによって推力むらの発生をより確実に防止できるようになるという効果がある。

次に、上記のリニアモータ１を組み込んだ本発明に係る一軸アクチュエータである単軸ロボットについて図面を用いて説明する。

図４および図５は、単軸ロボットの概略を示しており、図４は平面図で、図５は断面図（図４のV−V断面図）でそれぞれ単軸ロボットを示している。

これらの図に示すように単軸ロボット３０は、ケース部材３２と、各種作業用機器を搭載するためのテーブル３３と、このテーブル３３を移動させるための上記リニアモータ１を含む駆動機構とを備えている。

前記ケース部材３２は、フレーム４２（本発明のベース部材に相当する）と、一対の上部カバー４４と、一対の端面カバー４６とからなり、一軸方向に延びる箱形に形成されている。なお、当実施形態では、説明の便宜のためにケース部材３２の延びる一軸方向を前後方向とし、ケース部材３２の幅方向（図５の左右方向）を左右方向として説明する。

前記フレーム４２は、例えばアルミニウム合金等の押出し材やダイキャストからなる前後方向に細長の部材で、所定厚みを有する底壁部４２ａと、この底壁部４２ａの左右両側から上方に延びる側壁部４２ｂと有する上方に開口した断面略Ｕ字形に形成されている。

前記一対（左右一対）の上部カバー４４は、図５に示すように、ケース部材３２の側壁部４２ｂに連続して上下方向に延び、その上端部からケース部材３２の内側に向かって水平に延びる断面逆Ｌ字形の部材で、左右対称に形成されている。これら上部カバー４４は、前後方向に細長に形成されており、同図に示すように、それぞれボルトによりフレーム４２の前記側壁部４２ｂの上端部に固定されている。

前記一対（前後一対）の端面カバー４６は、例えば矩形のブロック状の部材で、フレーム４２の前後端面に図外のボルトで固定されている。

そして、フレーム４２に対して上部カバー４４および端面カバー４６が組み付けられることにより、これらフレーム４２等が協働して上記駆動機構を収容するための空間をもつ前記ケース部材３２を構成している。

このケース部材３２の内部には、テーブル３３と上記駆動機構とが配備されている。

具体的には、フレーム４２の内底面に、左右方向に所定間隔を隔てて並ぶ一対のリニアガイド装置５０が配備され、これらリニアガイド装置５０に前記テーブル３３が固定され、さらに駆動源として上記リニアモータ１がケース部材３２内に組み込まれている。

各リニアガイド装置５０は、前後方向に延びるレール５１（案内レール）と、このレール５１に剛球５２を介してスライド自在に装着されるスライダ５３とから構成されており、レール５１が互いに平行に並ぶ状態でフレーム４２の底壁部４２ａに固定されている。そして、これらリニアガイド装置５０の各スライダ５３に跨った状態で、当該スライダ５３に対して前記テーブル３３が固定されている。

テーブル３３は、平面視矩形の部材であって、上記スライダ５３に固定されるテーブルベース６１と、このテーブルベース６１上に積層固定されるテーブル本体６２とから構成されている。

テーブル本体６２は、上部カバー４４より上方に配置され、両上部カバー４４の間に形成される開口部分を介してテーブルベース６１に固定されている。テーブル本体６２の上面には、その左右両端に、前後方向に延びる突条からなる取付座６２ａが形成されており、これら取付座６２ａに対して各種作業用部材がボルトで固定されるようになっている。なお、テーブル本体６２の上部であって両取付座６２ａの間の部分には、前後方向に延び、かつ前後両端が端面カバー４６にそれぞれ固定される帯状のシャッタ部材４７が配備されており、これによって両上部カバー４４の間に形成される前記開口部分が覆われるようになっている。

そして、上記テーブル３３とフレーム４２（底壁部４２ａ）との間に、上記リニアモータ１が配備されている。詳しくは、フレーム４２の底壁部４２ａの左右略中央に、下向きに凹み、かつ前後方向に延びる溝部４３ａが形成され、この溝部４３ａの内底面に、前記永久磁石１４が前後方向に並ぶように前記固定部２が固定されている。また、前記テーブル３３のテーブルベース６１の下面に、可動部３が、前記固定部２との間に所定の隙間を隔てて固定されている。なお、可動部３の前記コイル２４は、図示されない基板に接続され、この基板及び当該基板に接続されたケーブルＷ１を介して図外の電源および制御回路に電気的に接続されるようになっている。このケーブルＷ１は、後述するセンサ制御用基板８３のケーブルＷ２と共にケース部材３２の側方に導出され、当該ケース部材側方に設けられる屈曲自在なダクト部材３６に保持されている。

また、フレーム４２の底壁部４２ａのうち、右側のリニアガイド装置５０のレール５１より外側（図４では右側）の位置には、磁気的に目盛りを記録したプレート状の磁気スケール８０がレール５１に沿って固定され、前記テーブル３３の右端部には、この磁気スケール８０を読取るためのＭＲセンサやホールセンサ等の磁気センサ８２が配備されている。つまり、磁気センサ８２により磁気スケール８０を読取ることによりテーブル３３の位置が検出されるようになっている。前記磁気センサ８２は、前記レール５１の直ぐ側方であって、スライダ５３の下面と底壁部４２ａとの間に形成される隙間Ｓ内に配置され、磁気スケール８０は、底壁部４２ａであって上記磁気センサ８２に対向する位置にそれぞれ配備されている。

磁気センサ８２は、センサ制御用基板８３と共にセンサホルダ８４（以下、単にホルダ８４という）に一体に組み付けられており、このホルダ８４が前記テーブルベース６１に組付けられることにより、当該テーブル３３に固定されている。詳しく図示していないがホルダ８４には、中空の基板収容部が設けられており、この基板収容部に前記センサ制御用基板８３が配置されている。そして、このセンサ制御用基板８３がケーブルＷ２を介して図外の電源及び制御回路に電気的に接続されるようになっている。

この単軸ロボット３０によると、図外の駆動装置からリニアモータ１のコイル２４に駆動電流が供給されることにより可動部３に磁束が発生し、この磁束と永久磁石１４との相互作用による推力によってテーブル３３が前後方向に移動する。そして、磁気センサ８２による磁気スケール８０の読取りに基づき可動部３の位置が検出され、この検出に基づいて駆動電流が制御されることにより、テーブル３３の移動およびその速度等が制御される。

このような実施形態の単軸ロボット３０によると、駆動源として上述したようなリニアモータ１を組み込んでいるため、作動時のコギング力Ｆを効果的に低減することができる。従って、推力むらの発生を効果的に抑えて、テーブル３３をよりスムーズに移動させることができるようになる。

この場合、単軸ロボット３０にリニアモータ１が組み込まれると、可動部３の主ティース２２に働くコギング力は、各主ティース２２間ピッチの微妙な相違等の影響以外に、周辺の磁性体、例えばリニアガイド装置５０等の影響を受けてより複雑に変動することが考えられるが、この場合でも具体的な構成に応じて、補助ティース２３のコギング力が主ティース２２のコギング力により近い変動を示すように補助ティース２３の傾き角度θ２等を整備することにより、これらコギング力を効果的に相殺することが可能となり、その結果、テーブル３３をスムーズに移動させることができるようになる。

なお、以上説明したリニアモータ１および単軸ロボット３０は、本発明の実施形態の一例であって、その具体的な構造は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

例えば、実施形態のリニアモータ１では、図２に示すように、各補助ティース２３は、永久磁石１４と対称な傾き状態で設けられているが、すなわち、中心線（長辺と平行な線）が移動方向に対して反時計回りにθ１（＝８０°）傾いた状態で各永久磁石１４が配置され、各補助ティース２３は、中心線（長辺と平行な線分）が移動方向に対して反時計回りにθ２（＝１００°）傾いた状態で設けられているが、各補助ティース２３は、永久磁石１４と同じ傾き状態（すなわちθ２＝８０°）で配置されていてもよい。また、一方の補助ティース２３と他方の補助ティース２３とが、互いに逆方向に傾いたものでもよい。要するに、本発明は、主ティース２２に対して補助ティース２３を斜めに設けることにより補助ティース２３に働くコギング力が左右方向において一様では無くなるようにし、これを利用して、補助ティース２３に働くコギング力の変動を主ティース２２に働くコギング力の変動に近づけてコギング力をより効果的に相殺し得るようにしたものである。従って、具体的な各補助ティース２３の傾き角度や方向は、コギング力をより効果的に相殺し得るように適宜選定するようにすればよい。

なお、上記実施形態では、各主ティース２２の下端面が長方形をしている場合を示したが、長円形等、細長い形状であれば特に形状を問わない。また、各主ティース２２は、その長手方向を移動方向と直交するように設けたが、主ティース２２の長手方向と永久磁石１４の長手方向が相対的に角度を有することを条件に、直交ではなく角度を持ってもよい。また、永久磁石１４の長手方向を移動方向と直交するようにし、主ティース２２の長手方向を移動方向に対して斜めとなるようにしてもよい。この場合も、主ティース２２の長手方向と永久磁石１４の長手方向とが相対的に角度を有するので、主ティース２２による推力の脈動、すなわちコギング力が緩和される。

一方、補助ティース２３については、その長手方向が主ティース２２の長手方向と角度を持つようにすることでコギング力をより低減できる。この角度の持たせ方には、補助ティース２３の長手方向と永久磁石１４の長手方向とが一致、あるいは小さい相対角度しか持たせないようにする場合と、補助ティース２３の長手方向が主ティース２２の長手方向だけでなく、永久磁石１４の長手方向に対しても角度を持たせるようにする場合がある。例えば永久磁石１４の長手方向が移動方向に対して直交し、かつ主ティース２２の長手方向が移動方向に対して斜めになるような構成では、補助ティース２３の長手方向が移動方向に対して直交するようにし、あるいは補助ティース２３の長手方向が、移動方向に対して主ティース２２の長手方向とは逆向きに傾くようにすることによってコギング力を低減することができる。

本発明に係るリニアモータの概略を示す側面図である。 リニアモータの概略を示す断面図（図１のII−II断面図）である。 主ティースのコギング力、補助ティースのコギング力およびトータルのコギング力の変動を示す図である。 本発明に係る単軸ロボット（本発明に係るリニアモータが組込まれた一軸アクチュエータ）の概略を示す平面図である。 単軸ロボットの概略を示す断面図（図４のV−V断面図）である。

符号の説明

１ リニアモータ
２ 固定子
３ 可動子
１４ 永久磁石
２０ 電機子コア
２２ 主ティース
２３ 可動子
２４ コイル
３０ 単軸ロボット
３２ ケース部材
３３ テーブル
５０ リニアガイド装置

Claims (6)

1. 交互に極性が異なるように複数の磁石が一軸方向に並べて配置された界磁部と、前記磁石と所定隙間を隔てて対向配置される電機子とを備え、界磁部と電機子とが前記一軸方向に相対的に移動するように構成されたリニアモータにおいて、
   前記電機子は、互いに平行な状態で前記一軸方向に並ぶ板状の複数の主ティースおよびこれら主ティースの並び方向両側に配置される板状の一対の補助ティースを具備する電機子コアと、各主ティースに巻装されるコイルとを備え、
   前記各ティースは、前記一軸方向と直交する方向に沿って細長い断面長方形であり、前記主ティースに対して前記各補助ティースが斜めになる状態で配置されており、
   前記界磁部の各磁石は、前記一軸方向と直交する方向に沿って細長い断面長方形であり、隣接する磁石同士が互いに平行でかつ前記主ティースに対して斜めになる状態で配置されていることを特徴とするリニアモータ。
2. 請求項１に記載のリニアモータにおいて、
   前記界磁部の各磁石は、長手方向が前記一軸方向に対して斜めになる状態で配置され、
   前記各主ティースは、長手方向が前記一軸方向と直交する状態で配置され、
   前記各補助ティースは、互いに平行に、かつ長手方向が前記一軸方向に対して前記磁石とは逆向きに傾いた状態で配置されていることを特徴とするリニアモータ。
3. 請求項１に記載のリニアモータにおいて、
   前記界磁部の各磁石は、長手方向が前記一軸方向に対して斜めになる状態で配置され、
   前記各主ティースは、長手方向が前記一軸方向と直交する状態で配置され、
   前記各補助ティースは、互いに平行に、かつ長手方向が前記一軸方向に対して前記磁石と同じ向きに傾いた状態で配置されていることを特徴とするリニアモータ。
4. 請求項１に記載のリニアモータにおいて、
   前記界磁部の各磁石は、長手方向が前記一軸方向と直交する状態で配置され、
   前記各主ティースは、長手方向が前記一軸方向に対して斜めになる状態で配置され、
   前記各補助ティースは、互いに平行に、かつ長手方向が前記一軸方向と直交する状態で配置されていることを特徴とするリニアモータ。
5. 請求項１に記載のリニアモータにおいて、
   前記界磁部の各磁石は、長手方向が前記一軸方向と直交する状態で配置され、
   前記各主ティースは、長手方向が前記一軸方向に対して斜めになる状態で配置され、
   前記各補助ティースは、互いに平行に、かつ長手方向が前記一軸方向に対して前記主ティースとは逆向きに傾いた状態で配置されていることを特徴とするリニアモータ。
6. ベース部材と、このベース部材に対して一軸方向に移動自在に支持されるテーブルと、前記ベース部材に固定される界磁部およびこれに対向するように前記ベース部に固定される電機子を具備したリニアモータとを備えた一軸アクチュエータにおいて、
   前記リニアモータとして請求項１乃至５の何れか一項に記載のリニアモータを備えていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
   

Images