JP4023290B2 - リニアモータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体実装装置や工作機械などに適用できる、小型でコギング力の低いリニアモータに関するものである
【0002】
【従来の技術】
永久磁石式のリニアモータは、交互に異極になるように複数個の板状の永久磁石を直線状に配列して界磁極を構成し、永久磁石の磁極面に空隙を介して電機子コアに設けたティースを対向させ、隣接するティースとの間の巻線溝には電機子巻線を装着して構成され、電機子の各相の電機子巻線に通電して発生した進行磁界が永久磁石と相互作用することで進行方向に推力を発生するものである。
このような永久磁石式のリニアモータは回転式モータとは異なり、有限長の電機子を有する。そのため電機子端部と永久磁石との相互作用によって発生する極ピッチ周期の磁気的な力の脈動成分いわゆるコギング力が生じる。このコギング力は制御上の外乱として作用し、位置決め精度を高速高精度に行うことを阻害する要因となる。このことから、コギング力の小さなリニアモータが要求されている。
【0003】
このような端効果によるコギング力低減を試みる従来例としては、電機子の両端に補助磁極を設けて補助磁極間の距離x0を(2m−1)τ/2(ただし、mは正の整数、τは界磁極の極ピッチ)として両端のコギングを相殺させてこれを低減する方法がある(例えば、特許文献1参照。)。
【0004】
図7は上記のような従来のリニアモータを示す正面図である。図において、1は永久磁石、2は電機子コア、3は電機子巻線、11は永久磁石1の磁極面、21は凸極(ティース)、22は巻線溝、23,23′は補助磁極である。
交互に異極になるように複数個の平板状の永久磁石1を直線状に配列して界磁極を構成し、永久磁石1の磁極面11に空隙を介して電機子コア2に設けた凸極21を対向させてある。隣接する凸極21との間の巻線溝22には3相の巻き線が施されている。電機子コア2の両端には補助磁極23,23′が設けられ、界磁極の極ピッチをτとすると、補助磁極23,23′の中心間の距離が、(2m−1)τ/2(図では(2×6−1)τ÷2=2.5τ)としてある。
このように、電機子コア2の両端に設けた二つの補助磁極23,23′のパーミアンスの大きさが近い値で、変化の方向が逆の状態を維持するために、界磁極の極ピッチをτとしたとき、二つの補助磁極23,23′に働く合成力を最小にする条件として、二つの補助磁極23,23′の中心間の距離を求め、(2m−1)τ/2としたので、二つの補助磁極23,23′に作用するコギング推力の合成力は極めて小さくなる。
【0005】
【特許文献1】
実公平7−53427号公報(第1−3頁、第1図)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例においては、新たに補助磁極23,23′を両端に設ける必要があることから電機子の全長が長くなってしまう。ところが、電子部品の装着用、あるいは工作機などでは同軸上に複数のリニアモータを配置したり、あるいはリニアモータを2軸(X、Y軸)組み合わせて使用する用途が多い。このとき、前記従来例のように電機子両端の長さを延長すると、互いに幾何学的に干渉するため可動範囲に制約を受けるという実製品への応用上の課題を生じる。
【0007】
本発明は、上記のような従来のものの問題点を解決するためになされたものであり、電機子の全長を延長することなく端効果によるコギングを低減でき、高速高精度の位置決めを実現できるリニアモータを提供することを第1の目的とするものである。
また、極数が異なる機種が混在する場合でも、その基本の生産方法が同一で量産性にも優れたリニアモータを提供することを第2の目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るリニアモータは、交互に異極になるように複数個の板状の永久磁石を直線状に配列して構成した界磁極と、前記永久磁石の磁極面に空隙を介して対向する複数個のティースを設けた電機子コアおよび前記ティースに巻回された電機子巻線を有し、前記界磁極の永久磁石配列方向の長さより短い電機子とを備え、前記電機子と前記界磁極とが相対移動するリニアモータにおいて、前記電機子移動方向の両端に位置し、かつ、前記電機子巻線が巻回されたティースの先端部は、少なくとも隣接するティースが無い側の一部が切り落とされて電機子移動方向の長さが他のティースの先端部の電機子移動方向の長さより短いものである。
【0009】
また、電機子コアは、複数個のティースとこれらのティースを連結するバックヨークとが別体で形成されており、これらティースとバックヨークとを結合して組み立てられているものである。
【0010】
また、電機子は、電機子コアに設けられた全てのティースのそれぞれに対して1ティースに1相の電機子巻線のみが巻かれる集中巻きであるものである。
【0011】
また、電機子移動方向の両端に位置するティースの先端部間の距離を、前記界磁極のピッチの(2m−1)/2+α倍(ただし、mは正の整数、α=0.1〜0.2)としたものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
以下、本発明の実施の形態について図をもとに説明する。
図1〜図4は本発明の実施の形態1によるリニアモータを説明するための図であり、より具体的には、図1はリニアモータの全体構成を電機子巻線を省略して模式的に示す斜視図、図2は電機子の一部を分解して示す斜視図、図3は端部のティースを示す斜視図、図4は電機子の両端に位置するティースの先端部間の距離xとコギング振幅値との関係を調べた結果を示す特性図である。
図において、1は永久磁石、2は電機子コア、3は電機子巻線、10は界磁側バックヨーク、11は永久磁石1の磁極面、21はティース、21a,21bは電機子の両端に位置するティース、22は巻線溝、24は電機子側バックヨークである。
【0013】
複数個の平板状の永久磁石1を交互に異極になるように直線状に配列して界磁極を構成している。電機子コア2は、永久磁石1の磁極面11に空隙を介して対向する複数個のティース21と、これらのティース21を連結するバックヨーク24とを備えている。各ティース21には電機子巻線3が巻回されており、電機子コア2と電機子巻線3とで電機子を構成している。電機子は界磁極の永久磁石1配列方向の長さより短く、電機子と界磁極とが相対移動する(本実施の形態では電機子が矢印Aの方向に移動する。)。また、電機子移動方向(矢印A)の両端に位置するティース21a,21bの先端部は、少なくとも隣接するティースが無い側の一部が切り落とされており、電機子移動方向の長さ(先端部幅W2)は、他のティース21の先端部の電機子移動方向の長さ(先端部幅W1)より短い。
【0014】
また、本実施の形態では、図2に示すように、電機子の巻き線方式を1ティースに1相のコイル(電機子巻線)のみが巻き線された集中巻きとし、電機子コア2は、複数個のティース21,21a,21b(図2では図示せず)とこれらのティース21,21a,21bを連結するバックヨーク24とが別体で形成されており、各ティース21,21a,21bに各相に相応する電機子巻線3を施した後に、各ティース21,21a,21bとバックヨーク24とを嵌め合い等によって結合して組み立てられている。
【0015】
以上説明したように、本実施の形態によれば、電機子移動方向の両端に位置するティース21a,21bの先端部における少なくとも隣接するティースが無い側の一部を切り落として電機子移動方向の長さが他のティースの先端部の電機子移動方向の長さより短くすることによって、電機子の両端それぞれに発生する磁気吸引力の位相を互いに相殺する打ち消しの関係の位置に移動させることができ、電機子全体ではコギングを低減している。しかしながら、切り落とす量によって(電機子移動方向の両端に位置するティース21a,21bの先端部間の距離によって)コギングの低減効果が異なる。これを、磁界解析を使って図1中のxで示す電機子移動方向の両端に位置するティース21a,21bの先端部間の距離(正確には、電機子移動方向の両端に位置するティース21a,21bの先端部における切り落とし側端部間の距離であるが、本明細書では、単に、先端部間の距離と記載する。)をパラメータとして、コギング振幅値(任意の値であり、0はコギングが無い状態である。)との関係を調べた結果を示したものが図4である。図4から明らかなように、xは従来例に示された式より約10〜20%長くした3.6τ〜3.7τの位置においてコギングが最も低減されることがわかった。永久磁石と固定子端部との磁気吸引力には磁石の極性は関係ないので、両端それぞれに発生するコギングの発生周期は磁石1極分の波長で繰り返される周期的な波形である。また、電機子全体に作用する力も両端の力の合成力であることを考慮すると、両端に作用するコギング力が打ち消しの関係の位置は1極ピッチおきに存在する。
【0016】
このことを一般化してこれを表現すると、
ティース21a,21bの先端部間の距離xが、
(2m−1)τ/2+α
ただし、α=0.1τ〜0.2τ
τは極ピッチ
mは正の整数
となるように、ティース21a,21bの先端部の一部(隣接するティース21が無い側)を切り落とした形状においてコギングが最小化される。
【0017】
以上説明したように、永久磁石式リニアモータの端部があることによって発生するコギングを低減するにあたって、従来例では電機子の両端部の位置を延長していたが、本発明では短くして(電機子の全長を延長することなく)両端部のコギングを打ち消し位相となるように形成した。また、コギングを最小化する関係式として従来例で示す式よりα=0.1τ〜0.2τの分だけ長く補正してよりコギングを最小化出来る関係を見出した。したがって、同軸上に複数のリニアモータを配置したり、あるいはリニアモータを2軸(X、Y軸)組み合わせて使用する場合にも、互いに可動範囲に制約を受けることもなく、高速高精度の位置決めを実現できる。
【0018】
また、図1に示したように、電機子移動方向の両端に位置するティース21a,21bのみが他のティース21と先端部の形状が異なっている鉄心(電機子コア2)を薄板磁性鋼板のプレス打ち抜きで作成しようとした場合には、極数が異なると鉄心の端部の位置を変更するようにプレス金型を配置せねばならない。そのため極数の異なる機種を生産する場合には頻繁に金型を交換する必要があり生産性が著しく低下する。しかし、本実施の形態では、電機子コア2は、複数個のティース21,21a,21bとこれらのティース21,21a,21bを連結するバックヨーク24とが別体で形成されており、これらティース21,21a,21bとバックヨーク24とを結合して組み立てられているので、両端部に位置する先端部を切り落としたティース21a,21bと中央部のティース21との、2種類の形状のティース用鉄心を用意すれば、極数が異なる場合でも中央部のティース21を増減することで対応できる(基本の生産方法が同一である)ために生産性を低下させること無く端コギングを低減できるという効果が得られる。
【0019】
またさらに、通常の重ね巻きなどで電機子全長を短くする場合に比べて、1ティース1相の集中巻きを採用することは、各ティース21,21a,21bに電機子巻線を施してからバックヨーク24と結合して組み立てることができるので、ティース21とバックヨーク24の分離を容易にするという作用がある。
【0020】
また、本実施の形態では、例えば図1に示したように、端部のティース21a,21bは、先端部のみが切り落とされており、巻き線が施される根元部分は中央のティース21と同じ形状であるので、巻き線機を自動化する場合でもティース21,21a,21bに応じて巻き線形状を変更する必要はなく、生産性を低下させること無く端コギングを低減できるという効果が得られる。
また、端部のティース21a,21bは先端部のみを切り落とした形状であり、コイル(電機子巻線3)に通電した際に生じる磁束によって磁気飽和しやすい根元部分は中央のティース21と同じ形状であるので、端部のティース21a,21bの根元部分における方が中央のティース21の根元部分におけるよりも磁気飽和しやすいということはない。したがって、端部のティース21a,21bの先端部を切り落とさない場合と同様に瞬時大推力を発生でき、リニアモータの高速化が可能になる。
【0021】
なお、上記実施の形態1では、電機子は、1ティースに1相の電機子巻線のみが巻かれる集中巻きであり、各ティース21,21a,21bに電機子巻線3を施してからバックヨーク24と結合して組み立てる場合について説明したが、まず、ティース21,21a,21bとバックヨーク24とを結合して組み立て、その後に、各ティース21,21a,21bに電機子巻線3を施してもよい。この場合には、巻き線を施すのが難しくなるが、集中巻きに限定せず図7の従来例で示したような重ね巻き(分布巻き)も可能となる。
【0022】
また、上記実施の形態1では、電機子コア2は、複数個のティース21,21a,21bとこれらのティース21,21a,21bを連結するバックヨーク24とが別体で形成されており、これらティース21,21a,21bとバックヨーク24とを結合して組み立てられている場合について示したが、複数個のティース21,21a,21bとバックヨーク24とが一体に形成されていてもよく、この場合にも、電機子移動方向の両端に位置するティースの先端部21a,21bを、少なくとも隣接するティース21が無い側の一部を切り落として電機子移動方向の長さが他のティース21の先端部の電機子移動方向の長さより短くなるようにすることにより、電機子の全長を延長せずとも端効果によるコギングを低減でき、高速高精度の位置決めを実現できるリニアモータを得ることができる。
【0023】
また、上記実施の形態1では、電機子と界磁極のうちの電機子が移動する場合について説明したが、界磁極が移動してもよく、その場合にも上記実施の形態1と同様の効果が得られる。
【0024】
実施の形態2.
実施の形態1では、両端部のティース21a,21bは、先端部における少なくとも隣接するティースが無い側の一部が直線状に切り落とされているが、図5に電機子コアを正面図で示すように、曲線状(例えば円弧状)に切り落としてもよい。
なお、この場合、ティース間距離xは、図5に示したように、電機子の移動方向に沿った断面(平面)における、ティース21a,21b先端部の直線から曲線への変極点間の距離である。
【0025】
実施の形態3.
なお、上記実施の形態1および2では、ティース21は、先端部における電機子移動方向の長さが、巻き線が施される根元部分における電機子移動方向の長さよりも長い場合について示したが、同じ長さ(棒状)であってもよく、その場合には、電機子移動方向の両端に位置するティース21a,21bの先端部は、例えば図6(a)、(b)、(c)に電機子コアの一部を正面図で示すように、少なくとも隣接するティース21が無い側の一部が切り落とされる。なお、図6では電機子移動方向の一方の端部に位置するティース21aのみを示しているが、他方の端部に位置するティース21bは、ティース21aを左右反転させた形状となる。
【0026】
なお、上記実施の形態1〜3においては、表面磁石貼り付け型のモータであるいわゆるSPM(Surface Permanent Magnet)モータについて図示したが、これに限るものではなく、2次側の磁石が鉄心内に埋め込まれたモータであるいわゆるIPM(Interior Permanent Magnet)モータであっても同様に本発明を適用することが可能である。
【0027】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、交互に異極になるように複数個の板状の永久磁石を直線状に配列して構成した界磁極と、前記永久磁石の磁極面に空隙を介して対向する複数個のティースを設けた電機子コアおよび前記ティースに巻回された電機子巻線を有し、前記界磁極の永久磁石配列方向の長さより短い電機子とを備え、前記電機子と前記界磁極とが相対移動するリニアモータにおいて、前記電機子移動方向の両端に位置し、かつ、前記電機子巻線が巻回されたティースの先端部は、少なくとも隣接するティースが無い側の一部が切り落とされて電機子移動方向の長さが他のティースの先端部の電機子移動方向の長さより短いので、電機子の全長を延長することなく端効果によるコギングを低減でき、高速高精度の位置決めを実現できるリニアモータを得ることができる。
【0028】
また、電機子コアは、複数個のティースとこれらのティースを連結するバックヨークとが別体で形成されており、これらティースとバックヨークとを結合して組み立てられているので、電機子移動方向の両端に位置するティースのみが他のティースと先端部の形状が異なっている本発明によるリニアモータにおいて、極数が異なる機種が混在する場合でも、その基本の生産方法が同一で量産性に優れたリニアモータを得ることができる。
【0029】
また、電機子は、電機子コアに設けられた全てのティースのそれぞれに対して1ティースに1相の電機子巻線のみが巻かれる集中巻きであるので、ティースに電機子巻線を施してからバックヨークと結合して組み立てることができ、製造が容易でより量産性に優れたリニアモータを得ることができる。
【0030】
また、電機子移動方向の両端に位置するティースの先端部間の距離を、前記界磁極のピッチの(2m−1)/2+α倍(ただし、mは正の整数、α=0.1〜0.2)としたので、コギング力をより効果的に低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1によるリニアモータを説明するための図である。
【図2】 本発明の実施の形態1によるリニアモータを説明するための図である。
【図3】 本発明の実施の形態1によるリニアモータを説明するための図である。
【図4】 本発明の実施の形態1によるリニアモータを説明するための図である。
【図5】 本発明の実施の形態2によるリニアモータを説明するための図である。
【図6】 本発明の実施の形態3によるリニアモータを説明するための図である。
【図7】 従来例によるリニアモータを説明するための図である。
【符号の説明】
1 永久磁石、2 電機子コア、3 電機子巻線、11 永久磁石1の磁極面、21 ティース、21a,21bは電機子の両端に位置するティース、22 巻線溝、24 バックヨーク。
Claims (4)
- 交互に異極になるように複数個の板状の永久磁石を直線状に配列して構成した界磁極と、前記永久磁石の磁極面に空隙を介して対向する複数個のティースを設けた電機子コアおよび前記ティースに巻回された電機子巻線を有し、前記界磁極の永久磁石配列方向の長さより短い電機子とを備え、前記電機子と前記界磁極とが相対移動するリニアモータにおいて、前記電機子移動方向の両端に位置し、かつ、前記電機子巻線が巻回されたティースの先端部は、少なくとも隣接するティースが無い側の一部が切り落とされて電機子移動方向の長さが他のティースの先端部の電機子移動方向の長さより短いことを特徴とするリニアモータ。
- 電機子コアは、複数個のティースとこれらのティースを連結するバックヨークとが別体で形成されており、これらティースとバックヨークとを結合して組み立てられていることを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
- 電機子は、電機子コアに設けられた全てのティースのそれぞれに対して1ティースに1相の電機子巻線のみが巻かれる集中巻きであることを特徴とする請求項2記載のリニアモータ。
- 電機子移動方向の両端に位置するティースの先端部間の距離を、前記界磁極のピッチの(2m−1)/2+α倍(ただし、mは正の整数、α=0.1〜0.2)としたことを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
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