JP2001095225A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JP2001095225A
JP2001095225A JP26508199A JP26508199A JP2001095225A JP 2001095225 A JP2001095225 A JP 2001095225A JP 26508199 A JP26508199 A JP 26508199A JP 26508199 A JP26508199 A JP 26508199A JP 2001095225 A JP2001095225 A JP 2001095225A
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permanent magnets
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Nobuyuki Irie
信幸 入江
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Yaskawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電機子と永久磁石の間における空隙面の平面
度管理を容易にし、推力のばらつきやコギング力を低減
できるリニアモータを提供する。 【解決手段】 界磁ヨーク8に配置した永久磁石9と、
永久磁石9の列と磁気的な空隙Gを介して対向する電機
子コア3に電機子巻線6を巻装してなる電機子2とを備
えたリニアモータ1において、電機子コア3は、略櫛歯
状に打ち抜いた電機子鉄板の永久磁石9の列と直交する
方向のティース先端部4aに凸状の係合部4bを有し、
かつ、この電機子鉄板を多数積層してなる第1コアブロ
ック4と、第1コアブロック4の係合部4bに対して嵌
合する凹状の係合部5aを有し、かつ、第1コアブロッ
ク4の各々のティース先端部4aを一体接続するように
繋ぎ部を形成する薄肉のブリッジ5bを備えて、同じく
電磁鋼板より打ち抜きされた電機子鉄板を多数積層して
なる第2コアブロック5から構成してある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置や工作機などの分野で、一定速送りあるいは高速位
置決め送りとして利用されるリニアモータに関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来のリニアモータは、図4に示すよう
に構成されている。図4は従来のリニアモータであっ
て、(a)はリニアモータの側断面図、(b)はリニア
モータの電機子コアをティース先端部の裏側から見た斜
視図である。図において、21はリニアモータ、22は
電機子、23は電機子コア、23aは巻線収納溝、23
bは係合部、23cは係合部、24は電機子巻線、25
は電機子固定板、26は界磁ヨーク、27は永久磁石で
ある。電機子22は、電磁鋼板より略長方形状に打ち抜
いた電機子鉄板の一方側面に巻線収納溝23aを形成す
ると共に、中央部の一方側面に凸状の係合部23bを設
け、かつ、他方側面に凹状の係合部23cを設けた電機
子鉄板を積層した電機子コア23で構成されている。ま
た、電機子22は、電機子コア23の巻線収納溝23a
に電機子巻線24を整列巻きして収納し、電機子コア2
3の係合部23bを、並べて設けた電機子コア23の係
合部23cに嵌め込んで組み立てると共に、電機子を電
機子固定板25の裏面に取付ける。さらに、永久磁石2
7は、電機子コア23に対して隣同士が異極となるよう
に固定部となる界磁ヨーク26に取付けて構成してい
る。この場合、界磁ヨーク26の空隙G側の面位置と永
久磁石27の空隙G側と反対の面位置との間の距離をt
1とし、界磁ヨーク26の厚みt2としたとき、t1はt2
に比べて十分小さくしてある。リニアモータ21におい
て、電機子22の軸線方向に向かって並設したコアブロ
ックの数を増減させることで適宜の長さに構成すること
ができる。そして、このような構成のリニアモータ21
の電機子巻線24に通電すると、この電機子巻線24と
永久磁石27との電磁作用により、電機子22が可動子
となって軸線方向に移動する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
は、電機子コアはティースの数とコア分割数を同じにし
て、各々のコアブロックの係合部を、順次嵌合させて一
つのコアブロックを構成しているため、コアブロックの
部品点数が増えて製造・組立工程が多くなり、結果的に
コストがかかるという問題があった。また、可動子のス
トロ−ク長さを大きくとる必要のある場合は、永久磁石
列方向にコアブロックの長さが長くなり、電機子コアの
ティース先端部の平面度のばらつき(凹凸)、巻線収納
部となるスロット開口部の存在が、そのまま、可動子側
である電機子と固定子側である永久磁石との間の空隙長
のばらつきとなり、その結果、リニアモータの推力のば
らつきやコギング力の増大の原因となっていた。さら
に、界磁側を構成する永久磁石は、図に示すように磁石
が電機子コアの空隙Gの対向面に露出すると共に、磁石
同士の間に隙間があるため、磁石取付作業中に磁石表面
に金属品が付着したり、あるいは長期間使用した場合、
錆などの腐食の原因となったりするので、金属粉や錆を
取り除くのが困難で、磁石の表面処理などに手間がかか
っていた。そこで、本発明は、製造・組立工程を簡素化
すると共に、電機子と永久磁石の間における空隙面の平
面度管理を容易にし、推力のばらつきやコギング力を低
減するリニアモータを提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、請求項1の本発明は、複数の永久磁石を隣り合わせ
に並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石列と磁気
的な空隙を介して対向する電機子コアに電機子巻線を巻
装してなる電機子とを備え、前記界磁ヨークと前記電機
子とのいずれか一方を固定子に、他方を可動子として、
前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するように
したリニアモータにおいて、前記電機子コアは、電磁鋼
板より略櫛歯状に打ち抜きされた電機子鉄板の前記永久
磁石列と直交する方向のティース先端部に凸状の係合部
を有し、かつ、この電機子鉄板を多数積層してなる第1
コアブロックと、前記第1コアブロックの係合部に対し
て嵌合する凹状の係合部を有し、かつ、前記第1コアブ
ロックの各々のティース先端部を一体接続するように繋
ぎ部を形成する薄肉のブリッジを備えて、同じく電磁鋼
板より打ち抜きされた電機子鉄板を多数積層してなる第
2コアブロックから構成してあり、前記電機子は、前記
第1コアブロックの巻線収納溝に前記電機子巻線を整列
巻きして収納すると共に、前記第1コアブロックおよび
第2コアブロックの係合部を嵌合して一体化したことを
特徴としている。また、請求項2の本発明は、請求項1
記載のリニアモータにおいて、前記隣り合う複数個の永
久磁石は、同極同士を対向させて構成してあり、前記界
磁ヨークは、前記永久磁石の電機子コアとの対向面側に
前記複数個の永久磁石全体を覆うように一体化した部材
で構成すると共に、前記複数個の永久磁石の間が磁極と
なるように、界磁ヨークの空隙側の面位置と前記永久磁
石の空隙側と反対の面位置との間の距離を、前記永久磁
石同士の間の距離に比べて十分小さくしてあり、可動子
の推力が発生する方向と前記ティースの長手方向に対し
て直交する方向における前記永久磁石および前記界磁ヨ
ークの両側面には、非磁性体カバーを設けてある。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図1は本発明の第1の実施例を示すリニ
アモータであって、(a)はリニアモータの側断面図、
(b)はリニアモータの電機子コアをティース先端部の
裏側から見た斜視図である。1はリニアモータ、2は電
機子、3は電機子コア、6は電機子巻線、7は電機子固
定板、8は界磁ヨーク、9は永久磁石である。なお、本
実施例によるリニアモータは、界磁ヨーク8が空隙Gを
介して電機子2と対向配置されたギャップ対向型のリニ
アモータの例であって、その基本構成は従来技術と同じ
である。本発明が従来技術と異なるところは、電機子コ
ア3が第1コアブロック4と第2コアブロック5とから
構成されている点である。第1コアブロック4は、電磁
鋼板より略櫛歯状に打ち抜きされた電機子鉄板で形成さ
れ、永久磁石9の列と直交する方向のティース4a先端
部に凸状の係合部4bを有し、かつ、この電機子鉄板を
多数積層して構成されている。また、第2コアブロック
5は、第1コアブロック4の係合部4bに対して嵌合す
る凹状の係合部5aを有し、かつ、第1コアブロック4
の各々のティース4a先端部を一体接続するように繋ぎ
部を形成するブリッジ5bを備えており、第1コアブロ
ック4と同様に電磁鋼板より打ち抜きされた電機子鉄板
を多数積層して構成されている。このうち、第2コアブ
ロック5の先端は第1コアブロック4との対向面から空
隙部Gに向かって表面積を大きくしてあり、また、ブリ
ッジ5bは、そこを通る磁束の密度が飽和するようにデ
ィース4a先端部の幅より十分小さくしてあり、第2コ
アブロック5の先端部に磁束が集中しやすいように構成
されている。次に、リニアモータの動作について説明す
る。このような構成のリニアモータ1の電機子巻線6に
通電すると、永久磁石9を通って界磁ヨーク8より隣の
永久磁石9から第2コアブロック5に流れる。第2コア
ブロック5に流れた磁束が第1コアブロック4を通り、
対向する界磁ヨーク8を経て永久磁石9に流れる。この
電機子巻線6と永久磁石9との電磁作用により、電機子
2が可動子となって軸線方向移動する。したがって、第
1の実施例において、電機子は第1コアブロックの巻線
収納溝に電機子巻線を整列巻きして収納すると共に、第
1コアブロックの各々のティース先端部を一体接続する
ように第1および第2コアブロックの係合部を嵌合して
一体化したので、従来に比べて製造・組立工程が少なく
なりい結果的にコストを抑えることができる。また、可
動子のストロ−ク長さを大きくとる必要のある場合は、
電機子コアのティース先端部は、一体成形し、かつ、ス
ロット開口部を設けない第2コアブロックにより空隙対
向面の平面度を極めて高くしているので、可動子と固定
子の間の空隙長のばらつきをなくし、その結果、リニア
モータの推力のばらつきやコギング力の増大を抑えるこ
とができる。さらに、電機子はスロット開口部を設けな
い構成となっていることから、ボビンなどを用いて別途
製造したコイルをそのまま取り付けることが可能であ
り、コイルの占積率を向上することができる。
【0006】次に、本発明の第2の実施例を説明する。
図2は本発明の第2の実施例を示すリニアモータの側断
面図である。図3は図2におけるリニアモータの全体構
成を一部破断した斜視図である。第2の実施例は永久磁
石9と界磁ヨーク10の配置構成の点で第1の実施例と
異なっている。すなわち、隣り合う複数個の永久磁石9
は、同極同士を対向させて構成しでいる。そして、界磁
ヨーク10は、永久磁石9の電機子コアとの対向面側に
複数個の永久磁石9全体を覆うように一体化した部材で
構成すると共に、複数個の永久磁石9の間が磁極となる
ように、界磁ヨーク10の空隙G側の面位置と永久磁石
9の空隙G側の面位置との間の距離t3は、永久磁石9
同士の間の距離t4に比べて十分小さくしてある。ま
た、図3に示すように、可動子の推力が発生する方向と
ティース4aの長手方向に対して直交する方向における
永久磁石9および界磁ヨーク10の両側面には、非磁性
体カバー12を設けてある。これらの永久磁石9、界磁
ヨーク10、非磁性体カバー12は非磁性の界磁ヨーク
固定板11上に固定される。次に、リニアモータの動作
について説明する。このような構成のリニアモータ1の
電機子巻線6に通電すると、同極同士を対向させた複数
の永久磁石9の間に磁極を構成する界磁ヨーク10によ
り第2コアブロック5に流れる。第2コアブロック5に
流れた磁束が第1コアブロック4を通り、対向する複数
の永久磁石9の間に磁極を構成する界磁ヨーク8に流れ
る。この電機子巻線6と界磁ヨーク10との電磁作用に
より、電機子2が可動子となって軸線方向に移動する。
したがって、第2の実施例において、界磁側を構成する
永久磁石が電機子コアの空隙の対向面に露出することな
く、同極同士を対向させた永久磁石全体を、電機子コア
との対向面側にわたって、一体化した界磁ヨークで覆う
構成にしたので、磁石表面に付着した金属粉や錆を取り
除く作業をなくし、磁石の表面処理などの手間を省くこ
とができる。なお、各実施例では、界磁ヨークが磁気的
空隙を介して電機子と対向配置されたギャップ対向型の
リニアモータの例を示したが、界磁ヨークを電機子の両
側に設けて対向配置した磁束貫通型構造のものでも構わ
ない。また、各実施例では、電機子を可動子とし、界磁
ヨークを固定子とする構成のリニアモータの例を示した
が、この構成に限定されず界磁ヨークを可動子とし、電
機子を固定子とする構成にしても良い。
【0007】
【発明の効果】以上述べたように、第1の実施例によれ
ば、第1コアブロックの各々のティース先端部を一体接
続するように第1および第2コアブロックの係合部を嵌
合して一体化し、スロット開口部を設けない構造にした
ので、製作.組立工程を削減、かつ、簡素化できると共
に、空隙面の平面度のばらつきを抑えることができ、そ
の結果、リニアモータの推力のばらつきやコギング力を
低減することができる。また、第2の実施例によれば、
同極同士を対向させた永久磁石全体を、電機子コアとの
対向面側にわたって一体化した界磁ヨークで覆う構成に
したので、永久磁石が空気に触れない構造とすること
で、空隙面の平面度の管理を容易にすることができると
共に、永久磁石の表面処理を不要にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示すリニアモータであ
って、(a)はリニアモータの側断面図、(b)はリニ
アモータの電機子コアをティース先端部の裏側から見た
斜視図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示すリニアモータの側
断面図である。
【図3】図2におけるリニアモータの全体構成を一部破
断した斜視図である。
【図4】従来のリニアモータであって、(a)はリニア
モータの側断面図、(b)はリニアモータの電機子コア
をティース先端部の裏側から見た斜視図である。
【符号の説明】
1 リニアモータ 2 電機子 3 電機子コア 4 第1コアブロック 4a ティース 4b 係合部 4c 巻線収納溝 5 第2コアブロック 5a 係合部 5b ブリッジ 6 電機子巻線 7 電機子固定板 8 界磁ヨーク 9 永久磁石 10 界磁ヨーク 11 界磁ヨーク固定板 12 非磁性カバー

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置
    した界磁ヨークと、前記永久磁石列と磁気的な空隙を介
    して対向する電機子コアに電機子巻線を巻装してなる電
    機子とを備え、前記界磁ヨークと前記電機子とのいずれ
    か一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨー
    クと前記電機子を相対的に走行するようにしたリニアモ
    ータにおいて、 前記電機子コアは、電磁鋼板より略櫛歯状に打ち抜きさ
    れた電機子鉄板の前記永久磁石列と直交する方向のティ
    ース先端部に凸状の係合部を有し、かつ、この電機子鉄
    板を多数積層してなる第1コアブロックと、前記第1コ
    アブロックの係合部に対して嵌合する凹状の係合部を有
    し、かつ、前記第1コアブロックの各々のティース先端
    部を一体接続するように繋ぎ部を形成する薄肉のブリッ
    ジを備えて、同じく電磁鋼板より打ち抜きされた電機子
    鉄板を多数積層してなる第2コアブロックから構成して
    あり、 前記電機子は、前記第1コアブロックの巻線収納溝に前
    記電機子巻線を整列巻きして収納すると共に、前記第1
    コアブロックおよび第2コアブロックの係合部を嵌合し
    て一体化したことを特徴とするリニアモータ。
  2. 【請求項2】前記隣り合う複数個の永久磁石は、同極同
    士を対向させて構成してあり、 前記界磁ヨークは、前記永久磁石の電機子コアとの対向
    面側に前記複数個の永久磁石全体を覆うように一体化し
    た部材で構成すると共に、前記複数個の永久磁石の間が
    磁極となるように、界磁ヨークの空隙側の面位置と前記
    永久磁石の空隙側の面位置との間の距離を、前記永久磁
    石同士の間の距離に比べて十分小さくしてあり、 可動子の推力が発生する方向と前記テイースの長手方向
    に対して直交する方向における前記永久磁石および前記
    界磁ヨークの両側面には、非磁性体カバーを設けてある
    ことを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
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