JP2005189097A - 位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一定の間隔を空けて配置された強磁性部材1,2からなる強磁性部3と、強磁性部3により形成される空間内に配置され、且つ直線上に一列に永久磁石5、感磁探子6および永久磁石7の順に配列され、感磁探子6の磁場検出方向が強磁性部材1,2の方向に配置されると共に、永久磁石5,7の磁化方向が感磁探子6の磁場検出方向と同一方向に、且つ互いに逆向きにそれぞれ配置され、感磁探子6により検出される磁場に応じて、強磁性部3との永久磁石5、感磁探子6および永久磁石7の配列方向の相対位置を検出する磁場発生検出部8とを備えた。
【選択図】 図1
Description
また、他の部材と比較して強度の低い永久磁石に被測定対象を連結して駆動するので、永久磁石の破損等により信頼性が低下するという課題があった。
なお、従来から感磁探子および永久磁石で構成された部材と、磁性体で構成された部材との相対位置が変化することによって位置を検出する位置検出装置が、特許文献1以外の例として存在するが、この場合には、被測定対象の移動時に感磁探子が検出する磁場の変化が小さく、被測定対象の移動量に対する磁場強度の変化量が非線形となる課題があった。
さらに、感磁探子の磁場検出方向は、位置検出方向であり、この位置検出方向に磁場を発生する装置、例えば、電磁アクチュエータ等の場合に、電磁アクチュエータが発生する磁場が感磁探子に交差する。この結果、この種の装置では位置検出誤差が大きくなり、電磁アクチュエータが発生する磁場強度によっては位置検出が不可能になるなどの課題があった。
また、直線上に一列に第1の磁石、感磁探子および第2の磁石の順に配列し、第1および第2の磁石の極性を互いに逆向きに配置したことにより、被測定対象の移動に対して磁場強度の変化が大きく、且つ移動量に対する磁場強度の変化量の線形性が良く、位置検出精度の高い位置検出装置が得られる効果がある。
図1はこの発明の実施の形態1による位置検出装置を示す断面図であり、図において、この位置検出装置は、一定の間隔を空けて配置された強磁性部材(第1の強磁性部材)1および強磁性部材(第2の強磁性部材)2からなる強磁性部3を持つ。この強磁性部材1,2は、被測定対象(図示せず)に連結され、その被測定対象の移動に伴って移動するものである。この強磁性部材1,2は、鉄、ニッケル、フェライト等の強磁性体を材料として構成され、また、そのような材料を粉末化して接着したり、積層鋼板を積層して、磁場の変化によって発生する渦電流を抑制可能な形状で構成されることもある。この強磁性部3は、強磁性部材1,2間に薄いエアギャップ4を形成している。
また、この位置検出装置は、そのエアギャップ4内に永久磁石(第1の磁石)5、感磁探子6および永久磁石(第2の磁石)7の順で直線上に配置された磁場発生検出部8を持つ。なお、図1では、エアギャップ4内に磁場発生検出部8の一部が配置された例を示したが、エアギャップ4内に磁場発生検出部8の全体が配置されたものであっても良い。これら強磁性部3および磁場発生検出部8は、図1に示すように、感磁探子6が中央にある時に左右対称になるように構成される。
感磁探子6は、ホール素子および増幅回路を含む部品を組み合わせたホールIC等が使用される。また、永久磁石5,7は、フェライト、SmCo(サマリウム・コバルト)等の材料が用いられる。
強磁性部3が被測定対象に連結されて移動されることから、強磁性部3および磁場発生検出部8間の相対位置は可変であり、相対位置が変化する方向は、磁場発生検出部8の永久磁石5、感磁探子6および永久磁石7を結ぶ直線の方向(図1における左右方向:位置検出方向)である。
感磁探子6は、その磁場検出方向が強磁性部材1,2間を結ぶ直線の方向、すなわち位置検出方向に対して垂直な方向(図1における上下方向)に配置される。また、永久磁石5,7は、磁化方向がその磁場検出方向と同一方向であり、永久磁石5のN極が強磁性部材1側の向きに、S極が強磁性部材2側の向きに向けられ、永久磁石7が永久磁石5と逆向きの極性で配置される。
まず、強磁性部3および磁場発生検出部8間の相対位置と、感磁探子6が検出する磁場との関係について定性的に説明する。
図2は強磁性部が左側に移動した場合の磁場分布を示す説明図である。図2に示すように、被測定対象に連動して強磁性部材1,2が左側に移動した場合には、永久磁石5の磁極の近くに強磁性部材1,2が存在するため、強磁性部材1,2は主に永久磁石5が発生する磁場の影響を受ける。強磁性部材1,2は、感磁探子6付近の磁場分布に影響を及ぼすため、感磁探子6付近の磁場分布は、永久磁石5が発生する磁場の影響を強く受けたものとなる。この時、感磁探子6が検出する磁場の符号を負とする。
図3は強磁性部が中央の場合の磁場分布を示す説明図である。図3に示すように、被測定対象に連動して強磁性部材1,2が中央に移動した場合には、永久磁石5,7の磁極の中間に強磁性部材1,2が存在するため、強磁性部材1,2は永久磁石5,7の両者が発生する磁場の影響を受ける。感磁探子6付近では、永久磁石5,7が発生する磁場が、感磁探子6の磁場検出方向には打ち消し合うことになる。この時、感磁探子6が検出する磁場は0となる。
図4は強磁性部が右側に移動した場合の磁場分布を示す説明図である。図4に示すように、被測定対象に連動して強磁性部材1,2が右側に移動した場合には、永久磁石7の磁極の近くに強磁性部材1,2が存在するため、強磁性部材1,2は主に永久磁石7が発生する磁場の影響を受ける。強磁性部材1,2は、感磁探子6付近の磁場分布に影響を及ぼすため、感磁探子6付近の磁場分布は、永久磁石7が発生する磁場の影響を強く受けたものとなる。この時、感磁探子6が検出する磁場の符号を正とする。
図5は強磁性部の変位に対する感磁探子の検出磁場強度の関係を示す特性図である。
上述したように、強磁性部材1,2間は一定の間隔に配置され、感磁探子6が中央にある時には、強磁性部3および磁場発生検出部8は左右対称になるように構成されている。
ここで、図2に示したように、強磁性部材1,2が最も左側の場合には、感磁探子6は永久磁石5が発生する磁場のみの影響を受けたものとなり、検出磁場強度は最小値となる。図2から図3への移動、すなわち、強磁性部材1,2が最も左側から徐々に中央寄りに移動した場合には、強磁性部材1,2が徐々に右側に移動する毎に、強磁性部材1,2が影響を受ける磁場は、永久磁石5の影響が徐々に減少すると共に永久磁石7の影響が徐々に増加し、感磁探子6は永久磁石7による影響から永久磁石5による影響を差し引いた磁場の影響を受けることから、強磁性部材1,2の移動量に対する検出磁場強度の変化量は線形に増加する。図3に示したように、強磁性部材1,2が中央の場合には、永久磁石5,7が発生する磁場が均等に打ち消し合われ、検出磁場強度は0となる。図3から図4への移動、すなわち、強磁性部材1,2が中央から徐々に右側に移動した場合には、強磁性部材1,2が徐々に右側に移動する毎に、強磁性部材1,2が影響を受ける磁場は、永久磁石5の影響が徐々に減少すると共に永久磁石7の影響が徐々に増加し、感磁探子6は永久磁石7による影響から永久磁石5による影響を差し引いた磁場の影響を受けることから、強磁性部材1,2の移動量に対する検出磁場強度の変化量は線形に増加する。図4に示したように、強磁性部材1,2が最も右側の場合には、感磁探子6は永久磁石7が発生する磁場のみの影響を受けたものとなり、検出磁場強度は最大値となる。
このように、強磁性部材1,2の変位に応じた感磁探子6が検出する磁場強度の変化は図5に示すようにほぼ線形になる。図5は、強磁性部材1,2が永久磁石5,7の中央にある場合の変位を0とし、強磁性部材1,2が永久磁石5側に移動した場合の変位を負、永久磁石7側に移動した場合の変位を正として示している。
この位置検出装置では、感磁探子6による検出磁場強度に応じて、図5に示した特性に基づいて強磁性部材1,2の変位、すなわち、被測定対象の位置を検出することができる。
また、強磁性部材1,2に被測定対象を連結して、その被測定対象の位置を検出するようにしたので、感磁探子6と永久磁石5,7との相対位置を変動させることなく、また、構造が複雑な感磁探子6や強度の低い永久磁石5,7を駆動する必要がなく、強度の高い強磁性部3を駆動するため、部材の破損等により故障することなく、信頼性の高いものが得られる。
さらに、強磁性部材1,2間に直線上に一列に永久磁石5、感磁探子6および永久磁石7の順に配列し、感磁探子6が中央にある時には、それら強磁性部材1,2、永久磁石5、感磁探子6および永久磁石7が左右対称になるように構成され、永久磁石5,7の極性が互いに逆向きになるように配置したので、図5の特性図に示したように、強磁性部材1,2の正負の変位に対して感磁探子6による磁場強度が正負に検出されることから、被測定対象の移動に対して磁場強度の変化が大きく、さらに、移動量に対する磁場強度の変化量の線形性が良く、位置検出精度の高いものが得られる。
図7はこの発明の実施の形態2による位置検出装置を示す断面図であり、図において、この位置検出装置は、エアギャップ4内に感磁探子(第1の感磁探子)9、永久磁石(磁石)10および感磁探子(第2の感磁探子)11の順で直線上に配置された磁場発生検出部12を持つ。なお、図7では、エアギャップ4内に磁場発生検出部12の一部が配置された例を示したが、エアギャップ4内に磁場発生検出部12の全体が配置されたものであっても良い。強磁性部3および磁場発生検出部12は、図7に示すように、永久磁石10が中央にある時に左右対称になるように構成される。
感磁探子9,11は、その磁場検出方向が強磁性部材1,2間を結ぶ直線の方向、すなわち位置検出方向に対して垂直な方向(図7における上下方向)に配置される。また、永久磁石10は、磁化方向がその磁場検出方向と同一方向であり、永久磁石10のN極が強磁性部材1側の向きに、S極が強磁性部材2側の向きに向けられて配置される。
その他の構成については、上記実施の形態1と同様である。
強磁性部3および磁場発生検出部12間の相対位置と、感磁探子9,11が検出する磁場との関係について定性的に説明する。
図8は強磁性部が左側に移動した場合の磁場分布を示す説明図である。図8に示すように、被測定対象に連動して強磁性部材1,2が左側に移動した場合には、感磁探子9の近くに強磁性部材1,2が存在するため、感磁探子9付近の磁場分布は、永久磁石10が発生する磁場の影響を強く受けたものとなる。この時、感磁探子11が検出する磁場はほとんど無く、感磁探子11による検出磁場強度から感磁探子9による検出磁場強度を差し引いた値を磁場強度とした場合には、負の値となる。
図9は強磁性部が中央の場合の磁場分布を示す説明図である。図9に示すように、被測定対象に連動して強磁性部材1,2が中央に移動した場合には、感磁探子9,11の中間に強磁性部材1,2が存在するため、感磁探子9,11付近の磁場分布は、永久磁石10が発生する磁場の影響を同等に受けたものとなる。感磁探子11による検出磁場強度から感磁探子9による検出磁場強度を差し引いた値は0となる。
図10は強磁性部が右側に移動した場合の磁場分布を示す説明図である。図10に示すように、被測定対象に連動して強磁性部材1,2が右側に移動した場合には、感磁探子11の近くに強磁性部材1,2が存在するため、感磁探子11付近の磁場分布は、永久磁石10が発生する磁場の影響を強く受けたものとなる。この時、感磁探子9が検出する磁場はほとんど無く、感磁探子11による検出磁場強度から感磁探子9による検出磁場強度を差し引いた値は、正の値となる。
なお、この実施の形態2においても強磁性部材1,2間は一定の間隔に配置され、永久磁石10が中央にある時には、強磁性部3および磁場発生検出部12は左右対称になるように構成されている。
また、強磁性部材1,2に被測定対象を連結して、その被測定対象の位置を検出するようにしたので、感磁探子9,11と永久磁石10との相対位置を変動させることなく、また、構造が複雑な感磁探子9,11や強度の低い永久磁石10を駆動する必要がなく、強度の高い強磁性部3を駆動するため、部材の破損等により故障することなく、信頼性の高いものが得られる。
さらに、強磁性部材1,2間に直線上に一列に感磁探子9、永久磁石10および感磁探子11の順に配列し、永久磁石10が中央にある時には、それら強磁性部材1,2、感磁探子9、永久磁石10および感磁探子11が左右対称になるように構成されたので、強磁性部材1,2の正負の変位に対して感磁探子9,11による磁場強度の差が正負に検出されることから、被測定対象の移動に対して磁場強度の変化が大きく、位置検出精度の高いものが得られる。
図11はこの発明の実施の形態3による位置検出装置を示す断面図であり、図11(a)は正面断面図、図11(b)は側面断面図、図11(c)は底面断面図である。図において、強磁性部固定部材13は、強磁性部材1,2からなる強磁性部3を固定すると共に、被測定対象(図示せず)に連結される。また、検出部固定部材14は、その側面断面がほぼH型形状に形成され、永久磁石5,7および感磁探子6からなる磁場発生検出部8を固定すると共に、強磁性部材1,2を案内するものである。これら強磁性部固定部材13および検出部固定部材14は、強磁性部3および磁場発生検出部8間の磁場に影響を及ぼさないように、真鍮、黄銅、樹脂等の非磁性材料で構成される。基準点固定部材15は、検出部固定部材14に連結され、位置の基準点に固定される。
その他の構成については、上記実施の形態1と同様である。
基準点固定部材15を位置の基準点に固定すると共に、強磁性部固定部材13を被測定対象に連結する。強磁性部固定部材13および検出部固定部材14間は、相対位置が変化可能であるため、強磁性部固定部材13は、被測定対象の移動に応じて検出部固定部材14上を滑るように移動する。
上記実施の形態1と同様にして、感磁探子6による検出磁場強度に応じて、強磁性部材1,2の変位、すなわち、被測定対象の位置を検出することができる。
なお、この実施の形態3では磁場発生検出部として、上記実施の形態1に示した永久磁石5,7および感磁探子6からなる磁場発生検出部8を適用した例について示したが、上記実施の形態2に示した感磁探子9,11および永久磁石10からなる磁場発生検出部12を適用しても良い。
図12はこの発明の実施の形態4による位置検出装置を示す断面図であり、図において、強磁性部材(第2の強磁性部材)16は、図12における左右方向および奥行き方向の寸法が、永久磁石5,7および感磁探子6からなる磁場発生検出部8の同寸法以上に形成されたものであり、すなわち、強磁性部材16の強磁性部材1に対向する面の広さが磁場発生検出部8以上の広さに形成されたものである。
また、磁場発生検出部8は、その強磁性部材16の強磁性部材1に対向する面に、はみ出すことなく固定され、感磁探子6による検出磁場強度に応じて、強磁性部材1との相対位置を検出するものである。
その他の構成については、上記実施の形態1と同様である。
強磁性部材16に磁場発生検出部8を固定すると共に、強磁性部材1のみに被測定対象(図示せず)を連結して、被測定対象を移動して強磁性部材1および磁場発生検出部8間の相対位置を変化させれば、感磁探子6による検出磁場強度が変化する。感磁探子6による検出磁場強度に応じて、強磁性部材1の変位、すなわち、被測定対象の位置を検出することができる。
なお、この実施の形態4においても上記実施の形態2に示した感磁探子9,11および永久磁石10からなる磁場発生検出部12を適用しても良い。
この発明の位置検出装置では、強磁性部材1,2の位置検出方向の長さが磁場強度の変化量に影響を与える。
図13は強磁性部材の位置検出方向の長さを変化させた時の磁場強度の変化を示す特性図である。横軸は、強磁性部材1,2の位置検出方向の長さから位置検出距離、すなわち位置検出範囲を差し引いた値である。より具体的には、各々の強磁性部材1,2として位置検出距離が8mmのもので位置検出方向の長さが各々異なる強磁性部材1,2の試料を用いて、その(位置検出方向の長さ)−(位置検出距離:8mm)を横軸にしたものである。したがって、強磁性部材1,2の位置検出方向の長さが位置検出距離よりも短いものについては負の値、等しいものについては0、長いものについては正の値となる。また、縦軸は、各試料の強磁性部材1,2を永久磁石5,7の中間の位置から右に4mm、すなわち、最大距離移動した場合の感磁探子6による検出磁場強度を示している。
この図13から分かるように、強磁性部材1,2の位置検出方向の長さが位置検出距離以上の時、すなわち0以上の時に、感磁探子6が検出する磁場強度が高い。その結果、強磁性部材1,2の位置検出方向の長さが位置検出距離以上の時には、被測定対象の移動に対する磁場強度の変化が大きく、位置検出感度を高くすることができる。
なお、この実施の形態5においても上記実施の形態2に示した感磁探子9,11および永久磁石10からなる磁場発生検出部12に適用しても良い。
図14および図15はこの発明の実施の形態6による電磁アクチュエータに位置検出装置が配置された例を示す断面図であり、図において、電磁アクチュエータ17は、可動子18、電磁石19,20、バネ21,22により構成されている。
図14において、位置検出装置の強磁性部材1,2は、可動子18の先端に結合部材23を介して連結され、図15において、位置検出装置の強磁性部材1,2は、電磁石19,20間の可動子18に結合部材24を介して連結されている。
これら位置検出装置は、位置検出方向と電磁石19,20の中心軸とが平行になるように配置され、且つ感磁探子6の磁場検出方向が、その感磁探子6および電磁石19,20の中心軸を含む平面に垂直な方向になるように配置されている。
その他の構成については、上記実施の形態1と同様である。
図14および図15において、電磁アクチュエータ17の可動子18は、電磁石19,20に電流が通電され電磁力が発生され、電磁石19,20、バネ21,22から受ける力によって、図の左右方向に移動する。位置検出装置は、この移動による位置の変化を、強磁性部材1,2が永久磁石5,7および感磁探子6に対して移動することによって検出する。
このような構成で、電磁アクチュエータ17が発生する磁場は、例えば、電磁石19に通電した場合、電磁石19の中心軸上にある可動子18を中心に図に示すように発生する。このような磁場分布の時、位置検出装置を、位置検出方向と可動子18の軸方向とが平行になるように配置し、且つ感磁探子6の磁場検出方向が、感磁探子6および可動子18の軸を含む平面に垂直な方向になるように配置することで、電磁石19が発生する磁場は、感磁探子6が配置された位置で、感磁探子6の磁場検出方向の磁場成分を持たなくなる。
したがって、電磁アクチュエータ17の電磁石19が発生する磁場による位置検出装置の位置検出誤差の発生を抑制できるため位置検出精度が向上する。また、電磁アクチュエータ17の電磁石20が発生する磁場についても同様に、本配置で位置検出装置の位置検出誤差の発生を抑制できるため、位置検出精度が向上する。
なお、この実施の形態6においても上記実施の形態2に示した感磁探子9,11および永久磁石10からなる磁場発生検出部12に適用しても良い。
図16はこの発明の実施の形態7による位置検出装置を示す断面図であり、図において、軸(被測定軸)25は、軸方向(図16の左右方向)に移動する。強磁性部材(第1の強磁性部材)26は、リング状に形成されると共に、軸25に同軸状に固定される。強磁性部材(第2の強磁性部材)27は、強磁性部材26よりも直径が大きいリング状に形成されると共に、その強磁性部材26の外周に、一定の間隔を空けて軸25に同軸状に配置される。
磁場発生検出部8aは、ほぼ平板状に形成された永久磁石5a,7aおよび感磁探子6aからなり、強磁性部材27の内面に固定され、また、磁場発生検出部8bは、ほぼ平板状に形成された永久磁石5b,7bおよび感磁探子6bからなり、磁場発生検出部8aに対向する強磁性部材27の内面に固定される。これら磁場発生検出部8a,8bは、強磁性部材26との相対位置を検出するものである。
その他の構成については、上記実施の形態1と同様である。
軸25の移動によりリング状の強磁性部材26が軸方向に移動し、強磁性部材26および磁場発生検出部8a,8b間の相対位置が変化すれば、感磁探子6a,6bによる検出磁場強度が変化する。感磁探子6a,6bによる検出磁場強度、例えば、平均値に応じて強磁性部材26の変位、すなわち、軸25の軸方向の位置を検出することができる。
なお、この実施の形態7では、永久磁石5a,7aおよび永久磁石5b,7bを平板状に形成したが、永久磁石5,7をリング状に形成しても良く、永久磁石5,7が被測定対象である軸25に対して同軸に配置されるので、軸25に対して対称性の良い磁気を発生することができ、精度の高い位置検出を行うことができる。
また、この実施の形態7においても上記実施の形態2に示した感磁探子9,11および永久磁石10からなる磁場発生検出部12を適用しても良い。
図17はこの発明の実施の形態8による位置検出装置を示す断面図であり、図において、スリーブ部材(円管形状固定部材)28は、リング状に形成され、強磁性部材27の内面に配置された永久磁石5a,5b,7a,7bおよび感磁探子6a,6bからなる磁場発生検出部8a,8bを固定すると共に、軸25に同軸状に配置され、強磁性部材26を案内するものである。このスリーブ部材28は、強磁性部26および磁場発生検出部8a,8b間の磁場に影響を及ぼさないように、真鍮、黄銅、樹脂等の非磁性材料で構成される。
その他の構成については、上記実施の形態7と同様である。
軸25の軸方向の位置の検出動作は、上記実施の形態7と同様であるが、軸25の軸方向の移動の際に、強磁性部材26の外周がスリーブ部材28の内面を滑るように移動する。
Claims (10)
- 一定の間隔を空けて配置された第1および第2の強磁性部材からなる強磁性部と、
上記強磁性部により形成される空間内に一部または全体が配置され、且つ直線上に一列に第1の磁石、感磁探子および第2の磁石の順に配列された磁場発生検出部とを備え、
上記磁場発生検出部は、
上記感磁探子の磁場検出方向が上記第1および第2の強磁性部材方向に配置されると共に、上記第1および第2の磁石の磁化方向がその感磁探子の磁場検出方向と同一方向に、且つ互いに逆向きにそれぞれ配置され、
その感磁探子により検出される磁場に応じて、上記強磁性部とのそれら第1の磁石、感磁探子および第2の磁石の配列方向の相対位置を検出することを特徴とする位置検出装置。 - 一定の間隔を空けて配置された第1および第2の強磁性部材からなる強磁性部と、
上記強磁性部により形成される空間内に一部または全体が配置され、且つ直線上に一列に第1の感磁探子、磁石および第2の感磁探子の順に配列された磁場発生検出部とを備え、
上記磁場発生検出部は、
上記第1および第2の感磁探子の磁場検出方向が上記第1および第2の強磁性部材方向に配置されると共に、上記磁石の磁化方向がそれら第1および第2の感磁探子の磁場検出方向と同一方向に配置され、
それら第1および第2の感磁探子により検出される磁場に応じて、上記強磁性部とのそれら第1の感磁探子、磁石および第2の感磁探子の配列方向の相対位置を検出することを特徴とする位置検出装置。 - 強磁性部に被測定対象を連結して、その被測定対象の位置を検出することを特徴とする請求項1または請求項2記載の位置検出装置。
- 第1および第2の強磁性部材からなる強磁性部を固定すると共に、被測定対象に連結される強磁性部固定部材と、
感磁探子および磁石からなる磁場発生検出部を固定すると共に、上記第1および第2の強磁性部材を案内する検出部固定部材と、
上記検出部固定部材に連結され、位置の基準点に固定される基準点固定部材とを備えたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の位置検出装置。 - 第2の強磁性部材は、
第1の強磁性部材に対向する面が磁場発生検出部以上の広さに形成され、その面に感磁探子および磁石からなる磁場発生検出部が固定され、
磁場発生検出部は、
上記第1の強磁性部材との相対位置を検出することを特徴とする請求項1または請求項2記載の位置検出装置。 - 第1および第2の強磁性部材の位置検出方向の長さは、
当該位置検出装置の位置検出範囲以上であること特徴とする請求項1または請求項2記載の位置検出装置。 - 電磁石により駆動される電磁アクチュエータの可動子の位置を検出する場合の当該位置検出装置の配置は、
位置検出方向と電磁石の中心軸とを平行に配置し、且つ感磁探子の磁場検出方向を、その感磁探子および電磁石の中心軸を含む平面に垂直な方向に配置することを特徴とする請求項1から請求項6のうちのいずれか1項記載の位置検出装置。 - 第1の強磁性部材は、
円管形状に形成されると共に、被測定軸に固定され、
第2の強磁性部材は、
上記第1の強磁性部材よりも直径が大きい円管形状に形成されると共に、その第1の強磁性部材の外周に、一定の間隔を空けて配置され、
磁場発生検出部は、
上記第2の強磁性部材の内面に感磁探子および磁石が固定され、上記第1の強磁性部材との相対位置を検出することを特徴とする請求項1または請求項2記載の位置検出装置。 - 磁石は、
円管形状に形成されることを特徴とする請求項8記載の位置検出装置。 - 円管形状に形成され、第2の強磁性部材の内面に配置された感磁探子および磁石からなる磁場発生検出部を固定すると共に、第1の強磁性部材を案内する円管形状固定部材を備えたことを特徴とする請求項8または請求項9記載の位置検出装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN105891739A (zh) * | 2015-02-17 | 2016-08-24 | Tdk株式会社 | 磁传感器 |
-
2003
- 2003-12-25 JP JP2003430653A patent/JP2005189097A/ja active Pending
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