JP2006527844A - 制御された磁気漏洩の位置を判定するための磁気センサ - Google Patents

制御された磁気漏洩の位置を判定するための磁気センサ Download PDF

Info

Publication number
JP2006527844A
JP2006527844A JP2006516299A JP2006516299A JP2006527844A JP 2006527844 A JP2006527844 A JP 2006527844A JP 2006516299 A JP2006516299 A JP 2006516299A JP 2006516299 A JP2006516299 A JP 2006516299A JP 2006527844 A JP2006527844 A JP 2006527844A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
magnetic flux
pole piece
measurement cell
displacement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006516299A
Other languages
English (en)
Inventor
オリヴィエ アンドリュー,
ローレン ドゥフォー,
Original Assignee
エレクトリクフィル オートモーティヴ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エレクトリクフィル オートモーティヴ filed Critical エレクトリクフィル オートモーティヴ
Publication of JP2006527844A publication Critical patent/JP2006527844A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/70Position sensors comprising a moving target with particular shapes, e.g. of soft magnetic targets
    • G01D2205/77Specific profiles

Abstract

本発明は、変位の軸線(T)に沿う移動物体(2)の位置を判定する磁気センサに関する。当該センサは、少なくとも一つの間隙(8)を規定し、磁束を発生する手段(4)を備える開磁路(3)と、この磁路(3)に固定して取り付けられており、磁束値を測定可能な少なくとも一つの第1の測定セル(11)と、変位の軸線に沿う移動物体の直線位置を判定するために、測定セル(11)が供給する出力信号を処理する手段とを含む。本発明によると、磁路(3)は、磁束を発生する手段に関連付けられた少なくとも一つの磁極片(5)も含み、測定セル(11)は、磁束を発生する手段(4)が供給する磁束を漏洩磁束を差し引いて測定するように、変位の端点近傍に取り付けられている。

Description

発明の詳細な説明
本発明は、好ましくは直線の、変位の軸線に沿って移動する物体の位置を検出すために適する非接触磁気センサの技術分野に関する。
本発明の目的は、排他的にではないが自動車の分野において、その位置を知らなければならない、特に直線の変位を伴った種々の変位ユニットに装備するための特に有利な応用、及び、例えば、自動ギアボックス、サスペンション、制御クラッチ、パワーステアリング、姿勢調整システム等の部品を形成するために特に有利に応用を見出すことにある。
最新技術においては、平行移動で移動する物体の直線位置を知るために適切な非接触センサに多くのタイプがある。例えば、米国特許4,810,965号には、閉磁路を含む磁気センサが記載されており、当該閉磁路がU型磁極片を含んでおり、当該U型磁極片がその両自由端の間に、当該磁極片の表面に垂直な方向に沿って磁気誘導を生じる磁石を備えている。可動式測定セルが、磁極片の表面に関連する磁気誘導の値を測定するために、磁極片の分枝の間に取付けられている。当該セルは、こうして磁極片の両分枝の間に生じる磁気漏洩誘導強度を測定する。この磁気漏洩誘導の強度は、磁極片の表面で測定セルの平行移動の軸線に沿って変動する。当該センサは、平行移動の軸線に沿って移動する物体の直線位置を測定するために、測定セルが伝える出力信号を処理する手段をも含む。
この特許に記載されたセンサは、閉磁路の作成を必要とし、これが原価を上昇させる製造上の制約となる。その上、測定セルの案内は、当該セルが二つの磁極の面の間を動くので、相対的に正確でなければならない。さらに、測定セルの可動性は、とりわけ処理電子機器に対する電気接続に問題をもたらす。
文書DE 3 803 293から、可動磁石の磁束を、二つの測定セルの間の任意の位置で測定する位置センサがさらに公知である。当該センサの主要な欠点は、移動物体の限定された行程を測定することができるだけであるという事実に対して、磁気漏洩が大きいこと、および測定セルが感知する磁束値が微小であることを考慮に入れて、対処する必要があることである。
本発明の目的は、したがって、直線変位移動の大きい移動物体の位置を判定することに適した非接触磁気センサを提案することによって、上述の欠点に対する改善策を見出すことに向けられている。このセンサは、簡易な経済的設計であって、大きい間隙で動作することができる。
このような目標を達成するために、この磁気センサは
少なくとも一つの間隙を規定しており、磁束を作成する手段を含み、当該磁束を作成する手段が移動物体によって変位可能に取り付けられており少なくとも一つの間隙を規定している開磁路、
上記磁路に固定して取付けられ、変位軸に関連する磁束値を測定することができる少なくとも一つの第1の測定セル、及び
移動物体の変位の軸線に沿う直線位置を判定するために、上記測定セルが伝える出力信号を処理する手段、
を備える。
本発明によれば、
上記磁路は、磁極片の表面に対して少なくとも垂直に配向された磁束を発生する手段に関連付けられた少なくとも一つの磁極片をも含み、当該磁極片から漏洩磁束を放出し、当該漏洩磁束の強度が上記の変位の軸線に沿って磁極片の表面で変動し、
上記測定セルが、上記の発生手段によってもたらされる磁束を、漏洩磁束を差し引いて測定するよう、変位の端点近傍に取付けられている。
好適な実施の形態によれば、磁気センサは、上記の発生手段によってもたらされる磁束を、漏洩磁束を差し引いて測定するよう、磁気回路で変位の別の端点近傍に固定して取付けられている第2の測定セルを含む。
磁束を発生する手段は、平行に変位可能なように取付けられていることが有利である。
第1の例示的な実施の形態によれば、移動物体の位置を判定する処理手段が、第1の測定セルと第2の測定セルが伝える出力信号の間の差を計算する。
第2の例示的な実施の形態によれば、移動物体の位置を判定する処理手段が、第1の測定セルと第2の測定セルが伝える出力信号の間の差を、第1の測定セルと第2の測定セルが伝える出力信号の和で除算して、計算する。
有利な実施の形態の特徴によれば、処理手段が、各測定セルの動作状態に関する判断を確定するために、各出力信号を独立にまたは組合せて解析する手段を含む。
磁束を発生する手段は、その軸線が平行移動の軸線に平行な、半径方向に磁化された環状の部品を含むことが有利である。
別の実施の形態によれば、磁束を発生する手段が、その磁化方向を2個づつ90°ずらした一連の少なくとも四つの磁石を含む。
ある応用によれば、開磁路が、第1の磁極片に面して配置された第2の磁極片であって、第1の磁極片と間隙を規定する第2の磁極片を含む。
この代替の実施の形態においては、第2の磁極片が、磁束を発生する手段を備えている。
例えば、第2の磁極片は、半径方向に磁化された環状の部品を備えた筒状の部品によって形成される。
磁極片のいずれか一つが、測定セルの伝える出力信号の線形性を改善することに適した平面形状を有することが、有利である。
その他の多様な特徴が、非限定の例として本発明の対象の実施の形態を示す添付の図面を参照する以下の記述から明らかになるであろう。
図1および2から明確に分かるように、本発明の対象は、広い意味で移動物体2の位置を判定することに適した磁気センサ1に関する。物体2は、図示の例では平行移動の軸である変位の軸線Tに沿って移動する。移動物体2は、図示の例では、直線運動を行なう任意のタイプのユニットから構成されており、排他するものではないが好ましくは、自動車を備える装置の部品である。以下の説明においては、移動物体2は、直線運動を行なうものと見なすが、本発明の対象は、円運動など、異なる変位運動を行なう移動物体2に適用され得ることは明らかである。一般的に、移動物体2は、変位の軸線Tに沿って、図1に示す例においてはP1およびP2として示す二つの端点の間を移動する。
センサ1は、平行移動の軸線Tに対して垂直な方向fに沿って磁束を発生する手段4を含む固定磁気回路3を含む。磁気回路3はまた、磁束の方向f1に対して略垂直に、且つ、平行移動の軸線Tに対して平行に延びる表面6を有する少なくとも一つの第1の磁極片5をも含む。磁束は、磁極片5から表面6に垂直な方向に沿って放出される。
本発明によれば、磁束を発生する手段4は、移動物体2によって変位可能に取付けられており、第1の磁極片5と間隙8を規定している。好適には、磁束を発生する手段4は、移動物体2の一部であるか、または任意の適切な方法で移動物体2に付加された磁石を含み、その位置が変位の軸線Tに沿って判定されるものである。磁石4はこうして、第1の磁極片5の表面6に垂直な方向に配向された磁束を発生する。なお、磁極片5は、端点P1およびP2の間で判定される移動物体2の測定すべき移動と、少なくとも等しい長さを有することに注意されたい。さらに、以下の記述から明らかになるように、第1の磁極片5は、ヒステリシス効果を制限する適切な材料を用い、適切な寸法によってその磁気飽和値に達しないように作成される。
本発明の特徴によれば、センサ1は、磁気回路3に取付けられ、第1の磁極片5に対する磁束値を相対的に測定することができる少なくとも一つの第1の測定セル11を含む。このような測定セル11は、例えばホール効果セルのように、所定の固定位置において、磁気回路を流れる磁束値の変動を測定することが可能である。図1に示す例においては、測定セル11は、変位の端点P2の近傍に取付けてある。具体的には、測定セル11は、移動物体2の行程の外側において変位の端点の近傍に取付けられる。
セル11は、磁石4がもたらす磁束から漏洩磁束を差し引いて測定することが理解されよう。図1には、ある磁力線Fをもつ漏洩磁束が示されている。セル11はそれによって、一方の変位端における残留磁束を測定する。この残留磁束は、磁石4の全磁束から磁気回路3と磁石4との間の直接漏洩磁束を差し引いた磁束に等しい。漏洩磁束が、磁石4とセル11との間の相対位置に単に依存する限り、セル11が伝える出力信号は、平行移動の軸線Tに沿う磁石4の位置に関する情報を提供し、その結果、移動物体2の位置に関する情報を提供する。勿論、磁気回路および特に磁極片5が飽和していない場合に、測定が可能である。測定セル11が伝える出力は、図示しないがそれ自体は公知の信号処理手段に送信され、移動物体2の直線位置を変位の軸線Tに沿って判定することを可能にする。
好適な実施の形態の特徴によれば、センサ1は、磁気回路3において他方の端点、即ち図2に示す例におけるP1の近傍に固定して取り付けられた第2の測定セル13を含む。上に説明したように、セル11および13は、点P1とP2との間の定められた範囲の行程の外側に置かれる。この第2の測定セル13も、磁石4が伝える磁束を、漏洩磁束を差し引いて測定することが可能である。なお、図示の例において、測定セル11、13は、磁極片5からその表面6に垂直な方向に従って放出される磁束が各測定セル11、13を横切るよう、磁極片5の上に固定されることに注意されたい。勿論、測定セル11、13は、磁極片5と直接接触することなく、端点P1とP2の近傍に置かれる。
二つの測定セル11、13を含む磁気センサ1を作成することによって、測定セルからの出力信号の直線性を改善するために、差動測定構造を得ることが可能である。
第1の代替の実施の形態によれば、移動物体の位置を判定する処理手段が、第1の測定セル11と第2の測定セル13とが伝える出力信号の間の差を計算することが想定され得る。
別の実施の形態の特徴によれば、移動物体2の位置を判定する処理手段が、第1の測定セル11と第2の測定セル13とが伝える出力信号の間の差を、第1の測定セル11と第2の測定セル13が伝える出力信号の和で除算して、計算することが想定され得る。このような処理を用いて、例えば間隙または温度の変化に起因する、セル11、13が伝える信号のドリフトに対して、大きく影響されない出力信号を得ることが可能である。
本発明の有利な特徴によれば、処理手段は、各測定セル11、13の動作状態に関する判断を確立するために、各出力信号を独立に、または組合せて解析する手段を含む。こうして、例えば、所定の範囲内では検出されない信号を伝えるセルについて、欠陥状態が検出される。また、セルの伝える信号の和が判定された間隔の外にあるときは、欠陥状態が検出される。同様の意味で、両方のセルが伝える信号が独立しているが、磁石4の位置の両側で対称である限り、このような特性が測定セル11、13の動作状態を検出するために解析されてもよい。
図1および2に示す例においては、磁束を発生する手段4が、その磁化方向が第1の磁極片5の表面6に対して垂直である磁石を通して製造される。移動物体2がT軸に沿って回転もする場合においては、図3に示すように、磁束を発生する手段4は、その軸線Aが変位の軸線Tに対し平行な、半径方向に磁化した環状の部品14を通じて製造することが想定され得る。図4に示す例においては、磁束を発生する手段4は、その磁化方向を2個づつ90°シフトされた少なくとも4個1組の磁石15を含む。
図5および6により具体的に示す有利な特徴によれば、磁極片5は、測定セル11、13が伝える出力信号の直線性を改善することに適した平面的な形状を有していてもよい。例えば、磁極片5は、大きい基部同士が結合されるよう(図5)、または小さい基部同士が結合されるよう(図6)、ヘッド トゥ テイル式(head-to-tail)に取付けられた二つの円錐台形によって形成される対称面を有する。
図7は、センサの別の代替の実施の形態を示す。このセンサは、第1の磁極片5と同一または別の第2の磁極片18を用い、磁気漏洩を制限することが可能である。即ち磁束を磁気回路3に導くことが出来るようにする。図7の例において、第2の磁極片18は、第1の磁極片5に面するように配置された平面を含み、その端の一方で第1の磁極片5との間に間隙19を規定する。この第2の磁極片18の他端は、磁石4を備えており、これも第1の磁極片5との間に狭い間隙8を規定する。
図8は、筒状の部品製の第2の磁極片18の別の実施の形態を示す。この筒状の部品には、図3に示すような、半径方向に磁化した環状の部品14が取り付けられている。この第2の磁極片18も、第1の磁極片5との間に間隙19を規定する。
本発明は、説明し図示した例に限定されない。その範囲を逸脱することなく、これらに各種の変更を行うことができるからである。
本発明に係るセンサの原理を示す概略図である。 本発明に係るセンサの好適な実施の形態を示す斜視図である。 磁束を発生する手段の種々の実施の形態を示す斜視図である。 磁束を発生する手段の種々の実施の形態を示す斜視図である。 本発明に係るセンサに適用される磁極片の二つの代替の形状の実施の形態を示す。 本発明に係るセンサに適用される磁極片の二つの代替の形状の実施の形態を示す。 本発明に係るセンサの二つの代替の実施の形態の斜視図である。 本発明に係るセンサの二つの代替の実施の形態の斜視図である。

Claims (12)

  1. 変位の軸線(T)に沿って移動する移動物体(2)の位置を判定する磁気センサであって、
    少なくとも一つの間隙(8)を規定する開磁路(3)であって、磁束を発生する手段(4)を含んでおり、当該磁束を発生する手段(4)が前記移動物体(2)によって変位可能に取付けられており前記少なくとも一つの間隙(8)を規定する開磁路(3)と、
    前記磁路(3)に固定して取付けられ、前記変位の軸線に関連する磁束値を測定可能な少なくとも一つの第1の測定セル(11)と、
    前記変位の軸線に沿う前記移動物体の直線位置を判定するために、前記測定セル(11)が伝える出力信号を処理する手段と、
    を含み、
    前記磁路(3)は少なくとも一つの磁極片(5)も含み、前記磁極片(5)は当該磁極片の表面(6)に垂直な少なくとも配向された磁束を発生する手段に関連付けられており、前記磁極片から漏洩磁束が放出され、当該漏洩磁束の強度は前記変位の軸線(T)に沿って前記磁極片の前記表面で変動しており、
    前記測定セル(11)は、前記発生する手段(4)がもたらす前記磁束を、前記漏洩磁束を差し引いて測定するように、変位の端点近傍に取付けられている、
    ことを特徴とする磁気センサ。
  2. 前記発生する手段(4)がもたらす前記磁束を、前記漏洩磁束を差し引いて測定するように、前記磁路(3)において変位の他方の端点近傍に固定して取付けられた第2の測定セル(13)を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。

  3. 前記磁束を発生する手段(4)が、平行に移動可能に取付けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気センサ。
  4. 前記移動物体(2)の位置を判定する前記処理手段が、前記第1の測定セル(11)と前記第2の測定セル(13)とが伝える前記出力信号の間の差を計算することを特徴とする請求項2に記載の磁気センサ。
  5. 前記移動物体(2)の位置を判定する前記処理手段が、前記第1の測定セル(11)と前記第2の測定セル(13)とが伝える前記出力信号の間の差を、前記第1の測定セル(11)と前記第2の測定セル(13)とが伝える前記出力信号の和で除算して、計算することを特徴とする請求項2に記載の磁気センサ。
  6. 前記処理手段が、各測定セル(11、13)の動作状態に関する判断を確定するため、各出力信号を独立にまたは組合せて解析する手段を含むことを特徴とする請求項1、4または5に記載の磁気センサ。
  7. 前記磁束を発生する手段(4)が、半径方向に磁化された環状の部品(14)から成り、その軸線が平行移動の変位の前記軸線に平行であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁気センサ。
  8. 前記磁束を発生する手段が、その磁化方向を2個づつ90°シフトした少なくとも4個1組の磁石(15)から成ることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁気センサ。
  9. 前記開磁路(3)が、前記第1の磁極片(5)と間隙(19)を規定しており、且つ前記第1の磁極片(5)に面するように配置されている第2の磁極片(18)から成ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の磁気センサ。
  10. 前記第2の磁極片(18)が、磁束を発生する手段(4)を備えていることを特徴とする請求項9に記載の磁気センサ。
  11. 前記第2の磁極片(18)が、半径方向に磁化された前記環状の部品(14)を備えた筒状の部品を用いて形成されていることを特徴とする請求項5または9に記載の磁気センサ。
  12. 前記磁極片(5、18)のうちいずれか一方が、前記測定セル(11、13)が伝える出力信号の直線性を改善するために適切な平面形状を有することを特徴とする請求項1または8に記載の磁気センサ。
JP2006516299A 2003-06-17 2004-06-17 制御された磁気漏洩の位置を判定するための磁気センサ Pending JP2006527844A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0307277A FR2856474B1 (fr) 2003-06-17 2003-06-17 Capteur magnetique de position a fuites magnetiques controlees
PCT/FR2004/001507 WO2004113844A2 (fr) 2003-06-17 2004-06-17 Capteur magnetique de position a fuites magnetiques controlees

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006527844A true JP2006527844A (ja) 2006-12-07

Family

ID=33484500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006516299A Pending JP2006527844A (ja) 2003-06-17 2004-06-17 制御された磁気漏洩の位置を判定するための磁気センサ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20060164074A1 (ja)
EP (1) EP1634037A2 (ja)
JP (1) JP2006527844A (ja)
FR (1) FR2856474B1 (ja)
WO (1) WO2004113844A2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009002770A (ja) * 2007-06-21 2009-01-08 Murata Mach Ltd 電磁誘導式リニアスケール

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2885687B1 (fr) * 2005-05-11 2007-12-21 Electricfil Automotive Soc Par Dispositif pour determiner la hauteur du chassis d'un vehicule
US8917086B2 (en) * 2010-07-20 2014-12-23 Lawrence Livermore National Security, Llc Position sensor for linear synchronous motors employing halbach arrays
US9448087B2 (en) * 2011-10-10 2016-09-20 Methode Electronics, Inc. Contactless magnetic linear position sensor
DE102014223884A1 (de) * 2014-11-24 2016-05-25 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensoranordnung und Verfahren zum Bestimmen einer Position und/oder einer Positionsänderungeines Messobjekts
DE102021118302A1 (de) * 2021-07-15 2023-01-19 Bürkert Werke GmbH & Co. KG Ventil mit einer Positionserfassungseinrichtung

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4841246A (en) * 1987-12-29 1989-06-20 Eaton Corporation Multiturn shaft position sensor having magnet movable with nonrotating linear moving nut
DE3803293A1 (de) * 1988-02-04 1989-08-17 Turck Werner Kg Magnetisch betaetigter analoger elektrischer wegaufnehmer fuer geradlinige bewegungen
DE69306914T2 (de) * 1992-10-29 1997-05-07 Rolls Royce & Ass Verbesserung in Weggebern
JP3395402B2 (ja) * 1994-10-14 2003-04-14 住友電気工業株式会社 移動量検出器
FR2809487B1 (fr) * 2000-05-23 2002-08-16 Sagem Capteur de position axiale pour une tige mobile axialement et actionneur electromagnetique de soupape qui en est equipe
US6486657B2 (en) * 2001-02-09 2002-11-26 Delphi Technologies, Inc. Malfunction detector for magnetoresistor speed and position sensors
US7208939B2 (en) * 2001-02-28 2007-04-24 Bvr Technologies Co. Methods and apparatus for sensing angular position and speed of a rotatable shaft utilizing linearized annular magnet and commutated ratiometric hall sensors
DE10113871A1 (de) * 2001-03-21 2002-09-26 Philips Corp Intellectual Pty Anordnung zur Positions-, Winkel- oder Drehzahlbestimmung
US6614223B2 (en) * 2001-08-14 2003-09-02 Delphi Technologies, Inc. Analog angle encoder having a single piece magnet assembly surrounding an air gap
FR2829573B1 (fr) * 2001-09-11 2004-01-16 Siemens Automotive Sa Capteur magnetique de la position d'un mobile sur une trajectoire suivie par le mobile
US6798195B2 (en) * 2001-12-14 2004-09-28 Wabash Technologies, Inc. Magnetic position sensor having shaped pole pieces at least partially formed of a non-magnetic material for producing a magnetic field having varying magnetic flux density along an axis

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009002770A (ja) * 2007-06-21 2009-01-08 Murata Mach Ltd 電磁誘導式リニアスケール

Also Published As

Publication number Publication date
US20060164074A1 (en) 2006-07-27
FR2856474A1 (fr) 2004-12-24
EP1634037A2 (fr) 2006-03-15
FR2856474B1 (fr) 2005-10-21
WO2004113844A2 (fr) 2004-12-29
WO2004113844A3 (fr) 2005-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6304078B1 (en) Linear position sensor
US20070120556A1 (en) Magnetic position sensor for a mobile object with limited linear travel
JP4288373B2 (ja) 磁気式位置エンコーダを有する装置
US7268536B2 (en) Magnetic linear position sensor
JP6926209B2 (ja) 距離センサ
US20040017187A1 (en) Magnetoresistive linear position sensor
US8970210B2 (en) Bidirectional magnetic position sensor having field rotation
KR20130095759A (ko) 이동체의 절대 위치 결정 방법 및 그 장치
EP2581707B1 (en) Contactless magnetic linear position sensor
WO2013002135A1 (ja) 近接センサ
US7677108B2 (en) Accurate pressure sensor
KR20140091474A (ko) 가변 플럭스 컬렉터를 이용한 위치 측정
US20200232826A1 (en) Encoder System for Position Determination with Inclined Scale
US20170102250A1 (en) Magnetic field measuring device
JP2006527844A (ja) 制御された磁気漏洩の位置を判定するための磁気センサ
US7199578B2 (en) Measurement device including a hall sensor disposed in a magnetic tube
CN113272627A (zh) 用于长行程线性永磁电机的位置传感器
US20150115939A1 (en) Magnetic medium for magnetic encoder, magnetic encoder and method for manufacturing magnetic medium
US20230013016A1 (en) Valve having a position sensing means
JP2005189097A (ja) 位置検出装置
JP5529064B2 (ja) 非接触スイッチ及び磁気センサ
US20160131683A1 (en) Magnetic sensor and electrical current sensor using the same
Bratland et al. Linear position sensing using magnetoresistive sensors
JPH1062112A (ja) 磁気式回転角度センサ
JPH01285817A (ja) 磁気検出センサの出力処理方法およびセンサ構造