JP4784905B2 - Ｘｙ位置決め装置 - Google Patents

Description

本発明は、高速ボンディングマシンなどに搭載されると共に、直動ＸＹ２軸の動作を同一ＸＹ平面上で１台もしくは複数台で行うＸＹ位置決め装置に関する。

従来から、高速ボンディングマシンなどの用途に搭載されると共に、直動ＸＹ２軸の動作を同一ＸＹ平面上で行うＸＹ位置決め装置が提案されている。ＸＹ位置決め装置の移動形態を大別すると、Ｘ軸方向推力とＹ軸方向推力によりＸＹスライダが直接ＸＹ平面上を移動するもの（例えば、特許文献１〜４参照）、Ｙ軸方向推力によりＸ固定部がＹ軸方向に移動し、Ｘ軸方向推力によりＸ固定部上をＸＹスライダがＸ軸方向に移動するもの（例えば、特許文献５、６参照）に分類することができる。
前者の装置については、ＸＹスライダのＸ軸方向への制御と回転θ方向への制御を独立して行うことにより、ＸＹスライダの回転ずれ（ヨーイング）により制御不能になることを防止するもの（例えば、特許文献１参照）、格子プラテン上において原点復帰位置を高精度に行うもの（例えば、特許文献２参照）、移動体を原点またはその近傍に短時間で復帰させるもの（例えば、特許文献３参照）、あるいは磁気浮上により６自由度の制御を行うもの（例えば、特許文献４参照）もある。
また、後者の装置は、複数の位置検出器（レーザー干渉計）を切り替えてもレーザー干渉計の波長補正を高精度にできるもの（例えば、特許文献５参照）、スライダの移動中にレーザー干渉計を切り替えることによって生じる誤差を抑えることができるもの（例えば、特許文献６参照）がある。これら従来技術は、いずれも高精度な位置決めが要求されるＸＹ位置決め装置に関するものであり、すべて位置検出器にはレーザー干渉計が使用されている。

次に、従来技術（特許文献１）について、図８、図９を用いて説明する。
図８は従来技術によるＸＹ位置決め装置の全体を示す斜視図である。図において、１はＸＹスライダ、２はＸ１干渉計、３はＸ２干渉計、４はＹ干渉計、１００はプラテン、１０１はＸ平面ミラー、１０２はＹ平面ミラー、１０３は格子状鉄心歯である。また、図９は図８に示すＸＹスライダの底面から見た斜視図である。図において、５ａと５ｂはＸ電機子、６ａと６ｂはＹ電機子、７は浮上手段である。ＸＹスライダ１上には図８に示すようにＸ１干渉計２、Ｘ２干渉計３、Ｙ干渉計４が配置され、内部には図９に示すようにＸ電機子５ａと５ｂ、Ｙ電機子６ａと６ｂ、浮上手段７が搭載されている。
まず、ＸＹ位置決め装置の浮上、駆動手段について述べる。該ＸＹスライダ１はプラテン１００と浮上手段７により微小のギャップを介して非接触に浮上支持されている。ＸＹスライダ１内部に設けたＸ電機子５ａ、５ｂとＹ電機子６ａ、６ｂは電機子鉄心に巻装された電機子巻線（不図示）と該鉄心の歯先に設けた永久磁石（不図示）から構成され、微小のギャップを介してプラテン１００上に形成された格子状鉄心歯１０３との電磁力によってＸ軸方向推力とＹ軸方向推力を発生させる。
次に、ＸＹ位置決め装置の位置検出手段について述べる。Ｘ１干渉計２、Ｘ２干渉計３、Ｙ干渉計４は光の干渉を利用したレーザー干渉計であり、プラテン１００の外周２辺にはＸ１干渉計２およびＸ２干渉計３のレーザー光を反射するＸ平面ミラー１０１、Ｙ干渉計４のレーザー光を反射するＹ平面ミラー１０２が設置されている。
Ｘ１干渉計２とＸ２干渉計３は、Ｘ平面ミラー１０１にレーザ光を照射すると、その反射光を受けＸＹスライダ１のＸ軸方向位置を検出する。Ｙ干渉計４は、Ｙ平面ミラー１０２にレーザ光を照射し、その反射光を受けＸＹスライダ１のＹ軸方向位置を検出する。Ｘ１干渉計２、Ｘ２干渉計３、Ｙ干渉計４により得られたＸＹスライダ１のＸとＹの位置情報は制御装置（図示無し）に送られ、制御器はＸとＹの位置偏差量に応じてＸ軸方向とＹ軸方向の推力指令を生成する。その推力指令をもとに、Ｘ電機子５ａ、５ｂとＹ電機子６ａ、６ｂが推力を発生させることでＸＹスライダ１はＸ軸とＹ軸の位置決めを行えるようになっている。
特開２００１−１２５６４８号公報（第３頁、図２） 特開２００１−１４１８６１号公報（第３頁、図５） 特開２００１−１５４７３７号公報（第３頁、図１） 特開平５−５７５５０号公報（第２頁、図１） 特開２００３−１７８９５７号公報（第３頁、図１） 特開２００３−２５４７３９号公報（第３〜４頁、図３）

従来のＸＹ位置決め装置は、位置検出にレーザー干渉計および平面ミラーを用いているため、高精度な位置検出ができる反面、一般的なガラススケールとエンコーダヘッドで構成されるリニアエンコーダなどに比べると非常に高価であった。また、レーザー光が大気の揺らぎや温度、湿度、気圧の影響を受けやすいことから、環境補正装置を付加しなければならず、それも高価となる原因となっていた。環境補正装置を付加しないで使用すれば、大気の揺らぎや温度、湿度、気圧の環境変動により、精度劣化が顕著に生じた。さらに、レーザー干渉計はレーザー光を遮れば位置検出不可能となることから、レーザー光路上に物体を置くことができないでいた。例えば、プラテン上に複数台ＸＹスライダを載せて駆動する場合、ＸＹスライダ同士がレーザー光路を遮らないようにするため、可動範囲が極端に制約されてしまった。よって、複数台のＸＹスライダを用いて、作業の並列化並びに高タクト化を図りたい機械装置に適用することが困難であった。

本発明は上記問題を解決するためになされたものであり、安価で耐環境性に優れたＸＹ位置検出器を構成することができると共に、ＸＹスライダの可動範囲に制約を受けず複数台のＸＹスライダを駆動できるＸＹ位置決め装置を提供することを目的とする。

上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
請求項１は、ＸＹ位置決め装置の発明に係り、直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って形成されたプラテンと、前記プラテンとギャップを介して対向配置されたＸＹスライダと、前記ＸＹスライダの内部に搭載すると共に当該ＸＹスライダをＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ推力を発生させるＸ電機子およびＹ電機子と、を備え、前記Ｘ電機子および前記Ｙ電機子は、それぞれ電機子巻線と永久磁石を有すると共に、前記永久磁石を前記プラテンに対向したギャップ面に配置してあり、前記プラテン上に配置されると共にＸ軸位置とＹ軸位置を検出するための目盛を有する平面状のＸＹスケールと、前記ＸＹスライダに配置されると共に前記ＸＹスケールの目盛を検出するＸＹ位置検出器とよりなる平面エンコーダが設けられたことを特徴としている。
また、請求項２は、ＸＹ位置決め装置の発明に係り、直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って形成されたプラテンと、前記プラテンとギャップを介して対向配置されたＸＹスライダと、前記ＸＹスライダをＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ推力を発生させるＸ電機子およびＹ電機子と、前記プラテン上に配置されると共にＸ軸位置とＹ軸位置を検出するための目盛を有する平面状のＸＹスケールと、前記ＸＹスライダに配置されると共に前記ＸＹスケールの目盛を検出するＸＹ位置検出器とよりなる平面エンコーダと、を備え、前記Ｘ電機子は、前記ＸＹスライダに搭載してあり、前記ＸＹスライダは、Ｘ軸の長手方向に沿って設けたＸ固定部上を移動するように配設してあり、前記Ｘ固定部の両端のそれぞれには、前記Ｙ電機子を搭載してなるＹ可動部を連結してあり、前記Ｙ可動部は、Ｙ軸の長手方向に沿って設けたＹ固定部を移動するように配設してあり、前記Ｘ電機子により前記ＸＹスライダをＸ軸方向に駆動し、前記Ｙ電機子により前記ＸＹスライダをＹ軸方向に駆動するようにしたことを特徴としている。
また、請求項３は、請求項１または２記載のＸＹ位置決め装置において、前記ＸＹ位置検出器を、Ｘ軸位置を検出するＸ位置検出器とＹ軸位置を検出するＹ位置検出器の２つに分離したことを特徴としている。
また、請求項４は、請求項１または２に記載のＸＹ位置決め装置において、前記ＸＹスライダが前記ＸＹスケール上を非接触で浮上するように、前記ＸＹスライダに磁気吸引力による浮上手段を備えたことを特徴としている。
また、請求項５は、請求項１に記載のＸＹ位置決め装置において、前記プラテン上に前記ＸＹスライダを複数台載せたことを特徴としている。

請求項１記載の発明によると、Ｘ軸位置とＹ軸位置の検出をＸＹスケールとＸＹ位置検出器の構成であるいわゆる平面エンコーダを使用する装置構成となっており、従来のレーザー干渉計を使用する装置に比べ安価で、大気の揺らぎや温度、湿度、気圧などの周囲環境の変化による精度劣化を小さくすることができる。
また、Ｘ電機子とＹ電機子、Ｘ位置検出器とＹ位置検出器のすべてをＸＹスライダに搭載することで直接ＸＹスライダをＸ軸方向とＹ軸方向に移動させることができ、ＸＹスライダの機構を簡素化できる。
また、ＸＹスケールをプラテン上に配置することでＸＹスライダのＸ電機子、Ｙ電機子とプラテンの格子状鉄心歯間の磁気ギャップ長が大きくなっても、また、磁気ギャップ長を出来る限り小さくするためＸＹスケールを薄くしなくても、ＸＹスライダの推力低下を抑えることができる。
請求項２記載の発明によると、ＸＹスライダが浮上方向だけでなく案内方向も支持された走行性能が高いＸＹ位置決め装置においても請求項１同様の効果を得ることができる。
請求項３記載の発明によると、Ｘ軸位置を検出するＸ位置検出器とＹ軸位置を検出するＹ位置検出器をＸＹスライダの任意の場所、例えばＸ電機子とＹ電機子の近傍に配置し、Ｘ電機子のＸ軸位置、Ｙ電機子のＹ軸位置を正確に検出することができる。つまり、ＸＹスライダがヨーイングを起こした場合でも、各電機子の位置を、ＸＹスライダの重心位置と回転角度がそれらＸ位置検出器とＹ位置検出器から演算して正確にわかるので、各電機子に応じた推力指令を生成でき、ヨーイングを低減することができる。
請求項４記載の発明によると、浮上手段によってＸＹスライダを非接触で支持できるので、磨耗等による粉塵発生やメンテナンスを排除することができる。
請求項５記載の発明によると、複数台のＸＹスライダを同一プラテン上で駆動することができ、複数台のＸＹスライダ駆動による並列作業によって、機械装置の高タクト化を図ることができる。

以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
なお、本発明の構成要素が従来技術と同じものについては、同一符号を付してその説明を省略し、異なる点のみ説明する。

図１は本発明の第１実施例を示すＸＹ位置決め装置の全体斜視図、図２は図１に示すＸＹスライダの底面から見た斜視図である。
図において、１はＸＹスライダ、５（５ａ、５ｂ）はＸ電機子、６（６ａ、６ｂ）はＹ電機子、７は浮上手段、８はＸＹ位置検出器、１００はプラテン、１０３は格子状鉄心歯、１０４はＸＹスケールである。
本発明が従来技術と異なる点は、以下のとおりである。
すなわち、本装置は、プラテン１上に配置され、Ｘ軸位置とＹ軸位置を検出するための目盛を有する平面状のＸＹスケール１０４と、ＸＹスライダに配置され、ＸＹスケールの目盛を検出するＸＹ位置検出器８とよりなる平面エンコーダを備え、ＸＹ位置検出器８より得られたＸ軸位置とＹ軸位置の位置情報をもとにＸＹスライダの位置決めを行うようにした点である。
なお、ＸＹスケール１０４は、その厚さが一様に薄く製造されており、Ｘ軸とＹ軸に平行な格子状のスリットが設けられている。また、ＸＹスライダ１に搭載される構成要素のうち、Ｘ電機子５、Ｙ電機子６、浮上手段７について以下に述べる。

ＸＹ位置決め装置の駆動手段は、それぞれ２固１組のＸ電機子５とＹ電機子６がＸＹスライダの対角線の位置に配置されている。Ｘ電機子５とＹ電機子６の構成は基本的には従来技術と同様の構成であり、電機子巻線、永久磁石、鉄心歯（図示無し）から構成され、ギャップを介してプラテン１００上に形成された格子状鉄心歯１０３との電磁力によってＸ軸方向推力とＹ軸方向推力を発生させるようになっている。
また、ＸＹ位置決め装置の浮上手段７については、詳細構成を図示しないが、ＸＹスライダ１の内部に設けられた空気配管、その空気配管の末端にあたるギャップ面に設けられたオリフィス、ギャップ面での空気の主流路となる絞り溝から構成されており、空気配管に圧縮空気を送り込むことでギャップ面を非接触に浮上させることができるオリフィス絞りの静圧空気軸受となっている。
このような構成において、ＸＹスケール１０４の格子状スリットをＸＹ位置検出器８で検出することでＸ軸位置とＹ軸位置を得ることができる。ＸＹスケール１０４はプラテン１００上の全面をカバーしており、ＸＹスライダ１に搭載されたＸＹ位置検出器８はＸＹスライダ１の移動に伴いプラテン１００からその移動量を検出することができる。

したがって、本ＸＹ位置決め装置は、レーザー干渉計本体および平面ミラーで構成された位置検出手段に比べＸＹスケールとＸＹ位置検出器で構成された安価な平面エンコーダを使用するので、装置全体を安価にすることができる。
また、平面エンコーダはレーザー干渉計に比べ大気の揺らぎや温度、湿度、気圧の影響を受けにくいので、これらが変動する環境下でも大幅な精度劣化を起こすことなく使用することができる。
さらに、Ｘ電機子とＹ電機子、Ｘ位置検出器とＹ位置検出器のすべてをＸＹスライダに搭載することで直接ＸＹスライダをＸ軸方向とＹ軸方向に移動させることができ、ＸＹスライダの機構を簡素化できる。また、浮上手段によってＸＹスライダを非接触で支持しているので、磨耗等による粉塵発生やメンテナンスを排除することができる。

次に第２実施例について説明する。
図３は第２実施例を示すＸＹスライダの底面の斜視図である。
図において、９はＸ位置検出器、１０はＹ位置検出器である。
第２実施例が第１実施例と異なる点は、ＸＹ位置検出器８をＸ位置検出器９とＹ位置検出器１０の２つに分離して配置した点である。Ｘ電機子５とＹ電機子６は各２台で構成されており、Ｘ電機子５ａ、５ｂの近傍にはＸ位置検出器９ａ、９ｂが、Ｙ電機子６ａ、６ｂの近傍にはＹ位置検出器１０ａ、１０ｂがそれぞれ配置されている。

したがって、本ＸＹ位置決め装置は、第１実施例同様の効果に加え、各電機子の近傍にＸ位置検出器およびＹ位置検出器を配置していることで、各電機子の位置を正確に検出することができる。つまり、ＸＹスライダがヨーイングを起こした場合でも、各電機子の位置、ＸＹスライダの重心位置と回転角度が複数のＸ位置検出器とＹ位置検出器から演算して正確にわかるので、各電機子に応じた推力指令を生成することができ、ヨーイングを低減することができる。

次に第３実施例について説明する。
図４は第３実施例を示すＸＹスライダの側断面図であって、第１実施例における図２を側面から見た側断面図に相当する。
図において、１１は電機子ユニット、１２は電機子コア、１３は電機子コアに形成されたティース、１４は電機子巻線、１５は永久磁石である。
第３実施例の特徴は、Ｘ電機子５ａ（５ｂ）およびＹ電機子６ａ（６ｂ）は、各々２つの電機子ユニット１１から構成されている。１個の電機子ユニット１１は３相のティース１３を形成するＥ形状の電機子コア１２に電機子巻線１４が各相巻装され、ティース１３のギャップ対向面に多極の磁極を形成するように永久磁石１５が貼り付けられている。永久磁石１５の極ピッチは格子状鉄心歯１０１のピッチの半分となっている。３相のティース１３は電気角で１２０度の位相差で配置されている。２つの電機子ユニット１１は電気角１８０度の位相差で配置され、１個の電機子ユニット１１で発生するコギング力をもう１個の電機子ユニット１１で発生するコギング力で相殺するようになっている。
したがって、本ＸＹ位置決め装置は、格子状鉄心歯１０３と電機子ユニット１１の相対位置に応じて、電機子巻線１４に所定の電流を流すことで推力を発生することができる。

図５はＸＹスライダの磁気ギャップ長に対する推力の関係を表した図である。
ギャップ中のプラテン１００上にＸＹスケール１０４を配置させるため、ＸＹスケール１０４無しの場合に比べギャップ長が大きくなり、一般的には推力が低下することになる。しかし、以上のように構成された第３実施例の電磁部構造は、推力に影響する磁気ギャップ長がティース１３の先端から格子状鉄心歯１０１までの鉄心間距離であるため、従来技術のような電機子側鉄心歯と格子状鉄心歯が対向するような電磁部構造（ハイブリッド形）に比べ、ギャップ拡大による推力低下が極めて小さい。その結果、図５中に示すように、ＸＹスケール１０４を配置した場合でも十分な推力を発生させることができる。

次に第４実施例について説明する。
図６は第４実施例を示すＸＹ位置決め装置の全体斜視図である。
図において、２００はＸ固定部、２０１はＹ可動部、２０２はＹ固定部である。
第４実施例が第１、第２実施例と異なる点は、Ｘ電機子５ａ（５ｂ）はＸＹスライダ１
に搭載してあり、ＸＹスライダ１は、Ｘ軸の長手方向に沿って設けたＸ固定部２００上を移動するように配設してあり、Ｘ固定部２００の両端のそれぞれには、Ｙ電機子６ａ、６ｂを搭載してなるＹ可動部２０１を連結してあり、Ｙ可動部２０１は、Ｙ軸の長手方向に沿って設けたＹ固定部２０２を移動するように配設してあり、Ｘ電機子５ａ（５ｂ）によりＸＹスライダ１をＸ軸方向に駆動し、Ｙ電機子６ａ、６ｂによりＸＹスライダ１をＹ軸方向に駆動するようにした点である。なお、ＸＹスライダ１がＸ位置検出器９、Ｙ位置検出器１０を搭載した点は、第２実施例と同じである。また、プラテン１００にはＸ位置検出器９、Ｙ位置検出器１０と対向するようにＸＹスケール１００が配置されている。ＸＹスライダ１は、浮上手段７（不図示）によってＸ固定部２００とＸＹスケール１００と非接触に浮上・案内支持されている。

したがって、本ＸＹ位置決め装置は、ＸＹスライダが浮上方向だけでなく案内方向も支持された走行性能が高いＸＹ位置決め装置であるが、第１、第２実施例同様の効果を得ることができる。

次に第５実施例について説明する。
図７は第５実施例を示すＸＹ位置決め装置の全体斜視図である。
図において、１ａと１ｂはＸＹスライダである。第１、第２実施例と異なる点は、同一のプラテン１００上にＸＹスライダ１ａ、１ｂの２台配置した点である。ＸＹスライダ１ａ、１ｂは各制御装置によりＸＹの位置決め制御が行われる。

したがって、本ＸＹ位置決め装置は、複数台のＸＹスライダを同一プラテン上で駆動することができる。よって、複数台のＸＹスライダ駆動による並列作業が可能となり、機械装置の高タクト化を図ることができる。

なお、第３実施例において、Ｘ、Ｙ電機子を電機子巻線と永久磁石よりなる構成、プラテンを格子状鉄心歯で構成する構造に限定したが、電機子に電機子巻線、プラテンに界磁とする多極の永久磁石で構成しても同様の効果を得ることは言うまでもない。
また、電機子をＸＹスライダの可動側としたが、これを固定側とし格子状鉄心歯をＸＹスライダに搭載するような構成であっても良い。
また、浮上手段には静圧空気軸受で説明したが、別に電磁装置を設けた磁気浮上であっても本発明と同様の効果が得られることは言うまでも無い。

本発明は、プラテン上に配置したＸＹスケールとＸＹスライダ上に搭載したＸＹ位置検出器よりなる平面エンコーダの構成とすることによって、従来のレーザー干渉計を使用するものに対し、安価で耐環境性に優れ、同一平面上で１台もしくは複数台の直動２軸の動作を行うことができるので、半導体製造の中で多用される電子部品実装装置や検査装置などの用途に適用することもできる。

本発明の第１実施例を示すＸＹ位置決め装置の全体斜視図 図１に示すＸＹスライダの底面から見た図 本発明の第２実施例を示すＸＹスライダの底面から見た斜視図 本発明の第３実施例を示すＸＹスライダの側断面図 ＸＹスライダの磁気ギャップ長に対する推力の関係を表した図 本発明の第４実施例を示すＸＹ位置決め装置の全体斜視図 本発明の第５実施例を示すＸＹ位置決め装置の全体斜視図 従来技術によるＸＹ位置決め装置の全体を示す斜視図 図８に示すＸＹスライダの底面から見た斜視図

符号の説明

１、１ａ、１ｂ ＸＹスライダ
２ Ｘ１干渉計
３ Ｘ２干渉計
４ Ｙ干渉計
５、５ａ、５ｂ Ｘ電機子
６、６ａ、６ｂ Ｙ電機子
７ 浮上手段
８ ＸＹ位置検出器
９、９ａ、９ｂ Ｘ位置検出器
１０、１０ａ、１０ｂ Ｙ位置検出器
１１ 電機子ユニット
１２ 電機子コア
１３ ティース
１４ 電機子巻線
１５ 永久磁石
１００ プラテン
１０１ 格子状鉄心歯
１０２ Ｘ平面ミラー
１０３ Ｙ平面ミラー
１０４ ＸＹスケール
２００ Ｘ固定部
２０１ Ｙ可動部
２０２ Ｙ固定部

Claims (5)

1. 直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って形成されたプラテンと、
   前記プラテンとギャップを介して対向配置されたＸＹスライダと、
   前記ＸＹスライダの内部に搭載すると共に当該ＸＹスライダをＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ推力を発生させるＸ電機子およびＹ電機子と、
   を備え、
   前記Ｘ電機子および前記Ｙ電機子は、それぞれ電機子巻線と永久磁石を有すると共に、前記永久磁石を前記プラテンに対向したギャップ面に配置してあり、
   前記プラテン上に配置されると共にＸ軸位置とＹ軸位置を検出するための目盛を有する平面状のＸＹスケールと、前記ＸＹスライダに配置されると共に前記ＸＹスケールの目盛を検出するＸＹ位置検出器とよりなる平面エンコーダが設けられたことを特徴とするＸＹ位置決め装置。
2. 直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って形成されたプラテンと、
   前記プラテンとギャップを介して対向配置されたＸＹスライダと、
   前記ＸＹスライダをＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ推力を発生させるＸ電機子およびＹ電機子と、
   前記プラテン上に配置されると共にＸ軸位置とＹ軸位置を検出するための目盛を有する平面状のＸＹスケールと、前記ＸＹスライダに配置されると共に前記ＸＹスケールの目盛を検出するＸ位置検出器およびＹ位置検出器とよりなる平面エンコーダと、
   を備え、
   前記Ｘ電機子は、前記ＸＹスライダに搭載してあり、
   前記ＸＹスライダは、Ｘ軸の長手方向に沿って設けたＸ固定部上を移動するように配設してあり、
   前記Ｘ固定部の両端のそれぞれには、前記Ｙ電機子を搭載してなるＹ可動部を連結してあり、
   前記Ｙ可動部は、Ｙ軸の長手方向に沿って設けたＹ固定部を移動するように配設してあり、前記Ｘ電機子により前記ＸＹスライダをＸ軸方向に駆動し、前記Ｙ電機子により前記ＸＹスライダをＹ軸方向に駆動するようにしたことを特徴とするＸＹ位置決め装置。
3. 前記ＸＹ位置検出器を、Ｘ軸位置を検出するＸ位置検出器とＹ軸位置を検出するＹ位置検出器の２つに分離したことを特徴とする請求項１または２記載のＸＹ位置決め装置。
4. 前記ＸＹスライダが前記ＸＹスケール上を非接触で浮上するように、前記ＸＹスライダに磁気吸引力による浮上手段を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のＸＹ位置決め装置。
5. 前記プラテン上に前記ＸＹスライダを複数台載せたことを特徴としている請求項１に記載のＸＹ位置決め装置。

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