JP5373292B2 - リニアモータ、多軸リニアモータ及び部品移載装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明にかかるリニアモータの第1実施形態を示す斜視図である。また、図2は図1のリニアモータのA−A線断面図である。さらに、図3は図1のリニアモータの分解組立斜視図である。なお、これらの図面及び後で説明する図面では、各図の方向関係を明確にするために、XYZ直角座標軸が示されている。これら3つの方向X、Y、ZのうちZ方向が本発明の「移動方向」に相当し、Y方向が本発明の「幅方向」に相当し、X方向が「移動方向」および「幅方向」の両方向に直交する「厚み方向」に相当している。
図9は本発明にかかる部品移載装置の一実施形態である表面実装機の概略構成を示す平面図である。また、図10はヘッドユニットの正面図および側面図である。さらに、図11は図9に示す表面実装機の電気的構成を示すブロック図である。なお、これらの図面及び後で説明する図面では、上記したリニアモータの移動方向Z、幅方向Yおよび厚み方向Xに対応した三次元の座標系を採用している。
1b〜1d…立壁
1e…凹部
1f…切欠部
2a…レール
2b、2b1、2b2…スライダ
3…電機子(固定子)
4…可動ベース(可動部)
5、5A、5B…ヨーク
6、6A、6B…永久磁石
7a…センサ(検出手段)
7b…リニアスケール(検出手段)
7e…(リニアスケールの)表面
7e’…(センサの)センシング面
7f…(第1)法線
8…(コアの歯部の)先端面
8’…(永久磁石6の)対向面
8a…(第2)法線
106…ヘッドユニット
107…ヘッド駆動機構
161…吸着ノズル
163…ノズルシャフト
168…上下駆動機構
LM、LM1〜LM10…リニアモータ
MLM…多軸リニアモータ
MT…表面実装機(部品移載装置)
X…厚み方向(ベース面の法線方向)
Y…幅方向
Z…移動方向
Claims (4)
- 底面がベース面となるベースプレート上を所定の移動方向Zに移動自在な可動部に対して可動子が前記移動方向Zに延設されるとともに、前記移動方向Zと直交する幅方向Yに前記可動子から離間して対向するように固定子が前記ベースプレートに対して前記移動方向Zに延設され、互いに対向するリニアスケールおよびセンサを有する検出手段によって前記移動方向における前記可動部の位置を検出しながら前記可動子および前記固定子で発生する磁束の相互作用により前記可動部を前記移動方向に駆動するリニアモータにおいて、
前記ベースプレートの前記幅方向Yの両端部および前記ベースプレートの前記移動方向Zの端部のそれぞれに立設されて、前記YZ平面に直交するX方向に開口する凹部を形成する立壁と、
前記センサを制御するセンサ制御ユニットと、
前記凹部において前記ベースプレートの前記ベース面に対して前記移動方向Zに延設された直線状のレールと
を備え、
前記検出手段は、前記リニアスケールを前記可動部に設け、前記センサを前記ベースプレートに固定して前記可動部の位置検出を行い、
前記可動部は、前記レールに沿って前記移動方向Zにスライド自在に設けられたスライダと、前記スライダに取り付けられた可動ベースとを有しており、
前記リニアスケールは前記可動ベースの前記幅方向Yの反固定子側の端部側面または前記スライダの前記幅方向Yの反固定子側の端部側面に取り付けられて、前記幅方向の前記可動部の端部側面に設けられ、
前記リニアスケールおよび前記センサの対向面の第1法線が前記移動方向Zおよび前記幅方向Yを含むYZ平面に対して平行または傾斜するように、前記リニアスケールおよび前記センサが配置され、
前記固定子および前記可動子の対向面の第2法線が前記YZ平面に対して平行となるように、前記固定子および前記可動子が配置され、
前記固定子は前記幅方向Yにおける前記可動部の一方側に設けられ、
前記センサは前記リニアスケールの反固定子側に配置され、
前記制御ユニットは前記センサの反リニアスケール側に配置され、
前記可動子、前記固定子、前記検出手段、前記スライダおよび前記可動ベースは、前記凹部に収容され、
前記幅方向Yの反固定子側となる前記立壁に前記センサ制御ユニットを挿入可能な切欠部あるいは貫通孔が設けられ、
前記センサ制御ユニットは、前記切欠部あるいは前記貫通孔に挿入された状態で前記センサの反リニアスケール側に配置され、
前記センサ制御ユニットを覆うセンサカバーが立壁に取り付けられている
ことを特徴とするリニアモータ。 - 前記X方向に請求項1に記載のリニアモータを複数積層し、一の前記リニアモータにおいて前記凹部を形成する前記立壁のX側端が、他の前記リニアモータの前記ベースプレートの裏面に当接することを特徴とする多軸リニアモータ。
- 前記X方向に請求項1に記載のリニアモータを複数積層してなることを特徴とする多軸リニアモータ。
- 部品収容部から部品搭載領域に部品を移載する部品移載装置において、
ベース部材と、前記ベース部材に対して上下方向に移動自在に支持され、先端部に吸着ノズルが取り付けられるとともに、後端部に接続された負圧配管を介して供給される負圧を前記吸着ノズルに与える複数のノズルシャフトと、前記複数のノズルシャフトを前記上下方向に駆動する上下駆動機構とを有する、ヘッドユニットと、
前記部品収容部の上方位置と前記部品搭載領域の上方位置との間で前記ヘッドユニットを移動させるヘッド駆動手段とを備え、
前記上下駆動機構が請求項2または3に記載の多軸リニアモータであり、
前記多軸リニアモータは、前記移動方向が前記上下方向と平行となるように前記ベース部材に取り付けられ、
前記複数のリニアモータの前記可動部が前記複数のノズルシャフトに連結されている
ことを特徴とする部品移載装置。
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