JP2009171657A - リニアモータ及び部品移載装置 - Google Patents

Abstract

【課題】幅方向の小型化を図りながらも、十分な検出精度で可動部の位置を検出しつつ可動部を駆動することができるリニアモータおよび該リニアモータを用いた部品移載装置を提供する。
【解決手段】リニアスケール７ｂが可動ベース４に設けられるとともに、リニアスケール７ｂに対して次のような配置関係でセンサ７ａがベースプレート１のベース面１ａに固定されている。すなわち、リニアスケール７ｂの表面７ｅと、センサ７ａのセンシング面７ｅ’の共通法線７ｆがＹＺ平面に対して平行となるように、センサ７ａとリニアスケール７ｂが対向配置されている。このため、従来技術と同一のセンサ７ａとリニアスケール７ｂを用いて十分な検出精度を確保した場合であっても、幅方向Ｙにおける検出手段（センサ７ａ＋リニアスケール７ｂ）の長さＬ7は従来技術のそれよりも短くなる。
【選択図】図２

Description

本発明は、ベースプレートに対して可動部を直線的に移動させるリニアモータおよび該リニアモータを用いた部品移載装置に関するものである。

電子部品などの部品をハンドリングする部品移載装置、半導体装置や液晶表示装置などを製造するための製造装置などを中心として、リニアモータの用途が年々拡大しており、特に近年薄型で高性能なリニアモータのニーズが高まっている。そして、このような要望に応えるべく、例えば図１３に示す構成を有するリニアモータＬＭが提案されている（非特許文献１）。

図１３は従来のリニアモータの一例を示す図であり、同図（ａ）は同図（ｂ）のＡ−Ａ線矢視図である。同図に示すリニアモータＬＭでは、長方形状のベースプレート１上に、２本のリニアガイド２Ａ、２Ｂが互いに平行に、しかも幅方向Ｙに離間して設けられている。各リニアガイド２Ａ、２Ｂでは、ベースプレート１に対して直線状のレール２ａが幅方向Ｙと直交し、しかもベースプレート１の表面と平行な関係にある移動方向Ｘに延設され、さらに該レール２ａに沿ってスライダ２ｂが移動方向Ｚにスライド自在となっている。このように構成されたリニアガイド２Ａ、２Ｂの間には、稠密構造に巻いたコイルがベースプレート１の表面に対して複数個枕木状態でＺ方向に配列されて電機子３が形成され、リニアモータＬＭの固定子として機能する。なお、図１３（ａ）では、電機子３を構成する複数のコイルのうち最も（−Ｚ）方向側に設けられたコイルのみが図示されている。

また、リニアガイド２Ａ、２Ｂのスライダ２ｂの上面には、ベースプレート１と同一幅（幅方向Ｙの長さ）を有するテーブル状の可動ベース４が取り付けられ、ベースプレート１の上方位置でＺ方向に移動自在となっている。このように可動ベース４と２つのスライダ２ｂが「可動部」として一体的にＺ方向に移動自在となっている。

この可動ベース４の裏面側には、電機子３を挟み込むように複数の永久磁石を取り付けたヨーク５Ａ、５Ｂが可動子として取り付けられている。つまり、同図への図示は省略されているが、ヨーク５Ａ、５Ｂはいずれも図１３（ａ）の紙面に対して垂直方向、つまり移動方向Ｚに延設されるとともに、その延設方向Ｚに沿って永久磁石が複数個連設されている。なお、図１３（ａ）では、それらの永久磁石のうち最も（−Ｚ）方向側に設けられた永久磁石６Ａ、６Ｂのみが図示されている。そして、電機子３の（＋Ｙ）方向側端部に対して複数の永久磁石６Ａが対向するようにヨーク５Ａの上端部が可動ベース４の裏面に取り付けられる一方、（−Ｙ）方向側端部に複数の永久磁石６Ｂが対向するようにヨーク５Ｂが可動ベース４の裏面に取り付けられている。このため、電機子３のコイルに与える電流を制御することで、可動子の永久磁石６Ａ、６Ｂと固定子（電機子３）で発生する磁束の相互作用により可動ベース４がＺ方向に直線駆動される。

さらに、リニアガイド２Ａの反可動子側、つまり（＋Ｙ）側において、可動ベース４の位置を検出する検出ユニット７が設けられている。すなわち、ベースプレート１の上面にセンサ７ａが固定配置される一方、このセンサ７ａに対向するように可動ベース４の下面にリニアスケール７ｂが取り付けられている。このように、センサ７ａとリニアスケール７ｂを上下方向Ｘに対向配置することで、上記リニアモータＬＭはＺ方向における可動ベース４の位置を検出可能となっている。

山本日登志、"素材／電子材料Ｔｏｐｉｃｓ 第３２回世界最薄型７ｍｍ厚リニアモータの開発"、［online ］、２００６年１２月１１日、社団法人 電子情報技術産業協会、［平成１９年１２月１０日検索］、インターネット＜http://home.jeita.or.jp/ecb/material/No032.html＞

上記従来のリニアモータＬＭでは、図１３（ａ）に示すように、ベースプレート１と可動ベース４の間に、リニアガイド２Ａ、ヨーク５Ａ、永久磁石６Ａ、電機子３、永久磁石６Ｂ、ヨーク５Ｂおよびリニアガイド２Ｂを幅方向Ｙに配置するのみならず、さらにリニアガイド２Ａの（＋Ｙ）側に検出ユニット７を配置している。このため、幅方向Ｙのサイズが大きくなる傾向にあり、リニアモータＬＭの大型化を招く要因のひとつとなっている。ここで、この問題を解消するための一つのアプローチとして検出ユニット７の小型化がある。すなわち、センサ７ａおよびリニアスケール７ｂの幅方向サイズを抑えることでリニアモータＬＭの幅Ｌを縮めてリニアモータＬＭの小型化を図ることができる。

しかしながら、リニアモータＬＭに対するユーザ要求は小型化のみに限定されるものではなく、優れた分解能で可動ベース４を位置決めすることも重要なユーザ要求のひとつである。このユーザ要求を満足させるためには、可動ベース４の位置検出を高精度に行うことが不可欠であるが、検出ユニット７を小型化することにより検出精度の低下を招いてしまい、優れた分解能で可動ベース４を位置決めすることが困難となるという問題が生じる。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、可動部を所定の移動方向に直線移動させるとともに、可動部に対して移動方向と直交する幅方向側に設けられる検出手段によって可動部の位置を検出しながら可動部を駆動するリニアモータにおいて、幅方向での小型化を図りながらも、十分な検出精度で可動部の位置を検出することを第１の目的とする。

また、この発明は上記リニアモータを用いた部品移載装置を提供することを第２の目的とする。

この発明にかかるリニアモータは、ベースプレート上を所定の移動方向Ｚに移動自在な可動部に対して可動子が移動方向Ｚに延設されるとともに、移動方向Ｚと直交する幅方向Ｙに可動子から離間して対向するように固定子がベースプレートに対して移動方向Ｚに延設され、検出手段によって移動方向における可動部の位置を検出しながら可動子および固定子で発生する磁束の相互作用により可動部を移動方向に駆動するリニアモータであって、上記第１の目的を達成するため、検出手段は互いに対向するリニアスケールおよびセンサを備え、リニアスケールおよびセンサのうちの一方を移動部材として可動部に設け、他方を固定部材としてベースプレートに固定して可動部の位置検出を行い、リニアスケールおよびセンサの対向面の第１法線が移動方向Ｚおよび幅方向Ｙを含むＹＺ平面に対して平行または傾斜するように、リニアスケールおよびセンサが配置されていることを特徴としている。

このように構成された発明では、検出手段を構成するリニアスケールおよびセンサのうちの一方（移動部材）が可動部に設けられるとともに、他方（固定部材）がベースプレートに固定されており、可動部の移動により移動部材が固定部材に対して変位することで移動方向Ｚでの可動部の位置を検出可能となっている。この点に関しては従来技術と共通する。しかしながら、本発明では、リニアスケールおよびセンサの対向面の第１法線がＹＺ平面に対して平行または傾斜するように、リニアスケールおよびセンサが配置されているため、検出手段のダウンサイズを図ることなく、幅方向Ｙにおける検出手段の長さ（検出手段をＹＺ平面に投影してできる投影像の幅方向長さＬ7：後で説明する図２（ｃ）を参照）を従来技術のそれ（図１３（ｃ）中の符号Ｌ7）よりも短くすることができる。その結果、幅方向においてリニアモータを小型化しつつ、十分な検出精度で可動部の位置を検出することができる。

また、この発明にかかる部品移載装置は、部品収容部から部品搭載領域に部品を移載するものであって、上記第２の目的を達成するため、ベース部材と、ベース部材に対して上下方向に移動自在に支持され、先端部に吸着ノズルが取り付けられるとともに、後端部に接続された負圧配管を介して供給される負圧を吸着ノズルに与えるノズルシャフトと、ノズルシャフトを上下方向に駆動する上下駆動機構とを有する、ヘッドユニットと、部品収容部の上方位置と部品搭載領域の上方位置との間でヘッドユニットを移動させるヘッド駆動手段とを備え、上下駆動機構が請求項１ないし９のいずれかに記載のリニアモータであり、リニアモータは移動方向が上下方向と平行となるようにベース部材に取り付けられ、リニアモータの可動部がノズルシャフトに連結されていることを特徴としている。

このように構成された部品移載装置では、上記リニアモータの可動部がノズルシャフトに連結されて可動部を駆動することでノズルシャフトが上下方向に駆動される。このように幅方向において小型化でありながらも十分な検出精度で可動部の位置を検出することができるリニアモータを用いてノズルシャフトを駆動するように構成しているため、ノズルシャフトの先端部に取り付けられた吸着ノズルの上下方向位置を高精度に検出することができる。そして、その検出結果に基づき吸着ノズルの上下位置を制御することで高精度な部品移載が可能となる。また、リニアモータの薄型化によって部品移載装置の小型化を図ることができる。

本発明は、ベースプレートに対して可動部を直線的に移動させるリニアモータおよび該リニアモータを用いた部品移載装置に関するものであり、以下においては、本発明にかかるリニアモータと、同リニアモータを用いた部品移載装置の一実施形態である表面実装機に分けて詳述する。

＜リニアモータ＞
図１は本発明にかかるリニアモータの第１実施形態を示す斜視図である。また、図２は図１のリニアモータのＡ−Ａ線断面図である。さらに、図３は図１のリニアモータの分解組立斜視図である。なお、これらの図面及び後で説明する図面では、各図の方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直角座標軸が示されている。これら３つの方向Ｘ、Ｙ、ＺのうちＺ方向が本発明の「移動方向」に相当し、Ｙ方向が本発明の「幅方向」に相当し、Ｘ方向が「移動方向」および「幅方向」の両方向に直交する「厚み方向」に相当している。

このリニアモータＬＭは所定の移動方向Ｚに伸びる薄型トレイー状のベースプレート１を有している。このベースプレート１では、図３に示すように、その内底面がベース面１ａとなっており、ベースプレート１の（＋Ｙ）方向側端部、（−Ｙ）方向側端部および（＋Ｚ）方向側端部に立壁１ｂ〜１ｄが厚み方向（＋Ｘ）にそれぞれ立設され、これらの立壁１ｂ〜１ｄとベース面１ａにより上方向（＋Ｘ）に開口する凹部１ｅが形成されている。そして、当該凹部１ｅにリニアモータＬＭの構成部品が後述するように収容される。なお、この実施形態では、アルミニウム合金等によりベース面１ａと立壁１ｂ〜１ｄを一体的に成形して非磁性のベースプレート１を構成しているが、ベース面１ａと立壁１ｂ〜１ｄを個別に形成した上、これらの構成要素を組み付けてベースプレート１を構成してもよい。このようにベースプレート１を非磁性体材料で構成しているが、ベースプレート１を樹脂材料で構成してもよいことは言うまでもない。なお、図１および図２中の符号１ｈはリターンスプリングを取り付けるためのスプリング係合部である。

このベース面１ａ上には、１本のリニアガイド２がＺ方向に延設されている。すなわち、ベースプレート１に対して移動方向Ｚに延びる直線状のレール２ａが固定されるとともに該レール２ａに沿って２つのスライダ２ｂ１、２ｂ２が移動方向Ｚにスライド自在に（Ｙ方向及びＸ方向に規制されて）取り付けられている。また、レール２ａからのスライダ２ｂ１、２ｂ２の抜け落ちを防止するために、２つのリニアガイドストッパ２ｃ１、２ｃ２がベースプレート１のベース面１ａに取り付け可能となっている。

また、これらのスライダ２ｂ１、２ｂ２に対して逆凹状またはＨ字状の断面を有する可動ベース４が取り付けられ、Ｚ方向に移動自在となっている。より詳しくは、可動ベース４はＸＹ断面にて逆凹形状を有する内部空間を有しており、この内部空間の天井面がスライダ２ｂ１、２ｂ２の上面上に位置した状態で、可動ベース４がスライダ２ｂ１、２ｂ２に固定されている。また、可動ベース４の軽量化を図るために、本実施形態では、複数個の貫通孔４ａが可動ベース４の天井面に形成されている。このように本実施形態では、可動ベース４およびスライダ２ｂ１、２ｂ２が一体的に移動方向Ｚに移動自在となっており、本発明の「可動部」に相当している。そして、次に説明するように可動ベース４の（−Ｙ）側端部側面に可動子が取り付けられる一方、（＋Ｙ）側端部側面にリニアスケール７ｂが取り付けられている。

図４は可動部材と可動子の取付構造を示す斜視図であり、また図５は可動部材と可動子の取付構造を示す図である。これらの図に示すように、可動ベース４の（−Ｙ）側端部側面に強磁性材料より形成されたヨーク５が取り付けられ、さらに当該ヨーク５の表面には、Ｎ極側が該表面に対向する永久磁石６と、Ｓ極側が該表面に対向する永久磁石とが、交互にＺ方向に沿って複数（この実施形態では１４個）配列されて取り付けられており、これら永久磁石６とヨーク５によりリニアモータＬＭの可動子が構成されている。また、この実施形態では、永久磁石６は樹脂層１０によりモールドされて表面保護されており、永久磁石６の破損などを効果的に防止することができる。さらに、可動ベース４の（−Ｙ）側端部側面では、可動子（ヨーク５＋永久磁石６）の（−Ｚ）側に雌ネジ部４ｂが２箇所形成されている。これらの雌ネジ部４ｂは可動ベース４の（−Ｙ）側端部に被駆動物を直接または連結部を介して取り付けるためのものである。例えば後で説明する表面実装機では、雌ネジ部４ｂを用いて可動ベース４に連結部を連結し、さらに当該連結部にノズルシャフトを被駆動物として接続している。つまり、雌ネジ部４ｂを用いて可動ベース４の端部に連結される、連結部を介して被駆動物を可動ベース４に取付可能となっている。なお、それについては後の「表面実装機」の項で詳述する。

このように構成された可動子（永久磁石６＋ヨーク５）の幅方向（−Ｙ）側に本発明の「固定子」に相当する電機子３が配置され、ベースプレート１のベース面１ａに固定されている。この電機子３は、コア３ａと、複数の中空形状のボビン３ｂと、各ボビン３ｂの外周部に電線を巻きつけてなるコイル３ｃとで構成されている。このコア３ａはＺ方向に延びる矩形プレート部から一定間隔で（＋Ｙ）方向に設けられた歯部を有する櫛型形状の珪素鋼板を複数枚Ｘ方向に積層したものである。このように構成されたコア３ａでは、複数の歯部がＺ方向に一定間隔で並設されて歯部列を形成している。そして、各歯部に対し、予めコイル３ｃが巻き付けられたボビン３ｂが装着されている。こうして、複数（この実施形態では９個）のコア３ａの歯部とこの歯部の周りに巻かれたコイル３ｃがＺ方向に同一間隔で設けられて電機子３を構成しており、可動子（永久磁石６＋ヨーク５）に対向配置されている。なお、本実施形態では、図２（ｂ）に示すようにコイル３ｃが巻かれたコア３ａの歯部の先端面８と、その先端面８の対向面となる可動子の永久磁石６の対向面８’との共通の法線８ａが移動方向Ｚおよび幅方向Ｙを含むＹＺ平面に対して平行となるように、電機子３は構成されている。そして、図示を省略するモータコントローラから各コイル３ｃに所定の順番で通電が行われると、上記のように先端面８の磁極と対向面８’の磁極の相互作用により可動子（永久磁石６＋ヨーク５）にＺ方向の推力が生じて可動ベース４をＺ方向に駆動する。このように、本実施形態では、先端面８および対向面８’が本発明の「固定子および可動子の対向面」に相当し、それらの共通の法線８ａが本発明の「第２法線」に相当している。

また、本実施形態では、可動子に永久磁石を用い、固定子に磁性体で構成されるコア３ａを用いているため、コア３ａの歯部と可動子の永久磁石との間にコギング力が発生する。「コギング力の発生」とは、従来周知のようにコア３ａの歯部位置により永久磁石６の磁束密度が変化し、これによって磁気エネルギーが変化するため、電機子３に作用する電磁気力の脈動が生じる現象である。そこで、コギング力を低減するために、電機子３の歯部列の両端に磁性体からなるサブティース９ａ、９ｂが設けられている。すなわち、歯部列の（＋Ｚ）側において歯列ピッチと一致あるいは異なる所望の位置にサブティース９ａが、また（−Ｚ）側において同歯列ピッチと一致あるいは異なる所望の位置にサブティース９ｂが、永久磁石６からの離間距離がそれぞれ所望の距離となるように、それぞれベースプレート１のベース面１ａに対して着脱自在に設けられている。

ところで、上記のように構成したリニアモータＬＭでは、コア３ａに繋がるプレート部位がサブティース９ａ、９ｂの近傍まで延ており、電機子のコアとサブティースとが磁気的結合を生じ、磁束密度分布の偏在を生じてしまう。このため、サブティース９ａ、９ｂを所定の位置に配置しただけでは、安定したコギング力低減機能を発揮できない場合がある。特に、加速・減速時等において、あるいは作動条件（加速後の一定移動速度）そのものが変化する場合においては、コイル３ｃに流れる電流量が想定値より変化し、サブティース９ａ、９ｂにおける永久磁石との対向面の磁極あるいはその強さが所望のものとはならず、サブティース９ａ、９ｂによるコギング力低減の効果が必ずしも得られない場合がある。そこで、本実施形態では、サブティース９ａ、９ｂによるコギング力の低減効果を補うために、サブティース９ａ、９ｂとベースプレート１の間に磁性体プレート１１が設けられている。より詳しくは、次のように構成されている。

図６はサブティースと磁性体プレートの配置関係を示す平面図である。同図においては、サブティース９ａ、９ｂに対する磁性体プレート１１の相対位置と、磁性体プレート１１の平面形状を明確にするため、磁性体プレート１１にハッチングを付している。ベースプレート１のベース面１ａには、磁性体プレート１１の平面形状とほぼ同一形状のプレート嵌合部１ｇが（−Ｘ）方向に形成されている（図２（ａ）参照）。そして、当該プレート嵌合部１ｇに磁性体プレート１１が嵌合されて磁性体プレート１１の表面がベース面１ａと面一状態となっている。この磁性体プレート１１の配設によって、Ｙ−Ｚ面上においてコア３ａ，サブティース９ａ、永久磁石６、ヨーク５、隣の永久磁石６、そして隣の歯部を通ってコア３ａに到る磁束だけでなく、サブティース９ａ、永久磁石６、ヨーク５、磁性体プレート１１を通じてサブティース９ａに到るＸ−Ｙ面上の磁束が発生し、コギング力の効果的な低減を図っている。

上記のように可動子（永久磁石６＋ヨーク５）と電機子３で発生する磁束の相互作用により可動ベース４が移動方向Ｚに駆動されるが、可動ベース４が所定の移動範囲を超えてしまうのを防止するために、ベースプレート１のベース面１ａに２つの移動規制ストッパ１２ａ、１２ｂが取付可能となっている。

また、可動ベース４の位置を正確に検出するため、可動ベース４の反電機子側、つまり（＋Ｙ）側にセンサ７ａとリニアスケール７ｂを有する検出ユニット７が設けられている。このリニアスケール７ｂは可動ベース４の（＋Ｙ）側端部側面に対してＺ方向に延設されている。また、リニアスケール７ｂの（−Ｙ）側でセンサ７ａがベースプレート１に固定配置されている。このため、可動ベース４のＺ方向移動に応じてリニアスケール７ｂのうちセンサ７ａと対向する領域が変位し、その変位に基づき移動方向Ｚにおける可動ベース４の位置を正確に検出することが可能となっている。

このセンサ７ａはセンサ制御ユニット７ｃと一体的に構成されており、この構造体（センサ７ａ＋センサ制御ユニット７ｃ）は図３に示すように立壁１ｂに形成された切欠部１ｆを介して凹部１ｅに対して挿脱自在となっている。すなわち、構造体は切欠部１ｆを介してベースプレート１内に挿入され、図２に示すように幅方向Ｙにおいてセンサ７ａがリニアスケール７ｂに対向して配置されるとともにセンサ制御ユニット７ｃがセンサ７ａの反リニアスケール側、つまり（＋Ｙ）側に配置された状態で、ベースプレート１に固定される。特に、この実施形態では、図２（ｃ）に示すように、リニアスケール７ｂの表面７ｅと、当該表面７ｅと対向するセンサ７ａのセンシング面７ｅ’との共通の法線７ｆが移動方向Ｚおよび幅方向Ｙを含むＹＺ平面に対して平行となるように、センサ７ａおよびリニアスケール７ｂの取付位置が設定されている。なお、センサ制御ユニット７ｃに埃やゴミなどの異物が進入を防止するため、上記構造体を取り付けた後にセンサカバー７ｄがセンサ制御ユニット７ｃを覆うようにベースプレート１の立壁１ｂに取り付けられている。このように、本実施形態では、センサ７ａとリニアスケール７ｂで可動ベース４の位置を検出する検出手段が構成され、センサ７ａおよびリニアスケール７ｂはそれぞれ本発明の「固定部材」および「移動部材」に相当し、上記表面７ｅおよびセンシング面７ｅ’が本発明の「リニアスケールおよびセンサの対向面」に相当し、それらの共通の法線７ｆが本発明の「第１法線」に相当している。

以上のように、この実施形態にかかるリニアモータＬＭでは、リニアスケール７ｂが移動部材として可動ベース４に設けられるとともに、センサ７ａが固定部材としてベースプレート１のベース面１ａに固定されているが、これらセンサ７ａおよびリニアスケール７ｂは図２（ｃ）に示す配置関係を有しているが故に、図１３に示す従来技術に比べて有利な作用効果を有している。以下、図２（ｃ）と図１３（ｃ）を対比しながら、両者の構成上および作用効果上の差異を説明する。

従来のリニアモータＬＭでは、図１３（ｃ）に示すように、リニアスケール７ｂの表面７ｅおよびセンサ７ａのセンシング面７ｅはＹＺ平面に対して平行となっている。このような配置関係を有するリニアモータＬＭにおいて十分な検出精度を確保するためには、検出手段（センサ７ａ＋リニアスケール７ｂ）の幅方向長さ（検出手段をＹＺ平面に投影してできる投影像の幅方向長さＬ7）を比較的大きく設定する必要があり、リニアモータＬＭは幅方向Ｙに長くなってしまう。

これに対し、本実施形態では、図２（ｃ）に示すように、リニアスケール７ｂの表面７ｅと、センサ７ａのセンシング面７ｅ’の共通法線７ｆがＹＺ平面に対して平行となるように、センサ７ａとリニアスケール７ｂを対向配置している。このため、従来技術と同一のセンサ７ａとリニアスケール７ｂを用いて十分な検出精度を確保した場合であっても、幅方向Ｙにおける検出手段の長さ（検出手段をＹＺ平面に投影してできる投影像の幅方向長さ）Ｌ7は従来技術のそれよりも短くなる。したがって、本実施形態によれば、幅方向においてリニアモータＬＭを小型化しつつ、十分な検出精度で可動ベース４のＺ方向位置を検出することが可能となっている。なお、上記したように共通法線７ｆがＹＺ平面に対して平行となるようにセンサ７ａとリニアスケール７ｂを対向配置しているが、部品公差や組付精度等によりＹＺ平面に対する共通法線７ｆの平行度が低下したとしても、幅方向Ｙにおける検出手段の長さＬ7の変動量は僅かであり、上記作用効果が得られる。また、リニアモータＬＭ内での部品配置などを考慮して共通法線７ｆがＹＺ平面に対して傾斜した状態でセンサ７ａとリニアスケール７ｂを対向配置する場合があるが、当該配置を採用したことによって検出手段の幅方向長さは多少増大するが、ＹＺ平面に対する共通法線７ｆの傾斜角を−１０゜から＋１０゜の範囲内に抑えることで従来技術のそれよりも十分に短く、上記実施形態と同様の作用効果が実質的に得られる。

また、第１実施形態では、可動ベース４へのリニアスケール７ｂ（移動部材）の取付位置が幅方向Ｙの可動ベース４の（＋Ｙ）側端部側面となっており、同側面に取り付けられたリニアスケール７ｂに対してセンサ７ａが幅方向Ｙに対向して設けられている。このように本実施形態では、図２（ａ）から明らかなように、厚み方向（Ｘ方向）における電機子３、可動子（永久磁石６＋ヨーク５）、可動ベース４、リニアスケール７ｂおよびセンサ７ａの各厚みサイズはほぼ同一となっている。したがって、リニアモータＬＭの薄型化を図るためにベースプレート１のベース面１ａから可動ベース４の上面までの距離が制限されている中で、電機子３と可動子の各対向面を最大限大きくすることができ、十分な推進力を得ることができる。また、駆動側（可動ベース４の−Ｙ側）のみならず、センシング側（可動ベース４の＋Ｙ側）についても、リニアスケール７ｂおよびセンサ７ａを厚み方向Ｘに最大限大きくすることができ、十分な検出精度を得ることができる。特に、この実施形態では、センサ７ａを固定部材としてベース面１ａに固定しているため、センサ７ａの厚み方向サイズをベースプレート１のベース面１ａから可動ベース４の上面までの距離と同じ値に設定することができ、センシング面７ｅ’を広げて検出精度を高めることができる。

また、リニアモータＬＭでのリニアガイドの本数は任意であるが、上記第１実施形態では、１本のリニアガイド２により可動ベース４を移動方向Ｚに移動可能に構成しているため、図１３に示すリニアモータＬＭに比べて構成が簡素で、しかも幅方向Ｙに小型化することができる。しかも、可動ベース４がＸＹ平面上で傾き、リニアスケール７ｂの表面７ｅのうち（＋Ｘ）側端部がセンサ７ａから離れたとしても、逆の（−Ｘ）側端部はセンサ７ａに近づき、表面７ｅからセンシング面７ｅ’までの平均距離は大きく変動しない。そのため、優れた検出精度が得られる。

また、上記実施形態では、センサ制御ユニット７ｃがセンサ７ａの反リニアスケール側、つまり（＋Ｙ）側に配置されており、リニアモータＬＭの（＋Ｙ）側からセンサ７ａにアクセスすることができ、センサ７ａのメンテナンス性を向上させることができる。また、センサ７ａに最も近いセンサ側立壁１ｂに対して、センサ制御ユニット７ｃを挿入可能な切欠部１ｆを設けているため、組立容易性やメンテナンス性などを高めることができる。ここで、切欠部１ｆの代わりに、センサ制御ユニット７ｃを挿入可能な貫通孔を形成するようにしてもよい。

なお、本発明にかかるリニアモータは上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば第１実施形態では、図２（ｃ）に示すように、可動ベース４にリニアスケール７ｂを取り付ける一方、ベースプレート１にセンサ７ａを配置しているが、センサ７ａとリニアスケール７ｂを逆転配置してもよい。また、検出ユニット７の検出方式としては、磁気を用いた磁気方式であっても、光学方式であってもよい。

また、上記実施形態では、可動ベース４の（＋Ｙ）側端部側面に検出手段の構成要素（センサ７ａ、リニアスケール７ｂ）の一方を移動部材として取り付けているが、第１実施形態においてスライダ２ｂ１、２ｂ２の（＋Ｙ）側端部側面に移動部材を取り付けてもよい。また、図７に示すようにテーブル状の可動ベース４が採用されたリニアモータＬＭにおいてスライダ２ｂの反電機子側、つまり（＋Ｙ）側端部側面にリニアスケール７ｂ（またはセンサ７ａ）を移動部材として取り付けてもよい（第２実施形態）。

また、上記第１実施形態では、可動ベース４の（−Ｚ）側端部の側面に雌ネジ部４ｂを設けて被駆動物を連結可能に構成しているが、可動ベース４の上面にネジ部を設け、ネジ部を用いて直接被駆動物を可動ベース４に取付可能に構成してもよい。また、ネジ部を用いて可動ベース４にテーブルを固定し、当該テーブルを介して被駆動物を可動ベース４に取付可能に構成してもよい。

また、上記第１実施形態ではスライダ２ｂ１，２ｂ２、上記第２実施形態ではスライダ２ｂに、それぞれ固定された可動ベース４の幅方向Ｙの端部側面にヨーク５を取り付け、さらに当該ヨーク５に永久磁石６を取り付けているが、可動ベース４を強磁性材料で形成し、当該可動ベース４の幅方向Ｙの端部側面に直接永久磁石６をＺ方向に延設し、磁気回路を形成してもよい。また、上記第１実施形態ではスライダ２ｂ１，２ｂ２、上記第２実施形態ではスライダ２ｂの幅方向Ｙの端部側面にヨーク５を取り付け、さらに当該ヨーク５に永久磁石６を取り付けてもよい。この場合、スライダ２ｂ、２ｂ１、２ｂ２は本発明の「可動部」に相当する。さらに、スライダを強磁性材料で構成するとともに、スライダの幅方向Ｙの端部側面に直接永久磁石６をＺ方向に延設して磁気回路を形成してもよい。このように構成されたリニアモータに対して本発明を適用してもよい。すなわち、スライダ２ｂ、２ｂ１、２ｂ２の端部側面に移動部材を取り付けるとともに上記した配置関係で固定部材をベースプレート１に固定してもよい。

また、上記第１実施形態及び第２実施形態では、可動子を永久磁石６で構成する一方、固定子を電機子３で構成しているが、可動子を電磁子で構成する一方、固定子を永久磁石で構成したリニアモータに対して本発明を適用してもよい。

また、上記実施形態のいずれも、いわゆる単軸リニアモータであるが、図８に示すように２つの単軸リニアモータＬＭ１、ＬＭ２を組み合わせて多軸リニアモータＭＬＭを構成してもよい。

図８は本発明にかかるリニアモータの第３実施形態を示す斜視図である。この実施形態では、同一構成の単軸リニアモータを２個準備し、その一方のリニアモータＬＭ１の立壁１ｂ〜１ｄの（＋Ｘ）側端面がもう一方のリニアモータＬＭ２のベースプレート１の裏面に当接してリニアモータＬＭ１、ＬＭ２がＸ方向に積層配置されて多軸リニアモータＭＬＭが形成されている。また、各リニアモータＬＭ１、ＬＭ２のベースプレート１には、３個の貫通孔１ｐ〜１ｒが形成されている。そして、リニアモータＬＭ１、ＬＭ２の貫通孔１ｐを貫くようにボルト１３ｐが挿通されるとともに、ボルト１３ｐの先端部に対してナット１４ｐが螺合される。また、他の貫通孔１ｑ、１ｒについても、貫通孔１ｐと同様に、ボルト１３ｑ、１３ｒが挿通されるとともにナットが螺合される。また、各単軸リニアモーターＬＭ１、ＬＭ２に各々２個づつ取り付けられる位置決めピン２０が貫通穴２１（図３参照）の（−Ｘ）側端部に勘合して位置決めを果たす。このように３箇所でリニアモータＬＭ１、ＬＭ２が相互に締結固定されて一体化されて２軸のリニアモータＭＬＭが形成される。

このように構成された２軸のリニアモータＭＬＭでは、第１実施形態にかかる薄型のリニアモータＬＭ１、ＬＭ２をＸ方向に積層配置したものであるため、２軸のＸ方向ピッチを狭く設定することができる。また、各リニアモータＬＭ１、ＬＭ２では、可動子や電機子（固定子）などの全構成部品の厚み（Ｘ方向の長さ）はベースプレート１の立壁１ｂ〜１ｄのそれ以下となっており、しかもリニアモータの主要構成（可動部、電機子３および可動子）はベース面１ａと立壁１ｂ〜１ｄで囲まれた凹部１ｅに収容されている。このため、２軸の相対位置を高精度に保ちながらモータ組立を容易に行うことができる。

なお、組み合わせる単軸リニアモータの数は「２」に限定されるものではなく、３以上の単軸リニアモータを組み合わせて多軸リニアモータＭＬＭを構成することができる。例えば、次に説明する表面実装機では、１０本の吸着ノズルを用いて部品を移載するために各吸着ノズルを上下方向に駆動する上下駆動機構を装備するが、１０個の単軸リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０を組み合わせた多軸リニアモータＭＬＭを当該上下駆動機構として用いることができる。

＜表面実装機＞
図９は本発明にかかる部品移載装置の一実施形態である表面実装機の概略構成を示す平面図である。また、図１０はヘッドユニットの正面図および側面図である。さらに、図１１は図９に示す表面実装機の電気的構成を示すブロック図である。なお、これらの図面及び後で説明する図面では、上記したリニアモータの移動方向Ｚ、幅方向Ｙおよび厚み方向Ｘに対応した三次元の座標系を採用している。

この表面実装機ＭＴでは、基台１１１上に基板搬送機構１０２が配置されており、基板１０３を所定の搬送方向Ｘに搬送可能となっている。より詳しくは、基板搬送機構１０２は、基台１１１上において基板１０３を図９の右側から左側へ搬送する一対のコンベア１２１、１２１を有している。これらのコンベア１２１、１２１は表面実装機ＭＴ全体を制御する制御ユニット１０４の駆動制御部１４１により制御される。すなわち、コンベア１２１，１２１は駆動制御部１４１からの駆動指令に応じて作動し、搬入されてきた基板１０３を所定の実装作業位置（同図に示す基板１０３の位置）で停止させる。そして、このように搬送されてきた基板１０３は図略の保持装置により固定保持される。この基板１０３に対して部品収容部１０５から供給される電子部品（図示省略）がヘッドユニット１０６に搭載された吸着ノズル１６１により移載される。また、基板１０３に実装すべき部品の全部について実装処理が完了すると、基板搬送機構１０２は駆動制御部１４１からの駆動指令に応じて基板１０３を搬出する。

基板搬送機構１０２の両側には、上記した部品収容部１０５が配置されている。これらの部品収容部１０５は多数のテープフィーダ１５１を備えている。また、各テープフィーダ１５１には、電子部品を収納・保持したテープを巻回したリール（図示省略）が配置されており、電子部品を供給可能となっている。すなわち、各テープには、集積回路（ＩＣ）、トランジスタ、抵抗、コンデンサ等の小片状のチップ電子部品が所定間隔おきに収納、保持されている。そして、テープフィーダ１５１がリールからテープをヘッドユニット１０６側に送り出すことによって該テープ内の電子部品が間欠的に繰り出され、その結果、ヘッドユニット１０６の吸着ノズル１６１による電子部品のピックアップが可能となる。

また、この実施形態では、基板搬送機構１０２の他に、ヘッド駆動機構１０７が設けられている。このヘッド駆動機構１０７はヘッドユニット１０６を基台１１１の所定範囲にわたりＸ方向及びＹ軸方向（Ｘ軸及びＺ方向と直交する方向）に移動するための機構である。そして、ヘッドユニット１０６の移動により吸着ノズル１６１で吸着された電子部品が部品収容部１０５の上方位置から基板１０３の上方位置に搬送される。すなわち、ヘッド駆動機構１０７は、Ｘ方向に延びる実装用ヘッド支持部材１７１を有しており、この実装用ヘッド支持部材１７１はヘッドユニット１０６をＸ軸に沿って移動可能に支持している。また、実装用ヘッド支持部材１７１は、両端部がＹ軸方向の固定レール１７２に支持され、この固定レール１７２に沿ってＹ軸方向に移動可能になっている。さらに、ヘッド駆動機構１０７は、ヘッドユニット１０６をＸ方向に駆動する駆動源たるＸ軸サーボモータ１７３と、ヘッドユニット１０６をＹ軸方向に駆動する駆動源たるＹ軸サーボモータ１７４とを有している。モータ１７３はボールねじ１７５に連結されており、駆動制御部１４１からの動作指令に応じてモータ１７３が作動することでヘッドユニット１０６がボールねじ１７５を介してＸ方向に駆動される。一方、モータ１７４はボールねじ１７６に連結されており、駆動制御部１４１からの動作指令に応じてモータ１７４が作動することで実装用ヘッド支持部材１７１がボールねじ１７６を介してＹ軸方向へ駆動される。

ヘッド駆動機構１０７によりヘッドユニット１０６は電子部品を吸着ノズル１６１により吸着保持したまま基板１０３に搬送するとともに、所定位置に移載する（部品移載動作）。より詳しく説明すると、ヘッドユニット１０６は次のように構成されている。このヘッドユニット１０６では、鉛直方向Ｚに延設された実装用ヘッドが１０本、Ｘ方向（基板搬送機構１０２による基板１０３の搬送方向）に等間隔で列状配置されている。実装用ヘッドのそれぞれの先端部には、吸着ノズル１６１が装着されている。すなわち、図１０に示すように、各実装用ヘッドはＺ方向に伸びるノズルシャフト１６３を備えている。ノズルシャフト１６３の軸心部には、上方（Ｚ方向）に延びる空気通路が形成されている。そして、ノズルシャフト１６３の下方端部には、吸着ノズル１６１が接続されて空気通路と連通している。一方、上方端部は開口しており、連結部１６４、接続部材１６５、空気パイプ１６６および真空切替バルブ機構１６７を介して真空吸引源および正圧源に接続される。

また、ヘッドユニット１０６では、ノズルシャフト１６３を上下方向Ｚに昇降させる上下駆動機構１６８が設けられており、駆動制御部１４１のモータコントローラ１４２により上下駆動機構１６８を駆動制御してノズルシャフト１６３を上下方向Ｚに昇降させ、これによって吸着ノズル１６１を上下方向Ｚに移動し、位置決めする。この実施形態では、１０個の単軸リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０を組み合わせた多軸リニアモータＭＬＭを上下駆動機構１６８として用いている。なお、この構成の詳細については、後で詳述する。

また、吸着ノズル１６１をＲ方向に回転させるＲ軸サーボモータ１６９が設けられており、制御ユニット１０４の駆動制御部１４１からの動作指令に基づきＲ軸サーボモータ１６９が作動して吸着ノズル１６１をＲ方向に回転させる。したがって、上記のようにヘッド駆動機構１０７によってヘッドユニット１０６が部品収容部１０５に移動されるとともに、上下駆動機構１６８およびＲ軸サーボモータ１６９を駆動することによって、部品収容部１０５から供給される電子部品に対して吸着ノズル１６１の先端部が適正な姿勢で当接する。

図１２は上下駆動機構の構成を示す図である。この実施形態において上下駆動機構１６８として用いられている多軸リニアモータＭＬＭは図１２に示すように１０個の単軸リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０と２枚のサイドプレートＳＰａ、ＳＰｂとで構成されている。これらの単軸リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０はＸ方向に積層配置されている。また、リニアモータＬＭ１の（−Ｘ）側にサイドプレートＳＰａが配置される一方、リニアモータＬＭ１０の（＋Ｘ）側にサイドプレートＳＰｂが配置されており、これら２枚のサイドプレートＳＰａ、ＳＰｂにより単軸リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０を挟み込んでいる。これらサイドプレートＳＰａ、ＳＰｂおよび単軸リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０のいずれにも予め設定された位置に３つの締結用の貫通孔が形成されており、これらの締結用貫通孔に貫くようにボルト１３ｐ〜１３ｑが挿通されるとともに、ナットによって締結されてサイドプレートＳＰａ、単軸リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０およびサイドプレートＳＰｂが一体化されて多軸リニアモータＭＬＭが形成されている。この多軸リニアモータＭＬＭは図１０に示すようにヘッドユニット１０６のベースプレート１６０に取り付けられる。なお、サイドプレートＳＰｂは、端部のリニアモータＬＭ１０の凹部１ｅ（図３参照）を覆うカバーとしても機能する。

また、各リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０の可動ベース４には、連結部１６４を介してノズルシャフト１６３が連結されている。各連結部１６４は図１０に示すようにＬ字状のブロック部材１６４ａとシャフトホルダ１６４ｂを備えている。各ブロック部材１６４ａでは、（＋Ｚ）方向に延びる端部により、ネジで可動ベース４に螺合されている。これによって、各リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０でブロック部材１６４ａが可動ベース４の下端部、つまり（−Ｚ）側端部に連結される。また、各ブロック部材１６４ａの（−Ｙ）方向に延びる端部の下面にシャフトホルダ１６４ｂが取り付けられ、シャフトホルダ１６４ｂの下面側、つまり（−Ｚ）方向側でノズルシャフト１６３を保持可能となっている。また、シャフトホルダ１６４ｂの（−Ｙ）側端部側面には接続部材１６５が取り付けられている。この接続部材１６５には空気パイプ１６６の一方端が接続されており、当該空気パイプ１６６を介して真空切替バルブ機構１６７から送られてくる空気をシャフトホルダ１６４ｂに送り込んだり、逆にシャフトホルダ１６４ｂから空気を空気パイプ１６６を介して真空切替バルブ機構１６７に吸引可能としている。このように空気パイプ１６６−シャフトホルダ１６４ｂ内の空気経路（図示省略）−ノズルシャフト１６３という経路で真空切替バルブ機構１６７と吸着ノズル１６１が接続されており、各吸着ノズル１６１に正圧を供給したり、逆に各吸着ノズル１６１に負圧を供給可能となっている。

なお、この実施形態では、多軸リニアモータＭＬＭは上下駆動機構１６８として用いられており、各可動ベース４の移動方向は上下方向Ｚと平行となっている。このため、各可動ベース４には垂直荷重が常時付与されている。そこで、各リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０では、リターンスプリング１５の上端部をベースプレート１のスプリング係合部１ｈに係合させるとともに、その下端部をブロック部材１６４ａの（−Ｙ）側端部に設けられたスプリング係合部１６４ｃに係合させ、このリターンスプリング１５により可動ベース４を上方側、つまり（＋Ｚ）方向側に付勢している。これによって、各リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０のコイル３ｃへの電流供給を停止している間に、可動ベース４はベースプレート１内に収納される。これにより各吸着ノズル１６１は上方に位置することになり、上下駆動機構１６８が電流停止により機能しない状態で、例えばＸ軸サーボモータ１７３やＹ軸サーボモータ１７４が作動したとしても、各吸着ノズル１６１、あるいは吸着されている電子部品が基板１０３やコンベア１２１等と干渉事故を起こすことがない。

このように構成された表面実装機では、制御ユニット１０４のメモリ（図示省略）に予め記憶されたプログラムにしたがって制御ユニット１０４の主制御部１４３が装置各部を制御してヘッドユニット１０６を部品収容部１０５の上方位置と基板１０３の上方位置の間を往復移動させる。また、ヘッドユニット１０６は部品収容部１０５の上方位置に停止した状態で上下駆動機構１６８およびＲ軸サーボモータ１６９を駆動制御して部品収容部１０５から供給される電子部品に対して吸着ノズル１６１の先端部を適正な姿勢で当接させるとともに、負圧吸着力を吸着ノズル１６１に与えることで、該吸着ノズル１６１による部品保持を行う。そして、部品を吸着保持したままヘッドユニット１０６は基板１０３の上方位置に移動した後、所定位置に移載する。このように部品収容部１０５から基板１０３の部品搭載領域に部品を移載する、部品移載動作が繰り返して行われる。

以上のように、この実施形態にかかる表面実装機では、図１に示すリニアモータＬＭと同一構成を有する１０個のリニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０をＸ方向に積層配置してなる多軸リニアモータＭＬＭを用いてノズルシャフト１６３を上下方向Ｚに昇降駆動するように構成しているので、次のような作用効果が得られる。各リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０では、上記したように幅方向Ｙにおいて小型化でありながらも十分な検出精度で可動ベース４の位置を検出することが可能となっており、このような特性を有するリニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０を用いてノズルシャフト１６３を上下方向Ｚに駆動するように構成しているため、ノズルシャフト１６３の先端部に取り付けられた吸着ノズル１６１の上下方向位置Ｚを高精度に検出することができる。そして、その検出結果に基づき吸着ノズル１６３の上下位置を制御することで高精度な部品移載が可能となる。また、リニアモータＬＭ１〜ＬＭ１０の小型化によってヘッドユニット１０６の小型化、軽量化を図ることができ、このことは表面実装機の小型化に寄与し、さらにＸＹ両方向の移動速度の高速化により実装時間の短縮に大きく寄与する。

なお、上記実施形態では、第１実施形態にかかるリニアモータＬＭを用いて吸着ノズル１６１を上下させる上下駆動機構１６８を構成しているが、他の実施形態にかかるリニアモータを用いて上下駆動機構１６８を構成してもよい。また、上記実施形態では、１０個の吸着ノズル１６１を用いて部品移載を行う表面実装機ＭＴに対して本発明を適用しているが、吸着ノズルの個数は「１０」に限定されるものではなく、吸着ノズルを用いて部品を移載する表面実装機全般に対して本発明を適用することができる。さらに、上記実施形態では、部品移載装置として機能する表面実装機ＭＴに対して本発明を適用しているが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではなく、ＩＣハンドラー等の部品移載装置に対しても本発明を適用することができる。

本発明にかかるリニアモータの第１実施形態を示す斜視図である。 図１のリニアモータのＡ−Ａ線断面図である。 図１のリニアモータの分解組立斜視図である。 可動部材と可動子の取付構造を示す斜視図である。 可動部材と可動子の取付構造を示す図である。 サブティースと磁性体プレートの配置関係を示す平面図である。 本発明にかかるリニアモータの第２実施形態を示す斜視図である。 本発明にかかるリニアモータの第３実施形態を示す斜視図である。 本発明にかかる部品移載装置の一実施形態である表面実装機の概略構成を示す平面図である。 ヘッドユニットの正面図および側面図である。 図９に示す表面実装機の電気的構成を示すブロック図である。 上下駆動機構の構成を示す図である。 従来のリニアモータを示す図である。

符号の説明

１…ベースプレート
１ｂ〜１ｄ…立壁
１ｅ…凹部
１ｆ…切欠部
２ａ…レール
２ｂ、２ｂ１、２ｂ２…スライダ
３…電機子（固定子）
４…可動ベース（可動部）
５、５Ａ、５Ｂ…ヨーク
６、６Ａ、６Ｂ…永久磁石
７ａ…センサ（検出手段）
７ｂ…リニアスケール（検出手段）
７ｅ…（リニアスケールの）表面
７ｅ’…（センサの）センシング面
７ｆ…（第１）法線
８…（コアの歯部の）先端面
８’…（永久磁石６の）対向面
８ａ…（第２）法線
１０６…ヘッドユニット
１０７…ヘッド駆動機構
１６１…吸着ノズル
１６３…ノズルシャフト
１６８…上下駆動機構
ＬＭ、ＬＭ１〜ＬＭ１０…リニアモータ
ＭＬＭ…多軸リニアモータ
ＭＴ…表面実装機（部品移載装置）
Ｘ…厚み方向（ベース面の法線方向）
Ｙ…幅方向
Ｚ…移動方向

Claims (10)

1. ベースプレート上を所定の移動方向Ｚに移動自在な可動部に対して可動子が前記移動方向Ｚに延設されるとともに、前記移動方向Ｚと直交する幅方向Ｙに前記可動子から離間して対向するように固定子が前記ベースプレートに対して前記移動方向Ｚに延設され、検出手段によって前記移動方向における前記可動部の位置を検出しながら前記可動子および前記固定子で発生する磁束の相互作用により前記可動部を前記移動方向に駆動するリニアモータにおいて、
   前記検出手段は互いに対向するリニアスケールおよびセンサを備え、前記リニアスケールおよび前記センサのうちの一方を移動部材として前記可動部に設け、他方を固定部材として前記ベースプレートに固定して前記可動部の位置検出を行い、
   前記リニアスケールおよび前記センサの対向面の第１法線が前記移動方向Ｚおよび前記幅方向Ｙを含むＹＺ平面に対して平行または傾斜するように、前記リニアスケールおよび前記センサが配置されている
   ことを特徴とするリニアモータ。
2. 前記固定子および前記可動子の対向面の第２法線が前記ＹＺ平面に対して平行または傾斜するように、前記固定子および前記可動子が配置されている請求項１記載のリニアモータ。
3. 前記移動部材は前記幅方向の前記可動部の端部側面に設けられている請求項１または２記載のリニアモータ。
4. 前記ベースプレートに対して前記移動方向Ｚに延設された直線状のレールをさらに備え、
   前記可動部は、前記レールに沿って前記移動方向Ｚにスライド自在に設けられたスライダと、前記スライダに取り付けられた可動ベースとを有しており、
   前記移動部材は前記幅方向Ｙの前記可動ベースの端部側面または前記幅方向Ｙの前記スライダの端部側面に取り付けられている請求項３記載のリニアモータ。
5. 前記ベースプレートに対して前記移動方向Ｚに延設された直線状のレールをさらに備え、
   前記可動部は前記レールに沿って前記移動方向Ｚにスライド自在に設けられたスライダを有しており、
   前記移動部材が前記幅方向Ｙの前記スライダの端部側面に取り付けられている請求項３記載のリニアモータ。
6. 前記レールは１本である請求項４または５記載のリニアモータ。
7. 前記固定子は前記幅方向における前記可動部の一方側に設けられ、
   前記移動部材は前記リニアスケールである一方、
   前記固定部材は前記センサであり、前記リニアスケールの反固定子側に配置されている請求項１ないし６のいずれかに記載のリニアモータ。
8. 前記センサを制御するセンサ制御ユニットをさらに備え、
   前記センサ制御ユニットは前記センサの反リニアスケール側に配置されている請求項７記載のリニアモータ。
9. 前記幅方向Ｙの前記ベースプレートの両端部の各々に対し、前記ＹＺ平面の法線方向Ｘに延びる立壁が前記ベースプレートと一体あるいは別体で前記移動方向Ｚに延設され、
   前記２つの立壁のうち前記センサに近い前記センサ側立壁に、前記センサ制御ユニットを挿入可能な切欠部または貫通孔が設けられている請求項８記載のリニアモータ。
10. 部品収容部から部品搭載領域に部品を移載する部品移載装置において、
    ベース部材と、前記ベース部材に対して上下方向に移動自在に支持され、先端部に吸着ノズルが取り付けられるとともに、後端部に接続された負圧配管を介して供給される負圧を前記吸着ノズルに与えるノズルシャフトと、前記ノズルシャフトを前記上下方向に駆動する上下駆動機構とを有する、ヘッドユニットと、
    前記部品収容部の上方位置と前記部品搭載領域の上方位置との間で前記ヘッドユニットを移動させるヘッド駆動手段とを備え、
    前記上下駆動機構が請求項１ないし９のいずれかに記載のリニアモータであり、
    前記リニアモータは前記移動方向Ｚが前記上下方向と平行となるように前記ベース部材に取り付けられ、
    前記リニアモータの前記可動部が前記ノズルシャフトに連結されている
    ことを特徴とする部品移載装置。

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