JP5872297B2 - リニアモータ、部品実装装置、並びに部品検査装置 - Google Patents

リニアモータ、部品実装装置、並びに部品検査装置 Download PDF

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Description

本発明は、リニアモータ、部品実装装置、並びに部品検査装置に関する。
一般に、リニアモータには、特許文献1、2に開示されているシャフト型リニアモータと、特許文献3に開示されているコア付リニアモータとが知られている。
シャフト型リニアモータは、複数の円筒形のコイルを積層して筒状の固定子を構成し、この固定子(コイル)の孔内に永久磁石を有するロッドを可動子として挿入した構成になっている。固定子を構成する複数のコイルには、120°毎に位相の異なる三相電流が流されるように構成されており、通電時に各コイルに磁界を発生させ、固定子との間で可動子を軸線方向に推進する力を得て、当該可動子を前記軸線方向に移動させるように構成されている。
コア付リニアモータは、移動経路に沿う直線状の界磁子と、この界磁子に対し、移動経路と直交する方向に対向して配置された電機子とを備えている。界磁子は、例えば、可動子を構成するものであり、表面側の磁極が交互に異なる永久磁石を移動経路に沿って配列したものである。電機子は、例えば、固定子を構成するものであり、複数のコアと、コアの周囲に巻装されたコイルとを具備している。コアは、界磁子に対向する方向に沿って延びている。コイルは、このコアの周囲に巻回されている。コア付リニアモータにおいては、コイルに印加する駆動電流を制御することによって、コアの磁界を移動させ、当該可動子を固定子に対して相対的に永久磁石の配列方向に直線的に移動させるように構成される。
ところで、シャフト型リニアモータにおいては、複数のリニアモータを隣り合わせて並べてみると、一つの可動子を移動させるとき、隣接するリニアモータの可動子が釣られて動いてしまうという現象が発生する場合があった。隣り合うリニアモータ間の距離が短いと、可動子を構成する永久磁石同士の引き付け合う磁力も大きくなることが原因である。この現象を防止するため、特許文献1、2の構成では、隣り合うリニアモータ間に磁性材料で構成された遮蔽板を設けている。このような遮蔽板を設けた場合、可動子を構成する永久磁石の磁力線は、磁性材料の遮蔽板を通るので、遮蔽板が隣り合う永久磁石の磁界をシールドする結果、隣り合う可動子同士が互いの磁界の影響を受け難くなる。しかもシャフト型リニアモータにおいては、遮蔽板は、永久磁石の磁界を強くするコアの役割を持つので、可動子の推力を向上させることになる。
特許第0471903号公報 特許第4580847号公報 特許第4705118号公報
一方、コア付リニアモータの場合においても、複数のリニアモータを近接して積層した場合には、隣り合うリニアモータ間で、可動子の連れ動きが生じるおそれがある。これに関し、コア付リニアモータにおいて、特許文献1、2と同様な遮蔽板を設けた場合、モータの推力が低下するという新たな課題が発生する。
図1は、本件発明者が実施したシミュレーション結果を示すグラフである。図1に示すように、発生推力Fは、固定子のコイルに通電される電流Iに比例するが、その比例係数は、遮蔽板の有無によって変化し、遮蔽板を設けたときは、遮蔽板のない場合に比べて、発生推力Fが数%以上も低下することが確認された。これは、遮蔽板に磁力線が流れることよって、有効磁束数が減少し、磁界が弱くなるためであると考えられる。
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、推力の低下を回避しつつ積層時に隣接するリニアモータ間での磁力による相互作用を防止することのできるリニアモータ、部品実装装置、並びに部品検査装置を提供することを課題としている。
上記課題を解決するために、本発明は、複数の永久磁石が、表面側の磁極を交互に異ならせて直線状に配列された界磁子と、前記界磁子と並列に配置されるコア及びコアに巻装される複数のコイルを含む電機子とを備え、前記界磁子を含む可動子と、前記電機子を含む固定子とを二つ一組にした単位ユニットを複数組並列に配置可能に構成したリニアモータにおいて、前記単位ユニットを収容する非磁性体からなるフレーム部材と、前記フレーム部材に設けられ、前記複数の単位ユニットが配設される場合に隣り合う単位ユニット間に介在する磁性体からなる遮蔽部材と、前記遮蔽部材のうち、前記電機子と対向する部位に形成され、当該フレーム部材に収容された前記電機子に隣接する開口部とを備えていることを特徴とするリニアモータである。この態様では、複数の単位ユニットを並列に配置し、多軸リニアモータを構成することができる。その場合に、隣接する単位ユニット間に、磁性材料からなる遮蔽部材が介在するので、各単位ユニットの磁力線は、電機子のコイルと外れた位置では、遮蔽部材を通り、遮蔽部材によって磁力線が遮蔽され、隣側の単位ユニットへ漏れにくくなる。そのため、何れかの単位ユニットの電機子に通電して、可動子としての界磁子を駆動した場合に、通電された単位ユニットと隣り合う単位ユニットの界磁子が、連れ動きする等、悪影響を受けるおそれはない。しかも、遮蔽部材には、当該フレーム部材に収容された電機子に隣接する開口部が形成されているので、電機子に対向する界磁子としての永久磁石は、当該永久磁石が電機子と対向する位置では、この開部によって側部が開放されることになる。この結果、駆動される単位ユニットの磁力線は、当該永久磁石が電機子と対向する位置では、大部分が遮蔽部材に引きつけられることなく磁界を形成する。そのため、駆動される界磁子とこの界磁子を駆動する電機子との間に形成される磁界の有効磁束密度は、稠密に維持され、遮蔽部材によって悪影響を受けにくくなり、単位ユニットが本来出力可能な推進力が遮蔽部材によって低減されるのを可及的に抑制することが可能になる。
好ましい態様のリニアモータにおいて、前記遮蔽部材は、前記界磁子の移動範囲全体にわたって、隣り合う単位ユニット間に介在する板金部材であり、前記開口部は、前記板金部材に形成された切欠である。この態様では、可動子としての界磁子が何れの範囲で移動しても、遮蔽部材によって、隣り合う単位ユニットの界磁子と隔離された状態になるので、確実に磁力線による悪影響を回避することが可能となる。一方、開口部は、遮蔽部材を構成する板金部材に形成された切欠であるので、製造が容易であり、開放面積等の設定が容易になるという利点がある。
好ましい態様のリニアモータにおいて、前記フレーム部材は、互いに並列に配置された複数の前記単位ユニットを収容するものであり、前記遮蔽部材を構成する板金部材は、前記フレーム部材に固定される底板部と、この底板部から一体に屈曲して隣接する前記単位ユニット間に介在する側板部とを含み、前記開口部を構成する切欠は、前記側板部に形成されている。この態様では、単一のフレーム部材に複数の単位ユニットを装着した多軸リニアモータを構成することが可能になる。そのような場合においても、遮蔽部材は、フレーム部材に固定された底板部と、この底板部と一体に屈曲して隣接する前記単位ユニット間に介在する側板部とを備えているので、この側板部が、駆動されている単位ユニットに隣接する単位ユニットに対し、悪影響を及ぼす磁力線を遮蔽する機能を奏する。しかも、この側板部に、開口部を構成する切欠が形成されているので、駆動されている単位ユニットにおける磁束密度の低減を防止することが可能となる。
好ましい態様のリニアモータにおいて、前記フレーム部材は、少なくとも3つの単位ユニットを並列に収容するものであり、前記遮蔽部材を構成する板金部材は、前記底板部の両側にそれぞれ前記側板部が設けられたコの字形断面に形成されており、当該底板部は、前記3つの単位ユニットのうち、中央に配置された単位ユニットに対向する位置に固定されているとともに、当該側板部は、前記中央に配置された単位ユニットの両側にそれぞれ配置されている。この態様では、少なくとも三軸の単位ユニットのシールド機能を単一の板金部材で奏する遮蔽部材を構成することができる。そのため、部品点数や、組立工数を低減し、コストを低減することが可能になる。また、部品点数が低減するので、軽量化にも寄与する。
本発明の別の態様は、複数の部品吸着ノズルを個別に上下に駆動する駆動機構と、この駆動機構により昇降駆動される部品保持部材とを有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び基板上への部品の実装を行う部品実装装置において、前記駆動機構は、複数の部品吸着ノズル毎に単位ユニットを有する上述のリニアモータであることを特徴とする部品実装装置である。
また、本発明のさらに別の態様は、複数の部品吸着ノズルを個別に上下に駆動する駆動機構と、この駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行う部品検査装置において、前記駆動機構は、複数の部品吸着ノズル毎に単位ユニットを有する上述のリニアモータである部品検査装置である。
上記部品実装装置または上記部品検査装置において、前記駆動機構を構成する前記複数の単位ユニットは、当該界磁子と当該電機子とが対向する対向方向と直交する方向に並設されていることが好ましい。その場合には、複数の部品吸着ノズルを個別に上下に駆動するに当たり、駆動機構を構成する単位ユニットが、当該界磁子と当該電機子とが対向する対向方向と直交する方向に並設されているので、単位ユニットが並設される方向の寸法を可及的に短く設定することができる。しかも、各単位ユニット間に介在する遮蔽部材により、単位ユニットの並設方向を短く設定しても、上述のような不具合を回避することが可能となる。
以上説明したように、本発明によれば、複数の単位ユニットを並列に配置した多軸リニアモータを構成した場合に、通電された単位ユニットと隣り合う単位ユニットの界磁子が、連れ動きする等、悪影響を受けることを防止できるばかりでなく、駆動される単位ユニットの界磁子と電機子との間に形成される有効磁束密度を稠密な状態に維持することができ、単位ユニットが本来出力可能な推進力が遮蔽部材によって低減されるのを可及的に抑制することが可能になるという顕著な効果を奏する。
本件発明者が実施したシミュレーション結果を示すグラフである。 本発明の第1実施形態に係るリニアモータが適用される部品実装装置(本発明に係る部品実装装置)の概略構成を示す平面図である。 ヘッドユニットの具体的な構成を示す正面図である。 ヘッドユニットに対する各ヘッドの構成並びに組み付け方を説明する斜視図である。 ヘッドの構成を示す正面図である。 ヘッドの構成を示す分解斜視図である。 ヘッドの構成を図6とは別の角度から示す分解斜視図である。 第1実施形態に係るヘッドのスタッキング状態を示す断面略図である。 図8の要部を拡大する拡大断面略図である。 本発明の第2実施形態に係るヘッドユニットの概略構成を示す斜視図である。 第2実施形態に係るヘッドユニットの底面部分略図である。 第2実施形態に係る前列ヘッドの外観を示す斜視図である。 第2実施形態に係る前列ヘッドの分解斜視図である。 第2実施形態に係る前列ヘッドの縦断面略図である。 第2実施形態に係る前列ヘッドの背面部分略図である。 第2実施形態に係る前列ヘッドの横断面部分拡大略図である。 第2実施形態に係る後列ヘッドの横断面部分拡大略図である。 第2実施形態に係る後列ヘッドの変形例を示す横断面部分拡大略図である。
図2は、本発明に係る第1実施形態において、リニアモータが適用される部品実装装置の概略構成を平面図で示している。なお、この図を含め、本説明で使用する図面には、各図の方向関係を明確にするために、加工対象となるプリント基板Pが搬送される水平方向をX軸方向とし、このX軸方向に直交する水平方向をY軸方向とし、鉛直線方向をZ軸方向とするXYZ直角座標系が示されている。また、リニアモータについては、組付時における前記XYZ直交座標系を踏襲している。
同図に示すように、部品実装装置の基台10上には、プリント基板搬送機構としてコンベア12が配置されている。このコンベア12により、プリント基板Pは、同図右側から左側に搬送されて所定の作業位置(同図に示すプリント基板Pの位置)に搬入されるようになっている。作業位置の下方領域には、実装作業中にプリント基板Pをバックアップピンにより支持するプリント基板支持装置11が配置されている。
前記コンベア12の前後両側(Y軸方向の一端側と他端側であり、図2では上下両側。以下、同様)には、それぞれフィーダ設置領域13が設けられており、これらフィーダ設置領域13には、例えばパーツフィーダ14等の部品供給装置がコンベア12に沿って並列に配置されている。各パーツフィーダ14は、集積回路(IC)、トランジスタ、抵抗、コンデンサ等の小片状のチップ部品を所定間隔で収納、保持したテープが巻回されたリールを保持しており、このリールから前記テープを繰り出すことによりフィーダ先端の部品供給位置に部品を供給し、ヘッドユニット15により部品をピックアップさせるように構成されている。
前記基台10の上方には、部品実装用の前記ヘッドユニット15が設けられている。このヘッドユニット15は、前記パーツフィーダ14から部品を吸着してプリント基板P上に搬送するとともに、プリント基板P上の所定位置に実装するもので、所定領域内でX軸方向(コンベア12によるプリント基板Pの搬送方向)及びY軸方向にそれぞれ移動可能とされている。すなわち、ヘッドユニット15は、X軸方向に延びるヘッドユニット支持部材18に移動可能に支持されている。また、このヘッドユニット支持部材18は、その両端部がY軸方向に延びる固定レール17に支持され、この固定レール17に沿ってY軸方向に移動可能となっている。そして、X軸サーボモータ20によりボールねじ軸21を介してヘッドユニット15がX軸方向に駆動される一方、Y軸サーボモータ22によりボールねじ軸23を介してヘッドユニット支持部材18がY軸方向に駆動されるようになっている。
ヘッドユニット15には、図3に示すように、部品を保持して搬送するための複数のヘッド16が搭載されており、第1実施形態では、合計10個のヘッド16がX軸方向に列状に配置されている。各ヘッド16は、Z軸方向(上下方向)に延びる駆動シャフト34を有しており、この駆動シャフト34の先端(下端)には部品吸着用のノズル35が取付けられている。ノズル35は、駆動シャフト34の内部通路及び図略の切換弁等を介して負圧発生装置に接続されており、部品吸着時には、吸着ノズル先端に前記負圧発生装置から負圧吸引力が与えられることにより部品の吸着、保持が可能となっている。この第1実施形態では、この駆動シャフト34及びノズル35が本発明に係る部品保持部材に相当する。
ノズル35(駆動シャフト34)は、ヘッドユニット15に対して昇降(Z軸方向の移動)およびノズル中心軸(R軸)回りの回転が可能とされ、昇降駆動機構および回転駆動機構によりそれぞれ駆動されるようになっている。これらの駆動機構のうち昇降駆動機構は各ヘッド16に各々組み込まれている。なお、昇降駆動機構を含む各ヘッド16の構成、及びノズル35の回転駆動機構の構成については、後に説明する。
ヘッドユニット15には、プリント基板撮像ユニット24が搭載されている。このプリント基板撮像ユニット24は、CCD等の撮像素子をもつエリアカメラおよび照明装置等からなり、ヘッドユニット15に対して下向きの姿勢で固定され、作業位置に搬入されるプリント基板P上の各種マークを撮像可能となっている。
なお、前記基台10上には、図2に示すように、ヘッドユニット15の各ヘッド16(ノズル35)に吸着された部品を撮像するための部品撮像ユニット25が設けられている。この部品撮像ユニット25も、前記プリント基板撮像ユニット24と同様にエリアカメラおよび照明装置等から構成されており、基台10上に上向きの姿勢で固定されている。これにより、部品吸着後、ヘッドユニット15が部品撮像ユニット25上方に配置された際に、各ヘッド16にて吸着された部品を部品撮像ユニット25により撮像可能となっている。
次に、ヘッドユニット15および各ヘッド16の具体的な構成について説明する。
前記ヘッドユニット15には、上記の通り10個のヘッド16が搭載されている。各ヘッド16は、X軸方向に扁平なユニット化された部材であり、図3に示すように、X軸方向に10個並べた状態で一体にヘッドユニット15に対して固定されている。
図4〜図7を参照して、前記ヘッド16は、概略的には、前記ノズル35を下端部に備える前記駆動シャフト34と、この駆動シャフト34とノズル35等をZ軸方向に駆動するリニアモータと、ノズル35等に対して上向きの付勢力を付与するリターンスプリング48とを備えている。
リニアモータは、本発明に係るフレーム部材の一例としてのフレーム30と、フレーム30に収容される単位ユニット40と、前記駆動シャフト34をZ軸方向に案内するリニアガイド32とを備えている。このフレーム30には、駆動シャフト34やリターンスプリング48が組込まれており、ヘッド16がユニット化されている。また、単位ユニット40は、固定子42及び可動子44を二つ一組にしたものであり、これら二つ一組の単位ユニット40毎にフレーム30が設けられている。第1実施形態では、合計10個のヘッド16がX軸方向に列状に配置されている結果、これら複数のヘッド16のアセンブリは、単位ユニット40とフレーム30のアセンブリを複数セット連設した多軸リニアモータをも構成している。ヘッド16の各ノズル35(駆動シャフト34)は、それぞれ多軸リニアモータの単位ユニット40によってZ軸方向に個別に駆動されるように構成されている。また、対応する単位ユニット40が停止している時には、リターンスプリング48の付勢力によりノズル35が上方位置に保持されるように構成されている。
次に、リニアモータについて、詳細に説明する。
前記フレーム30は、サイドプレート301の周囲一部分に壁部302を備えたX軸方向に扁平な皿形の部材で、表面処理を施したアルミ合金等の非磁性体により構成されている。
単位ユニット40は、上記の通り固定子42と可動子44とを二つ一組にしたユニットである。固定子42は、櫛型のコア421にコイル422が装着された電機子を備えている。
コア421は、Z軸方向に延びるヨーク421aと、ヨーク421aの側部からY軸方向の後側に向かい直角に突出する多数のティース421bとを一体に有する櫛型の磁性体である。一方、固定子42の前記コア421の両端には、ティース並び方向(Z軸方向)に延設される延設部421c、421cが一体に形成されている。コア421は、第1実施形態では、プレート状の複数の構成部材をフレーム30の法線方向(X軸方向)に積層した構造を有している。そのため、コア全体の一体性を保ちつつ安定的に、かつ強固に固定子42をフレーム30に対して固定する観点から、コア421のヨーク421aには、前記法線方向(X軸方向)に貫通する貫通孔が形成され、当該貫通孔を介してボルト425がサイドプレート301のねじ孔301aに螺合挿入されることによりフレーム30に前記固定子42が固定される構成となっている。なお、コア421としては、ブロック状の一体形成品を採用してもよい。その場合には、例えばコア421の延設部421cにY軸方向に貫通する貫通孔を形成し、この貫通孔を介してボルトを前記突部303に螺合挿入することにより、フレーム30に対して前記固定子42を固定するようにしてもよい。
電機子の要部には、ハーネス424(図4及び図6にコネクタ部分のみ図示)がフレーム30の上部に取り付けられている。このハーネス424を介して、コイル422には、120°毎に位相の異なる三相電流が流されるように構成されており、通電時に各コイル422に磁界を発生させ、固定子42との間で可動子44をZ軸方向に推進する力を得て、当該可動子44をZ軸方向に移動させるように構成されている。
可動子44は、全体として、固定子42に対してY軸方向に横並びに設けられている。可動子44は、Z軸方向に延びる断面H字型のスライドベース441を有しており、このスライドベース441の側面(固定子42との対向面)にバックヨーク443を介して、界磁子を構成する複数の永久磁石442が配列された構成となっている。界磁子は、具体的には、固定子42側がN極、可動子44側がS極の永久磁石442と、固定子42側がS極、可動子44側がN極の永久磁石442とがZ軸方向に交互に配列されることにより、構成されている。そして、この可動子44がリニアガイド32の後記スライダ322に固定されることにより、界磁子としての永久磁石442がY軸方向において、電機子としてのコイル422に対向し、通電時に各コイル422との間でZ軸方向の推進力を得て、当該可動子44がZ軸方向に移動可能となっている。
リニアガイド32は、Z軸方向に延びるレール321と、このレール321に対してZ軸方向にスライド自在に、かつZ軸方向と直交する方向への移動不能に装着される複数のスライダ322、322とから構成されており、前記レール321がサイドプレート301にボルトで固定されることによりフレーム30に組み込まれている。そして、このリニアガイド32の各スライダ322、322に対して単位ユニット40の前記可動子44(スライドベース441)が固定されている。これにより図外のリニア駆動制御部から前記単位ユニット40の固定子42に所定の駆動信号が与えられると、その駆動信号に応じた方向及び速度で可動子44がZ軸方向に駆動される構成となっている。
なお、固定子42と可動子44は、これらの間(正確には、櫛形のコア421の可動子側端部と永久磁石442の固定子側表面とのY軸方向の間隔)に所定のギャップが形成された状態でフレーム30に固定されている。
詳しく説明すると、前記サイドプレート301には、一対の突部303、303が一体形成されている。突部303、303は、Y軸方向を法線とする固定子位置決め用の基準面304を有している(図4参照)。そして、各突部303、303の基準面304に対し、コア421の各延設部421cが、Y軸方向において、前記可動子44側とは反対側から突き当てられ、この状態でコア421に形成される貫通孔を介してボルト425がサイドプレート301のねじ孔301aに螺合挿入されている。これにより前記固定子42がY軸方向に位置決めされた状態でフレーム30に組付けられている。
また、前記サイドプレート301には、可動子位置決め用の突条305が一体形成されており(図6、図7参照)、この突条305の側部に対し、前記レール321が、Y軸方向において前記固定子42側とは反対側から突き当てられ、この状態で、当該レール321に形成される貫通孔を介してボルト325がサイドプレート301のねじ孔301bに螺合挿入されている。これによりリニアガイド32を介して前記可動子44がY軸方向に位置決めされた状態でフレーム30に組付けられている。なお、レール321をサイドプレート301に組付けた後に前記可動子44をスライダ322の定められた位置に組付けてもよいし、予め前記可動子44をスライダ322に組付けてからレール321をサイドプレート301に組付けてもよい。
このように、前記固定子42及び可動子44がそれぞれY軸方向に位置決めされた状態でフレーム30に組付けられることにより、固定子42と可動子44との間に所定寸法のギャップが形成されている。なお、フレーム30には、図略のストッパが設けられており、このストッパにより、スライダ322のZ軸方向の移動範囲が規制されている。
ところで、上述のような単位ユニット40を備えたヘッド16は、X軸方向に重ね合わされて、多軸リニアモータを構成する。その場合に、駆動対象となるヘッド16に係る単位ユニット40の電機子(コイル422)に電流が流れ、磁場が形成されると、隣り合うヘッド16に係る単位ユニット40の可動子44が、当該磁場の影響を受けて、駆動対象となっている可動子44と一緒に移動する連れ動きが生じるおそれがある。そこで、第1実施形態では、かかる事態を防止するため、遮蔽部材の一例である磁性体プレート500をフレーム30に設けている(図6〜図8参照)。
図6〜図8を参照して、磁性体プレート500は、サイドプレート301のベース面301cに対し、当該突条305の固定子42側に沿って固定されている。磁性体プレート500は、例えば、鉄製の板金部材で形成されており、サイドプレート301上において、Z軸方向の全長にわたって延びている。従って、可動子44は、全ストローク範囲において、この磁性体プレート500と対向するようになっている。磁性体プレート500の固定は、図略のリベットまたは接着剤、或いは、リベット及び接着剤を併用した状態で堅固にサイドプレート301に固定されている。
磁性体プレート500の形状としては、Z軸方向に長く延びる概ね長方形に形成されている。このような磁性体プレート500を設けているので、第1実施形態では、図3に示すように複数のヘッド16をX軸方向に重装(積層)したとしても、図8に拡大して示すように、各ヘッド16の単位ユニット40、40間は、磁性体プレート500によってシールドされることになる。この結果、何れかの単位ユニット40に係る固定子42のコイル422に通電されて、磁界が形成された場合に、磁力線がX軸方向に流れて隣り合うヘッド16に係る単位ユニット40に悪影響を及ぼす恐れはない。
さらに、第1実施形態において、特筆すべき点は、図6及び図7に示すように、磁性体プレート500が固定子42のコイル422と対向する部位は、一部が切り欠かれて、各コイル422に隣接する開口部としての切欠501が形成されている点である。開口部としては、切欠501に限らず、孔であってもよい。また、切欠501のZ軸方向の寸法Lmは、電機子を構成するコイル群のZ軸方向の寸法Lc以上(同じか、或いは、寸法Lcよりも幾分長く)に設定される。このような切欠501等により、図9に示すように、可動子44の永久磁石442は、各コイル422とのみ対向するので、コイル422と永久磁石442との間に形成される磁力線は、図の破線で示す磁界を形成し、コイル422と永久磁石442との間で高い有効磁束数(或いは磁束密度)を維持することが可能になる。切欠501等、コイル422に隣接する切欠501を設けた場合、この永久磁石442の磁力線は、図9の仮想線で示すように、隣り合う単位ユニット40の方へ流れてしまうようにも思われるが、実際は、そのようにはならない。その理由は、永久磁石442がコイル422に対向する位置では、この切欠501によって、永久磁石442の側部が開放されることになるので、永久磁石442と磁性体プレート500との距離が遠くなるため、永久磁石442の磁力線は、最も近くにある磁性体に向かうこととなり、却って固定子42のコア421に向かって流れるからである。従って、磁力線の流れによって形成される磁場の有効磁束数(或いは磁束密度)は、高い水準に維持される。一方、切欠501等がない場合には、永久磁石442がコイル422に対向する位置での磁力線は、近接する磁性体プレート500にも流れてしまうので、仮想線で示すように、磁力線が分布し、コイル422と永久磁石442との間の有効磁束数(或いは磁束密度)は、図1で示したように、却って低減するのである。従って、第1実施形態のような切欠501等を設けることにより、複数のヘッド16をX軸方向に重装(積層)した状態で、何れかの単位ユニット40に係る固定子42のコイル422に通電した場合に、磁力線がX軸方向に流れて隣り合うヘッド16に係る単位ユニット40に悪影響を及ぼす恐れがなくなり、しかも、有効磁束数(或いは磁束密度)を高い水準に維持することが可能となる。
図4及び図5を参照して、単位ユニット40の可動子44には、駆動シャフト34が取付けられている。詳しくは、前記スライドベース441の下端部分に、前記固定子42の下方位置に向かってY軸方向に延びる取付アーム37が固定され、この取付アーム37の下面にシャフト支持部材36を介して駆動シャフト34が取付けられている。
駆動シャフト34は、中空軸からなり、シャフト支持部材36に対してR軸回りに回転自在に支持されるとともに、このシャフト支持部材36に設けられる負圧導入用のポート361及び図外の負圧通路を介して前記負圧発生装置に接続されている。
駆動シャフト34は、図示されないスプライン機構等により、Z軸方向に変位可能に、かつシャフト中心回り(R軸回り)に回転自在に、前記ヘッドユニット15に保持されている。
前記リターンスプリング48は、単位ユニット40の前記固定子42を挟んでリニアガイド32とは反対側の位置に配設されている。このリターンスプリング48は、前記フレーム30の上端部分と前記取付アーム37とに亘って装着されており、取付アーム37及びシャフト支持部材36を介して前記駆動シャフト34に上向きの付勢力が付与されている。これにより、上述したように、リターンスプリング48は、対応する単位ユニット40が停止している時には、ノズル35が上方位置に保持されるように付勢する。
図4及び図6を参照して、ヘッド16には、可動子44及び駆動シャフト34(ノズル35)の位置を検出するための位置検出手段の一例としての磁気センサ45が組込まれている。すなわち、フレーム30には、前記サイドプレート301に設けられたセンサ支持部306と、このセンサ支持部306に取り付けられた磁気センサ45が設けられている。一方、図6に示すように、単位ユニット40の前記可動子44には、磁気的に目盛りを記録したプレート状の磁気スケール46がスライドベース441に沿って固定されている。磁気センサ45は、MRセンサやホールセンサ等で具体化されており、この磁気センサ45により磁気スケール46を読み取ることにより、可動子44及び駆動シャフト34(ノズル35)の位置が検出可能となっている。なお、図中符号451は、磁気センサ45の制御基板等を被うカバー部材である。
このように構成された10個のヘッド16が互いにX軸方向に重装され、前記ヘッドユニット15に対してその前面側(ヘッドユニット支持部材18側とは反対側)にリターンスプリング48が位置する状態で一体に固定されている。
図3及び図4を参照して、具体的には、前記フレーム30のうちリニアガイド32等の組付け面側に一対の位置決めピン310、310が突設される一方、他面側にはこれに対応する図外の位置決め孔が穿設されており、これら位置決めピン310、310が隣接するヘッド16の位置決め孔に挿入されることによって各ヘッド16が互いに位置決めされた状態でX軸方向に重装されている。そして、この重装されたヘッド16群に対してそのX軸方向外側から各々取付用フレーム15bが重装され、各フレーム30に形成される貫通孔312を通じて取付用フレーム15b及びヘッド16群がボルト151、ナット152により一体に締結された上で、両取付用フレーム15bがヘッドユニット15の本体フレーム15aに対して位置決め固定されている。これによって10個のヘッド16が一体に前記ヘッドユニット15に固定されている。
ヘッドユニット15に固定された各ヘッド16の駆動シャフト34は、図3に示すように、本体フレーム15aに設けられる保持部15cにより保持されている。さらに、駆動シャフト34は前記保持部15cに回転自在に支持され、図外の駆動ベルト等により、前記本体フレーム15aに固定された駆動モータ(回転型モータ)26、26の駆動プーリ(図示省略)に連結されており、これによって上記回転駆動機構が構成されている。
上記のように構成された部品実装装置では、次のようにして部品の実装が行われる。
まず、図2及び図3を参照して、ヘッドユニット15は、フィーダ設置領域13に移動して各ヘッド16による部品の吸着を実行する。具体的には、所定のヘッド16がパーツフィーダ14の上方に配置された後、部品吸着を実行するヘッド16に係る単位ユニット40により、駆動シャフト34が昇降駆動され、これによりノズル35が下降してテープ内の部品を吸着して取出す。この際、可能な場合には、複数のヘッド16により同時に部品の取出しが行われる。部品の吸着が完了すると、所定の経路に沿ってヘッドユニット15が部品撮像ユニット25の上方を経由してからプリント基板P上に移動する。この移動中に、各ヘッド16(ノズル35)による部品の吸着状態が画像認識されて実装時の補正量が演算される。そして、ヘッドユニット15がプリント基板P上の最初の実装位置に到達すると、単位ユニット40により駆動シャフト34が昇降駆動されプリント基板P上に部品が実装され、以降、ヘッドユニット15が順次実装位置に移動することによりプリント基板P上に残りの吸着部品が実装されることとなる。
以上のような動作において、第1実施形態では、上述のような磁性体プレート500を設けているので、何れかの単位ユニット40に係る固定子42のコイル422に通電した場合に、当該コイル422とこのコイル422に対向する可動子44の永久磁石442との間には、図9に示すように、磁束密度の高い磁場が形成されることになる。しかも、磁力線がX軸方向に流れて隣り合うヘッド16に係る単位ユニット40に悪影響を及ぼす恐れがなくなり、制御の安定性や信頼性を向上させることができる。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図10及び図11を参照して、同図に示すヘッドユニット600は、ヘッドフレーム601と、このヘッドフレーム601に支持され、図略のパーツフィーダ(図2のパーツフィーダ14参照)の並び方向(X軸方向)に沿って並ぶ二つの前列ヘッド610と、この前列ヘッド610の背後においてヘッドフレーム601に支持され、当該並び方向に沿って並ぶ二つの後列ヘッド620とを備えている。前列ヘッド610及び後列ヘッド620は、何れも多軸リニアモータで構成されたユニットであり、前列ヘッド610は、三本の駆動シャフト34を有し(図12参照)、後列ヘッド620は、二本の駆動シャフト34を有している。
図10に示したようなヘッドユニット600は、タンデム式ヘッドとも呼称され、複数のタイミングベルトで各駆動シャフト34に設けられた図略の動力機構を駆動することにより、第1実施形態におけるR軸回りの駆動を一斉に実行することができるように構成されている。これとともに、ヘッドユニット600は、駆動シャフト34毎に設けられた単位ユニット40によって、個別に昇降動作を実行することができるようになっている。
以下、図12〜図16を参照しながら、3軸の前列ヘッド610の構成について説明する。
まず、前列ヘッド610は、概略的には、3軸構成の多軸リニアモータと、多軸リニアモータによって上下に個別に駆動される駆動シャフト34と、駆動シャフト34の下端部に取り付けられるノズルと、リターンスプリング755とを備えている。駆動シャフト34、及びノズルの原理的な構成、或いは、機能等は、それぞれ第1実施例の駆動シャフト34、及びノズル35と同様であるので、重複する説明を省略する。
多軸リニアモータは、本発明に係るフレーム部材の一例としてのフレーム630と、フレーム630に収容されて、前記駆動シャフト34をZ軸方向に駆動する単位ユニット700とを備えている。
フレーム630は、Y軸方向を法線とするエンドブロック631と、エンドブロック631のX軸方向両側に配置される一対のサイドプレート632と、両サイドプレート632を上記エンドブロック631との間でY軸方向に挟むフロントフレーム633とを有している。
エンドブロック631は、概ねZ軸方向に長く延びる長方形に形成されている。エンドブロック631の前面には、長手方向に間隔を隔てて形成された複数の溝(図示の例では、2箇所)631aが形成されている。各溝631aには、複数の取り付けボルト634が反対面から貫通している。取り付けボルト634は、1つの溝631aに対し、例えば、4個ずつ設けられており、エンドブロック631の幅方向(X軸方向)に沿って等配されている。一方、各溝631aには、それぞれレールガイド635が載置されている。各レールガイド635は、それぞれの溝631aに設けられた取り付けボルト634により固定されている。本実施形態において、前列ヘッド610は、3軸のリニアモータを構成するものであり、各レールガイド635には、Z軸方向に沿って延びる三条のガイド溝635aが形成されている(図16参照)。一方のレールガイド635に形成されたガイド溝635aと他方のレールガイド635に形成されたガイド溝635aとは、それぞれZ軸方向に沿って対向している。従って、各ガイド溝635aに沿って、後述する可動子740を構成するレール741を挿通することにより、レールガイド635は、レール741をZ軸に沿って、個別に往復移動することができるようになっている。なお、レールガイド635の個数や、レール741の本数は、構成されるリニアモータの仕様によって適宜変更が可能である。なお、図13では省略されているが、レールガイド635は、両ガイド溝635a、635a間にさらに二組設けられている(図14参照)。
エンドブロック631の幅方向中央部には、チャネル状のブラケット650が、Z軸方向に沿って、ビス651により固定されている。ブラケット650は、詳しくは後述するように第2実施形態における遮蔽部材の一例である。
エンドブロック631の平面視4隅部と、幅方向両側の2箇所には、当該エンドブロック631の背後からY軸方向に抜けて前方に延びる連結ボルト636が挿通されている。連結ボルト636は、エンドブロック631に組み付けられるサイドプレート632の挿通孔632bを挿通し、このサイドプレート632の前端部に配置されるフロントフレーム633の背面に形成された図略のねじ孔に螺合することにより、エンドブロック631、サイドプレート632、並びにフロントフレーム633を一体的な構造体(フレーム部材)として連結している。
サイドプレート632には、背面側にレールガイド635との干渉を避ける切欠凹部632aが形成されている。また、具体的には、図示していないが、サイドプレート632の背面(組み付け時にエンドブロック631と対向する面)には、位置決め用の有底の穴が形成されている。エンドブロック631には、各穴に対応する位置決め突起637が前面に立設されており、各突起637を対応する各穴に嵌合させることにより、サイドプレート632との精緻な組立精度が確保されている。
フロントフレーム633は、サイドプレート632の前端面に背面を接合して、フレーム630の前部の外殻を構成する略長方形の枠体であり、その内部には、多軸リニアモータを構成している単位ユニット700を取り付ける上仕切り枠633aと、下仕切り枠633bとが一体に形成されている。上仕切り枠633aは、フロントフレーム633の外殻部分によって区画される空間を幅方向(X軸方向)において、三分割する2条の部材であり、これら上仕切り枠633aによって区画される空間内に、単位ユニット700のZ軸方向における上端部分が精緻に位置決めされた状態で取り付けられるようになっている。また、下仕切り枠633bは、上仕切り枠633aに対し、Z軸方向に対向し、フロントフレーム633の外殻部分によって区画される空間を幅方向(X軸方向)において、三分割する2条の部材である。下仕切り枠633bによって区画される空間内には、単位ユニット700のZ軸方向における下端部分が精緻に位置決めされた状態で取り付けられるとともに、当該単位ユニット700のZ軸方向下側に配置される三連のエンコーダ660が、同じく位置決めされた状態で取り付けられるように構成されている。また、具体的には、図示していないが、フロントフレーム633の背面(組み付け時にサイドプレート632と対向する面)には、位置決め用の有底の穴が形成されている。サイドプレート632には、各穴に対応する位置決め突起638が前面に立設されており、各突起638を対応する各穴に嵌合させることにより、フロントフレーム633との精緻な組立精度が確保されている。
多軸リニアモータを構成する単位ユニット700は、それぞれ固定子720と可動子740とを二つ一組にしたユニットである。固定子720は、コア721(のティース)にコイル722が装着された電機子を備えている。
コア721は、Z軸方向に延びるヨークとヨークの側部からY軸方向の後側に向かい直角に突出する多数のティースとを一体に有する櫛型の磁性体である。コア721は、第1実施形態と同様に、プレート状の複数の構成部材をエンドブロック631の法線方向(X軸方向)に積層した構造を有している。無論、これとは別に、ブロック状に一体形成されたコアを用いてもよい。
電機子は、それぞれがフロントフレーム633の上仕切り枠633aと下仕切り枠633bの間に掛け渡されるように位置決めされ、X軸方向に延びる複数のボルト723でフロントフレーム633とともに共締めされている。また、各コイル722に通電するハーネス724が、フロントフレーム633の前方から上方に沿って配置されており、これらのハーネス724を図略の給電系と接続されるようになっている。コイル722には、120°毎に位相の異なる三相電流が流されるように構成されており、通電時に各コイル722に磁界を発生させることにより、固定子720との間で可動子740をZ軸方向に推進する力を得て、可動子740を当該Z軸方向に移動させるように構成されている。
第2実施形態においても、可動子740は、全体として、固定子720に対してY軸方向に横並びに(前後に並列に)設けられている。一方、第2実施形態における可動子740は、第1実施形態におけるスライドベース441を省略し、レール741に直接バックヨーク742をボルト744等で固定して、このバックヨーク742に、界磁子を構成する複数の永久磁石743を配列した構成となっている。永久磁石743の具体的な構成は、第1実施形態と同様である。そして、レール741が上述したレールガイド635に連結されることにより、界磁子としての永久磁石743を含む可動子740は、Y軸方向において、電機子としてのコイル722に対向し、通電時に各コイル722との間でZ軸方向の推進力を得て、Z軸方向に移動可能となっている。また、第2実施形態においても、固定子720がフロントフレーム633に取り付けられ、可動子を構成するレール741がエンドブロック631に固定されたレールガイド635にガイドされることにより、固定子720と可動子740は、これらの間(正確には、櫛形のコア721の可動子側端部と永久磁石743の固定子側表面とのY軸方向の間隔)に所定のギャップが形成された状態でフレーム630に固定される。
各レール741の下端部には、Z軸方向に延びる連結部材750がそれぞれ取り付けられている。各連結部材750は、内部が中空になっている矩形断面のスリーブ751と、スリーブ751の下端部分に設けられた取付部752とを一体に有する構造体である。スリーブ751の前面(エンコーダ660と対向する面)には、それぞれ対応するエンコーダ660に対して、Y軸方向に対向するリニアスケール753が設けられており、エンコーダ660がリニアスケール753の位置を検出することによって、可動子740のZ軸方向の位置が制御されるようになっている。
取付部752は、駆動シャフト34の上端部分をねじ止めする部位であり、上下に並ぶ例えば2つのねじ孔752aが形成されている。
取付部752の上端前面には、Y軸に沿って前方に突出するスタッドピン754が立設されており、スタッドピン754には、リターンスプリング755の一端部755aが取り付けられている。リターンスプリング755は、スリーブ751の内部を通って、他端部755bをスリーブ751の上方に臨ませている。この他端部755bは、組立時にフロントフレーム633に対し、図略のボルトでフロントフレーム633に取り付けられている。この結果、リターンスプリング755は、常時、取付部752を介して、可動子740を構成するレール741をZ軸に沿って上方に付勢する構成になっている。
以上のような構成において、第2実施形態においては、ブラケット650がフレーム630に取り付けられている(図13参照)。
ブラケット650は、断面コの字形の板金部材であり、エンドブロック631に固定される底板部652と、底板部652の幅方向(X軸方向)両側から起立する一対の側板部653とを一体に有している。底板部652の長手方向(Z軸方向)の途中部分および下端部分(Z軸方向において、下側に配置される側)は、側板部653とともに切り欠かれて、エンドブロック631に固定されるレールガイド635との干渉が回避されるようになっている。この状態で、ブラケット650は、当該底板部652が正面からビス651でねじ止めされることにより、エンドブロック631と一体化されるようになっている。
図14及び図15を参照して、エンドブロック631に組み付けられた底板部652は、三連に配設されたレール741のうち、真ん中のレール741に対して、中心線が合致するようにY軸方向に対向している。そして、この底板部652から延びる側板部653は、当該真ん中のレール741の両側に介在して、隣接するレール741、741との間を仕切っている。
ブラケット650の側板部653は、界磁子を構成する永久磁石743のZ軸方向におけるストローク範囲ST全長にわたって延びており、これによって、何れかのレール741に対応する電機子が通電されて、当該電機子を構成するコイル722のコア721(ティース)とこれに対応するレール741の永久磁石743との間に磁力線が発生しても、その磁力線が隣接するレール741の永久磁石743に対して悪影響を与える恐れはない。そのため、ブラケット650(の側板部653)は、各レール741をシールドして、磁力線の悪影響を防止する遮蔽部材として機能することになる。
しかも、第2実施形態においては、各側板部653には、コイル722と隣接する部位に開口部としての切欠654を設け、各レール741に固定された永久磁石743がコイル722と対向する位置では、この切欠654が当該永久磁石743の側部を開放するように構成されている。
図16に示すように、第2実施形態においても、ブラケット650(の側板部653)は、各可動子740をシールドする遮蔽部材として機能する一方、永久磁石743がコイル722と対向する位置では、永久磁石743の側部を開放する開口部としての切欠654が形成されているので、この部分で永久磁石743と電機子(コア721、コイル722)との間に生じる磁力線がブラケット650側に流れて、推力を生じする有効磁束数(磁束密度)が低減することを防止可能となる。この結果、第2実施形態におけるように、多軸リニアモータを構成した場合においても、通電時に磁力線が隣り合うヘッド16に係る単位ユニット40に悪影響を及ぼす恐れがなくなり、しかも、有効磁束数(或いは磁束密度)を高い水準に維持することが可能となる。
なお、後列ヘッド620の構成は、単位ユニット700の個数が2個になっている点を除いては、概ね前列ヘッド610の構成と同等である。但し、図17に示すように、後列ヘッド620のブラケット650は、何れか一方(図示の例では、右側)の単位ユニット700の直下に配置されており、その形状も、コの字形断面ではなく、L字形断面になっている。このように、遮蔽部材としては、磁性体プレート500やコの字形断面のブラケット650に限らず、L字形断面のブラケット650を採用してもよい。
以上説明したように、本発明の各実施形態においては、複数の単位ユニット40、700を並列に配置し、多軸リニアモータを構成することができる。その場合に、隣接する単位ユニット40、700間に、磁性材料からなる遮蔽部材として、第1実施形態の磁性体プレート500や、或いは第2実施形態のブラケット650が介在し、これら遮蔽部材としての磁性体プレート500や、或いは第2実施形態のブラケット650が隣り合う単位ユニット40、700をシールドする。そのため、各単位ユニット40、700の永久磁石442、743の磁力線は、電機子のコイル422、722と外れた位置では、遮蔽部材(磁性体プレート500、ブラケット650)を通り、遮蔽部材(磁性体プレート500、ブラケット650)によって磁力線が遮蔽され、隣側の単位ユニット40、700へ漏れにくくなる。この結果、何れかの単位ユニット40、700の電機子に通電して、可動子44、740を駆動した場合に、通電された単位ユニット40、700と隣り合う単位ユニット40、700の界磁子が、連れ動きする等、悪影響を受けるおそれはない。しかも、遮蔽部材(磁性体プレート500、ブラケット650)には、当該フレーム30、630に収容された電機子のコイル422、722に隣接する開口部としての切欠501、654が形成されているので、駆動される単位ユニット40、700の磁力線は、当該永久磁石442、743が電機子と対向する位置では、切欠501、654によって、永久磁石442、743の側部がX軸方向において、開放されることとなる。従って、駆動される単位ユニット40、700の磁力線は、永久磁石442、743が電機子と対向する位置では、大部分が遮蔽部材(磁性体プレート500、ブラケット650)に引きつけられることなく磁界を形成する。そのため、駆動される界磁子とこの界磁子を駆動する電機子との間に形成される磁界の有効磁束密度は、稠密に維持され、遮蔽部材(磁性体プレート500、ブラケット650)によって悪影響を受けにくくなり、単位ユニット40、700が本来出力可能な推進力が遮蔽部材(磁性体プレート500、ブラケット650)によって低減されるのを可及的に抑制することが可能になる。
また、各実施形態において、遮蔽部材(磁性体プレート500、ブラケット650)は、界磁子の移動範囲全体にわたって、隣り合う単位ユニット40、700間に介在する板金部材であり、開口部としての切欠501、654は、板金部材のうち、当該電機子と対向する部位に形成された切欠501、654である。このため本発明の各実施形態では、可動子44、740としての界磁子が何れの範囲で移動しても、遮蔽部材(磁性体プレート500、ブラケット650)によって、隣り合う単位ユニット40、700の界磁子と隔離された状態になるので、確実に磁力線による悪影響を回避することが可能となる。一方、開口部としての切欠501、654は、遮蔽部材(磁性体プレート500、ブラケット650)を構成する板金部材に形成された切欠501、654であるので、製造が容易であり、開放面積等の設定が容易になるという利点がある。
また、第2実施形態において、フレーム630は、互いに並列に配置された複数の単位ユニット700を収容するものであり、遮蔽部材としてのブラケット650を構成する板金部材は、フレーム630に固定される底板部652と、この底板部652から一体に屈曲して隣接する単位ユニット700間に介在する側板部653とを含み、開口部としての切欠654は、側板部653に形成されている。このため第2実施形態では、単一のフレーム630に複数の単位ユニット700を装着した多軸リニアモータを構成することが可能になる。そのような場合においても、遮蔽部材としてのブラケット650は、フレーム630に固定された底板部652と、この底板部652と一体に屈曲して隣接する単位ユニット700間に介在する側板部653とを備えているので、この側板部653が、駆動されている単位ユニット700に隣接する単位ユニット700に対し、悪影響を及ぼす磁力線を遮蔽する機能を奏する。しかも、この側板部653に、開口部を構成する切欠654が形成されているので、駆動されている単位ユニット700における磁束密度の低減を防止することが可能となる。
また、第2実施形態において、フレーム630は、少なくとも3つの単位ユニット700を並列に収容するものであり、遮蔽部材としてのブラケット650を構成する板金部材は、底板部652の両側にそれぞれ側板部653が設けられたコの字形断面に形成されており、当該底板部652は、3つの単位ユニット700のうち、中央に配置された単位ユニット700に対向する位置に固定されているとともに、当該側板部653は、中央に配置された単位ユニット700の両側にそれぞれ配置されている。このため本実施形態では、三軸の単位ユニット700のシールド機能を単一の板金部材で奏する遮蔽部材をブラケット650によって構成することができる。そのため、部品点数や、組立工数を低減し、コストを低減することが可能になる。また、部品点数が低減するので、軽量化にも寄与する。
なお、以上説明した部品実装装置は、本発明に係るリニアモータが適用される部品実装装置(本発明に係る部品実装装置)の好ましい実施形態の一例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、第1実施形態のリニアモータでは、固定子42を、突部303に対して可動子44側とは反対側から当接させ、またレール741を、突条305に対して固定子42側とは反対側から当接させることにより、固定子42及び可動子44を位置決めする構成となっているが、勿論、位置決め部に対する固定子42及びレール741(リニアガイド32)の当付け方向は、固定子42及び可動子44を適切に位置決めできれば、特に限定されるものではない。
また、第1実施形態のリニアモータでは、位置決め部としてフレーム30に突部303及び突条305が一体形成されているが、例えば突部303及び突条305は、フレーム30とは別体に設けられたものであり、ボルト等の固定手段により突条305に固定されるものであってもよい。但し、位置決めの信頼性の観点から、実施形態のようにフレーム30に一体形成されている方が望ましい。
また、図18に示すように、第2実施形態において、三軸の単位ユニット700を設ける場合、両側の単位ユニット700の背後にそれぞれブラケット650を配置するようにしてもよい。
また、各実施形態において、遮蔽部材の開口部は、切欠に限らず、例えば、開口であってもよい。
また、各実施形態では、部品実装装置を例に本発明の適用について説明したが、本発明の適用対象は部品実装装置に限定されるものではなく、例えば、部品を保持可能な部品保持部材が搭載された移動可能なヘッドユニットを備え、リニアモータを有する駆動機構により部品保持部材をヘッドユニットに対して昇降駆動することにより部品供給部からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行うように構成された部品検査装置についても本発明は適用可能である。
このように、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることはいうまでもない。
10 基台
15 ヘッドユニット
16 ヘッド
30 フレーム(フレーム部材の一例)
32 リニアガイド
34 駆動シャフト
35 ノズル
40 単位ユニット
42 固定子
44 可動子
321 レール
421 コア(電機子の要部の一例)
422 コイル(電機子の要部の一例)
442 永久磁石(界磁子の一例)
500 磁性体プレート(遮蔽部材の一例)
501 切欠(開口部の一例)
600 ヘッドユニット
610 前列ヘッド
620 後列ヘッド
630 フレーム(フレーム部材の一例)
635 レールガイド
650 ブラケット(遮蔽部材の一例)
652 底板部
653 側板部
654 切欠(開口部の一例)
700 単位ユニット
720 固定子
721 コア(電機子の要部の一例)
722 コイル(電機子の要部の一例)
740 可動子
741 レール
743 永久磁石(界磁子の一例)
F 発生推力
I 電流
P プリント基板
ST ストローク範囲

Claims (8)

  1. 複数の永久磁石が、表面側の磁極を交互に異ならせて直線状に配列された界磁子と、
    前記界磁子と並列に配置されるコア及びコアに巻装される複数のコイルを含む電機子と
    を備え、前記界磁子を含む可動子と、前記電機子を含む固定子とを二つ一組にした単位ユニットを複数組並列に配置可能に構成したリニアモータにおいて、
    前記単位ユニットを収容する非磁性体からなるフレーム部材と、
    前記フレーム部材に設けられ、前記複数の単位ユニットが配設される場合に隣り合う単位ユニット間に介在する磁性体からなる遮蔽部材と、
    前記遮蔽部材のうち、前記電機子と対向する部位に形成され、当該フレーム部材に収容された前記電機子に隣接する開口部と
    を備えていることを特徴とするリニアモータ。
  2. 請求項1記載のリニアモータにおいて、
    前記遮蔽部材は、前記界磁子の移動範囲全体にわたって、隣り合う単位ユニット間に介在する板金部材であり、前記開口部は、前記板金部材に形成された切欠である
    ことを特徴とするリニアモータ。
  3. 請求項1または2記載のリニアモータにおいて、
    前記フレーム部材は、互いに並列に配置された複数の前記単位ユニットを収容するものであり、
    前記遮蔽部材を構成する板金部材は、前記フレーム部材に固定される底板部と、この底板部から一体に屈曲して隣接する前記単位ユニット間に介在する側板部とを含み、
    前記開口部を構成する切欠は、前記側板部に形成されている
    ことを特徴とするリニアモータ。
  4. 請求項3記載のリニアモータにおいて、
    前記フレーム部材は、少なくとも3つの単位ユニットを並列に収容するものであり、
    前記遮蔽部材を構成する板金部材は、前記底板部の両側にそれぞれ前記側板部が設けられたコの字形断面に形成されており、当該底板部は、前記3つの単位ユニットのうち、中央に配置された単位ユニットに対向する位置に固定されているとともに、当該側板部は、前記中央に配置された単位ユニットの両側にそれぞれ配置されている
    ことを特徴とするリニアモータ。
  5. 複数の部品吸着ノズルを個別に上下に駆動する駆動機構と、この駆動機構により昇降駆動される部品保持部材とを有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び基板上への部品の実装を行う部品実装装置において、
    前記駆動機構は、複数の部品吸着ノズル毎に単位ユニットを有する請求項1から4の何れか1項に記載のリニアモータである
    ことを特徴とする部品実装装置。
  6. 請求項5記載の部品実装装置において、
    前記駆動機構を構成する前記複数の単位ユニットは、当該界磁子と当該電機子とが対向する対向方向と直交する方向に並設されている
    ことを特徴とする部品実装装置。
  7. 複数の部品吸着ノズルを個別に上下に駆動する駆動機構と、この駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行う部品検査装置において、
    前記駆動機構は、複数の部品吸着ノズル毎に単位ユニットを有する請求項1から4の何れか1項に記載のリニアモータである
    ことを特徴とする部品検査装置。
  8. 請求項7記載の部品検査装置において、
    前記駆動機構を構成する前記複数の単位ユニットは、当該界磁子と当該電機子とが対向する対向方向と直交する方向に並設されている
    ことを特徴とする部品検査装置。
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