JP5872297B2 - リニアモータ、部品実装装置、並びに部品検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、リニアモータ、部品実装装置、並びに部品検査装置に関する。

一般に、リニアモータには、特許文献１、２に開示されているシャフト型リニアモータと、特許文献３に開示されているコア付リニアモータとが知られている。

シャフト型リニアモータは、複数の円筒形のコイルを積層して筒状の固定子を構成し、この固定子（コイル）の孔内に永久磁石を有するロッドを可動子として挿入した構成になっている。固定子を構成する複数のコイルには、１２０°毎に位相の異なる三相電流が流されるように構成されており、通電時に各コイルに磁界を発生させ、固定子との間で可動子を軸線方向に推進する力を得て、当該可動子を前記軸線方向に移動させるように構成されている。

コア付リニアモータは、移動経路に沿う直線状の界磁子と、この界磁子に対し、移動経路と直交する方向に対向して配置された電機子とを備えている。界磁子は、例えば、可動子を構成するものであり、表面側の磁極が交互に異なる永久磁石を移動経路に沿って配列したものである。電機子は、例えば、固定子を構成するものであり、複数のコアと、コアの周囲に巻装されたコイルとを具備している。コアは、界磁子に対向する方向に沿って延びている。コイルは、このコアの周囲に巻回されている。コア付リニアモータにおいては、コイルに印加する駆動電流を制御することによって、コアの磁界を移動させ、当該可動子を固定子に対して相対的に永久磁石の配列方向に直線的に移動させるように構成される。

ところで、シャフト型リニアモータにおいては、複数のリニアモータを隣り合わせて並べてみると、一つの可動子を移動させるとき、隣接するリニアモータの可動子が釣られて動いてしまうという現象が発生する場合があった。隣り合うリニアモータ間の距離が短いと、可動子を構成する永久磁石同士の引き付け合う磁力も大きくなることが原因である。この現象を防止するため、特許文献１、２の構成では、隣り合うリニアモータ間に磁性材料で構成された遮蔽板を設けている。このような遮蔽板を設けた場合、可動子を構成する永久磁石の磁力線は、磁性材料の遮蔽板を通るので、遮蔽板が隣り合う永久磁石の磁界をシールドする結果、隣り合う可動子同士が互いの磁界の影響を受け難くなる。しかもシャフト型リニアモータにおいては、遮蔽板は、永久磁石の磁界を強くするコアの役割を持つので、可動子の推力を向上させることになる。

特許第０４７１９０３号公報 特許第４５８０８４７号公報 特許第４７０５１１８号公報

一方、コア付リニアモータの場合においても、複数のリニアモータを近接して積層した場合には、隣り合うリニアモータ間で、可動子の連れ動きが生じるおそれがある。これに関し、コア付リニアモータにおいて、特許文献１、２と同様な遮蔽板を設けた場合、モータの推力が低下するという新たな課題が発生する。

図１は、本件発明者が実施したシミュレーション結果を示すグラフである。図１に示すように、発生推力Ｆは、固定子のコイルに通電される電流Ｉに比例するが、その比例係数は、遮蔽板の有無によって変化し、遮蔽板を設けたときは、遮蔽板のない場合に比べて、発生推力Ｆが数％以上も低下することが確認された。これは、遮蔽板に磁力線が流れることよって、有効磁束数が減少し、磁界が弱くなるためであると考えられる。

本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、推力の低下を回避しつつ積層時に隣接するリニアモータ間での磁力による相互作用を防止することのできるリニアモータ、部品実装装置、並びに部品検査装置を提供することを課題としている。

上記課題を解決するために、本発明は、複数の永久磁石が、表面側の磁極を交互に異ならせて直線状に配列された界磁子と、前記界磁子と並列に配置されるコア及びコアに巻装される複数のコイルを含む電機子とを備え、前記界磁子を含む可動子と、前記電機子を含む固定子とを二つ一組にした単位ユニットを複数組並列に配置可能に構成したリニアモータにおいて、前記単位ユニットを収容する非磁性体からなるフレーム部材と、前記フレーム部材に設けられ、前記複数の単位ユニットが配設される場合に隣り合う単位ユニット間に介在する磁性体からなる遮蔽部材と、前記遮蔽部材のうち、前記電機子と対向する部位に形成され、当該フレーム部材に収容された前記電機子に隣接する開口部とを備えていることを特徴とするリニアモータである。この態様では、複数の単位ユニットを並列に配置し、多軸リニアモータを構成することができる。その場合に、隣接する単位ユニット間に、磁性材料からなる遮蔽部材が介在するので、各単位ユニットの磁力線は、電機子のコイルと外れた位置では、遮蔽部材を通り、遮蔽部材によって磁力線が遮蔽され、隣側の単位ユニットへ漏れにくくなる。そのため、何れかの単位ユニットの電機子に通電して、可動子としての界磁子を駆動した場合に、通電された単位ユニットと隣り合う単位ユニットの界磁子が、連れ動きする等、悪影響を受けるおそれはない。しかも、遮蔽部材には、当該フレーム部材に収容された電機子に隣接する開口部が形成されているので、電機子に対向する界磁子としての永久磁石は、当該永久磁石が電機子と対向する位置では、この開口部によって側部が開放されることになる。この結果、駆動される単位ユニットの磁力線は、当該永久磁石が電機子と対向する位置では、大部分が遮蔽部材に引きつけられることなく磁界を形成する。そのため、駆動される界磁子とこの界磁子を駆動する電機子との間に形成される磁界の有効磁束密度は、稠密に維持され、遮蔽部材によって悪影響を受けにくくなり、単位ユニットが本来出力可能な推進力が遮蔽部材によって低減されるのを可及的に抑制することが可能になる。

好ましい態様のリニアモータにおいて、前記遮蔽部材は、前記界磁子の移動範囲全体にわたって、隣り合う単位ユニット間に介在する板金部材であり、前記開口部は、前記板金部材に形成された切欠である。この態様では、可動子としての界磁子が何れの範囲で移動しても、遮蔽部材によって、隣り合う単位ユニットの界磁子と隔離された状態になるので、確実に磁力線による悪影響を回避することが可能となる。一方、開口部は、遮蔽部材を構成する板金部材に形成された切欠であるので、製造が容易であり、開放面積等の設定が容易になるという利点がある。

好ましい態様のリニアモータにおいて、前記フレーム部材は、互いに並列に配置された複数の前記単位ユニットを収容するものであり、前記遮蔽部材を構成する板金部材は、前記フレーム部材に固定される底板部と、この底板部から一体に屈曲して隣接する前記単位ユニット間に介在する側板部とを含み、前記開口部を構成する切欠は、前記側板部に形成されている。この態様では、単一のフレーム部材に複数の単位ユニットを装着した多軸リニアモータを構成することが可能になる。そのような場合においても、遮蔽部材は、フレーム部材に固定された底板部と、この底板部と一体に屈曲して隣接する前記単位ユニット間に介在する側板部とを備えているので、この側板部が、駆動されている単位ユニットに隣接する単位ユニットに対し、悪影響を及ぼす磁力線を遮蔽する機能を奏する。しかも、この側板部に、開口部を構成する切欠が形成されているので、駆動されている単位ユニットにおける磁束密度の低減を防止することが可能となる。

好ましい態様のリニアモータにおいて、前記フレーム部材は、少なくとも３つの単位ユニットを並列に収容するものであり、前記遮蔽部材を構成する板金部材は、前記底板部の両側にそれぞれ前記側板部が設けられたコの字形断面に形成されており、当該底板部は、前記３つの単位ユニットのうち、中央に配置された単位ユニットに対向する位置に固定されているとともに、当該側板部は、前記中央に配置された単位ユニットの両側にそれぞれ配置されている。この態様では、少なくとも三軸の単位ユニットのシールド機能を単一の板金部材で奏する遮蔽部材を構成することができる。そのため、部品点数や、組立工数を低減し、コストを低減することが可能になる。また、部品点数が低減するので、軽量化にも寄与する。

本発明の別の態様は、複数の部品吸着ノズルを個別に上下に駆動する駆動機構と、この駆動機構により昇降駆動される部品保持部材とを有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び基板上への部品の実装を行う部品実装装置において、前記駆動機構は、複数の部品吸着ノズル毎に単位ユニットを有する上述のリニアモータであることを特徴とする部品実装装置である。

また、本発明のさらに別の態様は、複数の部品吸着ノズルを個別に上下に駆動する駆動機構と、この駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行う部品検査装置において、前記駆動機構は、複数の部品吸着ノズル毎に単位ユニットを有する上述のリニアモータである部品検査装置である。

上記部品実装装置または上記部品検査装置において、前記駆動機構を構成する前記複数の単位ユニットは、当該界磁子と当該電機子とが対向する対向方向と直交する方向に並設されていることが好ましい。その場合には、複数の部品吸着ノズルを個別に上下に駆動するに当たり、駆動機構を構成する単位ユニットが、当該界磁子と当該電機子とが対向する対向方向と直交する方向に並設されているので、単位ユニットが並設される方向の寸法を可及的に短く設定することができる。しかも、各単位ユニット間に介在する遮蔽部材により、単位ユニットの並設方向を短く設定しても、上述のような不具合を回避することが可能となる。

以上説明したように、本発明によれば、複数の単位ユニットを並列に配置した多軸リニアモータを構成した場合に、通電された単位ユニットと隣り合う単位ユニットの界磁子が、連れ動きする等、悪影響を受けることを防止できるばかりでなく、駆動される単位ユニットの界磁子と電機子との間に形成される有効磁束密度を稠密な状態に維持することができ、単位ユニットが本来出力可能な推進力が遮蔽部材によって低減されるのを可及的に抑制することが可能になるという顕著な効果を奏する。

本件発明者が実施したシミュレーション結果を示すグラフである。 本発明の第１実施形態に係るリニアモータが適用される部品実装装置（本発明に係る部品実装装置）の概略構成を示す平面図である。 ヘッドユニットの具体的な構成を示す正面図である。 ヘッドユニットに対する各ヘッドの構成並びに組み付け方を説明する斜視図である。 ヘッドの構成を示す正面図である。 ヘッドの構成を示す分解斜視図である。 ヘッドの構成を図６とは別の角度から示す分解斜視図である。 第１実施形態に係るヘッドのスタッキング状態を示す断面略図である。 図８の要部を拡大する拡大断面略図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッドユニットの概略構成を示す斜視図である。 第２実施形態に係るヘッドユニットの底面部分略図である。 第２実施形態に係る前列ヘッドの外観を示す斜視図である。 第２実施形態に係る前列ヘッドの分解斜視図である。 第２実施形態に係る前列ヘッドの縦断面略図である。 第２実施形態に係る前列ヘッドの背面部分略図である。 第２実施形態に係る前列ヘッドの横断面部分拡大略図である。 第２実施形態に係る後列ヘッドの横断面部分拡大略図である。 第２実施形態に係る後列ヘッドの変形例を示す横断面部分拡大略図である。

図２は、本発明に係る第１実施形態において、リニアモータが適用される部品実装装置の概略構成を平面図で示している。なお、この図を含め、本説明で使用する図面には、各図の方向関係を明確にするために、加工対象となるプリント基板Ｐが搬送される水平方向をＸ軸方向とし、このＸ軸方向に直交する水平方向をＹ軸方向とし、鉛直線方向をＺ軸方向とするＸＹＺ直角座標系が示されている。また、リニアモータについては、組付時における前記ＸＹＺ直交座標系を踏襲している。

同図に示すように、部品実装装置の基台１０上には、プリント基板搬送機構としてコンベア１２が配置されている。このコンベア１２により、プリント基板Ｐは、同図右側から左側に搬送されて所定の作業位置（同図に示すプリント基板Ｐの位置）に搬入されるようになっている。作業位置の下方領域には、実装作業中にプリント基板Ｐをバックアップピンにより支持するプリント基板支持装置１１が配置されている。

前記コンベア１２の前後両側（Ｙ軸方向の一端側と他端側であり、図２では上下両側。以下、同様）には、それぞれフィーダ設置領域１３が設けられており、これらフィーダ設置領域１３には、例えばパーツフィーダ１４等の部品供給装置がコンベア１２に沿って並列に配置されている。各パーツフィーダ１４は、集積回路（ＩＣ）、トランジスタ、抵抗、コンデンサ等の小片状のチップ部品を所定間隔で収納、保持したテープが巻回されたリールを保持しており、このリールから前記テープを繰り出すことによりフィーダ先端の部品供給位置に部品を供給し、ヘッドユニット１５により部品をピックアップさせるように構成されている。

前記基台１０の上方には、部品実装用の前記ヘッドユニット１５が設けられている。このヘッドユニット１５は、前記パーツフィーダ１４から部品を吸着してプリント基板Ｐ上に搬送するとともに、プリント基板Ｐ上の所定位置に実装するもので、所定領域内でＸ軸方向（コンベア１２によるプリント基板Ｐの搬送方向）及びＹ軸方向にそれぞれ移動可能とされている。すなわち、ヘッドユニット１５は、Ｘ軸方向に延びるヘッドユニット支持部材１８に移動可能に支持されている。また、このヘッドユニット支持部材１８は、その両端部がＹ軸方向に延びる固定レール１７に支持され、この固定レール１７に沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。そして、Ｘ軸サーボモータ２０によりボールねじ軸２１を介してヘッドユニット１５がＸ軸方向に駆動される一方、Ｙ軸サーボモータ２２によりボールねじ軸２３を介してヘッドユニット支持部材１８がＹ軸方向に駆動されるようになっている。

ヘッドユニット１５には、図３に示すように、部品を保持して搬送するための複数のヘッド１６が搭載されており、第１実施形態では、合計１０個のヘッド１６がＸ軸方向に列状に配置されている。各ヘッド１６は、Ｚ軸方向（上下方向）に延びる駆動シャフト３４を有しており、この駆動シャフト３４の先端（下端）には部品吸着用のノズル３５が取付けられている。ノズル３５は、駆動シャフト３４の内部通路及び図略の切換弁等を介して負圧発生装置に接続されており、部品吸着時には、吸着ノズル先端に前記負圧発生装置から負圧吸引力が与えられることにより部品の吸着、保持が可能となっている。この第１実施形態では、この駆動シャフト３４及びノズル３５が本発明に係る部品保持部材に相当する。

ノズル３５（駆動シャフト３４）は、ヘッドユニット１５に対して昇降（Ｚ軸方向の移動）およびノズル中心軸（Ｒ軸）回りの回転が可能とされ、昇降駆動機構および回転駆動機構によりそれぞれ駆動されるようになっている。これらの駆動機構のうち昇降駆動機構は各ヘッド１６に各々組み込まれている。なお、昇降駆動機構を含む各ヘッド１６の構成、及びノズル３５の回転駆動機構の構成については、後に説明する。

ヘッドユニット１５には、プリント基板撮像ユニット２４が搭載されている。このプリント基板撮像ユニット２４は、ＣＣＤ等の撮像素子をもつエリアカメラおよび照明装置等からなり、ヘッドユニット１５に対して下向きの姿勢で固定され、作業位置に搬入されるプリント基板Ｐ上の各種マークを撮像可能となっている。

なお、前記基台１０上には、図２に示すように、ヘッドユニット１５の各ヘッド１６（ノズル３５）に吸着された部品を撮像するための部品撮像ユニット２５が設けられている。この部品撮像ユニット２５も、前記プリント基板撮像ユニット２４と同様にエリアカメラおよび照明装置等から構成されており、基台１０上に上向きの姿勢で固定されている。これにより、部品吸着後、ヘッドユニット１５が部品撮像ユニット２５上方に配置された際に、各ヘッド１６にて吸着された部品を部品撮像ユニット２５により撮像可能となっている。

次に、ヘッドユニット１５および各ヘッド１６の具体的な構成について説明する。

前記ヘッドユニット１５には、上記の通り１０個のヘッド１６が搭載されている。各ヘッド１６は、Ｘ軸方向に扁平なユニット化された部材であり、図３に示すように、Ｘ軸方向に１０個並べた状態で一体にヘッドユニット１５に対して固定されている。

図４〜図７を参照して、前記ヘッド１６は、概略的には、前記ノズル３５を下端部に備える前記駆動シャフト３４と、この駆動シャフト３４とノズル３５等をＺ軸方向に駆動するリニアモータと、ノズル３５等に対して上向きの付勢力を付与するリターンスプリング４８とを備えている。

リニアモータは、本発明に係るフレーム部材の一例としてのフレーム３０と、フレーム３０に収容される単位ユニット４０と、前記駆動シャフト３４をＺ軸方向に案内するリニアガイド３２とを備えている。このフレーム３０には、駆動シャフト３４やリターンスプリング４８が組込まれており、ヘッド１６がユニット化されている。また、単位ユニット４０は、固定子４２及び可動子４４を二つ一組にしたものであり、これら二つ一組の単位ユニット４０毎にフレーム３０が設けられている。第１実施形態では、合計１０個のヘッド１６がＸ軸方向に列状に配置されている結果、これら複数のヘッド１６のアセンブリは、単位ユニット４０とフレーム３０のアセンブリを複数セット連設した多軸リニアモータをも構成している。ヘッド１６の各ノズル３５（駆動シャフト３４）は、それぞれ多軸リニアモータの単位ユニット４０によってＺ軸方向に個別に駆動されるように構成されている。また、対応する単位ユニット４０が停止している時には、リターンスプリング４８の付勢力によりノズル３５が上方位置に保持されるように構成されている。

次に、リニアモータについて、詳細に説明する。

前記フレーム３０は、サイドプレート３０１の周囲一部分に壁部３０２を備えたＸ軸方向に扁平な皿形の部材で、表面処理を施したアルミ合金等の非磁性体により構成されている。

単位ユニット４０は、上記の通り固定子４２と可動子４４とを二つ一組にしたユニットである。固定子４２は、櫛型のコア４２１にコイル４２２が装着された電機子を備えている。

コア４２１は、Ｚ軸方向に延びるヨーク４２１ａと、ヨーク４２１ａの側部からＹ軸方向の後側に向かい直角に突出する多数のティース４２１ｂとを一体に有する櫛型の磁性体である。一方、固定子４２の前記コア４２１の両端には、ティース並び方向（Ｚ軸方向）に延設される延設部４２１ｃ、４２１ｃが一体に形成されている。コア４２１は、第１実施形態では、プレート状の複数の構成部材をフレーム３０の法線方向（Ｘ軸方向）に積層した構造を有している。そのため、コア全体の一体性を保ちつつ安定的に、かつ強固に固定子４２をフレーム３０に対して固定する観点から、コア４２１のヨーク４２１ａには、前記法線方向（Ｘ軸方向）に貫通する貫通孔が形成され、当該貫通孔を介してボルト４２５がサイドプレート３０１のねじ孔３０１ａに螺合挿入されることによりフレーム３０に前記固定子４２が固定される構成となっている。なお、コア４２１としては、ブロック状の一体形成品を採用してもよい。その場合には、例えばコア４２１の延設部４２１ｃにＹ軸方向に貫通する貫通孔を形成し、この貫通孔を介してボルトを前記突部３０３に螺合挿入することにより、フレーム３０に対して前記固定子４２を固定するようにしてもよい。

電機子の要部には、ハーネス４２４（図４及び図６にコネクタ部分のみ図示）がフレーム３０の上部に取り付けられている。このハーネス４２４を介して、コイル４２２には、１２０°毎に位相の異なる三相電流が流されるように構成されており、通電時に各コイル４２２に磁界を発生させ、固定子４２との間で可動子４４をＺ軸方向に推進する力を得て、当該可動子４４をＺ軸方向に移動させるように構成されている。

可動子４４は、全体として、固定子４２に対してＹ軸方向に横並びに設けられている。可動子４４は、Ｚ軸方向に延びる断面Ｈ字型のスライドベース４４１を有しており、このスライドベース４４１の側面（固定子４２との対向面）にバックヨーク４４３を介して、界磁子を構成する複数の永久磁石４４２が配列された構成となっている。界磁子は、具体的には、固定子４２側がＮ極、可動子４４側がＳ極の永久磁石４４２と、固定子４２側がＳ極、可動子４４側がＮ極の永久磁石４４２とがＺ軸方向に交互に配列されることにより、構成されている。そして、この可動子４４がリニアガイド３２の後記スライダ３２２に固定されることにより、界磁子としての永久磁石４４２がＹ軸方向において、電機子としてのコイル４２２に対向し、通電時に各コイル４２２との間でＺ軸方向の推進力を得て、当該可動子４４がＺ軸方向に移動可能となっている。

リニアガイド３２は、Ｚ軸方向に延びるレール３２１と、このレール３２１に対してＺ軸方向にスライド自在に、かつＺ軸方向と直交する方向への移動不能に装着される複数のスライダ３２２、３２２とから構成されており、前記レール３２１がサイドプレート３０１にボルトで固定されることによりフレーム３０に組み込まれている。そして、このリニアガイド３２の各スライダ３２２、３２２に対して単位ユニット４０の前記可動子４４（スライドベース４４１）が固定されている。これにより図外のリニア駆動制御部から前記単位ユニット４０の固定子４２に所定の駆動信号が与えられると、その駆動信号に応じた方向及び速度で可動子４４がＺ軸方向に駆動される構成となっている。

なお、固定子４２と可動子４４は、これらの間（正確には、櫛形のコア４２１の可動子側端部と永久磁石４４２の固定子側表面とのＹ軸方向の間隔）に所定のギャップが形成された状態でフレーム３０に固定されている。

詳しく説明すると、前記サイドプレート３０１には、一対の突部３０３、３０３が一体形成されている。突部３０３、３０３は、Ｙ軸方向を法線とする固定子位置決め用の基準面３０４を有している（図４参照）。そして、各突部３０３、３０３の基準面３０４に対し、コア４２１の各延設部４２１ｃが、Ｙ軸方向において、前記可動子４４側とは反対側から突き当てられ、この状態でコア４２１に形成される貫通孔を介してボルト４２５がサイドプレート３０１のねじ孔３０１ａに螺合挿入されている。これにより前記固定子４２がＹ軸方向に位置決めされた状態でフレーム３０に組付けられている。

また、前記サイドプレート３０１には、可動子位置決め用の突条３０５が一体形成されており（図６、図７参照）、この突条３０５の側部に対し、前記レール３２１が、Ｙ軸方向において前記固定子４２側とは反対側から突き当てられ、この状態で、当該レール３２１に形成される貫通孔を介してボルト３２５がサイドプレート３０１のねじ孔３０１ｂに螺合挿入されている。これによりリニアガイド３２を介して前記可動子４４がＹ軸方向に位置決めされた状態でフレーム３０に組付けられている。なお、レール３２１をサイドプレート３０１に組付けた後に前記可動子４４をスライダ３２２の定められた位置に組付けてもよいし、予め前記可動子４４をスライダ３２２に組付けてからレール３２１をサイドプレート３０１に組付けてもよい。

このように、前記固定子４２及び可動子４４がそれぞれＹ軸方向に位置決めされた状態でフレーム３０に組付けられることにより、固定子４２と可動子４４との間に所定寸法のギャップが形成されている。なお、フレーム３０には、図略のストッパが設けられており、このストッパにより、スライダ３２２のＺ軸方向の移動範囲が規制されている。

ところで、上述のような単位ユニット４０を備えたヘッド１６は、Ｘ軸方向に重ね合わされて、多軸リニアモータを構成する。その場合に、駆動対象となるヘッド１６に係る単位ユニット４０の電機子（コイル４２２）に電流が流れ、磁場が形成されると、隣り合うヘッド１６に係る単位ユニット４０の可動子４４が、当該磁場の影響を受けて、駆動対象となっている可動子４４と一緒に移動する連れ動きが生じるおそれがある。そこで、第１実施形態では、かかる事態を防止するため、遮蔽部材の一例である磁性体プレート５００をフレーム３０に設けている（図６〜図８参照）。

図６〜図８を参照して、磁性体プレート５００は、サイドプレート３０１のベース面３０１ｃに対し、当該突条３０５の固定子４２側に沿って固定されている。磁性体プレート５００は、例えば、鉄製の板金部材で形成されており、サイドプレート３０１上において、Ｚ軸方向の全長にわたって延びている。従って、可動子４４は、全ストローク範囲において、この磁性体プレート５００と対向するようになっている。磁性体プレート５００の固定は、図略のリベットまたは接着剤、或いは、リベット及び接着剤を併用した状態で堅固にサイドプレート３０１に固定されている。

磁性体プレート５００の形状としては、Ｚ軸方向に長く延びる概ね長方形に形成されている。このような磁性体プレート５００を設けているので、第１実施形態では、図３に示すように複数のヘッド１６をＸ軸方向に重装（積層）したとしても、図８に拡大して示すように、各ヘッド１６の単位ユニット４０、４０間は、磁性体プレート５００によってシールドされることになる。この結果、何れかの単位ユニット４０に係る固定子４２のコイル４２２に通電されて、磁界が形成された場合に、磁力線がＸ軸方向に流れて隣り合うヘッド１６に係る単位ユニット４０に悪影響を及ぼす恐れはない。

さらに、第１実施形態において、特筆すべき点は、図６及び図７に示すように、磁性体プレート５００が固定子４２のコイル４２２と対向する部位は、一部が切り欠かれて、各コイル４２２に隣接する開口部としての切欠５０１が形成されている点である。開口部としては、切欠５０１に限らず、孔であってもよい。また、切欠５０１のＺ軸方向の寸法Ｌｍは、電機子を構成するコイル群のＺ軸方向の寸法Ｌｃ以上（同じか、或いは、寸法Ｌｃよりも幾分長く）に設定される。このような切欠５０１等により、図９に示すように、可動子４４の永久磁石４４２は、各コイル４２２とのみ対向するので、コイル４２２と永久磁石４４２との間に形成される磁力線は、図の破線で示す磁界を形成し、コイル４２２と永久磁石４４２との間で高い有効磁束数（或いは磁束密度）を維持することが可能になる。切欠５０１等、コイル４２２に隣接する切欠５０１を設けた場合、この永久磁石４４２の磁力線は、図９の仮想線で示すように、隣り合う単位ユニット４０の方へ流れてしまうようにも思われるが、実際は、そのようにはならない。その理由は、永久磁石４４２がコイル４２２に対向する位置では、この切欠５０１によって、永久磁石４４２の側部が開放されることになるので、永久磁石４４２と磁性体プレート５００との距離が遠くなるため、永久磁石４４２の磁力線は、最も近くにある磁性体に向かうこととなり、却って固定子４２のコア４２１に向かって流れるからである。従って、磁力線の流れによって形成される磁場の有効磁束数（或いは磁束密度）は、高い水準に維持される。一方、切欠５０１等がない場合には、永久磁石４４２がコイル４２２に対向する位置での磁力線は、近接する磁性体プレート５００にも流れてしまうので、仮想線で示すように、磁力線が分布し、コイル４２２と永久磁石４４２との間の有効磁束数（或いは磁束密度）は、図１で示したように、却って低減するのである。従って、第１実施形態のような切欠５０１等を設けることにより、複数のヘッド１６をＸ軸方向に重装（積層）した状態で、何れかの単位ユニット４０に係る固定子４２のコイル４２２に通電した場合に、磁力線がＸ軸方向に流れて隣り合うヘッド１６に係る単位ユニット４０に悪影響を及ぼす恐れがなくなり、しかも、有効磁束数（或いは磁束密度）を高い水準に維持することが可能となる。

図４及び図５を参照して、単位ユニット４０の可動子４４には、駆動シャフト３４が取付けられている。詳しくは、前記スライドベース４４１の下端部分に、前記固定子４２の下方位置に向かってＹ軸方向に延びる取付アーム３７が固定され、この取付アーム３７の下面にシャフト支持部材３６を介して駆動シャフト３４が取付けられている。

駆動シャフト３４は、中空軸からなり、シャフト支持部材３６に対してＲ軸回りに回転自在に支持されるとともに、このシャフト支持部材３６に設けられる負圧導入用のポート３６１及び図外の負圧通路を介して前記負圧発生装置に接続されている。

駆動シャフト３４は、図示されないスプライン機構等により、Ｚ軸方向に変位可能に、かつシャフト中心回り（Ｒ軸回り）に回転自在に、前記ヘッドユニット１５に保持されている。

前記リターンスプリング４８は、単位ユニット４０の前記固定子４２を挟んでリニアガイド３２とは反対側の位置に配設されている。このリターンスプリング４８は、前記フレーム３０の上端部分と前記取付アーム３７とに亘って装着されており、取付アーム３７及びシャフト支持部材３６を介して前記駆動シャフト３４に上向きの付勢力が付与されている。これにより、上述したように、リターンスプリング４８は、対応する単位ユニット４０が停止している時には、ノズル３５が上方位置に保持されるように付勢する。

図４及び図６を参照して、ヘッド１６には、可動子４４及び駆動シャフト３４（ノズル３５）の位置を検出するための位置検出手段の一例としての磁気センサ４５が組込まれている。すなわち、フレーム３０には、前記サイドプレート３０１に設けられたセンサ支持部３０６と、このセンサ支持部３０６に取り付けられた磁気センサ４５が設けられている。一方、図６に示すように、単位ユニット４０の前記可動子４４には、磁気的に目盛りを記録したプレート状の磁気スケール４６がスライドベース４４１に沿って固定されている。磁気センサ４５は、ＭＲセンサやホールセンサ等で具体化されており、この磁気センサ４５により磁気スケール４６を読み取ることにより、可動子４４及び駆動シャフト３４（ノズル３５）の位置が検出可能となっている。なお、図中符号４５１は、磁気センサ４５の制御基板等を被うカバー部材である。

このように構成された１０個のヘッド１６が互いにＸ軸方向に重装され、前記ヘッドユニット１５に対してその前面側（ヘッドユニット支持部材１８側とは反対側）にリターンスプリング４８が位置する状態で一体に固定されている。

図３及び図４を参照して、具体的には、前記フレーム３０のうちリニアガイド３２等の組付け面側に一対の位置決めピン３１０、３１０が突設される一方、他面側にはこれに対応する図外の位置決め孔が穿設されており、これら位置決めピン３１０、３１０が隣接するヘッド１６の位置決め孔に挿入されることによって各ヘッド１６が互いに位置決めされた状態でＸ軸方向に重装されている。そして、この重装されたヘッド１６群に対してそのＸ軸方向外側から各々取付用フレーム１５ｂが重装され、各フレーム３０に形成される貫通孔３１２を通じて取付用フレーム１５ｂ及びヘッド１６群がボルト１５１、ナット１５２により一体に締結された上で、両取付用フレーム１５ｂがヘッドユニット１５の本体フレーム１５ａに対して位置決め固定されている。これによって１０個のヘッド１６が一体に前記ヘッドユニット１５に固定されている。

ヘッドユニット１５に固定された各ヘッド１６の駆動シャフト３４は、図３に示すように、本体フレーム１５ａに設けられる保持部１５ｃにより保持されている。さらに、駆動シャフト３４は前記保持部１５ｃに回転自在に支持され、図外の駆動ベルト等により、前記本体フレーム１５ａに固定された駆動モータ（回転型モータ）２６、２６の駆動プーリ（図示省略）に連結されており、これによって上記回転駆動機構が構成されている。

上記のように構成された部品実装装置では、次のようにして部品の実装が行われる。

まず、図２及び図３を参照して、ヘッドユニット１５は、フィーダ設置領域１３に移動して各ヘッド１６による部品の吸着を実行する。具体的には、所定のヘッド１６がパーツフィーダ１４の上方に配置された後、部品吸着を実行するヘッド１６に係る単位ユニット４０により、駆動シャフト３４が昇降駆動され、これによりノズル３５が下降してテープ内の部品を吸着して取出す。この際、可能な場合には、複数のヘッド１６により同時に部品の取出しが行われる。部品の吸着が完了すると、所定の経路に沿ってヘッドユニット１５が部品撮像ユニット２５の上方を経由してからプリント基板Ｐ上に移動する。この移動中に、各ヘッド１６（ノズル３５）による部品の吸着状態が画像認識されて実装時の補正量が演算される。そして、ヘッドユニット１５がプリント基板Ｐ上の最初の実装位置に到達すると、単位ユニット４０により駆動シャフト３４が昇降駆動されプリント基板Ｐ上に部品が実装され、以降、ヘッドユニット１５が順次実装位置に移動することによりプリント基板Ｐ上に残りの吸着部品が実装されることとなる。

以上のような動作において、第１実施形態では、上述のような磁性体プレート５００を設けているので、何れかの単位ユニット４０に係る固定子４２のコイル４２２に通電した場合に、当該コイル４２２とこのコイル４２２に対向する可動子４４の永久磁石４４２との間には、図９に示すように、磁束密度の高い磁場が形成されることになる。しかも、磁力線がＸ軸方向に流れて隣り合うヘッド１６に係る単位ユニット４０に悪影響を及ぼす恐れがなくなり、制御の安定性や信頼性を向上させることができる。

次に、本発明の第２実施形態について説明する。

図１０及び図１１を参照して、同図に示すヘッドユニット６００は、ヘッドフレーム６０１と、このヘッドフレーム６０１に支持され、図略のパーツフィーダ（図２のパーツフィーダ１４参照）の並び方向（Ｘ軸方向）に沿って並ぶ二つの前列ヘッド６１０と、この前列ヘッド６１０の背後においてヘッドフレーム６０１に支持され、当該並び方向に沿って並ぶ二つの後列ヘッド６２０とを備えている。前列ヘッド６１０及び後列ヘッド６２０は、何れも多軸リニアモータで構成されたユニットであり、前列ヘッド６１０は、三本の駆動シャフト３４を有し（図１２参照）、後列ヘッド６２０は、二本の駆動シャフト３４を有している。

図１０に示したようなヘッドユニット６００は、タンデム式ヘッドとも呼称され、複数のタイミングベルトで各駆動シャフト３４に設けられた図略の動力機構を駆動することにより、第１実施形態におけるＲ軸回りの駆動を一斉に実行することができるように構成されている。これとともに、ヘッドユニット６００は、駆動シャフト３４毎に設けられた単位ユニット４０によって、個別に昇降動作を実行することができるようになっている。

以下、図１２〜図１６を参照しながら、３軸の前列ヘッド６１０の構成について説明する。

まず、前列ヘッド６１０は、概略的には、３軸構成の多軸リニアモータと、多軸リニアモータによって上下に個別に駆動される駆動シャフト３４と、駆動シャフト３４の下端部に取り付けられるノズルと、リターンスプリング７５５とを備えている。駆動シャフト３４、及びノズルの原理的な構成、或いは、機能等は、それぞれ第１実施例の駆動シャフト３４、及びノズル３５と同様であるので、重複する説明を省略する。

多軸リニアモータは、本発明に係るフレーム部材の一例としてのフレーム６３０と、フレーム６３０に収容されて、前記駆動シャフト３４をＺ軸方向に駆動する単位ユニット７００とを備えている。

フレーム６３０は、Ｙ軸方向を法線とするエンドブロック６３１と、エンドブロック６３１のＸ軸方向両側に配置される一対のサイドプレート６３２と、両サイドプレート６３２を上記エンドブロック６３１との間でＹ軸方向に挟むフロントフレーム６３３とを有している。

エンドブロック６３１は、概ねＺ軸方向に長く延びる長方形に形成されている。エンドブロック６３１の前面には、長手方向に間隔を隔てて形成された複数の溝（図示の例では、２箇所）６３１ａが形成されている。各溝６３１ａには、複数の取り付けボルト６３４が反対面から貫通している。取り付けボルト６３４は、１つの溝６３１ａに対し、例えば、４個ずつ設けられており、エンドブロック６３１の幅方向（Ｘ軸方向）に沿って等配されている。一方、各溝６３１ａには、それぞれレールガイド６３５が載置されている。各レールガイド６３５は、それぞれの溝６３１ａに設けられた取り付けボルト６３４により固定されている。本実施形態において、前列ヘッド６１０は、３軸のリニアモータを構成するものであり、各レールガイド６３５には、Ｚ軸方向に沿って延びる三条のガイド溝６３５ａが形成されている（図１６参照）。一方のレールガイド６３５に形成されたガイド溝６３５ａと他方のレールガイド６３５に形成されたガイド溝６３５ａとは、それぞれＺ軸方向に沿って対向している。従って、各ガイド溝６３５ａに沿って、後述する可動子７４０を構成するレール７４１を挿通することにより、レールガイド６３５は、レール７４１をＺ軸に沿って、個別に往復移動することができるようになっている。なお、レールガイド６３５の個数や、レール７４１の本数は、構成されるリニアモータの仕様によって適宜変更が可能である。なお、図１３では省略されているが、レールガイド６３５は、両ガイド溝６３５ａ、６３５ａ間にさらに二組設けられている（図１４参照）。

エンドブロック６３１の幅方向中央部には、チャネル状のブラケット６５０が、Ｚ軸方向に沿って、ビス６５１により固定されている。ブラケット６５０は、詳しくは後述するように第２実施形態における遮蔽部材の一例である。

エンドブロック６３１の平面視４隅部と、幅方向両側の２箇所には、当該エンドブロック６３１の背後からＹ軸方向に抜けて前方に延びる連結ボルト６３６が挿通されている。連結ボルト６３６は、エンドブロック６３１に組み付けられるサイドプレート６３２の挿通孔６３２ｂを挿通し、このサイドプレート６３２の前端部に配置されるフロントフレーム６３３の背面に形成された図略のねじ孔に螺合することにより、エンドブロック６３１、サイドプレート６３２、並びにフロントフレーム６３３を一体的な構造体（フレーム部材）として連結している。

サイドプレート６３２には、背面側にレールガイド６３５との干渉を避ける切欠凹部６３２ａが形成されている。また、具体的には、図示していないが、サイドプレート６３２の背面（組み付け時にエンドブロック６３１と対向する面）には、位置決め用の有底の穴が形成されている。エンドブロック６３１には、各穴に対応する位置決め突起６３７が前面に立設されており、各突起６３７を対応する各穴に嵌合させることにより、サイドプレート６３２との精緻な組立精度が確保されている。

フロントフレーム６３３は、サイドプレート６３２の前端面に背面を接合して、フレーム６３０の前部の外殻を構成する略長方形の枠体であり、その内部には、多軸リニアモータを構成している単位ユニット７００を取り付ける上仕切り枠６３３ａと、下仕切り枠６３３ｂとが一体に形成されている。上仕切り枠６３３ａは、フロントフレーム６３３の外殻部分によって区画される空間を幅方向（Ｘ軸方向）において、三分割する２条の部材であり、これら上仕切り枠６３３ａによって区画される空間内に、単位ユニット７００のＺ軸方向における上端部分が精緻に位置決めされた状態で取り付けられるようになっている。また、下仕切り枠６３３ｂは、上仕切り枠６３３ａに対し、Ｚ軸方向に対向し、フロントフレーム６３３の外殻部分によって区画される空間を幅方向（Ｘ軸方向）において、三分割する２条の部材である。下仕切り枠６３３ｂによって区画される空間内には、単位ユニット７００のＺ軸方向における下端部分が精緻に位置決めされた状態で取り付けられるとともに、当該単位ユニット７００のＺ軸方向下側に配置される三連のエンコーダ６６０が、同じく位置決めされた状態で取り付けられるように構成されている。また、具体的には、図示していないが、フロントフレーム６３３の背面（組み付け時にサイドプレート６３２と対向する面）には、位置決め用の有底の穴が形成されている。サイドプレート６３２には、各穴に対応する位置決め突起６３８が前面に立設されており、各突起６３８を対応する各穴に嵌合させることにより、フロントフレーム６３３との精緻な組立精度が確保されている。

多軸リニアモータを構成する単位ユニット７００は、それぞれ固定子７２０と可動子７４０とを二つ一組にしたユニットである。固定子７２０は、コア７２１（のティース）にコイル７２２が装着された電機子を備えている。

コア７２１は、Ｚ軸方向に延びるヨークとヨークの側部からＹ軸方向の後側に向かい直角に突出する多数のティースとを一体に有する櫛型の磁性体である。コア７２１は、第１実施形態と同様に、プレート状の複数の構成部材をエンドブロック６３１の法線方向（Ｘ軸方向）に積層した構造を有している。無論、これとは別に、ブロック状に一体形成されたコアを用いてもよい。

電機子は、それぞれがフロントフレーム６３３の上仕切り枠６３３ａと下仕切り枠６３３ｂの間に掛け渡されるように位置決めされ、Ｘ軸方向に延びる複数のボルト７２３でフロントフレーム６３３とともに共締めされている。また、各コイル７２２に通電するハーネス７２４が、フロントフレーム６３３の前方から上方に沿って配置されており、これらのハーネス７２４を図略の給電系と接続されるようになっている。コイル７２２には、１２０°毎に位相の異なる三相電流が流されるように構成されており、通電時に各コイル７２２に磁界を発生させることにより、固定子７２０との間で可動子７４０をＺ軸方向に推進する力を得て、可動子７４０を当該Ｚ軸方向に移動させるように構成されている。

第２実施形態においても、可動子７４０は、全体として、固定子７２０に対してＹ軸方向に横並びに（前後に並列に）設けられている。一方、第２実施形態における可動子７４０は、第１実施形態におけるスライドベース４４１を省略し、レール７４１に直接バックヨーク７４２をボルト７４４等で固定して、このバックヨーク７４２に、界磁子を構成する複数の永久磁石７４３を配列した構成となっている。永久磁石７４３の具体的な構成は、第１実施形態と同様である。そして、レール７４１が上述したレールガイド６３５に連結されることにより、界磁子としての永久磁石７４３を含む可動子７４０は、Ｙ軸方向において、電機子としてのコイル７２２に対向し、通電時に各コイル７２２との間でＺ軸方向の推進力を得て、Ｚ軸方向に移動可能となっている。また、第２実施形態においても、固定子７２０がフロントフレーム６３３に取り付けられ、可動子を構成するレール７４１がエンドブロック６３１に固定されたレールガイド６３５にガイドされることにより、固定子７２０と可動子７４０は、これらの間（正確には、櫛形のコア７２１の可動子側端部と永久磁石７４３の固定子側表面とのＹ軸方向の間隔）に所定のギャップが形成された状態でフレーム６３０に固定される。

各レール７４１の下端部には、Ｚ軸方向に延びる連結部材７５０がそれぞれ取り付けられている。各連結部材７５０は、内部が中空になっている矩形断面のスリーブ７５１と、スリーブ７５１の下端部分に設けられた取付部７５２とを一体に有する構造体である。スリーブ７５１の前面（エンコーダ６６０と対向する面）には、それぞれ対応するエンコーダ６６０に対して、Ｙ軸方向に対向するリニアスケール７５３が設けられており、エンコーダ６６０がリニアスケール７５３の位置を検出することによって、可動子７４０のＺ軸方向の位置が制御されるようになっている。

取付部７５２は、駆動シャフト３４の上端部分をねじ止めする部位であり、上下に並ぶ例えば２つのねじ孔７５２ａが形成されている。

取付部７５２の上端前面には、Ｙ軸に沿って前方に突出するスタッドピン７５４が立設されており、スタッドピン７５４には、リターンスプリング７５５の一端部７５５ａが取り付けられている。リターンスプリング７５５は、スリーブ７５１の内部を通って、他端部７５５ｂをスリーブ７５１の上方に臨ませている。この他端部７５５ｂは、組立時にフロントフレーム６３３に対し、図略のボルトでフロントフレーム６３３に取り付けられている。この結果、リターンスプリング７５５は、常時、取付部７５２を介して、可動子７４０を構成するレール７４１をＺ軸に沿って上方に付勢する構成になっている。

以上のような構成において、第２実施形態においては、ブラケット６５０がフレーム６３０に取り付けられている（図１３参照）。

ブラケット６５０は、断面コの字形の板金部材であり、エンドブロック６３１に固定される底板部６５２と、底板部６５２の幅方向（Ｘ軸方向）両側から起立する一対の側板部６５３とを一体に有している。底板部６５２の長手方向（Ｚ軸方向）の途中部分および下端部分（Ｚ軸方向において、下側に配置される側）は、側板部６５３とともに切り欠かれて、エンドブロック６３１に固定されるレールガイド６３５との干渉が回避されるようになっている。この状態で、ブラケット６５０は、当該底板部６５２が正面からビス６５１でねじ止めされることにより、エンドブロック６３１と一体化されるようになっている。

図１４及び図１５を参照して、エンドブロック６３１に組み付けられた底板部６５２は、三連に配設されたレール７４１のうち、真ん中のレール７４１に対して、中心線が合致するようにＹ軸方向に対向している。そして、この底板部６５２から延びる側板部６５３は、当該真ん中のレール７４１の両側に介在して、隣接するレール７４１、７４１との間を仕切っている。

ブラケット６５０の側板部６５３は、界磁子を構成する永久磁石７４３のＺ軸方向におけるストローク範囲ＳＴ全長にわたって延びており、これによって、何れかのレール７４１に対応する電機子が通電されて、当該電機子を構成するコイル７２２のコア７２１（ティース）とこれに対応するレール７４１の永久磁石７４３との間に磁力線が発生しても、その磁力線が隣接するレール７４１の永久磁石７４３に対して悪影響を与える恐れはない。そのため、ブラケット６５０（の側板部６５３）は、各レール７４１をシールドして、磁力線の悪影響を防止する遮蔽部材として機能することになる。

しかも、第２実施形態においては、各側板部６５３には、コイル７２２と隣接する部位に開口部としての切欠６５４を設け、各レール７４１に固定された永久磁石７４３がコイル７２２と対向する位置では、この切欠６５４が当該永久磁石７４３の側部を開放するように構成されている。

図１６に示すように、第２実施形態においても、ブラケット６５０（の側板部６５３）は、各可動子７４０をシールドする遮蔽部材として機能する一方、永久磁石７４３がコイル７２２と対向する位置では、永久磁石７４３の側部を開放する開口部としての切欠６５４が形成されているので、この部分で永久磁石７４３と電機子（コア７２１、コイル７２２）との間に生じる磁力線がブラケット６５０側に流れて、推力を生じする有効磁束数（磁束密度）が低減することを防止可能となる。この結果、第２実施形態におけるように、多軸リニアモータを構成した場合においても、通電時に磁力線が隣り合うヘッド１６に係る単位ユニット４０に悪影響を及ぼす恐れがなくなり、しかも、有効磁束数（或いは磁束密度）を高い水準に維持することが可能となる。

なお、後列ヘッド６２０の構成は、単位ユニット７００の個数が２個になっている点を除いては、概ね前列ヘッド６１０の構成と同等である。但し、図１７に示すように、後列ヘッド６２０のブラケット６５０は、何れか一方（図示の例では、右側）の単位ユニット７００の直下に配置されており、その形状も、コの字形断面ではなく、Ｌ字形断面になっている。このように、遮蔽部材としては、磁性体プレート５００やコの字形断面のブラケット６５０に限らず、Ｌ字形断面のブラケット６５０を採用してもよい。

以上説明したように、本発明の各実施形態においては、複数の単位ユニット４０、７００を並列に配置し、多軸リニアモータを構成することができる。その場合に、隣接する単位ユニット４０、７００間に、磁性材料からなる遮蔽部材として、第１実施形態の磁性体プレート５００や、或いは第２実施形態のブラケット６５０が介在し、これら遮蔽部材としての磁性体プレート５００や、或いは第２実施形態のブラケット６５０が隣り合う単位ユニット４０、７００をシールドする。そのため、各単位ユニット４０、７００の永久磁石４４２、７４３の磁力線は、電機子のコイル４２２、７２２と外れた位置では、遮蔽部材（磁性体プレート５００、ブラケット６５０）を通り、遮蔽部材（磁性体プレート５００、ブラケット６５０）によって磁力線が遮蔽され、隣側の単位ユニット４０、７００へ漏れにくくなる。この結果、何れかの単位ユニット４０、７００の電機子に通電して、可動子４４、７４０を駆動した場合に、通電された単位ユニット４０、７００と隣り合う単位ユニット４０、７００の界磁子が、連れ動きする等、悪影響を受けるおそれはない。しかも、遮蔽部材（磁性体プレート５００、ブラケット６５０）には、当該フレーム３０、６３０に収容された電機子のコイル４２２、７２２に隣接する開口部としての切欠５０１、６５４が形成されているので、駆動される単位ユニット４０、７００の磁力線は、当該永久磁石４４２、７４３が電機子と対向する位置では、切欠５０１、６５４によって、永久磁石４４２、７４３の側部がＸ軸方向において、開放されることとなる。従って、駆動される単位ユニット４０、７００の磁力線は、永久磁石４４２、７４３が電機子と対向する位置では、大部分が遮蔽部材（磁性体プレート５００、ブラケット６５０）に引きつけられることなく磁界を形成する。そのため、駆動される界磁子とこの界磁子を駆動する電機子との間に形成される磁界の有効磁束密度は、稠密に維持され、遮蔽部材（磁性体プレート５００、ブラケット６５０）によって悪影響を受けにくくなり、単位ユニット４０、７００が本来出力可能な推進力が遮蔽部材（磁性体プレート５００、ブラケット６５０）によって低減されるのを可及的に抑制することが可能になる。

また、各実施形態において、遮蔽部材（磁性体プレート５００、ブラケット６５０）は、界磁子の移動範囲全体にわたって、隣り合う単位ユニット４０、７００間に介在する板金部材であり、開口部としての切欠５０１、６５４は、板金部材のうち、当該電機子と対向する部位に形成された切欠５０１、６５４である。このため本発明の各実施形態では、可動子４４、７４０としての界磁子が何れの範囲で移動しても、遮蔽部材（磁性体プレート５００、ブラケット６５０）によって、隣り合う単位ユニット４０、７００の界磁子と隔離された状態になるので、確実に磁力線による悪影響を回避することが可能となる。一方、開口部としての切欠５０１、６５４は、遮蔽部材（磁性体プレート５００、ブラケット６５０）を構成する板金部材に形成された切欠５０１、６５４であるので、製造が容易であり、開放面積等の設定が容易になるという利点がある。

また、第２実施形態において、フレーム６３０は、互いに並列に配置された複数の単位ユニット７００を収容するものであり、遮蔽部材としてのブラケット６５０を構成する板金部材は、フレーム６３０に固定される底板部６５２と、この底板部６５２から一体に屈曲して隣接する単位ユニット７００間に介在する側板部６５３とを含み、開口部としての切欠６５４は、側板部６５３に形成されている。このため第２実施形態では、単一のフレーム６３０に複数の単位ユニット７００を装着した多軸リニアモータを構成することが可能になる。そのような場合においても、遮蔽部材としてのブラケット６５０は、フレーム６３０に固定された底板部６５２と、この底板部６５２と一体に屈曲して隣接する単位ユニット７００間に介在する側板部６５３とを備えているので、この側板部６５３が、駆動されている単位ユニット７００に隣接する単位ユニット７００に対し、悪影響を及ぼす磁力線を遮蔽する機能を奏する。しかも、この側板部６５３に、開口部を構成する切欠６５４が形成されているので、駆動されている単位ユニット７００における磁束密度の低減を防止することが可能となる。

また、第２実施形態において、フレーム６３０は、少なくとも３つの単位ユニット７００を並列に収容するものであり、遮蔽部材としてのブラケット６５０を構成する板金部材は、底板部６５２の両側にそれぞれ側板部６５３が設けられたコの字形断面に形成されており、当該底板部６５２は、３つの単位ユニット７００のうち、中央に配置された単位ユニット７００に対向する位置に固定されているとともに、当該側板部６５３は、中央に配置された単位ユニット７００の両側にそれぞれ配置されている。このため本実施形態では、三軸の単位ユニット７００のシールド機能を単一の板金部材で奏する遮蔽部材をブラケット６５０によって構成することができる。そのため、部品点数や、組立工数を低減し、コストを低減することが可能になる。また、部品点数が低減するので、軽量化にも寄与する。

なお、以上説明した部品実装装置は、本発明に係るリニアモータが適用される部品実装装置（本発明に係る部品実装装置）の好ましい実施形態の一例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

例えば、第１実施形態のリニアモータでは、固定子４２を、突部３０３に対して可動子４４側とは反対側から当接させ、またレール７４１を、突条３０５に対して固定子４２側とは反対側から当接させることにより、固定子４２及び可動子４４を位置決めする構成となっているが、勿論、位置決め部に対する固定子４２及びレール７４１（リニアガイド３２）の当付け方向は、固定子４２及び可動子４４を適切に位置決めできれば、特に限定されるものではない。

また、第１実施形態のリニアモータでは、位置決め部としてフレーム３０に突部３０３及び突条３０５が一体形成されているが、例えば突部３０３及び突条３０５は、フレーム３０とは別体に設けられたものであり、ボルト等の固定手段により突条３０５に固定されるものであってもよい。但し、位置決めの信頼性の観点から、実施形態のようにフレーム３０に一体形成されている方が望ましい。

また、図１８に示すように、第２実施形態において、三軸の単位ユニット７００を設ける場合、両側の単位ユニット７００の背後にそれぞれブラケット６５０を配置するようにしてもよい。

また、各実施形態において、遮蔽部材の開口部は、切欠に限らず、例えば、開口であってもよい。

また、各実施形態では、部品実装装置を例に本発明の適用について説明したが、本発明の適用対象は部品実装装置に限定されるものではなく、例えば、部品を保持可能な部品保持部材が搭載された移動可能なヘッドユニットを備え、リニアモータを有する駆動機構により部品保持部材をヘッドユニットに対して昇降駆動することにより部品供給部からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行うように構成された部品検査装置についても本発明は適用可能である。

このように、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることはいうまでもない。

１０ 基台
１５ ヘッドユニット
１６ ヘッド
３０ フレーム（フレーム部材の一例）
３２ リニアガイド
３４ 駆動シャフト
３５ ノズル
４０ 単位ユニット
４２ 固定子
４４ 可動子
３２１ レール
４２１ コア（電機子の要部の一例）
４２２ コイル（電機子の要部の一例）
４４２ 永久磁石（界磁子の一例）
５００ 磁性体プレート（遮蔽部材の一例）
５０１ 切欠（開口部の一例）
６００ ヘッドユニット
６１０ 前列ヘッド
６２０ 後列ヘッド
６３０ フレーム（フレーム部材の一例）
６３５ レールガイド
６５０ ブラケット（遮蔽部材の一例）
６５２ 底板部
６５３ 側板部
６５４ 切欠（開口部の一例）
７００ 単位ユニット
７２０ 固定子
７２１ コア（電機子の要部の一例）
７２２ コイル（電機子の要部の一例）
７４０ 可動子
７４１ レール
７４３ 永久磁石（界磁子の一例）
Ｆ 発生推力
Ｉ 電流
Ｐ プリント基板
ＳＴ ストローク範囲

Claims (8)

1. 複数の永久磁石が、表面側の磁極を交互に異ならせて直線状に配列された界磁子と、
   前記界磁子と並列に配置されるコア及びコアに巻装される複数のコイルを含む電機子と
   を備え、前記界磁子を含む可動子と、前記電機子を含む固定子とを二つ一組にした単位ユニットを複数組並列に配置可能に構成したリニアモータにおいて、
   前記単位ユニットを収容する非磁性体からなるフレーム部材と、
   前記フレーム部材に設けられ、前記複数の単位ユニットが配設される場合に隣り合う単位ユニット間に介在する磁性体からなる遮蔽部材と、
   前記遮蔽部材のうち、前記電機子と対向する部位に形成され、当該フレーム部材に収容された前記電機子に隣接する開口部と
   を備えていることを特徴とするリニアモータ。
2. 請求項１記載のリニアモータにおいて、
   前記遮蔽部材は、前記界磁子の移動範囲全体にわたって、隣り合う単位ユニット間に介在する板金部材であり、前記開口部は、前記板金部材に形成された切欠である
   ことを特徴とするリニアモータ。
3. 請求項１または２記載のリニアモータにおいて、
   前記フレーム部材は、互いに並列に配置された複数の前記単位ユニットを収容するものであり、
   前記遮蔽部材を構成する板金部材は、前記フレーム部材に固定される底板部と、この底板部から一体に屈曲して隣接する前記単位ユニット間に介在する側板部とを含み、
   前記開口部を構成する切欠は、前記側板部に形成されている
   ことを特徴とするリニアモータ。
4. 請求項３記載のリニアモータにおいて、
   前記フレーム部材は、少なくとも３つの単位ユニットを並列に収容するものであり、
   前記遮蔽部材を構成する板金部材は、前記底板部の両側にそれぞれ前記側板部が設けられたコの字形断面に形成されており、当該底板部は、前記３つの単位ユニットのうち、中央に配置された単位ユニットに対向する位置に固定されているとともに、当該側板部は、前記中央に配置された単位ユニットの両側にそれぞれ配置されている
   ことを特徴とするリニアモータ。
5. 複数の部品吸着ノズルを個別に上下に駆動する駆動機構と、この駆動機構により昇降駆動される部品保持部材とを有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び基板上への部品の実装を行う部品実装装置において、
   前記駆動機構は、複数の部品吸着ノズル毎に単位ユニットを有する請求項１から４の何れか１項に記載のリニアモータである
   ことを特徴とする部品実装装置。
6. 請求項５記載の部品実装装置において、
   前記駆動機構を構成する前記複数の単位ユニットは、当該界磁子と当該電機子とが対向する対向方向と直交する方向に並設されている
   ことを特徴とする部品実装装置。
7. 複数の部品吸着ノズルを個別に上下に駆動する駆動機構と、この駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行う部品検査装置において、
   前記駆動機構は、複数の部品吸着ノズル毎に単位ユニットを有する請求項１から４の何れか１項に記載のリニアモータである
   ことを特徴とする部品検査装置。
8. 請求項７記載の部品検査装置において、
   前記駆動機構を構成する前記複数の単位ユニットは、当該界磁子と当該電機子とが対向する対向方向と直交する方向に並設されている
   ことを特徴とする部品検査装置。

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