JP5390105B2 - リニアモータ、部品実装装置及び部品検査装置 - Google Patents

リニアモータ、部品実装装置及び部品検査装置 Download PDF

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Description

本発明は、リニアモータ、およびこのモータを用いて部品保持部材を駆動する部品実装装置等に関するものである。
従来から、表面の磁極が交互に異なる永久磁石を一方向に配列してなる界磁子と、この界磁子に対向して配置され、コイルを装着したコアを具備した電機子とを備え、上記コイルに対する通電制御に応じて、界磁子及び電機子のうち一方側を固定子、他方側を可動子として当該可動子を固定子に対して相対的に永久磁石の配列方向に直線的に移動させるリニアモータが一般に知られている(例えば特許文献1)。
リニアモータは、種々の産業機械に適用されており、電子部品を基板上に搬送して実装する部品実装装置においても使用されている。例えば、この部品実装装置では、部品吸着用のノズルを昇降駆動させるための駆動機構にリニアモータが適用されている。
特開2005−253259号公報
リニアモータは、界磁子と電機子との間に所定寸法のギャップを設けることが適正な推進力を発生させる上で重要となり、一般には、リニアガイド等のガイド手段をフレーム部材に組込み、フレーム部材に固定子を、ガイド手段の前記スライダに可動子をそれぞれ固定することにより前記ギャップを確保することが行われている。
ところが、この構成では、ガイド手段を介して可動子がフレーム部材に組込まれてしまうと、レールの大部分が可動子に被われてしまうため、後にレールの固定状態や異物の混入状況等を確認したり、レールのずれの修正を行おうとすると、可動子を単独で、又はスライダと共にレールから取外して上記作業を行う必要があり、しかも、その場合には上記ギャップの再調整が必要となる等、非常にメンテナンス性が悪い。従って、この点を改善することが求められている。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、第1の目的は、メンテナンス性の良いリニアモータを提供することにあり、第2の目的は、リニアモータが適用される部品実装装置や部品検査装置においてそのメンテナンス性を向上させることにある。
上記課題を解決するために、本発明にかかるリニアモータは、フレーム部材の所定の組付面に固定されて一軸方向に延設されるレール及びこのレールに移動自在に装着されるスライダからなるリニアガイドと、このリニアガイドの前記スライダに固定され可動子と、この可動子に対して並列に配置された状態で前記組付面に固定される固定子と、を有し、前記固定子と可動子との間に吸引力を発生させながら前記レールに沿って前記可動子を移動させるリニアモータにおいて、前記固定子は、複数のティースが前記一軸方向に並ぶコアと、当該コアの前記ティースに装着されるコイルとを有する電機子であり、前記可動子は、前記スライダに固定される可動ベースを含み、この可動ベースにおける前記固定子との対向面に表面極性が交互に異なるように前記一軸方向に複数の磁石が配列された界磁子からなり、当該可動子および前記リニアガイドが前記フレーム部材に組み付けられた状態で、前記可動ベースが前記レールに沿って延びて当該レールを被うように構成されるとともに、当該可動ベースに、当該可動子側からの前記レールへのアクセスを可能とする開口部が形成されるものであり、さらに、前記可動子は、当該可動子が前記リニアガイドの前記スライダに固定された状態で、前記レールに形成される貫通孔に対して前記開口部を通じてボルトが挿入され、かつ当該ボルトが前記開口部を通じて工具による回転操作を受けて前記組付面に形成されるねじ孔に螺合挿入されることで、前記リニアガイドと共に前記フレーム部材に組み付け可能に構成されているものである
このようなリニアモータの構成によれば、可動子及びリニアガイドを一体的にフレーム部材に組み込むことができるため、組立性が良いものとなる。また、可動ベースの開口部を介してレールの状態を確認することができ、また、この開口部から工具を差し込んでレールを固定するボルト等を操作することによりレールの位置を修正等することが可能となる。従って、可動子を取外すことなくレール等のメンテナンスを行うことが可能となり、メンテナンス性が向上する。
なお、前記リニアガイドは、複数の前記スライダを備え、前記可動ベースは、前記レールに沿って複数の前記開口部が形成されることにより略梯子型に構成され、かつ、前記各スライダがそれぞれ隣接する前記開口部の間に位置するように当該各スライダに対して固定されるのが好適である。この構成によれば、可動子の強度を保ちつつ長手方向に亘って広い開口部を確保することが可能になる。
また、上記のリニアモータにおいては、前記フレーム部材に、前記固定子及び前記リニアガイドの前記レールをそれぞれ位置決めするための位置決め部が設けられ、前記固定子及び前記レールをそれぞれ位置決め部材に当接させた状態で前記フレーム部材に固定することにより、前記固定子と可動子との間に所定寸法の隙間が形成されるように構成されており、前記可動子は、当該可動子が前記リニアガイドの前記スライダに固定されかつ当該リニアガイドの前記レールが前記位置決め部に当接させられた状態で、前記レールの前記貫通孔に対して前記開口部を通じて前記ボルトが挿入され、かつ当該ボルトが前記開口部を通じて前記工具による回転操作を受けて前記ねじ孔に螺合挿入されることで、前記リニアガイドと共に前記フレーム部材に組み付け可能に構成されているのが好適である。
この構成の場合、可動子の組付けに際しては、まず可動子をスライダの定められた位置に予め組付けておき、その状態でリニアガイド及び可動子の組立体をフレーム部材に組込み、リニアガイドのレールを位置決め部に当接させた状態で前記開口部から工具を差し込んでボトを操作することでリニアガイド及び可動子を効率的にフレーム部材に組み込むことが可能となる。
一方、本発明に係る部品実装装置は、リニアモータを有する駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び基板上への部品の実装を行う部品実装装置において、前記リニアモータとして、上記のようなリニアモータを有するものである。
また、本発明に係る部品検査装置は、リニアモータを有する駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この部品保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行う部品検査装置において、前記リニアモータとして、上記のようなリニアモータを有するものである。
これらの装置によれば、部品保持部材の駆動機構として上記のようなメンテナンス性の良いリニアモータを適用しているので、結果的に装置のメンテナンス性も良いものとなる。
本発明のリニアモータによれば、レールの取付け調整等を、可動子を取外すことなく行うことが可能とるためメンテナンス性が良いものとなる。そして、本発明の部品実装装置、および部品検査装置によれば、上記のようなリニアモータを適用している結果、装置のメンテナンス性も良いものとなる。
図1は、本発明に係るリニアモータが適用される部品実装装置(本発明に係る部品実装装置)の概略構成を平面図で示している。なお、この図を含め本説明で使用する図面には、各図の方向関係を明確にするためにXYZ直角座標軸が示してある。
同図に示すように、部品実装装置の基台10上には、基板搬送機構としてコンベア12が配置されており、このコンベア12によりプリント基板P(以下、単に基板Pという)が同図右側から左側に搬送されて所定の作業位置(同図に示す基板Pの位置)に搬入されるようになっている。作業位置の下方領域には、実装作業中に基板Pをバックアップピンにより支持する基板支持装置11が配置されている。
前記コンベア12の両側(図1では上下両側)にはそれぞれフィーダ設置領域13が設けられており、これらフィーダ設置領域13には、例えばテープフィーダ14等の部品供給装置がコンベア12に沿って並列に配置されている。各テープフィーダ14は、集積回路(IC)、トランジスタ、抵抗、コンデンサ等の小片状のチップ部品を所定間隔で収納、保持したテープが巻回されたリールを保持しており、このリールから前記テープを繰り出すことによりフィーダ先端の部品供給位置に部品を供給し、ヘッドユニット15により部品をピックアップさせるように構成されている。
前記基台10の上方には部品実装用の前記ヘッドユニット15が設けられている。このヘッドユニット15は、前記テープフィーダ14から部品を吸着して基板P上に搬送すると共に、基板P上の所定位置に実装するもので、所定領域内でX軸方向(コンベア12による基板Pの搬送方向)及び水平面上でこれと直交するY軸方向にそれぞれ移動可能とされている。すなわち、ヘッドユニット15は、X軸方向に延びるヘッドユニット支持部材18に移動可能に支持されている。また、このヘッドユニット支持部材18は、その両端部がY軸方向に延びる固定レール17に支持され、この固定レール17に沿ってY軸方向に移動可能となっている。そして、X軸サーボモータ20によりボールねじ軸21を介してヘッドユニット15がX軸方向に駆動される一方、Y軸サーボモータ22によりボールねじ軸23を介してヘッドユニット支持部材18がY軸方向に駆動されるようになっている。
ヘッドユニット15には、図2に示すように、部品を保持して搬送するための複数のヘッド16が搭載されており、当実施形態では、合計10個のヘッド16がX軸方向に列状に配置されている。各ヘッド16は、Z軸方向(上下方向)に延びる駆動シャフト34を有しており、この駆動シャフト34の先端(下端)には部品吸着用のノズル35が取付けられている。ノズル35は、駆動シャフト34の内部通路及び図略の切換弁等を介して負圧発生装置に接続されており、部品吸着時には、吸着ノズル先端に前記負圧発生装置から負圧吸引力が与えられることにより部品の吸着、保持が可能となっている。この当実施形態では、この駆動シャフト34及びノズル35が本発明に係る部品保持部材に相当する。
ノズル35(駆動シャフト34)は、ヘッドユニット15に対して昇降(Z軸方向の移動)およびノズル中心軸(R軸)回りの回転が可能とされ、昇降駆動機構および回転駆動機構によりそれぞれ駆動されるようになっている。これらの駆動機構のうち昇降駆動機構は各ヘッド16に各々組み込まれている。なお、昇降駆動機構を含む各ヘッド16の構成、及びノズル35の回転駆動機構の構成については、後に説明する。
ヘッドユニット15には、基板撮像ユニット24が搭載されている。この基板撮像ユニット24は、CCD等の撮像素子をもつエリアカメラおよび照明装置等からなり、ヘッドユニット15に対して下向きの姿勢で固定され、作業位置に搬入される基板P上の各種マークを撮像可能となっている。
なお、前記基台10上には、図1に示すように、ヘッドユニット15の各ヘッド16(ノズル35)に吸着された部品を撮像するための部品撮像ユニット25が設けられている。この部品撮像ユニット25も、前記基板撮像ユニット24と同様にエリアカメラおよび照明装置等から構成されており、基台10上に上向きの姿勢で固定されている。これにより、部品吸着後、ヘッドユニット15が部品撮像ユニット25上方に配置された際に、各ヘッド16にて吸着された部品を部品撮像ユニット25により撮像可能となっている。
次に、ヘッドユニット15および各ヘッド16の具体的な構成について説明する。
前記ヘッドユニット15には上記の通り10個のヘッド16が搭載されている。各ヘッド16は、X軸方向に扁平なユニット化された部材であり、図2に示すように、X軸方向に10個並べた状態で一体にヘッドユニット15に対して固定されている。
図3〜図5は、前記ヘッド16の具体的な構成を示しており、図3は側面図(図2のIII−IIIに沿った矢視図)で、図4は正面図で、図5は分解斜視図でそれぞれヘッド16を示している。なお、図5では、駆動シャフト34等、一部の部品は便宜上省略されている。
前記ヘッド16は、概略的には、前記ノズル35を下端部に備える前記駆動シャフト34と、この駆動シャフト34とノズル35等をZ軸方向に駆動するリニアモータと、ノズル35等に対して上向きの付勢力を付与するリターンスプリング48とから構成されている。リニアモータは、前記駆動シャフト34をZ軸方向に案内するリニアガイド32と、固定子42及び可動子44からなるリニアモータ本体40と、フレーム30(本発明に係るフレーム部材に相当する)とから構成されており、このフレーム30に、前記駆動シャフト34やリターンスプリング48が組込まれることにより、ヘッド16がユニット化されている。そして、リニアモータによりノズル35(駆動シャフト34)をZ軸方向に駆動すると共に、リニアモータの停止時には、リターンスプリング48の付勢力によりノズル35を上方位置に保持するように構成されている。
詳細に説明すると、前記フレーム30は、ベースプレート301の周囲一部分に側壁部302を備えたX軸方向に扁平な皿形の部材で、表面処理を施したアルミ合金等により構成されている。
リニアモータ本体40は、上記の通り固定子42と可動子44とを有している。固定子42は、櫛型のコア421にコイル422が装着された固定子本体、及びこの固定子本体とは別体の一対のサブティース423,423により構成されている。固定子本体及びサブティース423,423は各々ベースプレート301にボルトで固定されており、図3に示すように、サブティース423,423は、固定子本体の前記コイル422の両端に並ぶようにベースプレート301に固定されている。これらサブティース423,423は、モータ駆動時に固定子両端の磁束形成を補うことにより所謂コギング力を低減するものである。なお、当実施形態では、サブティース423,423は、固定子本体とは別体に設けられているが、勿論、固定子本体(コア421)に一体的に設けられていてもよい。
可動子44は、固定子42に対してY軸方向に横並びに設けられている。可動子44は、Z軸方向に延びる断面コ字型のスライドベース441(本発明に係る可動ベースに相当する)を有しており、このスライドベース441の側面(固定子42との対向面)にヨーク443を介して複数の永久磁石442が配列された構成となっている。具体的には、固定子42側がN極、可動子44側がS極の永久磁石442と、固定子42側がS極、可動子44側がN極の永久磁石442とがZ軸方向に交互に配列されている。そして、この可動子44がリニアガイド32の後記スライダ322に固定されることにより、当該可動子44がZ軸方向に移動可能となっている。
リニアガイド32は、Z軸方向に延びるレール321と、このレール321に対してZ軸方向にスライド自在に、かつZ軸方向と直交する方向への移動不能に装着される複数のスライダ322,322とから構成されており、前記レール321がベースプレート301にボルトで固定されることによりフレーム30に組み込まれている。そして、このリニアガイド32の各スライダ322,322に対してリニアモータ本体40の前記可動子44(スライドベース441)が固定されている。これにより図外のリニア駆動制御部から前記リニアモータ本体40の固定子42に所定の駆動信号が与えられると、その駆動信号に応じた方向及び速度で可動子44がZ軸方向に駆動される構成となっている。
なお、固定子42と可動子44は、これらの間(正確には櫛形のコア421の可動子側端部と永久磁石442の固定子側表面との間)に所定のギャップが形成された状態でフレーム30に固定されている。
詳しく説明すると、前記ベースプレート301には、固定子位置決め用の基準面304を有する一対の突部303,303が一体形成されており、他方、固定子42の前記コア421の両端にはティース並び方向に延設される延設部421a,421aが一体に形成されている。そして、各突部303,303の基準面304に対し、コア421の各延設部421aが前記可動子44側とは反対側(図3では左側)から突き当てられ、この状態でコア421に形成される貫通孔を介してボルト425がベースプレート301のねじ孔301aに螺合挿入されている。これにより前記固定子42がY軸方向に位置決めされた状態でフレーム30に組付けられている。
また、前記ベースプレート301には、可動子位置決め用の突条305が一体形成されており、この突条305に対し、前記レール321が前記固定子42側とは反対側(図3では右側)から突き当てられ、この状態で、当該レール321に形成される貫通孔を介してボルト325がベースプレート301のねじ孔301bに螺合挿入されている。これによりリニアガイド32を介して前記可動子44がY軸方向に位置決めされた状態でフレーム30に組付けられている。なお、レール321をベースプレート301に組付けた後に前記可動子44をスライダ322の定められた位置に組付けてもよいし、予め前記可動子44をスライダ322に組付けてからレール321をベースプレート301に組付けてもよい。
このように、前記固定子42及び可動子44がそれぞれY軸方向に位置決めされた状態でフレーム30に組付けられることにより、固定子42と可動子44との間に所定寸法のギャップが形成されている。
なお、可動子44の前記スライドベース441には、図3及び図5に示すように、長手方向に並ぶ複数の開口部441aが形成されており、図示の例では、4つの開口部441aが形成されている。これらの開口部441aは、前記レール321に対して可動子44側からのアクセスを可能とするものであり、例えば可動子44のフレーム30への組付け時には、上記のように予め可動子44を組付けたリニアガイド32の前記レール321を前記突条305に当接させ、前記開口部441aに工具を挿入することにより、前記ボルト325の締め付けを難なく行えるようになっている。なお、図中符合323は、スライダ322のZ軸方向の移動を規制するストッパであり、また符合324は、前記可動子44(スライドベース441)のZ軸方向の移動を規制するストッパであり、それぞれベースプレート301にボルトで固定されている。
上記のように構成されたリニアモータの前記可動子44に対して駆動シャフト34が取付けられている。詳しくは、前記スライドベース441の下端部分に、前記固定子42の下方に向かってY軸方向に延びる取付アーム37が固定され、この取付アーム37の下面にシャフト支持部材36を介して駆動シャフト34が取付けられている。
駆動シャフト34は、中空軸からなり、シャフト支持部材36に対してR軸回りに回転自在に支持されると共に、このシャフト支持部材36に設けられる負圧導入用のポート361及び図外の負圧通路を介して前記負圧発生装置に接続されている。
駆動シャフト34は、図示されないスプライン等機構により、軸方向に変位可能に、かつシャフト中心回り(R軸回り)に回転自在に、前記ヘッドユニット15に保持されている。
そして、リニアモータ本体40の前記固定子42を挟んでリニアガイド32とは反対側の位置にリターンスプリング48が配設されている。このリターンスプリング48は、前記フレーム30の上端部分と前記取付アーム37とに亘って装着されており、これにより取付アーム37及びシャフト支持部材36を介して前記駆動シャフト34に上向きの付勢力が付与されている。
なお、ヘッド16には、可動子44及び駆動シャフト34(ノズル35)の位置を検出するための位置検出サンサとして磁気センサ45が組込まれている。すなわち、図5に示すように、リニアモータ本体40の前記可動子44には、磁気的に目盛りを記録したプレート状の磁気スケール46がスライドベース441に沿って固定されている。一方、フレーム30には、前記ベースプレート301に設けられたセンサ支持部306に、MRセンサやホールセンサ等の磁気センサ45が取付けられており、この磁気センサ45により磁気スケール46を読み取ることにより、可動子44及び駆動シャフト34(ノズル35)の位置が検出可能となっている。なお、図中符合451は、磁気センサ45の制御基板等を被うカバー部材である。
このように構成された10個のヘッド16が互いにX軸方向に重装され、前記ヘッドユニット15に対してその前面側(ヘッドユニット支持部材18側とは反対側)にリターンスプリング48が位置する状態で一体に固定されている。詳しくは、前記フレーム30のうちリニアガイド32等の組付け面側に一対の位置決めピン310,310が突設される一方、他面側にはこれに対応する図外の位置決め孔が穿設されており、これら位置決めピン310,310が隣接するヘッド16の位置決め孔に挿入されることによって各ヘッド16が互いに位置決めされた状態でX軸方向に重装されている。そして、この重装されたヘッド16群に対してそのX軸方向外側から各々取付用フレーム15bが重装され、各フレーム30に形成される貫通孔312を通じて取付用フレーム15b及びヘッド16群がボルト151,ナット152により一体に締結された上で、両取付用フレーム15bがヘッドユニット15の本体フレーム15aに対して位置決め固定されている。これによって10個のヘッド16が一体に前記ヘッドユニット15に固定されている。
ヘッドユニット15に固定された各ヘッド16の駆動シャフト34は、図2に示すように、本体フレーム15aに設けられる保持部15cにより保持されている。さらに、駆動シャフト34は前記保持部15cに回転自在に支持され、図外の駆動ベルト等により、前記本体フレーム15aに固定された駆動モータ(回転型モータ)26,26の駆動プーリ(図示省略)に連結されており、これによって上記回転駆動機構が構成されている。
上記のように構成された部品実装装置では、次のようにして部品の実装が行われる。
まず、ヘッドユニット15がフィーダ設置領域13に移動して各ヘッド19による部品の吸着が行われる。具体的には、所定のヘッド16がテープフィーダ14の上方に配置された後、リニアモータにより駆動シャフト34が昇降駆動され、これによりノズル35が下降してテープ内の部品を吸着して取出す。この際、可能な場合には、複数のヘッド16により同時に部品の取出しが行われる。部品の吸着が完了すると、所定の経路に沿ってヘッドユニット15が部品撮像ユニット25の上方を経由してから基板P上に移動する。この移動中に、各ヘッド16(ノズル35)による部品の吸着状態が画像認識されて実装時の補正量が演算される。そして、ヘッドユニット15が基板P上の最初の実装位置に到達すると、リニアモータにより駆動シャフト34が昇降駆動され基板P上に部品が実装され、以降、ヘッドユニット15が順次実装位置に移動することにより基板P上に残りの吸着部品が実装されることとなる。
以上のような本発明に係る部品実装では、リニアモータ式の駆動機構によりノズル35(駆動シャフト34)を昇降駆動するようにヘッド16が構成されているが、当該ヘッド16を構成する上記リニアモータは、上記の通り、可動子44(スライドベース441)に開口部441aが設けられた構成とっているので、メンテナンス性および組立性が良いという利点がある。すなわち、開口部441aを介してレール321の固定状態、例えば突条305に対するレール321の突き当て状態や、レール321による異物の噛み込み等を確認する場合、仮に前記開口部441aが無いとすれば、可動子44が邪魔になってレール321のうち視認できない部分が生じる。従って、可動子44を単独で、又はスライダ322と共にレール321から取り外してレール321を確認することが必要となるが、上記のリニアモータによれば、可動子44に開口部441aが設けられ、この開口部441aを介してレール321を視認することが可能な為、可動子44を取り外すことなくレール321の全体状況を難なく確認することができる。そして、必要な場合には、この開口部441aに工具を差し込んで前記ボルト325を操作することにより、レール321の固定状態を修正し、また異物を除去することができるため、ヘッド16(リニアモータ)のメンテナンス性が非常に良い。
また、ヘッド16の組立時には、上述した通り、予め可動子44を組付けたリニアガイド32をベースプレート301上に載置し、レール321を前記突条305に当接させてその状態を確認しつつ、前記開口部441aに工具を挿入して前記ボルト325の締め付けを行うことにより、可動子44及びリニアガイド32を一体的にフレーム30に組込むことができるため、ヘッド16の組立性が非常に良いものとなる。
そして、この部品実装装置では、上記の通りヘッドユニット15には10個のヘッド16が搭載されているため、上記の通りリニアモータ(ヘッド16)のメンテナンス性や組立性が良好である分、装置全体のメンテナンス性や組立性も良いものとなる。
なお、上記実施形態では、部品実装装置を例に本発明の適用について説明したが、本発明の適用対象は部品実装機に限定されるものではなく、例えば、部品を保持可能な部品保持部材が搭載された移動可能なヘッドユニットを備え、リニアモータを有する駆動機構により部品保持部材をヘッドユニットに対して昇降駆動することにより部品供給部からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行うように構成された部品検査装置についても本発明は適用可能である。
本発明に係るリニアモータが適用される部品実装装置(本発明に係る部品実装装置)の概略構成を示す平面図である。 ヘッドユニットの具体的な構成を示す正面図である。 ヘッドユニットに搭載されるヘッドの構成を示す側面図(図2のIII−III線に沿った矢視図)である。 ヘッドの構成を示す正面図である。 ヘッドの構成を示す分解斜視図である。 ヘッドユニットに対する各ヘッドの組付け方を説明する斜視図である。
符号の説明
15 ヘッドユニット
16 ヘッド
30 フレーム
32 リニアガイド
34 駆動シャフト
35 ノズル
40 リニアモータ本体
42 固定子
44 可動子
321 レール
322 スライダ

Claims (5)

  1. フレーム部材の所定の組付面に固定されて一軸方向に延設されるレール及びこのレールに移動自在に装着されるスライダからなるリニアガイドと、このリニアガイドの前記スライダに固定され可動子と、この可動子に対して並列に配置された状態で前記組付面に固定される固定子と、を有し、前記固定子と可動子との間に吸引力を発生させながら前記レールに沿って前記可動子を移動させるリニアモータにおいて、
    前記固定子は、複数のティースが前記一軸方向に並ぶコアと、当該コアの前記ティースに装着されるコイルとを有する電機子であり、
    前記可動子は、前記スライダに固定される可動ベースを含み、この可動ベースにおける前記固定子との対向面に表面極性が交互に異なるように前記一軸方向に複数の磁石が配列された界磁子からなり、当該可動子および前記リニアガイドが前記フレーム部材に組み付けられた状態で、前記可動ベースが前記レールに沿って延びて当該レールを被うように構成されるとともに、当該可動ベースに、当該可動子側からの前記レールへのアクセスを可能とする開口部が形成されるものであり、さらに、
    前記可動子は、当該可動子が前記リニアガイドの前記スライダに固定された状態で、前記レールに形成される貫通孔に対して前記開口部を通じてボルトが挿入され、かつ当該ボルトが前記開口部を通じて工具による回転操作を受けて前記組付面に形成されるねじ孔に螺合挿入されることで、前記リニアガイドと共に前記フレーム部材に組み付け可能に構成されていることを特徴とするリニアモータ。
  2. 請求項1に記載のリニアモータにおいて、
    前記リニアガイドは、複数の前記スライダを備え、
    前記可動ベースは、前記レールに沿って複数の前記開口部が形成されることにより略梯子型に構成され、かつ、前記各スライダがそれぞれ隣接する前記開口部の間に位置するように当該各スライダに対して固定されることを特徴とするリニアモータ。
  3. 請求項1又は2に記載のリニアモータにおいて、
    前記フレーム部材に、前記固定子及び前記リニアガイドの前記レールをそれぞれ位置決めするための位置決め部が設けられ、前記固定子及び前記レールをそれぞれ位置決め部材に当接させた状態で前記フレーム部材に固定することにより、前記固定子と可動子との間に所定寸法の隙間が形成されるように構成されており、
    前記可動子は、当該可動子が前記リニアガイドの前記スライダに固定されかつ当該リニアガイドの前記レールが前記位置決め部に当接させられた状態で、前記レールの前記貫通孔に対して前記開口部を通じて前記ボルトが挿入され、かつ当該ボルトが前記開口部を通じて前記工具による回転操作を受けて前記ねじ孔に螺合挿入されることで、前記リニアガイドと共に前記フレーム部材に組み付け可能に構成されていることを特徴とするリニアモータ。
  4. リニアモータを有する駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び基板上への部品の実装を行う部品実装装置において、
    前記リニアモータとして、請求項1乃至3の何れか一項に記載のリニアモータを有することを特徴とする部品実装装置。
  5. リニアモータを有する駆動機構により昇降駆動される部品保持部材を有し、この保持部材の昇降動作に伴い部品供給位置からの部品の取出し、及び所定の検査部への部品の出し入れを行う部品検査装置において、
    前記リニアモータとして、請求項1乃至の何れか一項に記載のリニアモータを有することを特徴とする部品検査装置。
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