KR101557718B1 - 부품 실장 장치 - Google Patents

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KR101557718B1
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토모요시 우츠미
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야마하하쓰도키 가부시키가이샤
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
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    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
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Abstract

부품 실장 장치는 제 1 방향으로 늘어서는 복수의 노즐 부재를 포함하는 제 1 노즐열과, 제 1 방향으로 늘어서는 복수의 노즐 부재를 포함하고 또한 제 1 노즐열에 대하여 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 늘어서는 제 2 노즐열과, 제 1 노즐열의 노즐 부재를 승강 구동하는 제 1 리니어 모터와, 제 2 노즐열의 노즐 부재를 승강 구동하는 제 2 리니어 모터를 갖는 헤드 유닛을 구비한다. 각 리니어 모터는, 리니어 모터 본체와 프레임 부재를 포함한다. 리니어 모터 본체는 고정자와, 이 고정자에 대하여 제 2 방향으로 대향하고 또한 상하 방향으로 이동 가능한 가동자를 포함한다. 고정자는 전기자이고, 가동자는 계자자이며, 노즐 부재는 가동자에 연결되어 있다. 제 1 리니어 모터와 제 2 리니어 모터는 제 2 방향에 있어서 가동자끼리 서로 근접하고, 상기 가동자의 외측에 각각 고정자가 위치하도록 배치된다.

Description

부품 실장 장치{COMPONENT MOUNTING DEVICE}
본 발명은 부품 공급부로부터 부품을 꺼내서 기판 상의 탑재 위치에 실장하는 부품 실장 장치에 관한 것이다.
종래부터, 부품 실장용 노즐을 갖는 승강 가능한 샤프트 부재(이하, 노즐 부재라고 한다)를 구비한 헤드에 의해 부품 공급부로부터 부품을 꺼내서 기판 상의 탑재 위치에 실장하는 부품 실장 장치가 알려져 있다. 최근의 부품 실장 장치는 실장 동작의 효율화를 꾀하기 위해서, 헤드 유닛에 다수의 노즐 부재가 탑재되는 경향이 있다. 예를 들면 특허문헌 1에는, 복수의 노즐 부재가 전후 2열로 배열된 상태로 헤드 유닛에 탑재된 부품 실장 장치가 기재되어 있다. 이 특허문헌 1에 기재된 부품 실장 장치에서는, 각 노즐 부재는 각각 샤프트형 리니어 모터의 가동자에 연결되어 있고, 상기 샤프트형 리니어 모터에 의해 각 노즐 부재가 승강 구동된다. 이렇게 샤프트형 리니어 모터에 의해 노즐 부재를 승강 구동하는 구성에 의하면, 회전 모터를 구동원으로 하는 나사 이송 기구 등에 의해 노즐 부재를 승강 구동하는 구성에 비하여 노즐 부재를 승강시키기 위한 구동 기구의 점유 스페이스를 작게 줄일 수 있어, 노즐 부재 배열의 협피치화나 헤드 유닛의 소형화를 꾀하는데에 유리해진다.
그러나 샤프트형 리니어 모터는 전기자가 코어를 구비하지 않은, 소위 코어 레스 리니어 모터이기 때문에, 발생하는 구동력(노즐 부재의 추진력)이 비교적 작다. 그 때문에, 예를 들면 실장 효율을 높이기 위해서 노즐 부재를 보다 고속으로 구동시키려고 하면 전기자(코일)의 대형화, 즉 샤프트형 리니어 모터의 대형화가 필요하게 되어, 노즐 부재 배열의 협피치화나 헤드 유닛의 소형화가 저해된다.
일본 특허 제4208155호 공보
본 발명은, 부품 실장 장치에 있어서 노즐 부재를 보다 고속으로 승강 구동하는 것을 가능하게 하면서, 노즐 부재 배열의 협피치화나 헤드 유닛의 소형화에 기여하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
그리고 본 발명의 한 국면에 의한 부품 실장 장치는, 부품 실장 장치로서 제 1 방향으로 일렬로 늘어선 복수의 노즐 부재를 포함하는 제 1 노즐열과, 상기 제 1 방향으로 일렬로 늘어선 복수의 노즐 부재를 포함하면서 상기 제 1 노즐열에 대하여 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 늘어선 제 2 노즐열과, 상기 제 1 노즐열의 노즐 부재를 승강 구동하는 제 1 리니어 모터와 상기 제 1 노즐열의 노즐 부재를 승강 구동하는 제 2 리니어 모터를 갖는 헤드 유닛을 구비하고, 상기 제 1 리니어 모터 및 상기 제 2 리니어 모터는 각각 리니어 모터 본체와, 이 리니어 모터 본체를 지지하는 프레임 부재를 포함하고, 상기 리니어 모터 본체는 상기 프레임 부재에 고정되는 고정자와, 이 고정자에 대하여 상기 제 2 방향에 대향하고 또한 상기 고정자에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 가동자를 포함하고, 상기 고정자는 상하 방향으로 늘어서고 또한 각각 상기 제 2 방향으로 연장되는 복수의 티스를 갖는 코어와, 상기 코어의 각 티스에 각각 장착되는 코일을 구비하는 전기자이며, 상기 가동자는 상기 고정자에 대향하는 측의 표면 극성이 교대로 다르도록 상하 방향으로 배열되는 복수의 영구 자석을 갖는 계자자이며, 상기 노즐 부재는 상기 가동자에 연결되어 있고, 상기 제 1 리니어 모터와 상기 제 2 리니어 모터는 상기 제 2 방향에 있어서 가동자끼리 서로 근접하여 상기 가동자의 외측에 각각 고정자가 위치하도록 상기 헤드 유닛에 탑재되어 있는 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 부품 실장 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 헤드 유닛을 나타내는 단면도(도 1의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도)이다.
도 3은 헤드 유닛을 나타내는 하면도이다.
도 4는 헤드 유닛을 나타내는 종단면도(도 3의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도)이다.
도 5는 헤드 유닛에 탑재되는 전열 헤드 및 후열 헤드의 구성을 나타내는 도 4의 요부 확대도이다.
도 6은 전열 헤드의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 7은 전열 헤드의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시의 일형태에 대해서 상세하게 설명한다.
도 1은, 본 발명에 의한 부품 실장 장치를 평면도로 개략적으로 나타내고 있다. 또한, 도 1 및 뒤에 설명할 도면에는, 방향 관계를 명확히 하기 위해서 XYZ 직각 좌표축이 나타내어져 있다.
부품 실장 장치는, 기대(1)와 이 기대(1) 상에 배치되어 프린트 배선판(PWB ; Printed Wiring Board) 등의 기판(3)을 X방향으로 반송하는 기판 반송 기구(2)와, 부품 공급부(4,5)와, 부품 실장용 헤드 유닛(6)과, 이 헤드 유닛(6)을 구동하는 헤드 유닛 구동 기구와, 부품 인식을 위한 촬상 유닛(7) 등을 구비한다.
상기 기판 반송 기구(2)는, 기대(1) 상에 있어서 기판(3)을 반송하는 한 쌍의 컨베이어(2a, 2a)를 포함한다. 이들 컨베이어(2a, 2a)는, 같은 도면의 우측으로부터 기판(3)을 받아들여서 소정의 실장 작업 위치(같은 도면에 나타낸 위치)로 반송하고, 도면 생략한 유지 장치에 의해 상기 기판(3)을 유지한다. 그리고, 상기 컨베이어(2a, 2a)는 실장 작업 후 상기 기판(3)의 유지를 해제하고, 이 기판(3)을 같은 도면의 좌측으로 반출한다.
상기 부품 공급부(4,5)는 상기 기판 반송 기구(2)의 양측(Y방향 양측)에 배치되어 있다. 이들 부품 공급부(4, 5) 중 한쪽의 부품 공급부(4)에는, 기판 반송 기구(2)를 따라 X방향으로 늘어선 복수의 테이프 피더(4a)가 배치되어 있다. 이들 테이프 피더(4a)는 IC, 트랜지스터, 콘덴서 등 작은 조각 형상의 칩 부품을 수납, 유지한 테이프가 감겨진 릴을 구비하고, 이 릴로부터 간헐적으로 테이프를 풀어내면서 기판 반송 기구(2) 근방의 소정의 부품 공급 위치에 부품을 공급한다. 한편, 다른 쪽의 부품 공급부(5)에는 X방향으로 소정의 간격을 두고 트레이(5a, 5b)가 세팅되어 있다. 각 트레이(5a, 5b)에는 후술하는 헤드 유닛(6)에 의한 꺼내기가 가능해지도록, 각각 QFP(Quad Flat Package)나 BGA(Ball Grid Array) 등의 패키지형의 부품이 정렬되어 적재되어 있다.
상기 헤드 유닛(6)은 부품 공급부(4,5)로부터 부품을 꺼내서 기판(3) 상에 실장하는 것이며, 기판 반송 기구(2) 및 부품 공급부(4,5) 등의 상방에 배치되어 있다.
상기 헤드 유닛(6)은, 상기 헤드 유닛 구동 기구에 의해 일정한 영역 내에서 X방향 및 Y방향으로 이동 가능하도록 되어 있다. 이 헤드 유닛 구동 기구는, 기대(1) 상에 형성되는 한 쌍의 고가 프레임(1a, 1a)에 각각 고정되어 Y방향으로 서로 평행하게 연장되는 한 쌍의 고정 레일(9)과, 이들 고정 레일(9)에 지지되어 X방향으로 연장되는 유닛 지지 부재(12)와, 이 유닛 지지 부재(12)에 나합 삽입되어 Y축 서보 모터(11)에 의해 구동되는 볼 나사축(10)을 포함한다. 또한, 헤드 유닛 구동 기구는 유닛 지지 부재(11)에 고정되어 헤드 유닛(6)을 X방향으로 이동 가능하도록 지지하는 고정 레일(13)과, 헤드 유닛(6)에 나합 삽입되어 X축 서보 모터(15)를 구동원으로서 구동되는 볼 나사축(14)을 포함한다. 즉, 헤드 유닛 구동 기구는, X축 서보 모터(15)의 구동에 의해 볼 나사축(14)을 통해서 헤드 유닛(6)을 X방향으로 이동시킴과 아울러, Y축 서보 모터(11)의 구동에 의해 볼 나사축(10)을 통해서 유닛 지지 부재(12)를 Y방향으로 이동시킨 그 결과, 헤드 유닛 구동 기구는 헤드 유닛(6)을 일정한 영역 내에서 X방향 및 Y방향으로 이동시킨다.
상기 헤드 유닛(6)은, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이 X방향을 따라 늘어선 두 개의 전열 헤드(16a, 16b)와, 이 전열 헤드(16a, 16b)의 배후에 있어서 마찬가지로 X방향을 따라 늘어서는 두 개의 후열 헤드(17a, 17b)를 구비하고 있다. 전열 헤드(16a, 16b) 및 후열 헤드(17a, 17b)는 뒤에 상세히 설명하지만, 모두 다축 리니어 모터를 구비한 유닛이다. 전열 헤드(16a, 16b)는 각각 X방향(본 발명의 제 1 방향에 상당한다)으로 일렬로 늘어서면서 Z방향으로 연장되는 3개의 구동 샤프트(18)를 구비하고 있고, 후열 헤드(17a, 17b)는 각각 X방향으로 일렬로 늘어서면서 Z방향으로 연장되는 2개의 구동 샤프트(18)를 갖고 있다. 이에 따라, 헤드 유닛(6)에는 합계 10개의 구동 샤프트(18)가 전후 방향(Y방향 ; 본 발명의 제 2 방향에 상당한다)으로 2열로 나눠진 상태로, 구체적으로는 전열 6개, 후열 4개로 나눠진 상태로 형성되어 있다. 당 예에서는, 전열 헤드(16a, 16b)의 각 노즐(19)[구동 샤프트(18)]에 의해 형성되는 노즐열이 본 발명의 제 1 노즐열에 상당하고, 후열 헤드(17a, 17b)의 각 노즐(19)[구동 샤프트(18)]에 의해 형성되는 노즐열이 본 발명의 제 2 노즐열에 상당한다. 또한, 전열 헤드(16a, 16b)의 각 구동 샤프트(18)와 후열 헤드(17a, 17b)의 각 구동 샤프트(18)는 서로 X방향으로 오프셋되어 있고, 이에 따라 10개의 노즐(19)[구동 샤프트(18)]이 전체적으로 지그재그 형상으로 배열되어 있다.
각 구동 샤프트(18)의 선단(하단)에는 부품 흡착용 노즐(19)이 설치되어 있다. 각 노즐(19)은 각각 전동 스위칭 밸브를 통해서 부압 발생 장치, 정압 발생 장치 및 대기 중 어느 하나에 연통 가능하도록 되어 있다. 이에 따라, 상기 노즐(19)은 그 선단에 부압이 공급됨으로써 부품의 흡착 유지가 가능해지고, 그 후에 정압이 공급됨으로써 상기 부품의 흡착 상태를 해제한다. 당 예에서는, 이 구동 샤프트(18) 및 노즐(19)이 본 발명의 노즐 부재에 상당한다.
각 노즐(19)[구동 샤프트(18)]은, 헤드 유닛(6)에 대하여 승강(Z방향의 이동) 및 중심축 주위(R방향)의 회전이 가능하게 되어, 승강 구동 기구 및 회전 구동 기구에 의해 각각 구동된다. 이들 구동 기구 중 승강 구동 기구는 각 헤드(16a~17b)에 각각 삽입되어 있다. 또한, 승강 구동 기구를 포함하는 각 헤드(16a~17b)의 구성 및 노즐(19)의 회전 구동 기구의 구성에 대해서는, 뒤에 설명한다.
상기 촬상 유닛(7)은, 각 노즐(19)에 의한 부품의 유지 상태를 화상인식하기 위해서, 부품 공급부(4,5)로부터 꺼내진 부품을 실장에 앞서 촬상하는 것이다. 이 부품 촬상 유닛(7)은, 상기 기대(1) 상이며 상기 트레이(5a, 5b)의 사이 위치에 배치되어 있다. 이 촬상 유닛(7)은 기대(1) 상에 고정적으로 배치되어 있고, 각 노즐(19)에 유지된 부품을 그 하측으로부터 촬상하는 카메라(이미지 센서)와, 부품에 대하여 촬상용 조명을 주는 조명 장치를 구비하고 있어, 부품 공급부(4,5)로부터의 부품 흡착 후, 상기 헤드 유닛(6)이 상기 촬상 유닛(7)의 상방을 이동할 때에 각 노즐(19)의 유지 부품을 촬상해서 그 화상 데이터를 도면 외의 제어 장치에 출력한다.
이어서, 헤드 유닛(6) 및 각 헤드(16a~17b)의 구체적인 구성에 대하여 설명한다.
헤드 유닛(6)은, 상기한 바와 같이 전열 헤드(16a, 16b) 및 후열 헤드(17a, 17b) 합계 4개의 헤드(16a~17b)를 구비하고 있다. 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 이들 헤드(16a~17b) 중 우측(-X방향측)에 위치하는 헤드(16a, 17a)끼리는 전후 방향(Y방향)으로 서로 인접하고 있고, 마찬가지로 좌측에 위치하는 헤드(16b, 17b)끼리는 전후 방향으로 인접하고 있다. 그리고 이 상태에서, 각 헤드(16a~17b)가 헤드 유닛(6)의 헤드 프레임(61)에 고정되어 있다.
이하는 주로 도 5~도 7을 참조하면서, 전열 헤드(16a)를 예로 상기 헤드(16a~17b)의 구성에 관하여 설명한다.
전열 헤드(16a)는 개략적으로는 3축 구성의 다축 리니어 모터와, 이 다축 리니어 모터(이하, 간단하게 리니어 모터로 생략한다)에 의해 상하로 개별적으로 구동되는 3개의 상기 구동 샤프트(18)와, 각 구동 샤프트(18)의 하단부에 부착되는 상기 노즐(19)과, 리턴 스프링(20)과, 리니어 엔코더(32)를 구비하고 있다.
리니어 모터는 리니어 모터 본체(22)와, 상기 리니어 모터 본체(22)가 삽입된 프레임 부재(30)로 구성되어 있다. 리니어 모터 본체(22)는 고정자(24)와, 가동자(26)와, 상기 가동자(26)를 이동 가능하도록 유지하는 지지 부재(28)를 포함한다. 당 예의 리니어 모터[전열 헤드(16a)의 리니어 모터]는 3개의 리니어 모터 본체(22)와, 각 리니어 모터 본체(22)에 각각 대응하는 3개의 리니어 엔코더(32)와, 각 리니어 모터 본체(22)에 각각 대응하는 3개의 리턴 스프링(20)을 포함하며, 이들이 공통(하나)의 상기 프레임 부재(30)에 장착된 구성을 갖는다. 각 리니어 모터 본체(22)의 가동자(26)에는 각각 상기 구동 샤프트(18)가 연결되어 있다. 이 구성에 의해, 각 노즐(19)[구동 샤프트(18)]이 리니어 모터 본체(22)에 의해 각각 Z방향으로 승강 구동됨과 아울러, 리니어 모터 본체(22)의 정지시에는 리턴 스프링(20)의 부세력(付勢力)으로 각각 소정의 상승단 위치에 유지되도록 구성되어 있다.
상세하게 설명하면, 상기 프레임 부재(30)는 Y방향을 법선 방향으로 하는 엔드 블록(310)과, 엔드 프레임(310)의 X방향 양측에 배치되는 한 쌍의 사이드 플레이트(312)와, 엔드 프레임(310)과 협동해서 양 사이드 플레이트(312)를 Y방향으로 끼워넣는 프론트 블록(314)을 구비한 Z방향으로 관통하는 상자형의 형상을 갖는다. 이들 블록(310, 314) 및 플레이트(312)는, 모두 알루미늄 합금 등의 비자성 재료로 형성되어 있다.
각 리니어 모터 본체(22)는 상기한 바와 같이 고정자(24), 가동자(26) 및 지지 부재(28)를 포함한다. 고정자(24)는, Z방향으로 연장되는 요크 및 이 요크의 측부로부터 후측(-Y방향측)을 향해서 직각으로 연장되면서 Z방향으로 늘어선 복수의 티스를 일체로 갖는 빗 모양의 코어(241)와 상기 코어(241)의 각 티스에 장착되는 코일(242)을 구비한 전기자이다. 각 리니어 모터 본체(22)의 고정자(24)는 X방향으로 병렬로 늘어놓아진 상태로, 각각 상기 프론트 블록(314)에 고정되어 있다. 즉, 프레임 부재(30)는 각 고정자(24)를 지지하고 있다. 또한 도 6, 도 7의 부호(244)는 각 고정자(24)[코일(242)]에 대하여 각각 구동용의 전류를 공급하기 위한 배선이다.
한편, 가동자(26)는 상기 고정자(24)에 대하여 Y방향으로 병렬로 형성되어 있다. 가동자(26)는 상기 고정자(24)에 대향하는 대향면을 갖고, Z방향으로 연장되는 단면 직사각형의 축상부재(261)와, 이 축상부재(261)의 상기 대향면에 고정되는 계자자로서의 복수의 영구 자석(262)과, 상기 구동 샤프트(18)가 부착되는 부착 블록(263)을 구비하고 있다.
상기 복수의 영구 자석(262)은 표면측[즉 고정자(24)측]의 극성이 교대가 되도록, 축상부재(261)의 상단(+Z방향측 단)으로부터 일정한 범위에 Z방향을 따라 고정되어 있다. 축상부재(261) 중 상기 영구 자석(262)이 고정되는 영역보다 하측(-Z방향측 단)에는, 상기 부착 블록(263)이 부착되어 있다. 이 설치 블록(263)은 직사각형 단면의 슬리브부(263a)와, 슬리브부(263a)의 하단 부분에 연설되는 샤프트 부착부(263b)를 일체로 갖는 구조체이다. 그리고, 이 샤프트 부착부(263b)에 대하여 상기 구동 샤프트(18)의 상단부가 고정되어 있다(도 4 참조). 또한, 샤프트 부착부(263b)의 상단 전면에는 Y방향을 따라 전방으로 돌출된 스터드 핀(264)이 입설(立設)되어 있고, 상기 리턴 스프링(20)의 일단부가 이 스터드 핀(264)에 부착되어 있다. 리턴 스프링(20)은 슬리브부(263a)의 내부를 통과하고, 타단부를 슬리브(263a)의 상방으로 향하게 하고 있다.
각 리니어 모터 본체(22)의 가동자(26)는 X방향으로 병렬로 늘어놓여져, 각각 상기 전기자[고정자(24)]에 대하여 계자자[영구 자석(262)]가 Y방향으로 대향하도록, 상세하게는 고정자(24)와 가동자(26)의 사이[보다 정확하게는 빗 모양 코어(241)의 가동자측 단부와 영구 자석(262)의 고정자측 표면 사이]에 소정의 갭이 형성되도록 배치되어 있다. 각 가동자(26)는 길이 방향[축상부재(261)의 길이 방향 ; Z방향]으로 슬라이드 가능하게 되도록, 상기 엔드 블록(310)에 고정된 복수의 상기 지지 부재(28)에 장착되어 있다. 즉, 각 지지 부재(28)는 리니어 모터 본체(22)마다 프레임 부재에 부착되어, 각 가동자(26)를 상하 방향으로 각각 독립적으로 이동 가능하도록 지지한다. 또한, 도 7에서는 지지 부재(28)는 가장 앞쪽(-X방향측)에 위치하는 가동자(26)를 유지하는 것만 도시되어 있고, 다른 것은 생략되어 있다. 그리고, 상기 리턴 스프링(20)의 타단부가 도시 생략한 볼트로 프론트 블록(314)에 부착되어 있다. 이에 따라, 도면 외의 제어 장치로부터 각 리니어 모터 본체(22)의 고정자(24)(전기자)에 소정의 구동 전류가 가해지면, 상세하게는 각 코일(242)에 위상이 다른 삼상 전류가 가해지면, 각 코일(242)에 자계가 생성되어 상기 고정자(24)와 가동자(26) 사이에 상기 가동자(26)를 Z방향으로 이동시키는 추진력이 발생하고, 이 추진력에 의해 가동자(2)[구동 샤프트(18)]가 프레임 부재(30)에 대하여 Z방향으로 이동한다. 그리고 각 코일(242)에 대하여 전류 공급이 차단되면, 상기 리턴 스프링(20)의 탄발력에 의해 상기 축상부재(261)가 Z축을 따라 상방으로 부세(付勢)되고, 그 결과 각 리니어 모터 본체(22)의 가동자(26)[구동 샤프트(18)]가 그 가동 영역의 상단 위치에 유지된다.
전열 헤드(16a)는 도 2에 개략적으로 나타내는 바와 같이(도 7에서는 생략하고 있다), 상기 프레임 부재(30)[엔드 블록(310)]에 고정되는 차폐 부재(290)를 또한 구비하고 있다. 차폐 부재(29)는 인접하는 리니어 모터 본체(22) 간의 상호작용, 예를 들면 가동자(26)가 함께 움직이는 등의 악영향을 방지하기 위한 것이며, 인접하는 가동자(26) 사이에 각각 개재하는 차폐벽을 구비한 단면이 [コ] 글자형인 부재이며, 전체가 자성체로 형성되어 있다.
또한, 축상부재(261) 및 지지 부재(28)는 레일 부재와 이 레일 부재에 이동 가능하게 장착되는 슬라이더를 구비한 소위 리니어 가이드라고 칭해지는 가이드 장치에 의해 구성되어 있다. 즉, 이 가이드 장치의 레일 부재에 의해 상기 가동자(26)의 축상부재(261)가 구성되고, 슬라이더에 의해 상기 지지 부재(28)가 구성되어 있다. 이 구성에 의해, 각 리니어 모터 본체(22)는 가동자(26)[구동 샤프트(18)]를 안정적이며 원활하게 Z방향으로 이동시키는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 또한, 상기 축상부재(261)(레일 부재)는 자성 재료로 구성되어 있고, 이에 따라 상기 리니어 모터에서는, 축상부재(261)가 계자자[영구 자석(262)]의 백 요크를 겸한 구성으로 되어 있다. 또한, 각 리니어 모터 본체(22)의 지지 부재(28)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 인설된 리니어 모터 본체(22)의 지지 부재(28)끼리 상하로 어긋난 지그재그 형상 배치로 되어있고, 이에 따라 인접하는 리니어 모터 본체(22)의 고정자(24) 및 가동자(26)가 X방향으로 더욱 접근해서 배치되어 있다.
리니어 엔코더(32)는, 리니어 모터 본체(22) 가동자(26)의 Z방향의 위치를 검출하기 위한 것이다. 리니어 엔코더(32)는 MR 센서나 홀 센서 등 자기 센서를 구비한 센서 기판(321)과, 상기 자기 센서에 의해 판독 가능한 자기적인 눈금이 기록된 플레이트 형상의 자기 스케일(322)을 포함한다. 리니어 엔코더(32)는 각 리니어 모터 본체(22)에 대응해서 형성되어져 있다. 구체적으로는, 도 7에 나타내는 바와 같이 각 고정자(24)의 하측(-Z방향측)에 각각 위치하도록 3개의 센서 기판(321)이 병렬로 놓여진 상태로 상기 프론트 블록(314)에 고정되어 있다. 그리고 각 가동자(26)의 상기 설치 블록(263)[슬리브부(263a)] 전측에 평탄한 설치면이 각각 형성되어, 각 설치면에 상기 자기 스케일(322)이 각각 고정되어 있다. 이에 따라, 리니어 모터 구동시에는 각 센서 기판(321)의 자기 센서가 대응하는 자기 스케일(322)을 각각 읽어냄으로써, 도면 외의 제어 장치에 의해 각 가동자(26)의 위치가 제어된다.
이상에서는, 헤드 유닛(6)의 우측에 위치하는 전열 헤드(16a)의 구성에 대하여 설명했지만, 좌측에 위치하는 전열 헤드(16b)도 동등한 구성을 갖는다. 또한, 후열 헤드(17a, 17b)도 리니어 모터 본체(22)의 수가 2개인 점을 제외하고, 상기 전열 헤드(16a)와 동등한 구성을 갖는다. 또한 당 실시형태에서는, 전열 헤드(16a, 16b)의 각 리니어 모터의 프레임 부재(30)가 본 발명의 제 1 프레임 부재에 상당하고, 후열 헤드(17a, 17b)의 각 리니어 모터의 프레임 부재가 본 발명의 제 2 프레임 부재에 상당한다.
전열 헤드(16a, 16b)와 후열 헤드(17a, 17b)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 프레임 부재(30)의 엔드 블록(310)끼리 접촉하도록 표리 관계로 배치된 상태로 헤드 유닛(6)의 헤드 프레임(61)에 고정되어 있다. 즉, 전열 헤드(16a, 16b)와 후열 헤드(17a, 17b)는 리니어 모터 본체(22)의 가동자(26)끼리 근접하고, 상기 가동자(26)의 외측에 고정자(24)가 위치하는 상태로 상기 헤드 프레임(61)에 고정되어 있다. 또한, 당 예에서는 상기 헤드(16a, 16b)의 리니어 모터가 본 발명의 제 1 리니어 모터에 상당하고, 상기 헤드(17a, 17b)의 리니어 모터가 본 발명의 제 2 리니어 모터에 상당한다.
전열 헤드(16a, 16b) 및 후열 헤드(17a, 17b)는, 헤드 유닛(6)을 정면으로부터 본 상태에서(+Y방향측에서 본 상태에서) 전후의 노즐(19)[구동 샤프트(18)]이 교대로 늘어선 것처럼, 전열 헤드(16a, 17a)의 각 리니어 모터 본체(22)와 후열 헤드(17a, 17b)의 각 리니어 모터 본체(22)가 X방향으로 오프셋 된 구성을 갖고 있다. 이에 따라, 각 리니어 모터 본체(22)에 연결된 합계 10개의 노즐(19)[구동 샤프트(18)]이 상기한 바와 같이, 전체적으로 지그재그 형상으로 배열되어 있다.
상기 회전 구동 기구는 다음과 같이 구성되어 있다. 즉, 각 헤드(16a~17b)의 구동 샤프트(18)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 구동 샤프트(18)를 그 중심축 주위(R방향)로 회전 가능하도록 유지하는 샤프트 유지 부재(181)를 통해서 상기 가동자(26)의 부착 블록(263)에 장착되어 있다. 또한, 각 헤드(16a~17b)의 구동 샤프트(18)는 Z방향의 이동 및 중심축 주위(R방향)로 회전이 각각 가능해지는 상태로, 길이 방향의 도중 부분이 헤드 프레임(61)의 도면 외의 지지부에 유지되어 있다. 그리고, 상기 헤드 프레임(61)에 고정된 도면 외의 2개의 R축 서보 모터(42a, 42b)(도 3에 나타낸다)에 장착되는 구동 풀리와 각 구동 샤프트(18)에 스플라인 결합으로 장착되는 도면 외의 종동 풀리에 걸쳐 소정의 순서로 구동 벨트가 걸쳐져 있다. 이에 따라, 각 헤드(16a~17b)의 노즐(19)[구동 샤프트(18)]이 특정 그룹마다 일체로 회전 구동된다.
상기 부품 실장 장치에서는, 다음과 같이 해서 부품의 실장이 행하여진다.
우선, 헤드 유닛(6)이 부품 공급부(4,5)로 이동해서 각 노즐(19)에 의한 부품의 흡착이 행하여진다. 구체적으로는, 소정의 노즐(19)이 예를 들면 테이프 피더(4a)의 상방에 배치된 후, 리니어 모터에 의해 구동 샤프트(18)가 승강 구동되고, 이에 따라 노즐(19)이 하강해서 테이프 내의 부품이 흡착된 상태로 꺼내진다. 이때, 가능한 경우에는 복수의 노즐(19)에 의해 동시에 부품의 흡착이 행하여진다. 부품의 흡착이 완료되면, 소정의 경로를 따라 헤드 유닛(6)이 부품 촬상 유닛(7)의 상방을 경유해서 기판(3) 상으로 이동한다. 이 이동 중에, 각 노즐(19)에 의한 부품의 흡착 상태가 화상 인식되어서 실장시의 보정량이 도면 외의 제어 장치에 의해 연산됨과 아울러, 흡착된 부품의 방향을 소정 각도로 하기 위해 구동 샤프트(18)가 R축 서보 모터(42a, 42b)에 의해 회전된다. 그리고, 헤드 유닛(6)이 기판(3)의 최초 실장 위치(상기 보정량을 반영한 실장 위치)에 도달하면, 리니어 모터에 의해 구동 샤프트(18)가 승강 구동되어서 기판(3)에 부품이 실장되고, 이후 헤드 유닛(6)이 순차적으로 실장 위치로 이동함으로써, 기판(3) 상으로 나머지의 흡착 부품이 실장된다.
상술한 부품 실장 장치에 의하면, 각 노즐(19)[구동 샤프트(18)]을 승강 구동하는 리니어 모터[리니어 모터 본체(22)]는, 코어(241)와 이것에 장착되는 코일(242)로부터 전기자[고정자)24]가 구성되는 소위 코어 장착 리니어 모터이다. 그 때문에, 비교적 소형인 전기자(고정자)를 구비한 콤팩트한 구성으로도 큰 추진력, 즉 노즐(19)의 승강 구동력을 얻을 수 있다. 또한, 리니어 모터[리니어 모터 본체(22)]는 고정자(24)와 가동자(26)가 Y방향으로 늘어선 구성이기 때문에, X방향의 점유 스페이스를 줄이는 것이 가능하고, 따라서 각 헤드(16a~17b)에 있어서 각 노즐(19)[구동 샤프트(18)]을 X방향에 협피치로 배열할 수 있다. 또한, 전열 헤드(16a, 16b)와 후열 헤드(17a, 17b)가 리니어 모터 본체(22)의 가동자(26)끼리 근접하고, 상기 가동자(26)의 외측에 고정자(24)가 위치하도록 배치되어 있으므로, 전열의 노즐(19)과 후열의 노즐(19)을 Y방향에 협피치로 배열할 수 있다. 특히, 리니어 모터[리니어 모터 본체(22)]의 가동자(26)는 축상부재(261)에 영구 자석(262)이 적층된 구성으로 지지 부재(28)에 의해 직접 프레임 부재(30)로 이동 가능하도록 지지되어 있으므로, 가동자(26)의 표면(고정자에 대향하는면)으로부터 지지 부재(28)의 저면[엔드 블록(310)에 대한 고정면]까지의 치수가 매우 작아, 이 점에서도 전열의 노즐(19)과 후열의 노즐(19)을 Y방향에 협피치로 배열할 수 있다.
따라서, 이 부품 실장 장치에 의하면 종래의 이 종류의 부품 실장 장치(특허문헌 1에 기재된 것)와 비교하면, 노즐(19)[구동 샤프트(18)]을 보다 고속으로 승강 구동할 수 있고, 또한 노즐 부재 배열의 협피치화나 헤드 유닛의 소형화를 효과적으로 달성할 수 있다.
또한, 이 리니어 모터에서는 상기한 바와 같이 축상부재(261)가 자성 재료로 구성됨으로써, 축상부재(261)가 계자자[영구 자석(262)]의 백 요크를 겸한 구성으로 되어 있다. 이 리니어 모터의 구성에 의하면, 별도로 전용의 백 요크를 형성하는 구성에 비하여, 가동자(26)의 표면(고정자에 대향하는면)으로부터 지지 부재(28)의 저면[엔드 블록(310)에 대한 고정면]까지의 치수가 축소된다. 따라서, 이 점에서도 전열 헤드(16a, 16b)의 노즐(19)과 후열 헤드(17a, 17b)의 각 노즐(19)을 Y방향에 협피치로 배열할 수 있다.
또한, 상기 리니어 모터는 다축 리니어 모터이며, 각각 고정자(24), 가동자(26) 및 지지 부재(28)로 구성된 3개(또는 2개)의 리니어 모터 본체(22)가 속이 빈 상자 모양의 공통의(하나의) 프레임 부재(30)의 내부에 병렬로 놓여진 상태에서 일체로 삽입된 구성이다. 즉, 각 리니어 모터 본체(22)의 고정자(24) 및 지지 부재(28)가 각각 공통의 프레임 부재(30)에 고정 지지되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 서로 독립된 구조의 리니어 모터를 복수개 병설하는 구성, 즉, 리니어 모터 본체(22)끼리를 완전히 프레임 등으로 구획하는 구성에 비하면, 프레임 부재(30)의 점유 스페이스를 줄일 수 있고, 이에 따라 리니어 모터 전체가 리니어 모터 본체(22)의 배열 방향으로 컴팩트화된다. 따라서, 이렇게 리니어 모터가 컴팩트화되는 만큼 헤드 유닛(6)의 소형화를 꾀할 수 있다.
또한 상기 부품 실장 장치에 의하면, 전열 헤드(16a, 16b) 및 후열 헤드(17a, 17b)는 리니어 모터 본체(22)의 가동자(26)끼리 근접하고, 상기 가동자(26)의 외측에 고정자(24)가 위치하도록 배치되어 있는, 즉, 동손에 의한 발열이 발생하는 고정자(24)(전기자)끼리 이간하도록 전후의 리니어 모터가 배치되어 있으므로, 헤드 프레임(61)의 특정 부분이 열 변형되는 것이 효과적으로 방지된다. 따라서 이 부품 실장 장치에 의하면, 상기 열 변형에 기인하는 노즐(19)[구동 샤프트(18)]의 구동 오차 발생을 미연에 방지해서 부품 실장을 정밀도 좋게 행하는 것이 가능해진다는 이점도 있다.
또한, 이상에서 설명한 부품 실장 장치는 본 발명에 의한 부품 실장 장치의 바람직한 실시형태의 예시이며, 그 구체적인 구성은 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 적당하게 변경 가능하다.
예를 들면, 상기 실시형태는 헤드 유닛(6)은 3축(2축) 구성의 다축 리니어 모터, 즉, 3개(2개)의 리니어 모터 본체(22)가 공통의(하나의) 프레임 부재(30)에 삽입된 리니어 모터에 의해 노즐(19)[구동 샤프트(18)]을 구동하는 구성이지만, 물론 단축 리니어 모터, 즉, 1개의 리니어 모터 본체(22)가 하나의 프레임 부재에 삽입된 리니어 모터에 의하여 노즐(19)[구동 샤프트(18)]을 구동하는 구성이어도 된다.
또한, 상기 실시형태는 전열 헤드(16a, 16b)의 각 노즐(19)[구동 샤프트(18)]과 후열 헤드(17a, 17b)의 노즐(19)[구동 샤프트(18)]이 X방향으로 오프셋 되어 있지만, 물론 전후의 노즐(19)이 X방향의 같은 위치에서 Y방향으로 늘어서는 구성이어도 된다. 다만, 실시형태와 같이 전열의 노즐(19)과 후열의 노즐(19)이 X방향으로 오프셋 되는 구성, 즉, 상기한 바와 같이 전열의 리니어 모터 본체(22)와 후열의 리니어 모터 본체(22)가 X방향으로 오프셋 되는 구성에 의하면, 전후의 리니어 모터 본체(22)가 X방향의 같은 위치에서 Y방향으로 늘어서는 구성에 비하여, 전후의 리니어 모터의 고정자(24)(전기자)끼리 이간시킬 수 있다. 따라서, 헤드 프레임(61)의 열 변형을 방지하는 관점에서는, 상기 실시형태와 같이 전열의 노즐(19)과 후열의 노즐(19)이 X방향으로 오프셋되는 구성이 유리하다.
또한, 상기 실시형태의 리니어 모터에서는 축상부재(261)가 자성 재료로 구성됨으로써, 축상부재(261)가 계자자[영구 자석(262)]의 백 요크를 겸한 구성으로 되어 있지만, 물론 축상부재(261)와 영구 자석(262) 사이에 전용 백 요크를 개재하도록 해도 좋다.
또한, 상기 실시형태의 리니어 모터에서는 각 고정자(24)와, 슬라이더에 의해 구성되는 각 지지 부재(28)를 직접 프레임 부재(30)에 고정 지지하도록 하고 있지만, 중간물을 통해서 프레임 부재(30)에 고정 지지하도록 해도 좋다.
이상에서 설명한 본 발명을 정리하면 아래와 같다.
본 발명의 한 국면에 의한 부품 실장 장치는, 제 1 방향으로 일렬로 늘어선 복수의 노즐 부재를 포함하는 제 1 노즐열과, 상기 제 1 방향으로 일렬로 늘어선 복수의 노즐 부재를 포함하면서 상기 제 1 노즐열에 대하여 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 늘어선 제 2 노즐열과, 상기 제 1 노즐열의 노즐 부재를 승강 구동하는 제 1 리니어 모터와, 상기 제 1 노즐열의 노즐 부재를 승강 구동하는 제 2 리니어 모터를 갖는 헤드 유닛을 구비하고, 상기 제 1 리니어 모터 및 상기 제 2 리니어 모터는 각각 리니어 모터 본체와, 이 리니어 모터 본체를 지지하는 프레임 부재를 포함하고, 상기 리니어 모터 본체는 상기 프레임 부재에 고정되는 고정자와, 이 고정자에 대하여 상기 제 2 방향으로 대향하면서 상기 고정자에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 가동자를 포함하고, 상기 고정자는 상하 방향으로 늘어서면서 각각 상기 제 2 방향으로 연장되는 복수의 티스를 갖는 코어와, 상기 코어의 각 티스에 각각 장착되는 코일을 구비하는 전기자이며, 상기 가동자는 상기 고정자에 대향하는 쪽의 표면 극성이 교대로 다르도록 상하 방향으로 배열되는 복수의 영구 자석을 갖는 계자자이며, 상기 노즐 부재는 상기 가동자에 연결되어 있고, 상기 제 1 리니어 모터와 상기 제 2 리니어 모터는 상기 제 2 방향에 있어서 가동자끼리 서로 근접하여, 상기 가동자의 외측에 각각 고정자가 위치하도록 상기 헤드 유닛에 탑재되어 있는 것이다.
이 부품 실장 장치에 의하면, 노즐 부재를 구동하는 제 1 리니어 모터 및 제 2 리니어 모터는 코어와 코일로 전기자(고정자)가 구성되는 소위 코어 부착 리니어 모터이기 때문에, 소형의 전기자(고정자)를 구비한 콤팩트한 구성으로도 비교적 큰 추진력, 즉 노즐 부재의 구동력을 얻는 것이 가능해진다. 또한, 제 1 리니어 모터 및 제 2 리니어 모터는 가동자와 고정자가 제 2 방향으로 늘어선 구성이기 때문에, 제 1 방향의 점유 스페이스를 줄이는 것이 가능하다. 따라서, 각 노즐열에 있어서의 노즐 부재끼리 제 1 방향에 협피치로 배열하는 것이 가능해진다. 또한, 제 1 리니어 모터 및 제 2 리니어 모터는 노즐 부재가 연결되는 가동자끼리 제 2 방향에 근접하도록 배치되기 때문에, 노즐열 사이(즉, 제 2 방향)에 대해서도 노즐 부재끼리 협피치로 배열하는 것이 가능해진다.
이 부품 실장 장치에 있어서, 상기 리니어 모터 본체는 상기 프레임 부재에 부착되어 상기 가동자를 상하 방향으로 이동 가능하도록 지지하는 지지 부재를 포함하고, 상기 가동자는 상하 방향으로 연장되어서 상기 고정자에 대향하는 대향면을 가지면서 상기 지지 부재로 이동 가능하도록 지지되는 축상부재를 포함하고, 이 축상부재의 상기 대향면에 상기 복수의 영구 자석이 고정된 것이다.
이 구성에 의하면, 제 1 리니어 모터 및 제 2 리니어 모터에 관해서, 가동자의 표면(고정자에 대향하는면)으로부터 지지 부재의 저면(프레임 부재에 대한 고정면)까지의 치수를 보다 작게 할 수 있기 때문에, 노즐열 사이의 노즐 부재끼리 제 2 방향에 의하여 협피치로 배열하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 부품 실장 장치에 있어서 상기 제 1 리니어 모터는 상기 제 1 방향으로 병렬로 배치된 복수의 상기 리니어 모터 본체와, 이들 복수의 리니어 모터 본체를 일체로 지지하는 상기 프레임 부재인 하나의 제 1 프레임 부재를 갖고, 상기 제 2 리니어 모터는 상기 제 1 방향으로 병렬로 배치되는 복수의 상기 리니어 모터 본체와, 이들 복수의 리니어 모터 본체를 일체로 지지하는 상기 프레임 부재인 하나의 제 2 프레임 부재를 갖는 것이 적절하다.
이 구성은 요컨대, 각 노즐열에 대해서 복수의 노즐 부재를 각각 구동하는 복수의 리니어 모터의 프레임 부재가 공통화된 것이다. 이 구성에 의하면, 프레임 부재의 점유 스페이스를 줄여, 헤드 유닛의 소형화를 꾀하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 부품 실장 장치에 있어서 상기 제 1 리니어 모터의 리니어 모터 본체와 상기 제 2 리니어 모터의 리니어 모터 본체는 상기 제 1 방향으로 서로 오프셋되어 있는 것이 적절하다.
이 구성에 의하면, 상기 제 1 리니어 모터의 리니어 모터 본체와 상기 제 2 리니어 모터의 리니어 모터 본체가 제 2 방향으로 늘어선 구성에 비하여 고정자(전기자)끼리를 이간시킬 수 있어, 프레임 부재의 열 변형을 억제하는데에 유리해 진다.
<산업상의 이용 가능성>
이상과 같이, 본 발명은 부품 실장 장치에 관한 것으로서 노즐 부재를 보다 고속으로 승강 구동하는 것을 가능하게 하면서, 노즐 부재 배열의 협피치화나 헤드 유닛의 소형화에 기여하는 것이며, 따라서, 복수열의 노즐 부재가 헤드 유닛에 탑재되는 부품 실장 장치의 제조 분야 등에 있어서 유용한 것이다.

Claims (5)

  1. 부품 실장 장치로서,
    제 1 방향으로 일렬로 늘어선 복수의 노즐 부재를 포함하는 제 1 노즐열과, 상기 제 1 방향으로 일렬로 늘어선 복수의 노즐 부재를 포함하고 또한 상기 제 1 노즐열에 대하여 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 늘어선 제 2 노즐열과, 상기 제 1 노즐열의 노즐 부재를 승강 구동하는 제 1 리니어 모터와, 상기 제 2 노즐열의 노즐 부재를 승강 구동하는 제 2 리니어 모터를 갖는 헤드 유닛을 구비하고,
    상기 제 1 리니어 모터 및 상기 제 2 리니어 모터는 각각 리니어 모터 본체와, 이 리니어 모터 본체를 지지하는 프레임 부재를 포함하고,
    상기 리니어 모터 본체는 상기 프레임 부재에 고정되는 고정자와, 이 고정자에 대하여 상기 제 2 방향에 대향하고 또한 상기 고정자에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 가동자를 포함하고,
    상기 고정자는 상하 방향으로 늘어서고 또한 각각 상기 제 2 방향으로 연장되는 복수의 티스를 갖는 코어와, 상기 코어의 각 티스에 각각 장착되는 코일을 구비하는 전기자이고,
    상기 가동자는 상기 고정자에 대향하는 측의 표면 극성이 교대로 다르도록 상하 방향으로 배열되는 복수의 영구 자석을 갖는 계자자이고,
    상기 노즐 부재는 상기 가동자에 연결되어 있고,
    상기 제 1 리니어 모터 및 상기 제 2 리니어 모터는 각각 상기 리니어 모터 본체의 가동자의 상하 방향의 위치를 검출하는 리니어 엔코더를 포함하고 또한 상기 제 2 방향에 있어서 가동자끼리 서로 근접하고, 상기 가동자의 외측에 각각 고정자 및 리니어 엔코더가 위치하도록 상기 헤드 유닛에 탑재되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 리니어 모터 본체는 상기 프레임 부재에 부착되어서 상기 가동자를 상하 방향으로 이동 가능하도록 지지하는 지지 부재를 포함하고,
    상기 가동자는 상하 방향으로 연장되어서 상기 고정자에 대향하는 대향면을 갖고 또한 상기 지지 부재로 이동 가능하도록 지지되는 축상부재를 포함하고, 이 축상부재의 상기 대향면에 상기 복수의 영구 자석이 고정된 것이며,
    상기 리니어 엔코더는 상기 가동자 중 상기 대향면과 같은 측에 고정된 자기 스케일과, 상기 고정자에 대하여 상하 방향으로 늘어서도록 상기 프레임 부재에 설치되며 또한 상기 자기 스케일을 판독하는 자기 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 리니어 모터는, 상기 제 1 방향으로 병렬로 배치되는 복수의 상기 리니어 모터 본체와, 이들 복수의 리니어 모터 본체에 각각 대응하는 복수의 상기 리니어 엔코더와, 이들 복수의 리니어 모터 본체 및 복수의 리니어 엔코더를 일체로 지지하는 상기 프레임 부재인 하나의 제 1 프레임 부재를 갖고,
    상기 제 2 리니어 모터는, 상기 제 1 방향으로 병렬로 배치되는 복수의 상기 리니어 모터 본체와, 이들 복수의 리니어 모터 본체에 각각 대응하는 복수의 상기 리니어 엔코더와, 이들 복수의 리니어 모터 본체 및 복수의 리니어 엔코더를 일체로 지지하는 상기 프레임 부재인 하나의 제 2 프레임 부재를 갖는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 리니어 모터의 리니어 모터 본체와 상기 제 2 리니어 모터의 리니어 모터 본체가 상기 제 1 방향으로 서로 오프셋되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 리니어 모터의 리니어 모터 본체와 상기 제 2 리니어 모터의 리니어 모터 본체가 상기 제 1 방향으로 서로 오프셋되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
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