CN104041207A - 元件安装装置 - Google Patents

Abstract

元件安装装置包括头部组件，该头部组件具有：第一吸嘴列，包含沿第一方向排列的多个吸嘴部件；第二吸嘴列，包含沿第一方向排列的多个吸嘴部件，且相对于第一吸嘴列沿与所述第一方向垂直的第二方向排列；第一线性马达，对第一吸嘴列的吸嘴部件进行升降驱动；以及第二线性马达，对第二吸嘴列的吸嘴部件进行升降驱动。各线性马达包含线性马达主体和框架部件。线性马达主体包含定子以及在第二方向上与该定子相向且相对于该定子能够沿上下方向移动的动子。定子为电枢，动子为励磁元件，吸嘴部件连接于动子。第一线性马达和第二线性马达被配置成动子在第二方向上互相接近，且定子分别位于该动子的外侧。

Description

元件安装装置

技术领域

本发明涉及一种从元件供应部取出元件并安装于基板上的搭载位置的元件安装装置。

背景技术

以往，已知有用头部组件从元件供应部取出元件并安装于基板上的搭载位置的元件安装装置，其中，头部组件包括具有元件安装用的吸嘴的、能够升降的轴部件(以下，称为吸嘴部件)。近几年的元件安装装置为了实现安装动作的效率化，倾向于将多个吸嘴部件搭载于头部组件上。例如，在专利文献1中记载了多个吸嘴部件在排列成前后两列的状态下搭载于头部组件上的元件安装装置。在该专利文献1记载的元件安装装置中，各吸嘴部件分别连接于轴型线性马达的动子，由该轴型线性马达对各吸嘴部件进行升降驱动。由此，根据由轴型线性马达对吸嘴部件进行升降驱动的结构，与由以旋转马达作为驱动源的丝杠进给机构等来对吸嘴部件进行升降驱动的结构相比，能够将用于使吸嘴部件升降的驱动机构的占有空间抑制得小，有利于缩小吸嘴部件的排列间距或头部组件的小型化。

但是，轴型线性马达是电枢不具有铁芯的所谓的无铁芯线性马达，因此，所产生的驱动力(吸嘴部件的推动力)比较小。因此，例如为了提高安装效率而想要以更快的速度驱动吸嘴部件，则需要使电枢(线圈)大型化，即需要使轴型线性马达大型化，这阻碍缩小吸嘴部件的排列间距或头部组件的小型化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公报第4208155号

发明内容

本发明的目的在于，针对元件安装装置提供一种既能够以更快的速度对吸嘴部件进行升降驱动，且有助于缩小吸嘴部件的排列间距或头部组件的小型化的技术。

本发明所涉及的元件安装装置，包括：头部组件，所述头部组件具有：第一吸嘴列，包含沿第一方向排成一列的多个吸嘴部件；第二吸嘴列，包含沿所述第一方向排成一列的多个吸嘴部件，且相对于所述第一吸嘴列沿与所述第一方向垂直的第二方向排列；第一线性马达，对所述第一吸嘴列的吸嘴部件进行升降驱动；以及第二线性马达，对所述第一吸嘴列的吸嘴部件进行升降驱动，其中，所述第一线性马达以及所述第二线性马达分别包含线性马达主体和支撑该线性马达主体的框架部件，所述线性马达主体包含：被固定于所述框架部件的定子；以及在所述第二方向上与该定子相向且相对于该定子能够沿上下方向移动的动子，其中，所述定子为电枢，其包括：具有沿上下方向排列且分别沿所述第二方向延伸的多个齿的铁芯；以及分别安装于该铁芯的各齿上的线圈，所述动子为励磁元件，其具有以与所述定子相向的一侧的表面极性交替不同的方式沿上下方向排列的多个永久磁铁，所述吸嘴部件连接于所述动子，所述第一线性马达和所述第二线性马达以动子在所述第二方向上互相接近，且定子分别位于该动子的外侧的方式，搭载于所述头部组件。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的元件安装装置的俯视图。

图2是表示头部组件的剖视图(图1的II-II线剖视图)。

图3是表示头部组件的仰视图。

图4是表示头部组件的纵剖视图(图3的IV-IV线剖视图)。

图5是表示搭载于头部组件的前列头以及后列头的结构的、图4的要部放大图。

图6是表示前列头的外观的立体图。

图7是表示前列头的结构的分解立体图。

具体实施方式

下面，参照附图详述本发明的优选的一实施方式。

图1以俯视图概略地表示了本发明所涉及的元件安装装置。此外，图1以及后面说明的图中，为了明确方向关系而示出了XYZ直角坐标轴。

元件安装装置包括：基座1；配置在该基座1上，并沿X方向搬送印刷线路板(PWB；Printed Wiring Board)等基板3的基板搬送机构2；元件供应部4、5；元件安装用的头部组件6；驱动该头部组件6的头部组件驱动机构；以及用于识别元件的摄像组件7等。

所述基板搬送机构2包含在基座1上搬送基板3的一对传送带2a、2a。这些传送带2a、2a从该图的右侧接收基板3并将其搬送至指定的安装作业位置(该图中所示的位置)，且由图略的保持装置保持该基板3。并且，所述传送带2a、2a在安装作业后解除该基板3的保持，并将该基板3搬出至该图的左侧。

所述元件供应部4、5配置在所述基板搬送机构2的两侧(Y方向两侧)。在这些元件供应部4、5中的其中一侧的元件供应部4上配置有沿基板搬送机构2在X方向上排列的多个带式供料器4a。这些带式供料器4a具备带盘(reel)，在该带盘上卷绕有收容并保持IC、晶体管、电容等的小片状的芯片元件的料带，带式供料器4a一边从该带盘间歇地送出料带，一边向基板搬送机构2附近的指定的元件供应位置供应元件。另一方面，在另一侧的元件供应部5，在X方向上隔开指定间隔而设置有托盘5a、5b。在各托盘5a、5b分别排列载置有QFP(Quad Flat Package)、BGA(Ball Grid Array)等封装型元件，以便由后述的头部组件6能够取出。

所述头部组件6是从元件供应部4、5取出元件并将其安装于基板3上的组件，被配置在基板搬送机构2以及元件供应部4、5等的上方。

所述头部组件6通过所述头部组件驱动机构的驱动，在一定区域内能够沿X方向以及Y方向移动。该头部组件驱动机构包含：分别固定在设置于基座1上的一对高架框架1a、1a上，并沿Y方向彼此平行延伸的一对固定导轨9；被这些固定导轨9支撑，并沿X方向延伸的组件支撑部件12；以及螺合插入于该组件支撑部件12，并由Y轴伺服马达11驱动的滚珠丝杠轴10。此外，头部组件驱动机构包含：被固定于组件支撑部件11上，并将头部组件6支撑为能够沿X方向移动的固定导轨13；以及螺合插入于头部组件6，并以X轴伺服马达15作为驱动源而被驱动的滚珠丝杠轴14。即，头部组件驱动机构通过X轴伺服马达15的驱动并通过滚珠丝杠轴14而使头部组件6沿X方向移动，并且，通过Y轴伺服马达11的驱动并通过滚珠丝杠轴10而使组件支撑部件12沿Y方向移动，其结果，头部组件驱动机构使头部组件6在一定的区域内沿X方向以及Y方向移动。

如图2及图3所示，所述头部组件6包括：沿X方向排列的2个前列头16a、16b；以及在该前列头16a、16b的后方，同样沿X方向排列的2个后列头17a、17b。如后详述，前列头16a、16b以及后列头17a、17b均为具备多轴线性马达的组件。前列头16a、16b分别具有沿X方向(相当于本发明的第一方向)排成一列且沿Z方向延伸的3个驱动轴18，后列头17a、17b分别具有沿X方向排成一列且沿Z方向延伸的2个驱动轴18。据此，在头部组件6，共计10个驱动轴18在前后方向(Y方向；相当于本发明的第二方向)分成两列的状态被设置，具体而言，以分配成前列6个、后列4个的状态被设置。在该例中，由前列头16a、16b的各吸嘴19(驱动轴18)形成的吸嘴列相当于本发明的第一吸嘴列，由后列头17a、17b的各吸嘴19(驱动轴18)形成的吸嘴列相当于本发明的第二吸嘴列。此外，前列头16a、16b的各驱动轴18和后列头17a、17b的各驱动轴18在X方向上互相偏置，据此，10个吸嘴19(驱动轴18)整体上排列成锯齿状。

在各驱动轴18的顶端(下端)安装有元件吸附用的吸嘴19。各吸嘴19分别经由电动切换阀而能够与负压产生装置、正压产生装置以及大气的任一个连通。据此，所述吸嘴19通过其顶端被供应负压，能够吸附保持元件，之后，通过被供应正压，解除该元件的吸附状态。在该例中，该驱动轴18以及吸嘴19相当于本发明的吸嘴部件。

各吸嘴19(驱动轴18)相对于头部组件6能够升降(Z方向的移动)以及以中心轴为中心(R方向)旋转，分别由升降驱动机构以及旋转驱动机构驱动。这些驱动机构中的升降驱动机构分别组装于各头16a～17b。此外，关于包含升降驱动机构的各头16a～17b的结构以及吸嘴19的旋转驱动机构的结构，将在后面说明。

所述摄像组件7是为了通过图像来识别各吸嘴19对元件的保持状态而在安装之前拍摄从元件供应部4、5取出的元件的组件。该元件摄像组件7配置在所述基座1上的所述托盘5a、5b之间的位置。该摄像组件7包括：被固定配置在基座1上，并对保持在各吸嘴19的元件从其下侧进行拍摄的照相机(图像传感器)；以及向元件提供摄像用的照明的照明装置，在所述头部组件6从元件供应部4、5吸附元件后在该摄像组件7的上方移动时，摄像组件7拍摄各吸嘴19的保持元件，并将其图像数据输出至图外的控制装置。

接下来，对头部组件6以及各头16a～17b的具体结构进行说明。

如上所述，头部组件6包括前列头16a、16b以及后列头17a、17b共计4个头16a～17b。如图3及图4所示，在这些头16a～17b中，位于右侧(-X方向侧)的头16a、17a在前后方向(Y方向)上互相邻接，同样，位于左侧的头16b、17b在前后方向上互相邻接。并且，在该状态下，各头16a～17b被固定在头部组件6的头框架61上。

下面，主要参照图5至图7，以前列头16a为例，说明该头16a～17b的结构。

前列头16a概略地包括：3轴结构的多轴线性马达；由该多轴线性马达(以下简略为线性马达)个别地上下驱动的3个所述驱动轴18；安装在各驱动轴18的下端部的所述吸嘴19；回位弹簧20；以及线性编码器32。

线性马达包括线性马达主体22和将该线性马达主体22组装在内的框架部件30。线性马达主体22包含定子24、动子26以及保持该动子26以使其能够移动的支撑部件28。该例的线性马达(前列头16a的线性马达)包含3个线性马达主体22、分别对应各线性马达主体22的3个线性编码器32以及分别对应各线性马达主体22的3个回位弹簧20，这些部件被组装于共同(一个)的所述框架部件30中。在各线性马达主体22的动子26分别连接有所述驱动轴18。根据该结构，各吸嘴19(驱动轴18)由线性马达主体22驱动而分别沿Z方向升降，并且，在线性马达主体22停止时，利用回位弹簧20的作用力而分别被保持于指定的上升端位置。

如详细说明，所述框架部件30呈沿Z方向贯穿的箱形形状，其包括：以Y方向作为法线方向的末端块体310；配置在末端框体310的X方向两侧的一对侧板312；与末端框体310协作而沿Y方向夹住两个侧板312的前端块体314。这些块体310、314以及侧板312均由铝合金等的非磁性材料形成。

如上所述，各线性马达主体22包含定子24、动子26以及支撑部件28。定子24为电枢，其包括：一体地具有沿Z方向延伸的磁轭以及从该磁轭的侧部向后侧(-Y方向侧)成直角延伸且沿Z方向排列的多个齿的梳型铁芯241；以及安装于该铁芯241的各齿的线圈242。各线性马达主体22的定子24在沿X方向并列排列的状态下，分别被固定于所述前端块体314。即，框架部件30支撑各定子24。此外，图6、图7中的符号244是用于分别向各定子24(线圈242)供应驱动用的电流的配线。

另一方面，动子26被设置成在Y方向上与所述定子24横向排列。动子26包括：具有与所述定子24相向的相向面，且沿Z方向延伸的剖面为矩形的轴状部件261；作为固定于该轴状部件261的所述相向面上的励磁元件的多个永久磁铁262；以及用于安装所述驱动轴18的安装块体263。

所述多个永久磁铁262以表面侧(即定子24侧)的极性交替不同的方式，沿Z方向固定于从轴状部件261的上端(+Z方向侧端)起的一定范围。轴状部件261中比固定所述永久磁铁262的区域更靠下侧(-Z方向侧端)的位置安装有所述安装块体263。该安装块体263是一体地具有矩形剖面的筒部263a和在该筒部263a的下端部分连续设置的轴安装部263b的结构体。并且，所述驱动轴18的上端部固定于该轴安装部263b(参照图4)。此外，在轴安装部263b的上端前表面上竖立设置有沿Y方向突出于前方的柱螺栓销264，所述回位弹簧20的一端部安装于该柱螺栓销264。回位弹簧20通过筒部263a的内部而使另一端部面向筒263a的上方。

各线性马达主体22的动子26以如下方式配置，即沿X方向并列排列，且其励磁元件(永久磁铁262)分别与所述电枢(定子24)在Y方向上相向，详细而言，在定子24与动子26之间(更准确地说，梳形铁芯241的动子侧端部与永久磁铁262的定子侧表面之间)形成有指定的间隙。各动子26被安装在固定于所述末端块体310的多个所述支撑部件28上，以便能够沿长边方向(轴状部件261的长边方向；Z方向)滑动。即，各支撑部件28按每个线性马达主体22而安装在框架部件上，并将各动子26支撑为能够沿上下方向分别独立移动。此外，在图7中，只示出了保持位于最跟前侧(-X方向侧)的动子26的支撑部件28，其它省略。并且，所述回位弹簧20的另一端部使用图略的螺栓而安装于前端块体314上。据此，当从图外的控制装置向各线性马达主体22的定子24(电枢)供应指定的驱动电流时，详细而言，向各线圈242供应相位不同的三相电流时，在各线圈242产生磁场，在所述定子24与动子26之间产生使该动子26沿Z方向移动的推动力，基于该推动力，动子2(驱动轴18)相对于框架部件30沿Z方向移动。并且，当切断对各线圈242的电流供应时，所述轴状部件261受所述回位弹簧20的弹性力所产生的沿Z轴上方的作用力，其结果，各线性马达主体22的动子26(驱动轴18)被保持在其可动区域的上端位置。

如图2中概略地所示(图7中省略)，前列头16a还包括固定于所述框架部件30(末端块体310)上的遮蔽部件29。遮蔽部件29用于防止相邻的线性马达主体22之间的相互作用，例如防止动子26一起被拖动等的坏影响，是具有分别介于相邻的动子26之间的遮蔽壁的、剖面为“コ”型的部件，且其整体由磁性体形成。

此外，轴状部件261以及支撑部件28由所谓的被称作线性导向器的导向装置构成，该导向装置包括导轨部件以及移动自如地安装于该导轨部件上的滑块。即，该导向装置的导轨部件构成所述动子26的轴状部件261，滑块构成所述支撑部件28。根据该结构，各线性马达主体22能够使动子26(驱动轴18)稳定且顺畅地沿Z方向移动。此外，所述轴状部件261(导轨部件)由磁性材料形成，据此，在上述线性马达中，轴状部件261兼作励磁元件(永久磁铁262)的后磁轭(back yoke)。另外，如图2所示，各线性马达主体22的支撑部件28是相邻设置的线性马达主体22的支撑部件28彼此上下错开的锯齿状的配置，据此，相邻的线性马达主体22的定子24以及动子26在X方向上更接近地被配置。

线性编码器32用于检测线性马达主体22的动子26的Z方向的位置。线性编码器32包含：具有MR传感器、霍尔传感器等磁传感器的传感器基板321；以及记录有可由所述磁传感器读取的磁刻度的板状的磁标尺322。线性编码器32与各线性马达主体22相对应地设置。具体而言，如图7所示，以分别位于各定子24的下侧(-Z方向侧)的方式，3个传感器基板321以并排的状态固定于所述前端块体314。并且，各动子26的所述安装块体263(筒部263a)的前侧分别形成有平坦的安装面，在各安装面分别固定有所述磁标尺322。据此，在线性马达驱动时，由各传感器基板321的磁传感器分别读取所对应的磁标尺322，由此，可由图外的控制装置来控制各动子26的位置。

以上说明了位于头部组件6的右侧的前列头16a的结构，位于左侧的前列头16b也具有同等的结构。此外，后列头17a、17b除了线性马达主体22的数量为2个的点以外，具有与所述前列头16a同等的结构。另外，在该实施方式中，前列头16a、16b的各线性马达的框架部件30相当于本发明的第一框架部件，后列头17a、17b的各线性马达的框架部件相当于本发明的第二框架部件。

如图5所示，前列头16a、16b和后列头17a、17b在框架部件30的末端块体310以彼此抵接的方式背靠背配置的状态下固定于头部组件6的头框架61上。即，前列头16a、16b和后列头17a、17b以线性马达主体22的动子26彼此接近且定子24位于该动子26的外侧的状态固定于所述头框架61。此外，在该例中，所述头16a、16b的线性马达相当于本发明的第一线性马达，所述头17a、17b的线性马达相当于本发明的第二线性马达。

前列头16a、16b以及后列头17a、17b具有前列头16a、17a的各线性马达主体22和后列头17a、17b的各线性马达主体22在X方向上偏置的结构，以便从正面观察头部组件6的状态下(从+Y方向观察的状态下)，前后的吸嘴19(驱动轴18)交替排列。据此，连接于各线性马达主体22的共计10个吸嘴19(驱动轴18)如上所述地在整体上排列成锯齿状。

所述旋转驱动机构如下所述地构成。即，如图4所示，各头16a～17b的驱动轴18经由轴保持部件181而组装于所述动子26的安装块体263，轴保持部件181将该驱动轴18保持为能够以其中心轴为中心(R方向)旋转。此外，各头16a～17b的驱动轴18在能够分别进行Z方向的移动以及以中心轴为中心(R方向)的旋转的状态下，其长度方向的中途部分被保持于头框架61的图外的保持部上。并且，驱动带以指定的顺序挂设于驱动带轮和图外的从动带轮，该驱动带轮安装在被固定于所述头框架61的图外的2个R轴伺服马达42a、42b(示于图3中)，该从动带轮以花键连接方式安装于各驱动轴18。据此，各头16a～17b的吸嘴19(驱动轴18)按特定的组一体地被旋转驱动。

在上述的元件安装装置中，如下地进行元件的安装。

首先，头部组件6移动到元件供应部4、5，用各吸嘴19进行元件的吸附。具体而言，在指定的吸嘴19例如配置于带式供料器4a的上方后，由线性马达对驱动轴18进行升降驱动，据此，吸嘴19下降，料带内的元件以被吸附的状态被取出。此时，如果可以，用多个吸嘴19同时进行元件的吸附。如果元件的吸附结束，头部组件6沿指定的路径经由元件摄像组件7的上方后移动到基板3上。在该移动过程中，各吸嘴19的元件吸附状态被进行图像识别，由图外的控制装置运算出安装时的修正量，并且，由R轴伺服马达42a、42b使驱动轴18转动，以使被吸附的元件的方向成为指定角度。然后，当头部组件6到达基板3的最初的安装位置(将所述修正量计算在内的安装位置)时，由线性马达对驱动轴18进行升降驱动，将元件安装到基板3上，之后，头部组件6依次移动到安装位置，由此，将剩下的吸附元件安装到基板3上。

根据上述的元件安装装置，对各吸嘴19(驱动轴18)进行升降驱动的线性马达(线性马达主体22)是电枢(定子24)具备铁芯241和安装于铁芯241的线圈242的所谓的带铁芯线性马达。因此，即使采用具备比较小型的电枢(定子)的紧凑的结构，也能获得大的推动力、即吸嘴19的升降驱动力。而且，线性马达(线性马达主体22)采用定子24和动子26沿Y方向排列的结构，因此，能够抑制X方向的占有空间，由此在各头16a～17b，能够在X方向上以窄间距排列各吸嘴19(驱动轴18)。另外，前列头16a、16b和后列头17a、17b被配置成线性马达主体22的动子26彼此接近且定子24位于该动子26的外侧，因此，能够在Y方向上以窄间距排列前列的吸嘴19和后列的吸嘴19。尤其，线性马达(线性马达主体22)的动子26为在轴状部件261上层叠永久磁铁262的结构，且通过支撑部件28，以能够移动的方式直接支撑于框架部件30，因此，动子26的表面(与定子相向的面)至支撑部件28的底面(对末端块体310的固定面)为止的尺寸非常小，在这一点上，也能够在Y方向上以窄间距排列前列的吸嘴19和后列的吸嘴19。

因此，根据该元件安装装置，与以往的此种元件安装装置(专利文献1中记载的装置)相比，能够以更快的速度对吸嘴19(驱动轴18)进行升降驱动，而且，能够有效地以窄间距排列吸嘴部件以及实现头部组件的小型化。

此外，在该线性马达中，如上所述，轴状部件261由磁性材料形成，由此轴状部件261兼用作励磁元件(永久磁铁262)的后磁轭。根据该线性马达的结构，与另外设置专用的后磁轭的结构相比，从动子26的表面(与定子相向的面)至支撑部件28的底面(对末端块体310的固定面)为止的尺寸缩小。因此，在这一点上，也能够将前列头16a、16b的吸嘴19以及后列头17a、17b的各吸嘴19以窄间距沿Y方向排列。

另外，上述线性马达是多轴线性马达，是分别具备定子24、动子26以及支撑部件28的3个(或2个)线性马达主体22以并列排列的状态一体地组装于中空箱型的共同(1个)的框架部件30的内部的结构。即，各线性马达主体22的定子24以及支撑部件28分别被固定支撑于共同的框架部件30。根据此种结构，与排列设置多个相互独立的结构的线性马达的结构、即用框架等将线性马达主体22之间完全分隔的结构相比，能够抑制框架部件30的占有空间，据此，线性马达整体在线性马达主体22的排列方向上紧凑化。因此，线性马达实现紧凑，相应地，能够实现头部组件6的小型化。

此外，根据上述的元件安装装置，前列头16a、16b以及后列头17a、17b以线性马达主体22的动子26彼此接近，且定子24位于该动子26的外侧的方式被配置，即前后的线性马达以因铜损而发热的定子24(电枢)彼此隔开间隔的方式被配置，因此，有效地防止头框架61的特定部分热变形。因此，根据该元件安装装置，也具有能够预先防止起因于所述热变形的吸嘴19(驱动轴18)的驱动误差的发生来高精度地进行元件安装的优点。

另外，以上说明的元件安装装置是本发明所涉及的元件安装装置的优选的实施方式的示例，其具体的结构在不脱离本发明的主旨的范围内可适当进行变更。

例如，在上述实施方式中，头部组件6是由3轴(2轴)结构的多轴线性马达、即用3个(2个)线性马达主体22组装于共同(一个)的框架部件30中的线性马达来驱动吸嘴19(驱动轴18)的结构，当然，也可以为单轴线性马达、即1个线性马达主体22组装于1个框架部件的线性马达驱动吸嘴19(驱动轴18)的结构。

此外，在上述实施方式中，前列头16a、16b的各吸嘴19(驱动轴18)和后列头17a、17b的吸嘴19(驱动轴18)在X方向上偏置，当然，也可以为前后的吸嘴19在X方向的相同位置沿Y方向排列的结构。但是，如实施方式所示，根据前列的吸嘴19和后列的吸嘴19在X方向上偏置的结构、即如上所述地前列的线性马达主体22和后列的线性马达主体22在X方向上偏置的结构，与前后的线性马达主体22在X方向上的相同位置沿Y方向排列的结构相比，能够使前后的线性马达的定子24(电枢)之间隔开间隔。因此，从防止头框架61的热变形的观点来看，上述实施方式所示的前列的吸嘴19和后列的吸嘴19在X方向上偏置的结构有利。

另外，在上述实施方式的线性马达中，轴状部件261由磁性材料形成，由此，轴状部件261兼用作励磁元件(永久磁铁262)的后磁轭，当然，也可以将专用的后磁轭安装于轴状部件261与永久磁铁262之间。

此外，在上述实施方式的线性马达中，将各定子24和由滑块构成的各支撑部件28直接固定支撑于框架部件30，但也可以经由中间物固定支撑于框架部件30。

概括以上说明的本发明，则如下所述。

本发明所涉及的元件安装装置，包括：头部组件，所述头部组件具有：第一吸嘴列，包含沿第一方向排成一列的多个吸嘴部件；第二吸嘴列，包含沿所述第一方向排成一列的多个吸嘴部件，且相对于所述第一吸嘴列沿与所述第一方向垂直的第二方向排列；第一线性马达，对所述第一吸嘴列的吸嘴部件进行升降驱动；以及第二线性马达，对所述第一吸嘴列的吸嘴部件进行升降驱动，其中，所述第一线性马达以及所述第二线性马达分别包含线性马达主体和支撑该线性马达主体的框架部件，所述线性马达主体包含：被固定于所述框架部件的定子；以及在所述第二方向上与该定子相向且相对于该定子能够沿上下方向移动的动子，其中，所述定子为电枢，其包括：具有沿上下方向排列且分别沿所述第二方向延伸的多个齿的铁芯；以及分别安装于该铁芯的各齿上的线圈，所述动子为励磁元件，其具有以与所述定子相向的一侧的表面极性交替不同的方式沿上下方向排列的多个永久磁铁，所述吸嘴部件连接于所述动子，所述第一线性马达和所述第二线性马达以动子在所述第二方向上互相接近，且定子分别位于该动子的外侧的方式，搭载于所述头部组件。

根据该元件安装装置，驱动吸嘴部件的第一线性马达以及第二线性马达是电枢(定子)具备铁芯和线圈的所谓的带铁芯线性马达，因此，即使是具有小型的电枢(定子)的紧凑的结构，也能获得较大的推动力、即吸嘴部件的驱动力。而且，第一线性马达以及第二线性马达是动子和定子在第二方向排列的结构，因此，能够抑制第一方向上的占有空间。由此，能够在第一方向上以窄间距排列各吸嘴列的吸嘴部件。此外，第一线性马达以及第二线性马达被配置成吸嘴部件所连接的动子彼此在第二方向上接近，因此，对于吸嘴列间(即第二方向)，也能够以窄间距排列吸嘴部件。

在该元件安装装置中，所述线性马达主体包含被安装于所述框架部件上且将所述动子支撑为能够沿上下方向移动的支撑部件，所述动子包含轴状部件，该轴状部件具有沿上下方向延伸并与所述定子相向的相向面并且被所述支撑部件支撑为能够移动，所述动子在该轴状部件的所述相向面固定有所述多个永久磁铁。

根据该结构，关于第一线性马达以及第二线性马达，能够使动子的表面(与定子相向的面)至支撑部件的底面(对框架部件的固定面)为止的尺寸更小，因此，能够以更窄的间距沿第二方向排列吸嘴列间的吸嘴部件。

此外，在上述的元件安装装置中，适合采用如下结构：所述第一线性马达具有：沿所述第一方向并列配置的多个所述线性马达主体；以及将这些多个线性马达主体一体支撑且作为所述框架部件的一个第一框架部件，所述第二线性马达具有：沿所述第一方向并列配置的多个所述线性马达主体；以及将这些多个线性马达主体一体支撑且作为所述框架部件的一个第二框架部件。

该结构总而言之是针对各吸嘴列采用了将分别驱动多个吸嘴部件的多个线性马达的框架部件共同化的结构。根据该结构，能够抑制框架部件的占有空间来实现头部组件的小型化。

另外，在上述的元件安装装置中，适合采用如下结构：所述第一线性马达的线性马达主体与所述第二线性马达的线性马达主体在所述第一方向上互相偏置。

根据该结构，与所述第一线性马达的线性马达主体和所述第二线性马达的线性马达主体在第二方向上排列的结构相比，能够使定子(电枢)之间隔开间隔，这有利于抑制框架部件的热变形。

产业上的可利用性

如以上所述，本发明的元件安装装置既能够以更快的速度对吸嘴部件进行升降驱动，且有助于以窄间距排列吸嘴部件以及实现头部组件的小型化，因此，在多列吸嘴部件搭载于头部组件的元件安装装置的制造领域等中有用。

Claims (4)

1.一种元件安装装置，其特征在于包括：头部组件，所述头部组件具有：

第一吸嘴列，包含沿第一方向排成一列的多个吸嘴部件；

第二吸嘴列，包含沿所述第一方向排成一列的多个吸嘴部件，且相对于所述第一吸嘴列沿与所述第一方向垂直的第二方向排列；

第一线性马达，对所述第一吸嘴列的吸嘴部件进行升降驱动；以及

第二线性马达，对所述第一吸嘴列的吸嘴部件进行升降驱动，其中，

所述第一线性马达以及所述第二线性马达分别包含线性马达主体和支撑该线性马达主体的框架部件，

所述线性马达主体包含：被固定于所述框架部件的定子；以及在所述第二方向上与该定子相向且相对于该定子能够沿上下方向移动的动子，其中，

所述定子为电枢，其包括：具有沿上下方向排列且分别沿所述第二方向延伸的多个齿的铁芯；以及分别安装于该铁芯的各齿上的线圈，

所述动子为励磁元件，其具有以与所述定子相向的一侧的表面极性交替不同的方式沿上下方向排列的多个永久磁铁，

所述吸嘴部件连接于所述动子，

所述第一线性马达和所述第二线性马达以动子在所述第二方向上互相接近，且定子分别位于该动子的外侧的方式，搭载于所述头部组件。

2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其特征在于：

所述线性马达主体包含被安装于所述框架部件上且将所述动子支撑为能够沿上下方向移动的支撑部件，

所述动子包含轴状部件，该轴状部件具有沿上下方向延伸并与所述定子相向的相向面并且被所述支撑部件支撑为能够移动，所述动子在该轴状部件的所述相向面固定有所述多个永久磁铁。

3.根据权利要求1或2所述的元件安装装置，其特征在于，

所述第一线性马达具有：沿所述第一方向并列配置的多个所述线性马达主体；以及将这些多个线性马达主体一体支撑且作为所述框架部件的一个第一框架部件，

所述第二线性马达具有：沿所述第一方向并列配置的多个所述线性马达主体；以及将这些多个线性马达主体一体支撑且作为所述框架部件的一个第二框架部件。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的元件安装装置，其特征在于：

所述第一线性马达的线性马达主体与所述第二线性马达的线性马达主体在所述第一方向上互相偏置。