KR101523536B1 - 리니어 모터, 부품 실장 장치, 및 부품 검사 장치 - Google Patents

Abstract

계자자를 포함하는 가동자(44)와, 전기자를 포함하는 고정자(42)를 두개 한세트로 한 단위 유닛(40)을 복수 세트 병렬로 배치 가능하게 구성한 리니어 모터이다. 본 리니어 모터는 단위 유닛(40)을 수용하는 비자성체로 이루어지는 프레임(30)과, 프레임(30)에 설치된 차폐 부재(500)와, 차폐 부재(500)에 형성된 개구부(501)를 구비하고 있다. 차폐 부재(500)는 자성체로 이루어지고 복수의 단위 유닛(40, 40)이 배치된 경우에 이웃하는 단위 유닛(40, 40) 사이에 개재된다. 차폐 부재(500)는 계자자가 전기자의 코일(422)로부터 벗어난 위치에서는 이웃하는 단위 유닛(40, 40)을 실드한다. 한편, 개구부(501)는 상기 프레임(30)에 수용된 전기자의 코일(422)을 개방한다. 따라서 코일(422)은 개구부(501)에 임하는 위치에서는 계자자와 직접 대향하므로 계자자와 전기자의 사이에 형성되는 자장은 높은 유효 자속수를 유지한다.

Description

리니어 모터, 부품 실장 장치, 및 부품 검사 장치{LINEAR MOTOR, COMPONENT MOUNTING APPARATUS, AND COMPONENT INSPECTING APPARATUS}

본 발명은 리니어 모터, 부품 실장 장치, 및 부품 검사 장치에 관한 것이다.

일반적으로 리니어 모터에는 특허문헌 1, 2에 개시되어 있는 샤프트형 리니어 모터와 특허문헌 3에 개시되어 있는 코어 부착 모터가 알려져 있다.

샤프트형 리니어 모터는 복수의 원통형의 코일을 적층하여 통 형상의 고정자를 구성하고, 이 고정자(코일)의 구멍 내에 영구 자석을 갖는 로드를 가동자로서 삽입한 구성으로 되어 있다. 고정자를 구성하는 복수의 코일에는 120°마다 위상이 다른 3상 교류가 통전되도록 구성되어 있다. 3상 교류의 통전시에는 각 코일에 자계가 발생된다. 이 자계의 발생에 의해 가동자는 고정자와의 사이에서 축선 방향으로 추진하는 힘을 받는다. 이 힘에 의해 가동자는 상기 축선 방향으로 이동한다.

코어 부착 모터는 이동 경로를 따른 직선상의 계자자(界磁子)와 이 계자자에 대해 이동 경로와 직교하는 방향으로 대향하여 배치된 전기자를 구비하고 있다. 계자자는 예를 들면 가동자에 설치되어 있다. 계자자는 복수의 영구 자석으로 구성되어 있다. 각 영구 자석은 이동 경로를 따라 배열되고 표면측의 자극이 교대로 다르게 되어 있다. 전기자는 예를 들면 고정자에 설치되어 있다. 전기자는 복수의 코어와, 각 코어의 주위에 권취된 코일을 구비하고 있다. 코어는 계자자에게 대향하는 방향을 따라 연장되어 있다. 코일에는 3상 교류의 구동 전류가 인가된다. 이 구동 전류를 제어함으로써 코어의 자계가 이동한다. 이 자계의 이동에 의해 코어 부착 모터는 영구 자석의 배열 방향을 따라 상기 고정자에 대해 가동자를 상대적으로 직선적으로 이동시킨다.

그런데 샤프트형 리니어 모터에 있어서는 복수의 리니어 모터를 이웃하게 하여 정렬한 경우 하나의 리니어 모터에 의해 가동자를 이동시킬 때에 인접하는 리니어 모터의 가동자가 연동해 버리는 현상이 발생하는 경우가 있었다. 이 현상은 이웃하는 리니어 모터 사이의 거리가 짧으면 가동자의 계자자를 구성하는 영구 자석끼리의 끌어당기는 자력도 커지는 것이 원인이다. 이 현상을 방지하기 위해 특허문헌 1, 2의 구성에서는 이웃하는 리니어 모터 사이에 자성 재료로 구성된 차폐판을 설치하고 있다. 이와 같은 차폐판을 설치한 경우 가동자의 계자자를 구성하는 영구 자석의 자력선은 자성 재료의 차폐판을 통과하므로 차폐판이 이웃하는 영구 자석의 자계를 실드할 수 있다. 그 결과, 이웃하는 가동자끼리가 서로의 자계의 영향을 받기 어려워진다. 또한 샤프트형 리니어 모터에 있어서는 차폐판이 영구 자석의 자계를 강하게 하는 코어의 역할을 가지므로 가동자의 추진력을 상향시키는 것도 된다.

한편, 코어 부착 모터의 경우에 있어서도 복수의 리니어 모터를 근접하여 적층한 경우에는 이웃하는 리니어 모터 사이에서 가동자의 연동이 발생될 우려가 있다. 그러나, 코어 부착 리니어 모터에 있어서 특허문헌 1, 2과 동일한 차폐판을 설치한 경우 모터의 추진력이 저하한다는 새로운 과제가 발생한다.

도 1은 본건 발명자가 실시한 시뮬레이션 결과를 도시하는 그래프다. 도 1에 도시하는 바와 같이 발생 추진력(F)은 고정자의 코일로 통전되는 전류(I)에 비례한다. 그러나, 그 비례 계수는 차폐판의 유무에 의해 변화된다. 차폐판을 설치한 경우, 차폐판이 없을 경우에 비해 발생 추진력(F)이 수 %이상도 저하하는 것이 확인되었다. 이것은 차폐판에 자력선이 흐름으로써 유효 자속수가 감소되어 자계가 약해지기 때문이라고 생각된다.

본 발명은 상술된 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 추진력의 저하를 회피하면서 적층 시에 인접하는 리니어 모터 사이에서의 자력에 의한 상호 작용을 방지할 수 있는 리니어 모터, 부품 실장 장치, 및 부품 검사 장치를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

일본 특허 제 0471903 호 공보 일본 특허 제 4580847 호 공보 일본 특허 제 4705118 호 공보

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은 가동자와 고정자를 두개 한세트로 한 단위 유닛으로서, 복수 세트 병렬로 배치 가능하게 구성되어 있는 상기 단위 유닛을 구비한 리니어 모터에 있어서, 상기 가동자에 설치된 계자자로서, 각각의 표면측의 자극을 교대로 다르게 하여 직선상으로 배열되어 있는 복수의 영구 자석에 의해 구성된 상기 계자자와, 상기 고정자에 설치된 전기자로서, 코어 및 상기 코어에 권취되는 복수의 코일을 포함하는 상기 전기자와, 상기 단위 유닛을 수용하는 비자성체로 이루어지는 프레임 부재와, 상기 프레임 부재에 설치된 차폐 부재로서, 상기 복수의 단위 유닛이 배치되는 경우에 이웃하는 단위 유닛 사이에 개재되는 자성체로 이루어지는 상기 차폐 부재와, 상기 차폐 부재에 형성된 개구부로서, 상기 프레임 부재에 수용된 상기 전기자에 인접하는 상기 개구부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터이다. 이 실시형태에서는 복수의 단위 유닛을 병렬로 배치하여 다축 리니어 모터를 구성할 수 있다. 인접하는 단위 유닛 사이에는 자성 재료로 이루어지는 차폐 부재가 개재된다. 전기자의 코일로부터 벗어난 위치에서는 각 단위 유닛의 자력선은 차폐 부재에 의해 차폐되어 이웃측의 단위 유닛으로 누출되기 어려워진다. 그로 인해 어느 쪽의 단위 유닛의 전기자로 통전하여 가동자에 설치된 계자자를 구동한 경우에 통전된 단위 유닛과 이웃하는 단위 유닛의 계자자가 연동하는 등 악영향을 받을 우려는 없다. 또한, 차폐 부재에는 상기 프레임 부재에 수용된 전기자에 인접하는 개구부가 형성되어 있다. 그로 인해 계자자를 구성하는 영구 자석은 상기 영구 자석이 전기자와 대향하는 위치에서는 이 개방부를 통하여 전기자와 대향한다. 이 결과, 영구 자석이 전기자와 대향하는 위치에서는 구동되는 단위 유닛의 자력선은 대부분이 차폐 부재에 끌어 당겨질 일 없이 자계를 구성한다. 그로 인해 구동되는 계자자와 이 계자자를 구동하는 전기자 사이에 형성되는 자계의 유효 자속 밀도는 조밀하게 유지된다. 또한, 자계의 유효 자속 밀도는 차폐 부재에 의해 악영향을 받기 어려워진다. 따라서 단위 유닛이 본래 출력 가능한 추진력이 차폐 부재에 의해 저감되는 것을 가급적으로 억제하는 것이 가능하게 된다.

바람직한 실시형태의 리니어 모터에 있어서 상기 차폐 부재는 판금 부재이며, 이 판금 부재는 상기 계자자의 이동 범위 전체에 걸쳐 이웃하는 단위 유닛 사이에 개재되고, 상기 개구부는 절결이며, 이 절결은 상기 판금 부재 중 상기 전기자와 대향하는 부위에 형성된다. 이 실시형태에서는 가동자에 설치된 계자자가 어떤 범위로 이동해도 차폐 부재에 의해 이웃하는 단위 유닛의 계자자와 격리된 상태로 된다. 따라서 확실하게 자력선에 의한 악영향을 회피하는 것이 가능하게 된다. 한편, 개구부는 차폐 부재를 구성하는 판금 부재로 형성된 절결이므로 제조가 용이하다. 또한, 절결에서 개구부를 형성한 경우에는 개구부의 개방 면적 등의 설정이 용이해진다는 이점이 있다.

바람직한 실시형태의 리니어 모터에 있어서 상기 프레임 부재는 병렬로 배치된 복수의 상기 단위 유닛을 수용하고 있고, 상기 판금 부재는 상기 프레임 부재에 고정되는 저판부와, 이 저판부로부터 일체로 굴곡되어 인접하는 상기 단위 유닛 사이에 개재되는 측판부를 포함하고, 상기 개구부를 구성하는 절결은 상기 측판부에 형성되어 있다. 이 실시형태에서는 단일한 프레임 부재에 복수의 단위 유닛을 장착한 다축 리니어 모터를 구성하는 것이 가능하게 된다. 그와 같은 경우에 있어서도 차폐 부재는 프레임 부재에 고정된 저판부와, 이 저판부와 일체로 굴곡되어 인접하는 상기 단위 유닛 사이에 개재되는 측판부를 구비하고 있으므로 이 측판부가 구동되고 있는 단위 유닛에 인접하는 단위 유닛에 대해 악영향을 미치는 자력선을 차폐하는 기능을 달성한다. 또한, 이 측판부에 개구부를 형성하는 절결이 형성되어 있으므로 구동되고 있는 단위 유닛에 있어서의 자속 밀도의 저감을 방지하는 것이 가능하게 된다.

바람직한 실시형태의 리니어 모터에 있어서 상기 프레임 부재는 적어도 3개의 단위 유닛을 병렬로 수용하고 있고, 상기 판금 부재는 상기 저판부의 양측에 각각 상기 측판부가 설치된 コ자형 단면으로 형성되어 있고, 상기 저판부는 상기 3개의 단위 유닛 중 중앙에 배치된 단위 유닛에 대향하는 위치에 고정되어 있음과 아울러 상기 측판부는 상기 중앙에 배치된 단위 유닛의 양측에 각각 배치되어 있다. 이 실시형태에서는 적어도 3축의 단위 유닛의 실드 기능을 단일한 판금 부재로 달성하는 차폐 부재를 구성할 수 있다. 그로 인해 부품 개수나, 부착 공정수를 저감하고 코스트를 저감하는 것이 가능하게 된다. 또한, 부품 개수가 저감하므로 경량화에도 기여한다.

본 발명의 다른 실시형태는 복수의 부품 흡착 노즐을 개별적으로 상하로 구동시키는 구동 기구와, 이 구동 기구에 의해 승강 구동되는 부품 유지 부재를 갖고, 이 부품 유지 부재의 승강 동작에 따른 부품 공급 위치부터의 부품을 인출하고 또한 기판상으로 부품을 실장하는 부품 실장 장치에 있어서, 상기 구동 기구는 복수의 부품 흡착 노즐 마다 단위 유닛을 갖는 상술된 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치이다.

또한, 본 발명의 또 다른 실시형태는 복수의 부품 흡착 노즐을 개별적으로 상하로 구동시키는 구동 기구와, 이 구동 기구에 의해 승강 구동되는 부품 유지 부재를 갖고 이 부품 유지 부재의 승강 동작에 따른 부품 공급 위치부터의 부품을 인출하고 또한 미리 설정된 검사부로 부품을 출입시키는 부품 검사 장치에 있어서 상기 구동 기구는 복수의 부품 흡착 노즐 마다 단위 유닛을 갖는 상술된 리니어 모터인 부품 검사 장치이다.

상기 부품 실장 장치 또는 상기 부품 검사 장치에 있어서 상기 구동 기구를 구성하는 상기 복수의 단위 유닛은 상기 계자자와 상기 전기자가 대향하는 대향 방향과 직교하는 방향으로 병설되어 있는 것이 바람직하다. 그 경우에는 복수의 부품 흡착 노즐을 개별적으로 상하 구동할 시 구동 기구를 구성하는 단위 유닛이 상기 계자자와 상기 전기자가 대향하는 대향 방향과 직교하는 방향으로 병설되어 있으므로 단위 유닛이 병설되는 방향의 치수를 가급적으로 짧게 설정할 수 있다. 또한, 각 단위 유닛 사이에 개재되는 차폐 부재에 의해 단위 유닛의 병설 방향을 짧게 설정해도 상술된 바와 같은 문제점을 회피하는 것이 가능하게 된다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면 복수의 단위 유닛을 병렬로 배치한 다축 리니어 모터를 구성한 경우에 통전된 단위 유닛과 이웃하는 단위 유닛의 계자자가 연동하는 등 악영향을 받는 것을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 구동되는 단위 유닛의 계자자와 전기자 사이에 형성되는 유효 자속 밀도를 조밀한 상태로 유지할 수 있어 단위 유닛이 본래 출력 가능한 추진력이 차폐 부재에 의해 저감되는 것을 가급적으로 억제하는 것이 가능하게 된다는 현저한 효과를 달성한다.

도 1은 본건 발명자가 실시한 시뮬레이션 결과를 도시하는 그래프이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 리니어 모터가 적용되는 부품 실장 장치(본 발명에 의한 부품 실장 장치)의 개략 구성을 도시하는 평면도이다.
도 3은 헤드 유닛의 구체적인 구성을 도시하는 정면도이다.
도 4는 헤드 유닛에 대한 각 헤드의 구성 및 부착 방법을 설명하는 사시도이다.
도 5는 헤드의 구성을 도시하는 정면도이다.
도 6은 헤드의 구성을 도시하는 분해 사시도이다.
도 7은 헤드의 구성을 도 6과는 다른 각도로부터 본 분해 사시도이다.
도 8은 제 1 실시형태에 의한 헤드의 스택킹 상태를 도시하는 개략 단면도이다.
도 9는 도 8의 요부를 확대하는 개략 확대 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 헤드 유닛의 개략 구성을 도시하는 사시도이다.
도 11은 제 2 실시형태에 의한 헤드 유닛의 개략 저면부분도이다.
도 12는 제 2 실시형태에 의한 전열 헤드의 외관을 도시하는 사시도이다.
도 13은 제 2 실시형태에 의한 전열 헤드의 분해 사시도이다.
도 14는 제 2 실시형태에 의한 전열 헤드의 개략 종단면도이다.
도 15는 제 2 실시형태에 의한 전열 헤드의 개략 배면 부분도이다.
도 16은 제 2 실시형태에 의한 전열 헤드의 개략 횡단면 부분 확대도이다.
도 17은 제 2 실시형태에 의한 후열 헤드의 개략 횡단면 부분 확대도이다.
도 18은 제 2 실시형태에 의한 후열 헤드의 변형예를 도시하는 개략 횡단면 부분 확대도이다.

도 2는 본 발명에 의한 제 1 실시형태에 있어서 리니어 모터가 적용되는 부품 실장 장치의 개략 구성을 평면도로 도시하고 있다. 또한, 이 도면을 포함하여 본 설명에서 사용하는 도면에는 각 도면의 방향 관계를 명확히 하기 위해 가공 대상이 되는 프린트 기판(P)이 반송되는 수평 방향을 X축 방향으로 하고, 이 X축 방향에 직교하는 수평 방향을 Y축 방향으로 하고, 연직선 방향을 Z축 방향으로 하는 XYZ 직각 좌표계가 도시되어 있다. 또한, 리니어 모터에 대해서는 부착 시에 있어서의 상기 XYZ 직교 좌표계를 답습하고 있다.

동 도면에 도시하는 바와 같이 부품 실장 장치의 기대(10) 상에는 프린트 기판 반송 기구로서 콘베이어(12)가 배치되어 있다. 이 콘베이어(12)에 의해 프린트 기판(P)은 동 도면 우측으로부터 좌측으로 반송되어 미리 설정된 작업 위치[동 도면에 도시하는 프린트 기판(P)의 위치]로 반입되도록 되어 있다. 작업 위치의 하방 영역에는 실장 작업 중에 프린트 기판(P)을 백업 핀에 의해 지지하는 프린트 기판 지지 장치(11)가 배치되어 있다.

상기 콘베이어(12)의 전후 양측(Y축 방향의 일단측과 타단측이며, 도 2에서는 상하 양측. 이하, 동일함)에는 각각 피더 설치 영역(13)이 형성되어 있다. 이들 피더 설치 영역(13)에는 예를 들면 파트 피더(part feeder)(14) 등의 부품 공급 장치가 콘베이어(12)를 따라 병렬로 배치되어 있다. 각 파트 피더(14)는 집적 회로(IC), 트랜지스터, 저항, 콘덴서 등의 소편 형상의 칩 부품을 미리 설정된 간격으로 수납하여 유지한 테이프와, 이 테이프가 권회된 릴을 구비하고 있다. 각 파트 피더(14)의 선단부에는 부품 공급 위치가 설정된다. 부품 공급 위치에는 상기 릴로부터 계속 인출된 테이프에 유지된 칩 부품이 공급된다. 부품 공급 위치에 공급된 칩 부품은 헤드 유닛(15)에 의해 픽업된다.

상기 기대(10)의 상방에는 부품 실장용의 상기 헤드 유닛(15)이 설치되어 있다. 이 헤드 유닛(15)은 상기 파트 피더(14)로부터 부품을 흡착하여 프린트 기판(P) 상으로 반송함과 아울러 프린트 기판(P) 상의 미리 설정된 위치에 실장한다. 헤드 유닛(15)은 미리 설정된 영역 내에서 X축 방향[콘베이어(12)에 의한 프린트 기판(P)의 반송 방향] 및 Y축 방향으로 각각 이동 가능하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 헤드 유닛(15)은 X축 방향으로 연장되는 헤드 유닛 지지 부재(18)로 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 헤드 유닛 지지 부재(18)에는 X축 서보 모터(20)가 병설되어 있다. X축 서보 모터(20)는 볼 나사축(21)을 통해 헤드 유닛(15)을 X축 방향으로 구동한다. 헤드 유닛 지지 부재(18)에 지지되어 X축 서보 모터(20)로 구동됨으로써 헤드 유닛(15)은 미리 설정된 영역 내에서 X축 방향으로 이동할 수 있다. 한편, 이 헤드 유닛 지지 부재(18)는 그 양단부가 Y축 방향으로 연장되는 고정 레일(17)에 지지되어 있다. 이 고정 레일(17)은 헤드 유닛 지지 부재(18)를 Y축 방향을 따라 이동 가능하게 가이드한다. 헤드 유닛 지지 부재(18)는 Y축 서보 모터(22)의 볼 나사축(23)에 연결되어 있다. 그리고 헤드 유닛 지지 부재(18)는 Y축 서보 모터(22)가 볼 나사축(23)을 구동함으로써 Y축 방향으로 구동되도록 되어 있다.

헤드 유닛(15)에는 도 3에 도시하는 바와 같이 부품을 유지하여 반송하기 위한 복수의 헤드(16)가 탑재되어 있다. 제 1 실시형태에서는 합계 10개의 헤드(16)가 X축 방향으로 열 형상으로 배치되어 있다. 각 헤드(16)는 Z축 방향(상하 방향)으로 연장되는 구동 샤프트(34)를 갖고 있다. 이 구동 샤프트(34)의 선단(하단)에는 부품 흡착용의 노즐(35)이 장착되어 있다. 노즐(35)은 구동 샤프트(34)의 내부 통로 및 도시 생략된 스위칭 밸브 등을 통해 부압 발생 장치에 접속되어 있다. 노즐(35)에는 부품 흡착시에 상기 부압 발생 장치로부터 부압 흡인력이 부여된다. 이 부압 흡인력의 부여에 의해 노즐(35)은 부품의 흡착, 유지가 가능하게 되어 있다. 이 제 1 실시형태에서는 구동 샤프트(34) 및 노즐(35)이 본 발명에 의한 부품 유지 부재에 상당한다.

노즐(35)[구동 샤프트(34)]은 도시 생략된 승강 구동 기구로 구동됨으로써 헤드 유닛(15)에 대해 승강(Z축 방향의 이동)할 수 있다. 또한, 노즐(35)[구동 샤프트(34)]은 도시 생략된 회전 구동 기구로 구동됨으로써 노즐 중심축(R축) 주위에서 회전할 수 있다. 이들 승강 구동 기구 및 회전 구동 기구 중 승강 구동 기구는 각 헤드(16)에 각각 포함되어 있다. 또한, 승강 구동 기구를 포함하는 각 헤드(16)의 구성, 및 노즐(35)의 회전 구동 기구의 구성에 대해서는 뒤에 설명한다.

헤드 유닛(15)에는 프린트 기판 촬상 유닛(24)이 탑재되어 있다. 이 프린트 기판 촬상 유닛(24)은 CCD 등의 촬상 소자를 갖는 에리어 카메라 및 조명 장치 등을 구비하고 있다. 또한, 프린트 기판 촬상 유닛(24)은 헤드 유닛(15)에 대해 하향의 자세로 고정되어 있다. 따라서 프린트 기판 촬상 유닛(24)은 작업 위치로 반입되는 프린트 기판(P) 상의 각종 마크를 촬상 가능하게 되어 있다.

또한, 상기 기대(10) 상에는 도 2에 도시하는 바와 같이 부품 촬상 유닛(25)이 설치되어 있다. 부품 촬상 유닛(25)은 헤드 유닛(15)의 각 헤드(16)[노즐(35)]에 흡착된 부품을 촬상한다. 이 부품 촬상 유닛(25)도 상기 프린트 기판 촬상 유닛(24)과 마찬가지로 에리어 카메라 및 조명 장치 등을 구비하고 있다. 또한, 부품 촬상 유닛(25)은 기대(10) 상에 상향의 자세로 고정되어 있다. 이에 따라, 부품 흡착 후 헤드 유닛(15)이 부품 촬상 유닛(25) 상방에 배치되었을 시에 각 헤드(16)에 의해 흡착된 부품을 부품 촬상 유닛(25)에 의해 촬상 가능하게 되어 있다.

이어서, 헤드 유닛(15) 및 각 헤드(16)의 구체적인 구성에 대해서 설명한다. 상기 헤드 유닛(15)에는 상기와 같이 10개의 헤드(16)가 탑재되어 있다. 각 헤드(16)는 X축 방향으로 편평한 유닛화된 부재이다. 도 3에 도시하는 바와 같이 각 헤드(16)는 X축 방향으로 10개 정렬된 상태로 헤드 유닛(15)에 대해 일체로 고정되어 있다.

도 4~도 7을 참조하면 상기 헤드(16)는 개략적으로는 상기 노즐(35)을 하단부에 구비하는 상기 구동 샤프트(34)와, 이 구동 샤프트(34) 및 노즐(35) 등을 Z축 방향으로 구동시키는 리니어 모터와, 노즐(35) 등에 대해 상향의 바이어싱 포오스(biasing force)를 부여하는 리턴 스프링(48)을 구비하고 있다.

리니어 모터는 본 발명에 의한 프레임 부재의 일례로서의 프레임(30)과, 프레임(30)에 수용되는 단위 유닛(40)과, 상기 구동 샤프트(34)를 Z축 방향으로 안내하는 리니어 가이드(32)를 구비하고 있다. 이 프레임(30)에는 구동 샤프트(34)나 리턴 스프링(48)이 포함되어 있다. 헤드(16)는 이 프레임(30)에 부착된 부품에 의해 유닛화되어 있다. 또한, 단위 유닛(40)은 고정자(42) 및 가동자(44)를 두개 한세트로 한 유닛이며, 이들 두개 한세트의 단위 유닛(40) 마다 프레임(30)이 설치되어 있다. 제 1 실시형태에서는 합계 10개의 헤드(16)가 X축 방향으로 열 형상으로 배치되어 있는 결과, 이들 복수의 헤드(16)의 어셈블리는 단위 유닛(40)과 프레임(30)의 어셈블리를 복수 세트 연이어 설치한 다축 리니어 모터도 구성하고 있다. 헤드(16)의 각 노즐(35)[구동 샤프트(34)]은 각각 다축 리니어 모터의 단위 유닛(40)에 의해 Z축 방향으로 개별적으로 구동되도록 형성되어 있다. 또한, 대응하는 단위 유닛(40)이 정지하고 있을 시에는 리턴 스프링(48)의 바이어싱 포오스에 의해 노즐(35)이 상방 위치에 유지되도록 구성되어 있다.

이어서, 리니어 모터에 대해서 상세하게 설명한다.

상기 프레임(30)은 사이드 플레이트(301)의 주위 일부분에 벽부(302)를 구비한 X축 방향으로 편평한 접시형의 부재이며, 표면 처리를 실시한 알루미늄 합금 등의 비자성체에 의해 구성되어 있다.

단위 유닛(40)은 상기와 같이 고정자(42)와 가동자(44)를 두개 한세트로 한 유닛이다. 고정자(42)는 빗 형의 코어(421)에 복수의 코일(422)이 장착된 전기자를 구비하고 있다.

코어(421)는 Z축 방향으로 연장되는 요크(421a)와, 요크(421a)의 측부로부터 Y축 방향의 후측으로 마주보는 직각으로 돌출하는 다수의 티쓰(teeth)(421b)를 일체로 갖는 빗 형의 자성체이다. 한편, 고정자(42)의 상기 코어(421)의 양단에는 티쓰 및 방향(Z축 방향)으로 연장되는 연장부(421c, 421c)가 일체로 형성되어 있다. 코어(421)는 제 1 실시형태에서는 플레이트 형상의 복수의 구성 부재를 프레임(30)의 법선 방향(X축 방향)으로 적층한 구조체이다. 코어(421)의 요크(421a)에는 상기 법선 방향(X축 방향)으로 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 각 관통 구멍에는 볼트(425)가 삽통되어 있다. 볼트(425)는 사이드 플레이트(301)의 나사 구멍(301a)에 나사 결합되어 있다. 따라서, 코어(421)를 구성하는 적층체는 전체의 일체성을 유지하면서 안정적으로 강고하게 프레임(30)에 고정된다. 또한, 코어(421)로서는 블록 형상의 일체 형성품을 채용해도 좋다. 그 경우에는 예를 들면 코어(421)의 연장부(421c)에 Y축 방향으로 관통하는 관통 구멍을 형성하고 이 관통 구멍을 통해 볼트를 상기 돌출부(303)에 나사 결합하여 삽입함으로써 프레임(30)에 대해 상기 고정자(42)로서의 코어를 고정해도 좋다.

프레임(30)의 상부에는 하네스(424)(도 4 및 도 6에 커넥터 부분만을 도시)가 장착되어 있다. 이 하네스(424)를 통해 코일(422)에는 120°마다 위상이 다른 3상 교류가 통전되도록 구성되어 있다. 3상 교류의 통전시에 각 코일(422)에는 자계가 발생한다. 이 자계에 의해 가동자(44)는 고정자(42)와의 사이에서 Z축 방향으로 추진하는 힘를 받아 Z축 방향으로 이동한다.

가동자(44)는 고정자(42)에 대해 Y축 방향으로 대향하고 X축 방향을 따라 고정자(42)의 횡으로 정렬되어 있다. 가동자(44)는 단면이 H자형의 슬라이드 베이스(441)를 갖고 있다. 이 슬라이드 베이스(441)의 측면[고정자(42)와의 대향면]에는 백 요크(443)를 통해 계자자를 구성하는 복수의 영구 자석(442)이 배열되어 있다. 계자자는 구체적으로는 고정자(42) 측이 N극, 가동자(44) 측이 S극인 영구 자석(442)과, 고정자(42) 측이 S극, 가동자(44) 측이 N극인 영구 자석(442)이 Z축 방향으로 교대로 배열되어 있음으로써 구성된다. 프레임(30)에 부착될 때 가동자(44)의 계자자를 구성하는 영구 자석(442)은 Y축 방향에 있어서 전기자로서의 코일(422)에 대향한다. 따라서, 가동자(44)는 코일(422)로의 통전시에 각 코일(422) 사이에서 Z축 방향의 추진력을 받는다. 이 추진력에 의해 가동자(44)는 Z축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

가동자(44)를 Z축 방향으로 안내하기 위해 프레임(30)에는 리니어 가이드(32)가 포함되어 있다. 리니어 가이드(32)는 Z축 방향으로 연장되는 레일(321)과, 이 레일(321)에 대해 Z축 방향으로 슬라이드 가능하게 또한 Z축 방향과 직교하는 방향으로 이동 불가능하게 장착되는 복수의 슬라이드(322, 322)를 구비하고 있다. 상기 레일(321)은 사이드 플레이트(301)에 대해 볼트로 고정되어 있다. 각 슬라이드(322, 322)에는 상기 가동자(44)의 슬라이드 베이스(441)가 고정되어 있다.

고정자(42)의 코일(422)에는 도면 밖의 리니어 구동 제어부로부터 출력되는 구동 신호에 의거하여 3상 교류가 통전된다. 이 3상 교류가 코일(422)에 급전됨으로써 가동자(44)는 상기 구동 신호에 따른 방향 및 속도로 가동자(44)가 Z축 방향으로 구동되는 구성으로 되어 있다.

또한, 고정자(42)와 가동자(44)는 이들의 사이[정확하게는 빗 형의 코어(421)의 가동자 측단부와 영구 자석(442)의 고정자 측단면의 Y축 방향의 간격]에 미리 설정된 갭이 형성된 상태로 프레임(30)에 고정되어 있다.

도 7을 참조하여 자세하게 설명하면 상기 사이드 플레이트(301)에는 한 쌍의 돌출부(303, 303)가 일체 형성되어 있다. 돌출부(303, 303)는 Y축 방향을 법선으로 하는 고정자 위치 결정용의 기준면(304)을 갖고 있다(도 4 참조). 각 돌출부(303, 303)의 기준면(304)에는 코어(421)의 각 연장부(421c)가 Y축 방향에 있어서 상기 가동자(44) 측과는 반대측으로부터 접촉하고 있다. 각 연장부(421c)가 대응하는 기준면(304)에 접촉한 상태로 코어(421)에 형성되는 관통 구멍에는 볼트(425)가 삽통된다. 볼트(425)는 사이드 플레이트(301)의 나사 구멍(301a)에 나사 결합한다. 이에 따라 상기 고정자(42)가 Y축 방향으로 위치 결정된 상태로 프레임(30)에 부착되어 있다.

또한, 상기 사이드 플레이트(301)에는 가동자 위치 결정용의 돌조(305)가 일체 형성되어 있다(도 6, 도 7 참조). 이 돌조(305)의 측부에 대해 상기 레일(321)이 Y축 방향에 있어서 상기 고정자(42) 측과는 반대측으로부터 접촉하고 있다. 돌조(305)의 측부에 대해 상기 레일(321)이 접촉한 상태에서 상기 레일(321)에 형성되는 관통 구멍에는 볼트(325)가 삽통하고 있다. 볼트(325)는 사이드 플레이트(301)의 나사 구멍(301b)에 나사 결합한다. 상기 가동자(44)는 상술된 바와 같이 리니어 가이드(32)를 통해 Y축 방향으로 위치 결정된다. 이 위치 결정 상태에서 가동자(44)는 프레임(30)에 부착되어 있다. 또한, 레일(321)을 사이드 플레이트(301)에 부착한 후에 상기 가동자(44)를 슬라이드(322)의 정해진 위치에 부착해도 좋다. 또는 미리 상기 가동자(44)를 슬라이드(322)에 부착한 후 레일(321)을 사이드 플레이트(301)에 부착해도 좋다.

이와 같이, 상기 고정자(42) 및 가동자(44)가 각각 Y축 방향으로 위치 결정된 상태에서 프레임(30)에 부착됨으로써 고정자(42)와 가동자(44) 사이에 미리 설정된 치수의 갭이 형성되어 있다. 또한, 프레임(30)에는 도시 생략된 스톱퍼가 설치되어 있다. 스톱퍼는 슬라이드(322)의 Z축 방향의 이동 범위를 규제한다.

그런데 상술된 바와 같은 단위 유닛(40)을 구비한 헤드(16)는 X축 방향으로 중첩되어 다축 리니어 모터를 구성한다(도 3 참조). 다축 리니어 모터에 있어서는 일부의 헤드(16)가 구동 대상이 될 경우가 있다. 구동 대상이 되는 헤드(16)에 의해 단위 유닛의 전자자[코일(422)]에 자장이 형성되면 상기 헤드(16)에 대해 이웃하는 헤드(16)에 의해 단위 유닛(40)의 가동자(44)가 자장의 영향을 받아 구동 대상이 되어 있는 가동자(44)와 함께 이동하는 연동이 발생할 우려가 있다. 따라서, 제 1 실시형태에서는 이러한 사태를 방지하기 위해 차폐 부재의 일례인 자성체 플레이트(500)를 프레임(30)에 설치하고 있다(도 6~도 8 참조).

도 6 내지 도 8을 참조하면 자성체 플레이트(500)는 사이드 플레이트(301)의 베이스면(301c)에 대해 상기 돌조(305)의 고정자(42) 측을 따라 고정되어 있다. 자성체 플레이트(500)는 예를 들면 철제의 판금 부재로 형성되어 있다. 자성체 플레이트(500)는 사이드 플레이트(301) 상에 있어서 Z축 방향의 전체 길이에 걸쳐 연장되어 있다. 따라서 가동자(44)는 전 스트로크 범위에 있어서 이 자성체 플레이트(500)와 대향하도록 되어 있다. 자성체 플레이트(500)는 도시 생략된 리벳 또는 접착제, 또는 리벳 및 접착제를 사용함으로써 견고하게 사이드 플레이트(301)에 고정되어 있다.

자성체 플레이트(500)의 형상으로서는 Z축 방향으로 길게 연장되는 대략 장방형으로 형성되어 있다. 이와 같은 자성체 플레이트(500)를 설치하고 있으므로 제 1 실시형태에서는 도 3에 도시하는 바와 같이 복수의 헤드(16)를 X축 방향으로 겹치게 해도 도 8에 확대해서 도시하는 바와 같이 각 헤드(16)의 단위 유닛(40, 40) 사이는 자성체 플레이트(500)에 의해 실드되게 된다. 이 결과, 어느 쪽의 단위 유닛(40)에 의해 고정자(42)의 코일(422)로 통전되어 자계가 형성된 경우에 자력선이 X축 방향으로 흘러 이웃하는 헤드(16)에 의해 단위 유닛(40)에 악영향을 끼칠 우려는 없다.

또한, 제 1 실시형태에 있어서 특필해야 할 점은 도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이 자성체 플레이트(500)가 고정자(42)의 코일(422)과 대향하는 부위는 일부가 절결되어 각 코일(422)에 인접하는 개구부로서의 절결(501)이 형성되어 있는 점이다. 개구부로서는 절결(501)에 한정되지 않고 구멍이라도 좋다. 또한, 절결(501)의 Z축 방향의 치수(Lm)는 전기자를 구성하는 코일군의 Z축 방향의 치수(Lc) 이상으로[동일하거나 또는 치수(Lc)보다도 약간 길게] 설정된다. 이와 같은 절결(501) 등에 의해 도 9에 도시하는 바와 같이 가동자(44)의 영구 자석(442)은 각 코일(422)과만 대향한다. 따라서 코일(422)과 영구 자석(442) 사이에 형성되는 자력선은 도 9의 파선으로 도시하는 자계를 형성하고, 코일(422)과 영구 자석(442) 사이에서 높은 유효 자속수(또는 자속 밀도)를 유지하는 것이 가능하게 된다. 절결(501) 등, 코일(422)에 인접하는 개구부를 형성한 경우 이 영구 자석(442)의 자력선은 도 9의 가상선으로 도시하는 바와 같이 이웃하는 단위 유닛(40) 쪽으로 흘러버릴거라고 생각될지도 모른다. 그러나, 실제는 그와 같이 되지 않는다. 그 이유는 영구 자석(442)이 코일(422)에 대향하는 위치에서는 이 절결(501)에 의해 영구 자석(442)의 측부가 개방되게 되므로 영구 자석(442)과 자성체 플레이트(500)의 거리가 멀어지기 때문에 영구 자석(442)의 자력선은 가장 가까이 있는 자성체를 향하게 되어 오히려 고정자(42)의 코어(421)를 향해 흐르기 때문이다. 따라서 자력선의 흐름에 의해 형성되는 자장의 유효 자속수(또는 자속 밀도)는 높은 수준으로 유지된다. 한편, 절결(501) 등이 없을 경우에는 영구 자석(442)이 코일(422)에 대향하는 위치에서의 자력선은 근접하는 자성체 플레이트(500)로도 흘러버리므로 가상 선으로 도시하는 바와 같이 자력선이 분포되어 버린다. 그로 인해 코일(422)과 영구 자석(442) 사이의 유효 자속수(또는 자속 밀도)는 도 1에 도시된 바와 같이 오히려 저감한다. 따라서 제 1 실시형태와 같은 절결(501) 등을 형성함으로써 복수의 헤드(16)를 X축 방향으로 겹친 상태에서 어느 쪽의 단위 유닛(40)에 의해 고정자(42)의 코일(422)로 통전한 경우에 자력선이 X축 방향으로 흘러 이웃하는 헤드(16)에 의해 단위 유닛(40)에 악영향을 미칠 우려가 없어지고, 또한 유효 자속수(또는 자속 밀도)를 높은 수준으로 유지하는 것이 가능하게 된다.

도 4를 참조하면 슬라이드 베이스(441) 하단 부분에는 장착 아암(37)이 고정되어 있다. 장착 아암(37)은 상기 고정자(42)의 바로 아래를 향해 가동자(44)의 하방 위치로부터 Y축 방향으로 연장되어 있다. 장착 아암(37)의 하부에는 샤프트 지지 부재(36)가 고정되어 있다. 본 실시형태의 구동 샤프트(34)는 샤프트 지지 부재(36)의 하부로부터 Z축 방향을 따라 늘어져 있다.

구동 샤프트(34)는 종공축으로 이루어지고, 샤프트 지지 부재(36)에 대해 R축 주위에서 회전 가능하게 지지됨과 아울러 이 샤프트 지지 부재(36)에 설치된 부압 도입용의 포트(361) 및 도면 밖의 부압 통로를 통해 상기 부압 발생 장치에 접속되어 있다.

구동 샤프트(34)는 도시되지 않은 스플라인 기구 등에 의해 Z축 방향으로 변위 가능하게 또한 샤프트 중심 주위(R축 주위)에서 회전 가능하게 상기 헤드 유닛(15)에 유지되어 있다.

도 5를 참조하면 상기 리턴 스프링(48)은 단위 유닛(40)의 정면에 배치되어 있다. 이 리턴 스프링(48)은 상기 프레임(30) 상단 부분과 상기 장착 아암(37)에 걸쳐 장착되어 있다. 따라서 상기 구동 샤프트(34)에는 장착 아암(37) 및 샤프트 지지 부재(36)를 통해 상향의 바이어싱 포오스가 리턴 스프링(48)으로부터 부여된다. 이에 따라 대응하는 단위 유닛(40)이 정지하고 있을 시에는 노즐(35)이 리턴 스프링(48)에 의해 상방 위치에 유지된다.

도 4 및 도 6을 참조하면 리니어 모터[헤드(16)]에는 가동자(44) 및 구동 샤프트(34)[노즐(35)]의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 수단의 일례로서 자기 센서(45)가 포함되어 있다. 자기 센서(45)는 MR 센서나 홀 센서 등으로 구체화되어 있다. 자기 센서(45)는 센서 지지부(306)에 장착되어 있다. 센서 지지부(306)는 프레임(30)의 사이드 플레이트(301)에 일체 형성되어 있다. 한편, 도 6에 도시하는 바와 같이 단위 유닛(40)의 상기 가동자(44)에는 자기적으로 눈금을 기록한 플레이트 형상의 자기 스케일(46)이 슬라이드 베이스(441)를 따라 고정되어 있다. 자기 스케일(46)의 눈금은 자기 센서(45)에 의해 판독된다. 판독된 눈금에 의거하여 가동자(44) 및 구동 샤프트(34)[노즐(35)]의 위치가 검출된다. 또한, 도면 중 부호 451은 자기 센서(45)의 제어 기판 등을 덮는 커버 부재이다.

상술된 바와 같이 구성된 10개의 헤드(16)는 서로 X축 방향으로 병설된다. 병설된 헤드(16)는 상기 헤드 유닛(15)에 대해 일체로 고정된다. 헤드 유닛(15)에 고정되어 있을 때 각 헤드(16)는 리턴 스프링(48)이 헤드 유닛(15) 앞, 즉 헤드 유닛 지지 부재(18)의 반대측에 배치되는 자세가 된다.

도 3 및 도 4를 참조하면 헤드(16)를 정치하게 위치 결정하여 병설하기 위해 상기 프레임(30) 중 리니어 가이드(32) 등의 부착 면측에는 한 쌍의 위치 결정 핀(310, 310)이 돌출되는 한편, 다른 면측에는 이것에 대응하는 도면 밖의 위치 결정 구멍이 천공되어 있다. 위치 결정 핀(310, 310)은 인접하는 헤드(16)의 위치 결정 구멍에 삽입된다. 위치 결정 핀(310, 310)이 위치 결정 구멍에 감합되면 각 헤드(16)는 서로 위치 결정되어 X축 방향으로 겹쳐진다.

도 3에 도시하는 바와 같이 병설된 헤드(16)군의 양측(X축 방향 외측)에는 각각 장착용 프레임(15b)이 병설된다. 양 장착용 프레임(15b)은 프레임(30)에 형성된 관통 구멍(312)과 동심으로 연통하는 개구를 갖는다. 이들 개구 및 관통 구멍(312)에는 X축 방향을 따라 볼트(151)가 삽통되어 있다. 볼트(151)의 단부에는 너트(152)가 대응하는 장착용 프레임(15b)의 외측으로부터 나사 결합된다. 병설된 헤드(16)군과, 양 장착용 프레임(15b)은 이들 볼트(151)와 너트(152)에 의해 일체로 체결된다. 헤드(16)군에 체결된 양 장착용 프레임(15b)은 헤드 유닛(15)의 본체 프레임(15a)에 대해 위치 결정되어 고정되어 있다. 이에 따라 10개의 헤드(16)는 양 장착용 프레임(15b)과 함께 일체로 헤드 유닛(15)에 고정되어 있다.

헤드 유닛(15)에 고정된 각 헤드(16)의 구동 샤프트(34)는 도 3에 도시하는 바와 같이 본체 프레임(15a)에 설치된 유지부(15c)에 의해 회전 가능하게 안내되어 있다. 또한 구동 샤프트(34)는 도면 밖의 구동 벨트 등에 의해 상기 본체 프레임(15a)에 고정된 구동 모터(회전형 모터)(26, 26)의 구동 풀리(도시 생략)에 연결되어 있다. 구동 모터(회전형 모터)(26, 26)나 구동 풀리는 상기 회전 구동 기구의 일부를 구성하고 있다.

상기와 같이 구성된 부품 실장 장치에서는 다음과 같이 하여 부품의 실장이 행해진다. 우선, 도 2 및 도 3을 참조하면 헤드 유닛(15)은 피더 설치 영역(13)으로 이동하여 각 헤드(16)에 의한 부품의 흡착을 실행한다. 구체적으로는 미리 설정된 헤드(16)가 파트 피더(14)의 상방에 배치된 후, 부품 흡착을 실행하는 헤드(16)에 의한 단위 유닛(40)에 의해 구동 샤프트(34)가 승강 구동된다. 이에 따라 노즐(35)이 하강하여 테이프 내의 부품을 흡착하여 인출한다. 이 때, 가능한 경우에는 복수의 헤드(16)에 의해 동시에 부품의 인출이 행해진다. 부품의 흡착이 완료하면 미리 설정된 경로를 따라 헤드 유닛(15)이 부품 촬상 유닛(25)의 상방을 경유한 후 프린트 기판(P) 상으로 이동한다. 이 이동 중에 각 헤드(16)[노즐(35)]에 의한 부품의 흡착 상태가 화상 인식되고 인식된 화상에 의거하여 실장시의 보정량이 연산된다. 헤드 유닛(15)이 프린트 기판(P) 상의 최초의 실장 위치에 도달하면 실장 공정이 실행된다. 실장 공정에서는 미리 설정된 순서에 의거하여 복수의 단위 유닛(40) 중 어느 하나의 단위 유닛(40)에 의해 고정자(42)의 코일(422)에 3상 교류가 통전된다. 통전된 코일(422)에 의해 구동 샤프트(34)는 상기 3상 교류의 통전 조건에 의거하여 승강되고, 프린트 기판(P) 상으로 부품이 실장된다. 이후, 헤드 유닛(15)이 순차 실장 위치로 이동하여 대응하는 코일(422)로 3상 교류가 통전되어 상기 구동 샤프트(34)는 동일한 동작을 반복한다. 이 실장 공정에 의해 프린트 기판(P) 상에 흡착 부품이 순차, 실장되게 된다.

이상과 같은 동작에 있어서 제 1 실시형태에서는 상술된 바와 같은 자성체 플레이트(500)를 설치하고 있으므로 어느 하나의 단위 유닛(40)에 의해 고정자(42)의 코일(422)로 통전된 경우에 상기 코일(422)과 이 코일(422)에 대향하는 가동자(44)의 영구 자석(442) 사이에는 도 9에 도시하는 바와 같이 자속 밀도가 높은 자장이 형성되게 된다. 또한, 자력선이 X축 방향으로 흘러 이웃하는 헤드(16)에 의해 단위 유닛(40)에 악영향을 미칠 우려가 없어져 제어 안정성이나 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

이어서 본 발명의 제 2 실시형태에 대해서 설명한다.

도 10 및 도 11을 참조하면 동 도면에 도시하는 헤드 유닛(600)은 헤드 프레임(601)과, 이 헤드 프레임(601)에 지지되고 도시 생략된 파트 피더[도 2의 파트 피더(14) 참조]의 정렬 방향(X축 방향)를 따라 정렬된 두개의 전열 헤드(610)와, 이 전열 헤드(610)의 배후에 있어서 헤드 프레임(601)에 지지되고 상기 정렬 방향을 따라 정렬하는 2개의 후열 헤드(620)를 구비하고 있다. 전열 헤드(610) 및 후열 헤드(620)는 어느 쪽도 다축 리니어 모터로 구성된 유닛이며, 전열 헤드(610)는 3개의 구동 샤프트(34)를 갖고(도 12 참조), 후열 헤드(620)는 2개의 구동 샤프트(34)를 갖고 있다.

도 10에 도시한 바와 같은 헤드 유닛(600)은 텐덤식 헤드로도 호칭된다. 텐덤식 헤드는 복수의 타이밍 벨트에서 각 구동 샤프트(34)에 설치된 도시 생략된 동력 기구를 구동함으로써 제 1 실시형태에 있어서의 R축 주위의 구동을 일제히 실행할 수 있도록 구성되어 있다. 이것과 함께, 헤드 유닛(600)은 구동 샤프트(34) 마다 설치된 단위 유닛(700)에 의해 개별적으로 승강 동작을 실행할 수 있도록 되어 있다.

이하, 도 12~도 16을 참조하면서 전열 헤드(610)의 구성에 대해서 설명한다.

우선, 전열 헤드(610)는 개략적으로는 3축의 리니어 모터를 구성한다. 전열 헤드(610)는 3축 구성의 다축 리니어 모터와, 다축 리니어 모터에 의해 상하로 개별적으로 구동되는 구동 샤프트(34)와, 구동 샤프트(34) 하단부에 장착된 노즐(35)과, 리턴 스프링(755)을 구비하고 있다. 구동 샤프트(34) 및 노즐의 원리적인 구성 또는 기능 등은 각각 제 1 실시예의 구동 샤프트(34) 및 노즐(35)과 마찬가지이므로 중복되는 설명을 생략한다.

다축 리니어 모터는 본 발명에 의한 프레임 부재의 일례로서의 프레임(630)과, 프레임(630)에 수용되어 상기 구동 샤프트(34)를 Z축 방향으로 구동하는 단위 유닛(700)을 구비하고 있다.

프레임(630)은 Y축 방향을 법선으로 하는 판 형상의 엔드 블록(631)과, 엔드 블록(631)의 X축 방향 양측에 배치되는 한 쌍의 사이드 플레이트(632)와, 양 사이드 플레이트(632)를 상기 엔드 블록(631)과의 사이에서 Y축 방향으로 협지하는 프런트 프레임(633)을 갖고 있다.

엔드 블록(631)은 Y축 방향에서 봐서 대략 Z축 방향으로 길게 연장되는 장방형으로 형성되어 있다. 엔드 블록(631)의 전방면에는 길이 방향으로 간격을 두고 형성된 복수의 홈(도시한 예에서는 2개소)(631a)이 형성되어 있다. 각 홈(631a)에는 복수의 장착 볼트(634)가 반대면으로부터 관통되어 있다. 장착 볼트(634)는 하나의 홈(631a)에 대해 예를 들면 4개씩 설치되어 있다. 장착 볼트(634)는 단수라도 좋고 복수라도 좋다. 각 장착 볼트(634)는 엔드 블록(631)의 폭방향(X축 방향)을 따라 등간격으로 배치되어 있다. 한편, 각 홈(631a)에는 각각 레일 가이드(635)가 적재되어 있다. 각 레일 가이드(635)는 각각의 홈(631a)에 설치된 장착 볼트(634)에 의해 고정되어 있다. 본 실시형태에 있어서 전열 헤드(610)의 각 레일 가이드(635)에는 Z축 방향을 따라 연장되는 3세트의 가이드홈(635a)이 형성되어 있다(도 16 참조). 한쪽의 레일 가이드(635)에 형성된 가이드홈(635a)과 다른 쪽의 레일 가이드(635)에 형성된 가이드홈(635a)은 각각 Z축 방향을 따라 대향하고 있다. 따라서, 각 가이드홈(635a)을 따라서 후술하는 가동자(740)를 구성하는 레일(741)을 삽통함으로써 레일 가이드(635)는 레일(741)을 Z축을 따라 개별적으로 왕복 이동할 수 있도록 되어 있다. 또한, 레일 가이드(635)의 개수나 레일(741)의 개수는 구성되는 리니어 모터의 사양에 의해 적절히 변경이 가능하다. 또한, 도 13에서는 생략되어 있지만, 레일 가이드(635)는 홈(631a, 631a)에 또한 하나씩 설치되어 있다(도 14 참조).

엔드 블록(631)의 폭방향 중앙부에는 채널 형상의 브래킷(650)이 Z축 방향을 따라 비즈(650)에 의해 고정되어 있다. 브래킷(650)은 자세하게는 후술하는 바와 같이 제 2 실시형태에 있어서의 차폐 부재의 일례다.

엔드 블록(631)을 평면으로 봤을 ? 4코너부와, 폭방향 양측의 2개소에는 상기 엔드 블록(631)의 배후로부터 Y축 방향을 통해 전방으로 연장되는 연결 볼트(636)가 삽통되어 있다. 연결 볼트(636)는 엔드 블록(631)에 부착된 사이드 플레이트(632)의 삽통 구멍(632b)을 삽통하고 이 사이드 플레이트(632) 전방 단부에 배치되는 프런트 프레임(633)의 배면에 형성된 도시 생략된 나사 구멍에 나사 결합함으로써 엔드 블록(631), 사이드 플레이트(632), 및 프런트 프레임(633)을 일체적인 구조체(프레임 부재)로서 연결하고 있다.

사이드 플레이트(632)에는 배면측에 레일 가이드(635)와의 간섭을 회피하는 절결 오목부(632a)가 형성되어 있다. 또한, 구체적으로는 도시하고 있지 않지만 사이드 플레이트(632)의 배면[부착 시에 엔드 블록(631)과 대향하는 면]에는 위치 결정용의 바닥이 있는 구멍이 형성되어 있다. 엔드 블록(631)에는 각 구멍에 대응하는 위치 결정 돌기(637)가 전방면에 세워 설치되어 있다. 엔드 블록(631)의 각 돌기(637)는 부착 시에 대응하는 각 구멍에 감합한다. 이 감합에 의해 엔드 블록(631)과 사이드 플레이트(632)의 부착 정밀도는 정치하게 확보되고 있다.

프런트 프레임(633)은 사이드 플레이트(632) 전방 단면에 배면을 접합하고 프레임(630)의 전방부의 외각을 구성하는 대략 장방형의 프레임체이다. 프런트 프레임(633)의 내부에는 다축 리니어 모터를 구성하고 있는 단위 유닛(700)을 장착하는 상 구획 프레임(633a)와, 하 구획 프레임(633b)이 일체로 형성되어 있다. 상 구획 프레임(633a)은 프런트 프레임(633)의 외각 부분에 의해 구획되는 공간을 폭방향(X축 방향)에 있어서 3분할하는 2세트의 부재이며, 이들 상 구획 프레임(633a)에 의해 구획되는 공간 내에 단위 유닛(700)의 Z축 방향에 있어서의 상단 부분이 정치하게 위치 결정된 상태로 장착되도록 되어 있다. 또한, 하 구획 프레임(633b)은 상 구획 프레임(633a)에 대해 Z축 방향으로 대향하는 2세트의 부재이다. 이 2세트 하 구획 프레임(633b)은 프런트 프레임(633)의 외각 부분에 의해 구획되는 공간을 폭방향(X축 방향)에 있어서 3분할한다. 하 구획 프레임(633b)에 의해 구획되는 공간 내에는 단위 유닛(700)의 Z축 방향에 있어서의 하단 부분이 정치하게 위치 결정된 상태로 장착된다. 또한, 하 구획 프레임(633b)에 의해 구획되는 공간 내에는 상기 단위 유닛(700)의 Z축 방향 하측에 배치된 세줄의 인코더(660)가 동일하게 위치 결정된 상태로 장착되도록 구성되어 있다. 또한, 구체적으로는 도시되어 있지 않지만 프런트 프레임(633)의 배면[부착 시에 사이드 플레이트(632)와 대향하는 면]에는 위치 결정용의 바닥이 있는 구멍이 형성되어 있다. 사이드 플레이트(632)에는 각 구멍에 대응하는 위치 결정 돌기(638)가 전방면에 세워 설치되어 있다. 각 돌기(638)를 대응하는 각 구멍에 감합시킴으로써 사이드 플레이트(632)와 프런트 프레임(633)의 부착 정밀도는 정치하게 확보되고 있다.

다축 리니어 모터를 구성하는 단위 유닛(700)은 각각 고정자(720)와 가동자(740)를 두개 한세트로 한 유닛이다. 고정자(720)는 코어(721)(의 티쓰)에 코일(722)이 장착된 전기자를 구비하고 있다.

코어(721)는 Z축 방향으로 연장되는 요크와, 요크의 측부로부터 Y축 방향의 후측을 향해 직각으로 돌출하는 다수의 티쓰를 일체로 갖는 빗 형의 자성체다. 코어(721)는 제 1 실시형태와 마찬가지로 플레이트 형상의 복수의 구성 부재를 엔드 블록(63l)의 법선 방향(X축 방향)으로 적층한 구조를 갖고 있다. 물론, 이것과는 달리, 블록 형상으로 일체 형성된 코어를 사용해도 좋다.

전기자는 각각 프런트 프레임(633)의 상 구획 프레임(633a)과 하 구획 프레임(633b) 사이에 걸치도록 위치 결정되고 X축 방향으로 연장되는 복수의 볼트(723)로 프런트 프레임(633)과 함께 체결되어 있다. 또한, 각 코일(722)로 통전하는 하네스(724)가 프런트 프레임(633)의 전방으로부터 상방을 따라 배치되어 있다. 이들 하네스(724)는 도시 생략된 급전계와 접속되도록 되어 있다. 코일(722)에는 120°마다 위상이 다른 3상 교류가 통전되도록 구성되어 있다. 통전시에 각 코일(722)에 자계를 발생시킴으로써 코일(722)은 고정자(720)와의 사이에서 가동자(740)를 Z축 방향으로 추진하는 힘을 생성한다. 이 힘에 의해 가동자(740)는 상기 Z축 방향으로 이동된다.

제 2 실시형태에 있어서도 가동자(740)는 전체로서 고정자(720)에 대해 Y축 방향으로 횡정렬(전후 병렬로)로 설치되어 있다. 한편, 제 2 실시형태에 있어서의 가동자(740)는 제 1 실시형태에 있어서의 슬라이드 베이스(441)를 생략하고 레일(741)에 직접 백 요크(742)를 볼트(744) 등으로 고정하고 있음과 아울러 이 백 요크(742)에 계자자를 구성하는 복수의 영구 자석(743)을 배열한 구성이 되어 있다. 영구 자석(743)의 구체적인 구성은 제 1 실시형태와 마찬가지다. 그리고 레일(741)이 상술한 레일 가이드(635)에 연결됨으로써 계자자를 구성하는 영구 자석(743)을 포함하는 가동자(740)는 Y축 방향에 있어서 전기자로서의 코일(722)에 대향한다. 따라서 가동자(740)는 통전시에 각 코일(722) 사이에서 Z축 방향의 추진력을 받아 Z축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 제 2 실시형태에 있어서도 고정자(720)가 프런트 프레임(633)에 장착되어 가동자를 구성하는 레일(741)이 엔드 블록(631)에 고정된 레일 가이드(635)로 가이드됨으로써 고정자(720)와 가동자(740)는 이들의 사이[정확하게는 빗 형의 코어(721)의 가동자측 단부와 영구 자석(743)의 고정자측 표면의 Y축 방향의 간격]에 미리 설정된 갭이 형성된 상태로 프레임(630)에 고정된다.

각 레일(741)의 하단부에는 Z축 방향으로 연장되는 연결 부재(750)가 각각 장착되어 있다. 각 연결 부재(750)는 내부가 중공으로 되고 있는 직사각형 단면의 슬리브(751)와, 슬리브(751) 하단 부분에 설치된 장착부(752)를 일체로 갖는 구성체이다. 슬리브(751)의 전방면[인코더(660)와 대향하는 면]에는 각각 대응하는 인코더(660)에 대해 Y축 방향으로 대향하는 리니어 스케일(753)이 설치되어 있다. 가동자(740)의 Z축 방향의 위치는 인코더(660)가 리니어 스케일(753)의 위치를 검출함으로써 제어된다.

장착부(752)는 구동 샤프트(34) 상단 부분을 나사 고정하는 부위이며, 상하로 정렬하는 예를 들면 2개의 나사 구멍(752a)이 형성되어 있다.

장착부(752)의 상단 전방면에는 Y축을 따라 전방으로 돌출되는 스터드 핀(754)이 세워 설치되어 있다. 스터드 핀(754)에는 리턴 스프링(755)의 일단부(755a)가 장착되어 있다. 리턴 스프링(755)은 슬리브(751)의 내부를 통과하여 타단부(755b)를 슬리브(751)의 상방으로 임하게 하고 있다. 이 타단부(755b)는 부착시에 프런트 프레임(633)에 대해 도시 생략된 볼트로 프런트 프레임(633)에 장착되어 있다. 이 결과, 리턴 스프링(755)은 항시 장착부(752)를 통해 가동자(740)를 구성하는 레일(741)을 Z축을 따라 상방으로 바이어스하는 구성으로 되어 있다.

이상과 같은 구성에 있어서 제 2 실시형태에 있어서는 브래킷(650)이 프레임(630)에 장착되어 있다(도 13 참조).

브래킷(650)은 단면이 コ자형의 판금 부재이다. 브래킷(650)은 엔드 블록(631)에 고정되는 저판부(652)와, 저판부(652)의 폭방향(X축 방향) 양측으로부터 기립하는 한 쌍의 측판부(653)를 일체로 갖고 있다. 저판부(652)의 길이 방향(Z축 방향)의 도중 부분 및 하단 부분(Z축 방향에 있어서 하측에 배치되는 측)은 측판부(653)와 함께 절결되어 엔드 블록(631)에 고정되는 레일 가이드(635)와의 간섭이 회피되도록 되어 있다(도 14 참조). 브래킷(650)은 도시된 자세에서 상기 저판부(652)가 정면으로부터 비즈(650)로 나사 고정됨으로써 엔드 블록(631)과 일체화되도록 되어 있다.

도 14 및 도 15를 참조하면 엔드 블록(631)에 부착된 저판부(652)는 세줄로 배치된 레일(741) 중 한가운데의 레일(741)에 대해 중심선이 합치하도록 Y축 방향으로 대향하고 있다. 그리고 이 저판부(652)로부터 연장되는 측판부(653)는 상기 한가운데의 레일(741)의 양측에 개재되어 인접하는 레일(741, 741)의 사이를 구획하고 있다.

브래킷(650)의 측판부(653)는 계자자를 구성하는 영구 자석(743)의 Z축 방향에 있어서의 스트로크(ST)의 전범위에 대응하여 연장되어 있고 이에 따라 어느 쪽의 레일(741)에 대응하는 전기자가 통전되어 상기 전기자를 구성하는 코일(722)의 코어(721)(티쓰)와 이것에 대응하는 레일(741)의 영구 자석(743) 사이에 자력선이 발생해도 그 자력선이 인접하는 레일(741)의 영구 자석(743)에 대해 악영향을 줄 우려는 없다. 그로 인해 브래킷(650)[의 측판부(653)]은 각 레일(741)을 실드하여 자력선의 악영향을 방지하는 차폐 부재로서 기능하게 된다.

또한, 제 2 실시형태에 있어서는 각 측판부(653)에는 코일(722)과 인접하는 부위에 개구부로서의 절결(654)을 설치하고 각 레일(741)에 고정된 영구 자석(743)이 코일(722)과 대향하는 위치에서는 이 절결(654)이 상기 영구 자석(743)의 측부를 개방하도록 구성되어 있다.

도 16에 도시하는 바와 같이 제 2 실시형태에 있어서도 브래킷(650)[의 측판부(653)]은 각 가동자(740)를 실드하는 차폐 부재로서 기능하는 한편, 영구 자석(743)이 코일(722)과 대향하는 위치에서는 영구 자석(743)의 측부를 개방하는 개구부로서의 절결(654)이 형성되어 있다. 이 절결(654)에 의해 영구 자석(743)과 전기자[코어(721), 코일(722)] 사이에 발생되는 자력선이 브래킷(650) 측으로 흐르므로 추진력을 발생시키는 유효 자속수(자속 밀도)가 저감하는 것을 방지 가능하게 된다. 이 결과, 제 2 실시형태에 있어서와 같이 다축 리니어 모터를 구성한 경우에 있어서도 통전시에 자력선이 이웃하는 헤드(16)에 의한 단위 유닛(700)에 악영향을 미칠 우려가 없어지고 또한 유효 자속수(또는 자속 밀도)를 높은 수준으로 유지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 후열 헤드(620)의 구성은 단위 유닛(700)의 개수가 2개로 되어 있는 점을 제외하고는 대략 전열 헤드(610)의 구성과 동등하다. 단, 도 17에 도시하는 바와 같이 후열 헤드(620)의 브래킷(650)은 어느 것 중 한쪽(도시의 예에서는 우측)의 단위 유닛(700)의 바로 아래에 배치되어 있고 그 형상도 コ자형 단면이 아니라 L 자형 단면으로 되어 있다. 이와 같이, 차폐 부재로서는 자성체 플레이트(500)나 コ자형 단면의 브래킷(650)에 한정되지 않고 L자형 단면의 브래킷(650)을 채용해도 좋다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 각 실시형태에 있어서는 복수의 단위 유닛(40, 700)을 병렬로 배치하여 다축 리니어 모터를 구성할 수 있다. 그 경우에 인접하는 단위 유닛(40, 700) 사이에 자성 재료로 이루어지는 차폐 부재로서 제 1 실시형태의 자성체 플레이트(500)나 또는 제 2 실시형태의 브래킷(650)이 개재된다. 이들 차폐 부재로서의 자성체 플레이트(500)나 또는 제 2 실시형태의 브래킷(650)은 이웃하는 단위 유닛(40, 700)을 실드한다. 그로 인해 각 단위 유닛(40, 700)의 영구 자석(442, 743)의 자력선은 전기자의 코일(422, 722)로부터 벗어난 위치에서는 차폐 부재[자성체 플레이트(500), 브래킷(650)]을 통과한다. 차폐 부재[자성체 플레이트(500), 브래킷(650)]가 자력선을 차폐하므로 상기 자력선은 이웃측의 단위 유닛(40, 700)으로 누설되기 어려워진다. 이 결과 어느 쪽의 단위 유닛(40, 700)의 전기자로 통전하여 가동자(44, 740)를 구동한 경우에 통전된 단위 유닛(40, 700)과 이웃하는 단위 유닛(40, 700)의 계자자가 연동하는 등 악영향을 받는 우려는 없다. 또한, 차폐 부재[자성체 플레이트(500), 브래킷(650)]에는 개구부로서의 절결(501, 654)이 형성되어 있다. 절결(501, 654)은 상기 프레임(30, 630)에 수용된 전기자의 코일(422, 722)에 인접하여 형성되어 있다. 그로 인해 영구 자석(442, 743)이 전기자와 대향하는 위치에서는 절결(501, 654)에 의해 영구 자석(442, 743)의 측부가 X축 방향에 있어서 개방되게 된다. 따라서 구동되는 단위 유닛(40, 700)의 자력선은 영구 자석(442, 743)이 전기자와 대향하는 위치에서는 대부분이 차폐 부재[자성체 플레이트(500), 브래킷(650)]에 끌어 당겨질 일 없이 자계를 구성한다. 그로 인해 구동되는 계자자와 이 계자자를 구동하는 전기자 사이에 형성되는 자계의 유효 자속 밀도는 조밀하게 유지되어 차폐 부재[자성체 플레이트(500), 브래킷(650)]에 의해 악영향을 받기 어려워져 단위 유닛(40, 700)이 본래 출력 가능한 추진력이 차폐 부재[자성체 플레이트(500), 브래킷(650)]에 의해 저감되는 것을 가급적으로 억제하는 것이 가능하게 된다.

또한, 각 실시형태에 있어서 차폐 부재는 판금 부재로서의 자성체 플레이트(500), 브래킷(650)으로 구체화되어 있다. 자성체 플레이트(500)나 브래킷(650)은 계자자의 이동 범위 전체에 걸쳐 이웃하는 단위 유닛(40, 700) 사이에 개재된다. 또한, 개구부는 절결(501, 654)로 구체화할 수 있다. 절결(501, 654)은 판금 부재 중 상기 전기자와 대향하는 부분에 형성된다. 이로 인해 본 발명의 각 실시형태에서는 가동자(44, 740)에 설치된 계자자가 어떤 범위로 이동해도 차폐 부재[자성체 플레이트(500), 브래킷(650)]에 의해 이웃하는 단위 유닛(40, 700)의 계자자와 격리된 상태로 되므로 확실하게 자력선에 의한 악영향을 회피하는 것이 가능해진다. 한편, 개구부로서의 절결(501, 654)은 차폐 부재[자성체 플레이트(500), 브래킷(650)]를 구성하는 판금 부재에 형성된 절결(501, 654)이므로 제조가 용이하고 개방 면적 등의 설정이 용이해진다는 이점이 있다.

또한, 제 2 실시형태에 있어서 프레임(630)은 병렬로 배치된 복수의 단위 유닛(700)을 수용한다. 차폐 부재로서의 브래킷(650)(판금 부재)은 프레임(630)에 고정되는 저판부(652)와, 이 저판부(652)로부터 일체로 굴곡되어 인접하는 단위 유닛(700) 사이에 개재되는 측판부(653)를 포함하고 개구부로서의 절결(654)은 측판부(653)에 형성되어 있다. 이로 인해 제 2 실시형태에서는 단일한 프레임(630)에 복수의 단위 유닛(700)을 장착한 다축 리니어 모터를 구성하는 것이 가능해진다. 그와 같은 경우에 있어서도 차폐 부재로서의 브래킷(650)은 프레임(630)에 고정된 저판부(652)와, 이 저판부(652)와 일체로 굴곡되어 인접하는 단위 유닛(700) 사이에 개재되는 측판부(653)를 구비하고 있으므로 이 측판부(653)가 구동되고 있는 단위 유닛(700)에 인접하는 단위 유닛(700)에 대해 악영향을 미치는 자력선을 차폐하는 기능을 달성한다. 또한, 이 측판부(653)에 개구부를 구성하는 절결(654)이 형성되어 있으므로 구동되고 있는 단위 유닛(700)에 있어서의 자속 밀도의 저감을 방지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 제 2 실시형태에 있어서 프레임(630)은 적어도 3개의 단위 유닛(700) 을 병렬로 수용한다. 차폐 부재로서의 브래킷(650)(판금 부재)은 저판부(652)의 양측에 각각 측판부(653)가 설치된 コ자형 단면으로 형성되어 있고 상기 저판부(652)는 3개의 단위 유닛(700) 중 중앙에 배치된 단위 유닛(700)에 대향하는 위치에 고정되어 있음과 아울러 상기 측판부(653)는 중앙에 배치된 단위 유닛(700)의 양측에 각각 배치되어 있다. 이로 인해 본 실시형태에서는 3축의 단위 유닛(700)의 실드 기능을 단일한 판금 부재로 달성하는 차폐 부재를 브래킷(650)에 의해 구성할 수 있다. 그로 인해 부품 개수나 부착 공정수를 저감하고 코스트를 저감하는 것이 가능해진다. 또한, 부품 개수가 저감되므로 경량화에도 기여한다.

또한, 이상 설명한 부품 실장 장치는 본 발명에 의한 리니어 모터가 적용되는 부품 실장 장치(본 발명에 의한 부품 실장 장치)의 바람직한 실시형태의 일례이며, 그 구체적인 구성은 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경 가능 하다.

예를 들면 제 1 실시형태의 리니어 모터에서는 고정자(42)를 돌출부(303)에 대해 가동자(44) 측과는 반대측으로부터 접하게 하고 또한 레일(741)을 돌조(305)에 대해 고정자(42) 측과는 반대측으로부터 접하게 함으로써 고정자(42) 및 가동자(44)를 위치 결정하는 구성이 되어 있지만 물론 위치 결정부에 대한 고정자(42) 및 레일(741)[리니어 가이드(32)]의 접하는 방향은 고정자(42) 및 가동자(44)를 적절히 위치 결정할 수 있으면 특별히 한정되지 않는다.

또한, 제 1 실시형태의 리니어 모터에서는 위치 결정부로서 프레임(30)에 돌출부(303) 및 돌조(305)가 일체 형성되어 있지만 예를 들면 돌출부(303) 및 돌조(305)는 프레임(30)과는 별체로 설치되어 볼트 등의 고정 수단에 의해 돌조(305)에 고정되어 있어도 좋다. 단, 위치 결정의 신뢰성의 관점으로부터 실시형태와 같이 프레임(30)에 일체 형성되어 있는 편이 바람직하다.

또한, 도 18에 도시하는 바와 같이 제 2 실시형태에 있어서 3축의 단위 유닛(700)을 설치할 경우 양측의 단위 유닛(700)의 배후에 각각 브래킷(650)을 배치하도록 해도 좋다.

또한, 각 실시형태에 있어서 차폐 부재의 개구부는 절결에 한정되지 않고 예를 들면 개구라도 좋다.

또한, 각 실시형태에서는 부품 실장 장치를 예시적으로 본 발명의 적용에 대해서 설명했지만 본 발명의 적용 대상은 부품 실장 장치에 한정되지 않는다. 예를 들면 부품을 유지 가능한 부품 유지 부재가 탑재된 이동 가능한 헤드 유닛을 구비하고 리니어 모터를 갖는 구동 기구에 의해 부품 유지 부재를 헤드 유닛에 대해 승강 구동함으로써 부품 공급부로부터의 부품의 인출을 또한 미리 설정된 검사부로 부품을 출납하도록 구성된 부품 검사 장치에 대해서도 본 발명은 적용 가능하다.

이와 같이 본 발명은 상술한 실시형태에 한정되지 않는다. 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 각종 변경을 가할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.

Claims (8)

1. 가동자와 고정자를 두개 한세트로 한 단위 유닛으로서, 복수 세트 병렬로 배치 가능하게 구성되어 있는 상기 단위 유닛을 구비한 리니어 모터에 있어서,
   상기 가동자에 설치된 계자자로서, 각각의 표면측의 자극을 교대로 다르게 하여 직선상으로 배열되어 있는 복수의 영구 자석에 의해 구성된 상기 계자자와,
   상기 고정자에 설치된 전기자로서, 코어 및 상기 코어에 권취되는 복수의 코일을 포함하는 상기 전기자와,
   상기 단위 유닛을 수용하는 비자성체로 이루어지는 프레임 부재와,
   상기 프레임 부재에 설치된 차폐 부재로서, 상기 복수의 단위 유닛이 배치되는 경우에 이웃하는 단위 유닛 사이에 개재되는 자성체로 이루어지는 상기 차폐 부재와,
   상기 차폐 부재 중 상기 전기자와 대향하는 부위에 형성되며, 상기 프레임 부재에 수용된 상기 전기자에 인접하는 개구부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 차폐 부재는 판금 부재이며, 이 판금 부재는 상기 계자자의 이동 범위 전체에 걸쳐 이웃하는 단위 유닛 사이에 개재되고,
   상기 개구부는 상기 판금 부재에 형성된 절결인 것을 특징으로 하는 리니어 모터.
3. 제 2 항에 있어서
   상기 프레임 부재는 병렬로 배치된 복수의 상기 단위 유닛을 수용하고 있고,
   상기 판금 부재는 상기 프레임 부재에 고정되는 저판부와, 이 저판부로부터 일체로 굴곡되어 인접하는 상기 단위 유닛 사이에 개재되는 측판부를 포함하고,
   상기 절결은 상기 측판부에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터.
4. 제 3 항에 있어서
   상기 프레임 부재는 적어도 3개의 단위 유닛을 병렬로 수용하고 있고,
   상기 판금 부재는 상기 저판부의 양측에 각각 상기 측판부가 설치된 コ자형 단면에 형성되어 있고, 상기 저판부는 상기 3개의 단위 유닛 중 중앙에 배치된 단위 유닛에 대향하는 위치에 고정되어 있음과 아울러 상기 측판부는 상기 중앙에 배치된 단위 유닛의 양측에 각각 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터.
5. 복수의 부품 흡착 노즐을 개별적으로 상하로 구동시키는 구동 기구와 이 구동 기구에 의해 승강 구동되는 부품 유지 부재를 갖고, 이 부품 유지 부재의 승강 동작에 따른 부품 공급 위치부터의 부품을 인출하고 또한 기판상으로 부품을 실장하는 부품 실장 장치에 있어서,
   상기 구동 기구는 복수의 부품 흡착 노즐 마다 단위 유닛을 갖는 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 구동 기구를 구성하는 상기 복수의 단위 유닛은 상기 계자자와 상기 전기자가 대향하는 대향 방향과 직교하는 방향으로 병설되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
7. 복수의 부품 흡착 노즐을 개별적으로 상하로 구동시키는 구동 기구와 이 구동 기구에 의해 승강 구동되는 부품 유지 부재를 갖고, 이 부품 유지 부재의 승강 동작에 따른 부품 공급 위치부터의 부품을 인출하고 또한 미리 설정된 검사부로 부품을 출입시키는 부품 검사 장치에 있어서,
   상기 구동 기구는 복수의 부품 흡착 노즐 마다 단위 유닛을 갖는 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 부품 검사 장치.
8. 제 7 항에 있어서
   상기 구동 기구를 구성하는 상기 복수의 단위 유닛은 상기 계자자와 상기 전기자가 대향하는 대향 방향과 직교하는 방향으로 병설되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 검사 장치.
   

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