JP4756459B2 - Xy位置決め装置 - Google Patents
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また、プラテンとXYスライダの電機子の歯ピッチを比較的大きくして安価に構成した2次元リニアモータが知られている(例えば、特許文献2を参照)。
また、XYスライダのX軸方向への制御と回転θ方向への制御を独立して行うことでXYスライダの回転ずれ(ヨーイング)により制御不能になることを防止した2次元位置決め装置が知られている(例えば、特許文献3を参照)。
さらには、推力を低減せずにコギング力を低減でき、XY位置決め装置に適用可能なリニアモータ構造が提案されている(例えば、特許文献4を参照)。
図において、1aがXYスライダ、100がプラテンである。XYスライダ1aはプラテン100と微小なギャップを介して非接触浮上している。
また、プラテン100のXYスライダ1aとの対向面側には、XY格子状の突起である格子状鉄心歯101が設けられている。プラテン100は、各電機子の永久磁石15の磁石磁束、電機子巻線14の巻線磁束を通す役割があり、透磁率の高い磁性体が使用されている。
また、コギング力の安定点は、軸電機子の組立公差や永久磁石の磁化のばらつき、さらには4つの電機子の電気的な配置場所により変わるので、コギング力の安定点を一致させることが極めて困難であった。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、電機子の組立公差や永久磁石の磁化のばらつきがあってもコギング力の安定点を一致させ、XYスライダの初期浮上時に起こる回転位置誤差を低減できるXY位置決め装置を提供することを目的とする。
また、請求項2の発明は、請求項1記載のXY位置決め装置において、前記X軸電機子同士、前記Y軸電機子同士をそれぞれ前記XYスライダの中心に対して点対称に配置してあり、前記XYスライダの中心から前記X1軸電機子の中心までのY軸方向距離をΔYX1、前記XYスライダの中心から前記X2軸電機子の中心までのY軸方向距離をΔYX2、前記XYスライダの中心から前記Y1軸電機子の中心までのX軸方向距離をΔXY1、前記XYスライダの中心から前記Y2軸電機子の中心までのX軸方向距離をΔXY2としたとき、ΔYX1=ΔYX2、ΔXY1=ΔXY2であることを特徴としている。
また、請求項3の発明は、請求項1または2に記載のXY位置決め装置において、前記XYスライダが前記XYプラテン上を非接触で浮上するように、前記XYスライダに浮上機構を備えたことを特徴としている。
また、請求項4の発明は、請求項1または2に記載のXY位置決め装置において、前記XYスライダを前記プラテン上に複数台載せたことを特徴としている。
また、請求項5の発明は、請求項1または2に記載のXY位置決め装置において、前記X軸電機子および前記Y軸電機子は、磁性体からなる電機子コアのティースに巻装された3相の電機子巻線と、前記ティースのギャップ対向面に配設した永久磁石を備えたことを特徴としている。
また、請求項2記載の発明によると、各電機子に発生するコギング力の作用点とXYスライダの中心までの距離を等しくできるので、コギング力の作用点の違いによるモーメントを無くすことができ、XYスライダの回転位置誤差をさらに低減することができる。
また、請求項3記載の発明によると、浮上機構によってXYスライダを非接触で支持できるので、磨耗等による粉塵発生やメンテナンスを排除することができる。
また、請求項4記載の発明によると、複数台のXYスライダを同一プラテン上で駆動することができ、複数台のXYスライダ駆動による並列作業によって、機械装置の高タクト化を図ることができる。
また、請求項5記載の発明によると、電機子コアを構成する一般的な積層珪素鋼板に比べ、X軸方向寸法幅やX軸方向寸法幅の寸法誤差を低減できる無垢の永久磁石をギャップ対向面に配設しているので、寸法誤差にともなうコギング力のばらつきを低減できる。よって、XYスライダの回転誤差をさらに低減することができる。
これらの図において、1はXYスライダ、10はX1軸電機子、20はX2軸電機子、30はY1軸電機子、40はY2軸電機子である。
XYスライダ1が、X軸方向の駆動力源となるX1軸電機子10およびX2軸電機子20、Y軸方向の駆動力源となるY1軸電機子30およびY2軸電機子40、それら電機子を収納するための筐体50、XYスライダ1をプラテン100に対してギャップを介して浮上させるための浮上機構60から構成されている点、各電機子が2つの電機子ユニット11から構成されると共に、電機子ユニット11は3相のティース13を形成してなるE形状の電機子コア12に3相の電機子巻線14を巻装し、ティース13のギャップ対向面に多極の磁極を形成するように永久磁石15を配設した点、永久磁石15の極ピッチを格子状鉄心歯101のピッチの半分とし、ティース13は電気角で120度の位相差で配置する点は従来技術と同じである。
まず、X1軸電機子10、X2軸電機子20、Y1軸電機子30、Y2軸電機子40の各電機子における2つの電機子ユニット11は、電気角0度の位相差、つまり全く同じ電機子ユニット11を電気的に同じ位置に配置させている。次に、格子状鉄心歯101のピッチをλとした場合、X1軸電機子10およびX2軸電機子20は、そのギャップ対向面に配置された永久磁石15のY軸方向寸法幅LXを、
LX=m1×λ (m1は自然数)
としており、ここでは、m1=4に設定している。また、Y1軸電機子30およびY2軸電機子40も同様に、そのギャップ対向面に配置された永久磁石15のX軸方向寸法幅LYを、
LY=n1×λ (n1は自然数)
としており、ここでは、n1=4に設定している。
さらに、X1軸電機子10とX2軸電機子20のX軸方向およびY軸方向の相対距離は電気角でゼロ度となっている。Y1軸電機子30とY2軸電機子40も同様である。
しかし、XYスライダ1の中心Oに対して時計回りを正方向とした場合に、X1軸電機子10のX軸正方向における先端側の位置からY1軸電機子30のX軸正方向における先端側の位置までのX軸方向相対距離を表わす電気角ΔX、X1軸電機子10のY軸正方向における先端側の位置からY1軸電機子30のY軸正方向における先端側の位置までのY軸方向相対距離を表わす電気角ΔYは、それぞれ、
ΔX=120×m2+α (m2は整数)
ΔY=120×n2+α (n2は整数)
ここで
70≦α≦110
の関係に定めており、ここでは、m2=2、n=0、α=90に設定している。つまり、ΔX=330度、ΔY=90度となっている。
ΔYX1=ΔYX2
ΔXY1=ΔXY2
の関係になるようにX1軸電機子10〜Y2軸電機子40を配置している。
図4はXYスライダをX軸方向に移動させたときのコギング力を示したものである。移動量の電気角360度は格子状鉄心歯のピッチλに相当している。X1軸電機子とX2軸電機子のコギング力は1周期を120度として発生するのに対し、Y1軸電機子とY2軸電機子のX軸方向移動時のコギング力は1周期が360度である。従って、XYスライダのX軸方向のコギング力は、3次成分に1次成分が重畳した波形となる。
また、コギング力の作用点の違いによるモーメントを無くすことができ、XYスライダの回転位置誤差をさらに低減することができる。
さらには、回転位置誤差を低減できるので、非接触の浮上機構を用いていることができる。この浮上機構によって磨耗等による粉塵発生やメンテナンスを排除することができる。
図6は第2実施例であるXY位置決め装置の斜視図である。
図において、2と3はXYスライダである。第1実施例と異なる点は、同一のプラテン100上にXYスライダ2、3の2台を配置した点である。XYスライダ2、3は各制御装置によりXYの位置決め制御が行われる。
また、XYスライダの浮上機構は静圧空気軸受を用いたが、特にクリーン環境下において異物、粉塵などの侵入を防止し、大幅な耐久性の向上を図る意味においても電磁石など設けた磁気浮上によるもの、あるいはリニアガイド等を設けると良い。その結果、本発明と同様の効果が得られることは言うまでも無い。
10、10a X1軸電機子(X軸電機子)
11 電機子ユニット
12 電機子コア
13 ティース
14 電機子巻線
15 永久磁石
20、20a X2軸電機子(X軸電機子)
30、30a Y1軸電機子(Y軸電機子)
40、40a Y2軸電機子(Y軸電機子)
50 筐体
60 浮上機構
61 オリフィス
62 絞り溝
100 プラテン
101 格子状鉄心歯
O XYスライダの中心
Claims (5)
- 直交するXY軸方向に各々配置されると共に、各軸方向に推力を発生するための複数の電機子ユニットを備えたX軸電機子とY軸電機子とで構成される電機子と、
前記電機子とギャップを介して対向配置され、表面に格子状鉄心歯を有するプラテンと、を備え、前記電機子と前記プラテンの何れか一方をXY軸方向に移動可能なXYスライダを構成する可動子に、他方を固定子として相対移動を行うようにしたXY位置決め装置において、
前記X軸電機子をX1軸電機子とX2軸電機子の2個で構成し、前記Y軸電機子をY1軸電機子とY2軸電機子の2個で構成すると共に、前記X軸電機子同士、前記Y軸電機子同士をそれぞれ電気角0度の位相差に配置してあり、
前記格子状鉄心歯のピッチをλとした場合、前記X軸電機子のギャップ対向面のY軸方向寸法幅LX、前記Y軸電機子のギャップ対向面のX軸方向寸法幅LYはそれぞれ、
LX=m1×λ (m1は自然数)、
LY=n1×λ (n1は自然数)
と設定してあり、
前記XYスライダの中心に対して時計回りを正方向とした場合に、前記X軸電機子のX軸正方向における先端側の位置から前記Y軸電機子のX軸正方向における先端側の位置までのX軸方向相対距離を表わす電気角ΔX、前記X軸電機子のY軸正方向における先端側の位置から前記Y軸電機子のY軸正方向における先端側の位置までのY軸方向相対距離を表わす電気角ΔYを、それぞれ、
ΔX=120×m2+α (m2は整数)、
ΔY=120×n2+α (n2は整数)
としたことを特徴とするXY位置決め装置。
但し、70≦α≦110 - 前記X軸電機子同士、前記Y軸電機子同士をそれぞれ前記XYスライダの中心に対して点対称に配置してあり、
前記XYスライダの中心から前記X1軸電機子の中心までのY軸方向距離をΔYX1、前記XYスライダの中心から前記X2軸電機子の中心までのY軸方向距離をΔYX2、前記XYスライダの中心から前記Y1軸電機子の中心までのX軸方向距離をΔXY1、前記XYスライダの中心から前記Y2軸電機子の中心までのX軸方向距離をΔXY2としたとき、ΔYX1=ΔYX2、ΔXY1=ΔXY2であることを特徴とする請求項1記載のXY位置決め装置。 - 前記XYスライダが前記プラテン上を非接触で浮上するように、前記XYスライダに浮上機構を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のXY位置決め装置。
- 前記XYスライダを前記プラテン上に複数台載せたことを特徴とする請求項1または2記載のXY位置決め装置。
- 前記X軸電機子および前記Y軸電機子は、磁性体からなる電機子コアのティースに巻装された3相の電機子巻線と、前記ティースのギャップ対向面に配設した永久磁石を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のXY位置決め装置。
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