JP3941460B2 - パルスモータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローバ、ハンドラ、ステッパ等に用いられるパルスモータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図3及び図4は従来におけるパルスモータの構成例を示した図である。
図3は上面図、図4は図3のA−A部分の断面図である。この従来例はスライダが2次元方向に移動するパルスモータの例を示している。
プラテン10は、板状をなし、X方向とY方向に沿って一定ピッチで歯11がマトリクス状に形成されている。プラテン10は、磁性体で構成されていて、平坦面に格子状に溝を切ることにより形成される。プラテン10は、請求範囲でいうステータに相当する。
【0003】
スライダ20には、Xモータブロック21a,21bとYモータブロック22a,22bが塔載されている。
Xモータブロック21aの構成を説明する。
Xモータブロック21aには、コア211a,211bが設けられている。図5はコア211aをE方向から見た図である。
コア211aは、突極212a〜212fを有する。各突極の先端にはピッチpで歯213が形成されている。プラテン10の歯11のピッチは歯213のピッチと等しいかあるいはほぼ等しくなっている。歯213は歯11と対向配置されている。突極212a,212b,212cの歯はp/3ずつ位相がずれている。突極212aの歯と突極212dの歯は同位相である。突極212d,212e,212fの歯はp/3ずつ位相がずれている。
【0004】
コイル214a〜214fは、突極212a〜212fにそれぞれ巻かれている。コイル214a〜214fの巻かれた突極の歯の位相はp/3ずつずれている。コイル214a,214b,214c,214d,214e,214fをそれぞれU相コイル,V相コイル,W相コイル,U相コイル,V相コイル,W相コイルとする。この例では、コイルは3相コイルである。
励磁手段215は、コイル214a〜214fに位相が120°ずつずれた正弦波交流信号を流すことによって励磁する。
【0005】
永久磁石216a,216bはコア211aに装着されている。永久磁石216a,216bは突極の長さ方向に着磁されている。これにより、永久磁石216a,216bは突極に長さ方向のバイアス磁束φmを与える。
浮揚手段217は、スライダ20をプラテン10上に浮揚させる。図示していないが、例えば浮揚手段217はスライダ20の下面に設けた穴から圧縮空気を噴出することによって、スライダ20をプラテン10上に浮揚させる。このとき、スライダ20とプラテン10の間には圧縮空気の層が形成される。
【0006】
コア211bもコア211aと同様な構成になっている。コア211bはコア211aに対して、突極の歯の位相をp/2だけずらして配置されている。コア211bに巻かれた3相コイルをそれぞれU−相コイル(Uの上にバーが付いた符合をU−と表す),V−相コイル,W−相コイルとする。U相コイルとU−相コイルには同相の交流信号が与えられる。他の相についても同様である。U−相コイル,V−相コイル,W−相コイルを設けたのは、コイルを励磁したときにスライダが回転するのを防ぐためである。
U相コイル,V相コイル,W相コイルが巻かれた突極をそれぞれU相突極,V相突極,W相突極とする。同様に、U−相コイル,V−相コイル,W−相コイルが巻かれた突極をそれぞれU−相突極,V−相突極,W−相突極とする。
【0007】
Xモータブロック21bもXモータブロック21aと同様な構成になっている。Xモータブロック21bにあるコア219a,219bの突極の歯は、コア211a,211bの歯と同位相になっている。永久磁石218a,218bはコア212aに装着されている。永久磁石218a,218bの着磁方向は永久磁石216a,216bの着磁方向と同方向である。
Xモータブロック21a,21bはX方向に突極の歯が配列されている。突極に巻かれたコイルに発生する磁束と永久磁石の磁束により、Xモータブロック21a,21bはX方向の推力を発生する。
Yモータブロック22a,22bもXモータブロック21aと同様な構成になっている。Yモータブロック22a,22bはXモータブロック21aを90°回転移動させた向きに配置されている。Yモータブロック22a,22bはY方向に突極の歯が配列されている。突極に巻かれたコイルに発生する磁束と永久磁石の磁束により、Yモータブロック22a,22bはY方向の推力を発生する。
【0008】
図3及び図4に示すパルスモータの構成では、Xモータブロック21bはXモータブロック21aを平行移動させた構成になっているため、Xモータブロック21aと21bでは、U相突極,V相突極,W相突極の位相はそれぞれ同位相になっている。これにより、Xモータブロック21aのU相突極,V相突極,W相突極で生じる吸引力の大きさ及び方向と、Xモータブロック21bのU相突極,V相突極,W相突極で生じる吸引力の大きさと方向は等しくなる。
従って、モータの磁気回路における吸引力のばらつきがXモータブロック21aと21bのU相突極,V相突極,W相突極で同じになる。
【0009】
このような吸引力のばらつきによりスライダ20が上下方向に揺れる現象(この現象をピッチングという)がプラテンの1歯ピッチ内で繰り返し現れる。精密位置決めを行うためには、このピッチングを極力小さくする必要がある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、モータブロックをスライダの中心に対して点対称になるように配置するとともに、対になるモータブロックの一方と他方で永久磁石が与えるバイアス磁束の方向を逆方向にすることによって、スライダのピッチングを極力低減したパルスモータを実現することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は次のとおりの構成になったパルスモータである。
【0012】
(1)XY方向へマトリクス状に所定ピッチで歯が形成されたステータと、
ピッチpでX方向に歯が形成された突極を有し、この突極は歯の位相をp/nずつずらしてn種類設けられていて、各突極の歯は前記ステータの歯と対向配置されているXモータブロックと、
ピッチpでY方向に歯が形成された突極を有し、この突極は歯の位相をp/nずつずらしてn種類設けられていて、各突極の歯は前記ステータの歯と対向配置されているYモータブロックと、
各突極に対して、突極の長さ方向にバイアス磁束を与える永久磁石と、
各突極にそれぞれ巻かれたn相コイルと、
このn相コイルを励磁する励磁手段と、
前記Xモータブロック及びYモータブロックを塔載するスライダと、
を有し、前記XモータブロックどうしとYモータブロックモータブロックどうしでそれぞれ対をなし、対になるモータブロックは前記スライダの中心に対して点対称の位置関係に配置されていて、対になるモータブロックの一方と他方で前記永久磁石が与えるバイアス磁束の方向が逆方向になっていて、
前記Xモータブロック及びYモータブロックモータブロックは、n種類の突極をそれぞれ有する第1のコアと第2のコアを塔載し、第1のコアと第2のコアは突極の歯の位相をp/2だけずらして配置されていることを特徴とするパルスモータ。
【0013】
(2)前記スライダをステータ上に浮揚させる浮揚手段を有することを特徴とする(1)に記載のパルスモータ。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図1は本発明の一実施例を示す構成図である。図1は上面図、図2は図1のA−A部分の断面図である。図1で前出の図面と同一のものは同一符合を付ける。Xモータブロック31aと31bはスライダの中心40に対して点対称の位置関係に配置されている。Yモータブロック32aと32bはスライダの中心40に対して点対称の位置関係に配置されている。Yモータブロック32a,32bはXモータブロック31a,31bの向きを90°変えて配置されている。
このようにモータブロックが点対称の位置関係に配置されていることから、Xモータブロック31a,31bでは、U相突極,V相突極,W相突極はU−相突極,V−相突極,W−相突極よりもスライダの中心40に近い位置にある。また、U相突極,V相突極,W相突極の配列はXモータブロック31aと31bで逆になる。
Yモータブロック32aと32bでも同様である。
【0018】
Xモータブロック31aの構成を説明する。
Xモータブロック31aには、コア311a,311bが設けられている。
コア311aは、突極312a〜312fを有する。各突極の先端にはピッチpで歯313が形成されている。突極312a,312b,312cの歯はp/3ずつ位相がずれている。突極312aの歯と突極312dの歯は同位相である。突極312d,312e,312fの歯はp/3ずつ位相がずれている。
【0019】
コイル314a〜314fは、突極312a〜312fにそれぞれ巻かれている。コイル314a〜314fの巻かれた突極の歯の位相はp/3ずつずれている。従来例と同様にコイル314a,314b,314c,314d,314e,314fをそれぞれU相コイル,V相コイル,W相コイル,U相コイル,V相コイル,W相コイルとする。
励磁手段215は、コイル314a〜314fに3相の正弦波交流信号を流すことによって励磁する。
【0020】
永久磁石316a,316bはコア311aに装着されている。永久磁石316a,316bは突極の長さ方向に着磁されている。これにより、永久磁石316a,316bは突極に長さ方向のバイアス磁束φmを与える。
コア311bもコア311aと同様な構成になっている。コア311bはコア311aに対して、突極の歯の位相をp/2だけずらして配置されている。コア311bに巻かれた3相コイルをそれぞれU−相コイル,V−相コイル,W−相コイルとする。U相コイルとU−相コイルには同相の交流信号が与えられる。他の相についても同様である。
U相コイル,V相コイル,W相コイルが巻かれた突極をそれぞれU相突極,V相突極,W相突極とする。同様に、U−相コイル,V−相コイル,W−相コイルが巻かれた突極をそれぞれU−相突極,V−相突極,W−相突極とする。
【0021】
Xモータブロック31bもXモータブロック31aと同様な構成になっている。永久磁石318a,318bはコア312aに装着されている。永久磁石318a,318bの着磁方向は永久磁石316a,316bの着磁方向と逆方向である。図示しないが、コア311bにも永久磁石が装着されていて、この永久磁石の着磁方向は永久磁石316a,316bの着磁方向と同方向である。また、コア312bにも永久磁石が装着されていて、この永久磁石の着磁方向は永久磁石318a,318bの着磁方向と同方向である。
Xモータブロック31a,31bはX方向に突極の歯が配列されている。突極に巻かれたコイルに発生する磁束と永久磁石の磁束により、Xモータブロック31a,31bはX方向の推力を発生する。
Yモータブロック32a,32bもXモータブロック21aと同様な構成になっている。Yモータブロック32a,32bはY方向に突極の歯が配列されている。突極に巻かれたコイルに発生する磁束と永久磁石の磁束により、Yモータブロック32a,32bはY方向の推力を発生する。
【0022】
図1及び図2に示すパルスモータでは、Xモータブロック31aと31b、及びYモータブロック32aと32bは、それぞれスライダの中心40に対して点対称の位置関係に配置されている。また、点対称の位置関係にあるモータブロックの永久磁石は着磁方向が逆方向になっている。
このような構成になっているため、これにより、Xモータブロック31aのU相突極,V相突極,W相突極で生じる吸引力の大きさ及び方向と、Xモータブロック31bのU相突極,V相突極,W相突極で生じる吸引力の大きさと方向は、スライダの中心40に対して点対称の関係になる。
従って、モータの磁気回路における吸引力のばらつきは、中心40に対して点対称の位置関係で発生するためキャンセルされる。これによって、スライダのピッチングを低減できる。
【0023】
なお、実施例では3相コイルの場合について説明したが、コイルの相数は3相以外でもよい。
また、実施例ではスライダが2次元方向に移動するパルスモータの場合について説明したが、スライダが1次元方向に移動するリニアパルスモータであってもよい。
また、実施例ではXモータブロックとYモータブロックがそれぞれ一対ずつ設けられた場合について説明したが、これ以外の対数だけ設けてもよい。
【0024】
【発明の効果】
本発明によれば次の効果が得られる。
【0025】
請求項1記載の発明では、X方向に歯が形成された突極を有するXモータブロックと、Y方向に歯が形成された突極を有するYモータブロックとを設け、XモータブロックどうしとYモータブロックモータブロックどうしでそれぞれ対をなしている。そして、対になるモータブロックはスライダの中心に対して点対称の位置関係に配置し、対になるモータブロックの一方と他方で永久磁石が与えるバイアス磁束の方向を逆方向にした。これにより、点対称の位置関係にあるモータブロックの各突極で生じる吸引力の大きさと方向は、スライダの中心に対して点対称の関係になる。このため、モータの磁気回路における吸引力のばらつきは、点対称の位置関係で発生することによりキャンセルできる。これによって、スライダのピッチングを低減し、高精度で2次元位置決めができるパルスモータを実現した。
また、歯の位相をp/2だけずらして配置した第1のコアと第2のコアを設けたため、コイルを励磁したときにスライダが回転するのを防止できる。
【0028】
請求項2記載の発明では、スライダをステータ上に浮揚させているため、スライダの移動方向をガイドするガイドバーが不要になる。これによって、機構を簡略化できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図3】従来におけるパルスモータの構成例を示した図である。
【図4】従来におけるパルスモータの構成例を示した図である。
【図5】従来におけるパルスモータの構成例を示した図である。
【符号の説明】
10 プラテン
11,313 歯
31a,31b,32a,32b モータブロック
215 励磁手段
217 浮揚手段
312a〜312f 突極
314a〜314f コイル
316a,316b,318a,318b 永久磁石
Claims (2)
- XY方向へマトリクス状に所定ピッチで歯が形成されたステータと、
ピッチpでX方向に歯が形成された突極を有し、この突極は歯の位相をp/nずつずらしてn種類設けられていて、各突極の歯は前記ステータの歯と対向配置されているXモータブロックと、
ピッチpでY方向に歯が形成された突極を有し、この突極は歯の位相をp/nずつずらしてn種類設けられていて、各突極の歯は前記ステータの歯と対向配置されているYモータブロックと、
各突極に対して、突極の長さ方向にバイアス磁束を与える永久磁石と、
各突極にそれぞれ巻かれたn相コイルと、
このn相コイルを励磁する励磁手段と、
前記Xモータブロック及びYモータブロックを塔載するスライダと、
を有し、前記XモータブロックどうしとYモータブロックモータブロックどうしでそれぞれ対をなし、対になるモータブロックは前記スライダの中心に対して点対称の位置関係に配置されていて、対になるモータブロックの一方と他方で前記永久磁石が与えるバイアス磁束の方向が逆方向になっていて、
前記Xモータブロック及びYモータブロックモータブロックは、n種類の突極をそれぞれ有する第1のコアと第2のコアを塔載し、第1のコアと第2のコアは突極の歯の位相をp/2だけずらして配置されていることを特徴とするパルスモータ。 - 前記スライダをステータ上に浮揚させる浮揚手段を有することを特徴とする請求項1に記載のパルスモータ。
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