JP2003143830A - パルスモータ - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スライダのピッチングを極力低減したパルス
モータを実現する。 【解決手段】 突極を有するモータブロックをスライダ
に塔載し、永久磁石により突極の長さ方向にバイアス磁
束を与え、モータブロックを任意の対数だけ設け、対に
なるモータブロックはスライダの中心に対して点対称の
位置関係に配置し、対になるモータブロックの一方と他
方で永久磁石が与えるバイアス磁束の方向を逆方向にし
たパルスモータである。
モータを実現する。 【解決手段】 突極を有するモータブロックをスライダ
に塔載し、永久磁石により突極の長さ方向にバイアス磁
束を与え、モータブロックを任意の対数だけ設け、対に
なるモータブロックはスライダの中心に対して点対称の
位置関係に配置し、対になるモータブロックの一方と他
方で永久磁石が与えるバイアス磁束の方向を逆方向にし
たパルスモータである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローバ、ハンド
ラ、ステッパ等に用いられるパルスモータに関するもの
である。
ラ、ステッパ等に用いられるパルスモータに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図３及び図４は従来におけるパルスモー
タの構成例を示した図である。図３は上面図、図４は図
３のＡ−Ａ部分の断面図である。この従来例はスライダ
が２次元方向に移動するパルスモータの例を示してい
る。プラテン１０は、板状をなし、Ｘ方向とＹ方向に沿
って一定ピッチで歯１１がマトリクス状に形成されてい
る。プラテン１０は、磁性体で構成されていて、平坦面
に格子状に溝を切ることにより形成される。プラテン１
０は、請求範囲でいうステータに相当する。
タの構成例を示した図である。図３は上面図、図４は図
３のＡ−Ａ部分の断面図である。この従来例はスライダ
が２次元方向に移動するパルスモータの例を示してい
る。プラテン１０は、板状をなし、Ｘ方向とＹ方向に沿
って一定ピッチで歯１１がマトリクス状に形成されてい
る。プラテン１０は、磁性体で構成されていて、平坦面
に格子状に溝を切ることにより形成される。プラテン１
０は、請求範囲でいうステータに相当する。
【０００３】スライダ２０には、Ｘモータブロック２１
ａ，２１ｂとＹモータブロック２２ａ，２２ｂが塔載さ
れている。Ｘモータブロック２１ａの構成を説明する。
Ｘモータブロック２１ａには、コア２１１ａ，２１１ｂ
が設けられている。図５はコア２１１ａをＥ方向から見
た図である。コア２１１ａは、突極２１２ａ〜２１２ｆ
を有する。各突極の先端にはピッチｐで歯２１３が形成
されている。プラテン１０の歯１１のピッチは歯２１３
のピッチと等しいかあるいはほぼ等しくなっている。歯
２１３は歯１１と対向配置されている。突極２１２ａ，
２１２ｂ，２１２ｃの歯はｐ／３ずつ位相がずれてい
る。突極２１２ａの歯と突極２１２ｄの歯は同位相であ
る。突極２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆの歯はｐ／３ず
つ位相がずれている。
ａ，２１ｂとＹモータブロック２２ａ，２２ｂが塔載さ
れている。Ｘモータブロック２１ａの構成を説明する。
Ｘモータブロック２１ａには、コア２１１ａ，２１１ｂ
が設けられている。図５はコア２１１ａをＥ方向から見
た図である。コア２１１ａは、突極２１２ａ〜２１２ｆ
を有する。各突極の先端にはピッチｐで歯２１３が形成
されている。プラテン１０の歯１１のピッチは歯２１３
のピッチと等しいかあるいはほぼ等しくなっている。歯
２１３は歯１１と対向配置されている。突極２１２ａ，
２１２ｂ，２１２ｃの歯はｐ／３ずつ位相がずれてい
る。突極２１２ａの歯と突極２１２ｄの歯は同位相であ
る。突極２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆの歯はｐ／３ず
つ位相がずれている。
【０００４】コイル２１４ａ〜２１４ｆは、突極２１２
ａ〜２１２ｆにそれぞれ巻かれている。コイル２１４ａ
〜２１４ｆの巻かれた突極の歯の位相はｐ／３ずつずれ
ている。コイル２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ，２１４
ｄ，２１４ｅ，２１４ｆをそれぞれＵ相コイル，Ｖ相コ
イル，Ｗ相コイル，Ｕ相コイル，Ｖ相コイル，Ｗ相コイ
ルとする。この例では、コイルは３相コイルである。励
磁手段２１５は、コイル２１４ａ〜２１４ｆに位相が１
２０°ずつずれた正弦波交流信号を流すことによって励
磁する。
ａ〜２１２ｆにそれぞれ巻かれている。コイル２１４ａ
〜２１４ｆの巻かれた突極の歯の位相はｐ／３ずつずれ
ている。コイル２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ，２１４
ｄ，２１４ｅ，２１４ｆをそれぞれＵ相コイル，Ｖ相コ
イル，Ｗ相コイル，Ｕ相コイル，Ｖ相コイル，Ｗ相コイ
ルとする。この例では、コイルは３相コイルである。励
磁手段２１５は、コイル２１４ａ〜２１４ｆに位相が１
２０°ずつずれた正弦波交流信号を流すことによって励
磁する。
【０００５】永久磁石２１６ａ，２１６ｂはコア２１１
ａに装着されている。永久磁石２１６ａ，２１６ｂは突
極の長さ方向に着磁されている。これにより、永久磁石
２１６ａ，２１６ｂは突極に長さ方向のバイアス磁束φ
ｍを与える。浮揚手段２１７は、スライダ２０をプラテ
ン１０上に浮揚させる。図示していないが、例えば浮揚
手段２１７はスライダ２０の下面に設けた穴から圧縮空
気を噴出することによって、スライダ２０をプラテン１
０上に浮揚させる。このとき、スライダ２０とプラテン
１０の間には圧縮空気の層が形成される。
ａに装着されている。永久磁石２１６ａ，２１６ｂは突
極の長さ方向に着磁されている。これにより、永久磁石
２１６ａ，２１６ｂは突極に長さ方向のバイアス磁束φ
ｍを与える。浮揚手段２１７は、スライダ２０をプラテ
ン１０上に浮揚させる。図示していないが、例えば浮揚
手段２１７はスライダ２０の下面に設けた穴から圧縮空
気を噴出することによって、スライダ２０をプラテン１
０上に浮揚させる。このとき、スライダ２０とプラテン
１０の間には圧縮空気の層が形成される。
【０００６】コア２１１ｂもコア２１１ａと同様な構成
になっている。コア２１１ｂはコア２１１ａに対して、
突極の歯の位相をｐ／２だけずらして配置されている。
コア２１１ｂに巻かれた３相コイルをそれぞれＵ−相コ
イル（Ｕの上にバーが付いた符合をＵ−と表す），Ｖ−
相コイル，Ｗ−相コイルとする。Ｕ相コイルとＵ−相コ
イルには同相の交流信号が与えられる。他の相について
も同様である。Ｕ−相コイル，Ｖ−相コイル，Ｗ−相コ
イルを設けたのは、コイルを励磁したときにスライダが
回転するのを防ぐためである。Ｕ相コイル，Ｖ相コイ
ル，Ｗ相コイルが巻かれた突極をそれぞれＵ相突極，Ｖ
相突極，Ｗ相突極とする。同様に、Ｕ−相コイル，Ｖ−
相コイル，Ｗ−相コイルが巻かれた突極をそれぞれＵ−
相突極，Ｖ−相突極，Ｗ−相突極とする。
になっている。コア２１１ｂはコア２１１ａに対して、
突極の歯の位相をｐ／２だけずらして配置されている。
コア２１１ｂに巻かれた３相コイルをそれぞれＵ−相コ
イル（Ｕの上にバーが付いた符合をＵ−と表す），Ｖ−
相コイル，Ｗ−相コイルとする。Ｕ相コイルとＵ−相コ
イルには同相の交流信号が与えられる。他の相について
も同様である。Ｕ−相コイル，Ｖ−相コイル，Ｗ−相コ
イルを設けたのは、コイルを励磁したときにスライダが
回転するのを防ぐためである。Ｕ相コイル，Ｖ相コイ
ル，Ｗ相コイルが巻かれた突極をそれぞれＵ相突極，Ｖ
相突極，Ｗ相突極とする。同様に、Ｕ−相コイル，Ｖ−
相コイル，Ｗ−相コイルが巻かれた突極をそれぞれＵ−
相突極，Ｖ−相突極，Ｗ−相突極とする。
【０００７】Ｘモータブロック２１ｂもＸモータブロッ
ク２１ａと同様な構成になっている。Ｘモータブロック
２１ｂにあるコア２１９ａ，２１９ｂの突極の歯は、コ
ア２１１ａ，２１１ｂの歯と同位相になっている。永久
磁石２１８ａ，２１８ｂはコア２１２ａに装着されてい
る。永久磁石２１８ａ，２１８ｂの着磁方向は永久磁石
２１６ａ，２１６ｂの着磁方向と同方向である。Ｘモー
タブロック２１ａ，２１ｂはＸ方向に突極の歯が配列さ
れている。突極に巻かれたコイルに発生する磁束と永久
磁石の磁束により、Ｘモータブロック２１ａ，２１ｂは
Ｘ方向の推力を発生する。Ｙモータブロック２２ａ，２
２ｂもＸモータブロック２１ａと同様な構成になってい
る。Ｙモータブロック２２ａ，２２ｂはＸモータブロッ
ク２１ａを９０°回転移動させた向きに配置されてい
る。Ｙモータブロック２２ａ，２２ｂはＹ方向に突極の
歯が配列されている。突極に巻かれたコイルに発生する
磁束と永久磁石の磁束により、Ｙモータブロック２２
ａ，２２ｂはＹ方向の推力を発生する。
ク２１ａと同様な構成になっている。Ｘモータブロック
２１ｂにあるコア２１９ａ，２１９ｂの突極の歯は、コ
ア２１１ａ，２１１ｂの歯と同位相になっている。永久
磁石２１８ａ，２１８ｂはコア２１２ａに装着されてい
る。永久磁石２１８ａ，２１８ｂの着磁方向は永久磁石
２１６ａ，２１６ｂの着磁方向と同方向である。Ｘモー
タブロック２１ａ，２１ｂはＸ方向に突極の歯が配列さ
れている。突極に巻かれたコイルに発生する磁束と永久
磁石の磁束により、Ｘモータブロック２１ａ，２１ｂは
Ｘ方向の推力を発生する。Ｙモータブロック２２ａ，２
２ｂもＸモータブロック２１ａと同様な構成になってい
る。Ｙモータブロック２２ａ，２２ｂはＸモータブロッ
ク２１ａを９０°回転移動させた向きに配置されてい
る。Ｙモータブロック２２ａ，２２ｂはＹ方向に突極の
歯が配列されている。突極に巻かれたコイルに発生する
磁束と永久磁石の磁束により、Ｙモータブロック２２
ａ，２２ｂはＹ方向の推力を発生する。
【０００８】図３及び図４に示すパルスモータの構成で
は、Ｘモータブロック２１ｂはＸモータブロック２１ａ
を平行移動させた構成になっているため、Ｘモータブロ
ック２１ａと２１ｂでは、Ｕ相突極，Ｖ相突極，Ｗ相突
極の位相はそれぞれ同位相になっている。これにより、
Ｘモータブロック２１ａのＵ相突極，Ｖ相突極，Ｗ相突
極で生じる吸引力の大きさ及び方向と、Ｘモータブロッ
ク２１ｂのＵ相突極，Ｖ相突極，Ｗ相突極で生じる吸引
力の大きさと方向は等しくなる。従って、モータの磁気
回路における吸引力のばらつきがＸモータブロック２１
ａと２１ｂのＵ相突極，Ｖ相突極，Ｗ相突極で同じにな
る。
は、Ｘモータブロック２１ｂはＸモータブロック２１ａ
を平行移動させた構成になっているため、Ｘモータブロ
ック２１ａと２１ｂでは、Ｕ相突極，Ｖ相突極，Ｗ相突
極の位相はそれぞれ同位相になっている。これにより、
Ｘモータブロック２１ａのＵ相突極，Ｖ相突極，Ｗ相突
極で生じる吸引力の大きさ及び方向と、Ｘモータブロッ
ク２１ｂのＵ相突極，Ｖ相突極，Ｗ相突極で生じる吸引
力の大きさと方向は等しくなる。従って、モータの磁気
回路における吸引力のばらつきがＸモータブロック２１
ａと２１ｂのＵ相突極，Ｖ相突極，Ｗ相突極で同じにな
る。
【０００９】このような吸引力のばらつきによりスライ
ダ２０が上下方向に揺れる現象（この現象をピッチング
という）がプラテンの１歯ピッチ内で繰り返し現れる。
精密位置決めを行うためには、このピッチングを極力小
さくする必要がある。
ダ２０が上下方向に揺れる現象（この現象をピッチング
という）がプラテンの１歯ピッチ内で繰り返し現れる。
精密位置決めを行うためには、このピッチングを極力小
さくする必要がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した問題
点を解決するためになされたものであり、モータブロッ
クをスライダの中心に対して点対称になるように配置す
るとともに、対になるモータブロックの一方と他方で永
久磁石が与えるバイアス磁束の方向を逆方向にすること
によって、スライダのピッチングを極力低減したパルス
モータを実現することを目的とする。
点を解決するためになされたものであり、モータブロッ
クをスライダの中心に対して点対称になるように配置す
るとともに、対になるモータブロックの一方と他方で永
久磁石が与えるバイアス磁束の方向を逆方向にすること
によって、スライダのピッチングを極力低減したパルス
モータを実現することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は次のとおりの構
成になったパルスモータである。
成になったパルスモータである。
【００１２】（１）突極を有するモータブロックをスラ
イダに塔載し、永久磁石により突極の長さ方向にバイア
ス磁束を与え、前記モータブロックを任意の対数だけ設
け、対になるモータブロックは前記スライダの中心に対
して点対称の位置関係に配置し、対になるモータブロッ
クの一方と他方で前記永久磁石が与えるバイアス磁束の
方向を逆方向にしたことを特徴とするパルスモータ。
イダに塔載し、永久磁石により突極の長さ方向にバイア
ス磁束を与え、前記モータブロックを任意の対数だけ設
け、対になるモータブロックは前記スライダの中心に対
して点対称の位置関係に配置し、対になるモータブロッ
クの一方と他方で前記永久磁石が与えるバイアス磁束の
方向を逆方向にしたことを特徴とするパルスモータ。
【００１３】（２）所定ピッチで歯が形成されたステー
タと、ピッチｐで歯が形成された突極を有し、この突極
は歯の位相をｐ／ｎずつずらしてｎ種類設けられてい
て、各突極の歯は前記ステータの歯と対向配置されてい
るモータブロックと、各突極に対して、突極の長さ方向
にバイアス磁束を与える永久磁石と、各突極にそれぞれ
巻かれたｎ相コイルと、このｎ相コイルを励磁する励磁
手段と、前記モータブロックを塔載するスライダと、を
有し、前記モータブロックは任意の対数だけ設けられて
いて、対になるモータブロックは前記スライダの中心に
対して点対称の位置関係に配置されていて、対になるモ
ータブロックの一方と他方で前記永久磁石が与えるバイ
アス磁束の方向が逆方向になっていることを特徴とする
パルスモータ。
タと、ピッチｐで歯が形成された突極を有し、この突極
は歯の位相をｐ／ｎずつずらしてｎ種類設けられてい
て、各突極の歯は前記ステータの歯と対向配置されてい
るモータブロックと、各突極に対して、突極の長さ方向
にバイアス磁束を与える永久磁石と、各突極にそれぞれ
巻かれたｎ相コイルと、このｎ相コイルを励磁する励磁
手段と、前記モータブロックを塔載するスライダと、を
有し、前記モータブロックは任意の対数だけ設けられて
いて、対になるモータブロックは前記スライダの中心に
対して点対称の位置関係に配置されていて、対になるモ
ータブロックの一方と他方で前記永久磁石が与えるバイ
アス磁束の方向が逆方向になっていることを特徴とする
パルスモータ。
【００１４】（３）前記モータブロックは、ｎ種類の突
極をそれぞれ有する第１のコアと第２のコアを塔載し、
第１のコアと第２のコアは突極の歯の位相をｐ／２だけ
ずらして配置されていることを特徴とする（２）記載の
パルスモータ。
極をそれぞれ有する第１のコアと第２のコアを塔載し、
第１のコアと第２のコアは突極の歯の位相をｐ／２だけ
ずらして配置されていることを特徴とする（２）記載の
パルスモータ。
【００１５】（４）前記モータブロックは、Ｘ方向に突
極の歯が配列されたＸモータブロックとＹ方向に突極の
歯が配列されたＹモータブロックとを有し、前記ステー
タはＸＹ方向へマトリクス状に歯が形成されていて、前
記スライダは２次元方向に移動することを特徴とする
（２）または（３）記載のパルスモータ。
極の歯が配列されたＸモータブロックとＹ方向に突極の
歯が配列されたＹモータブロックとを有し、前記ステー
タはＸＹ方向へマトリクス状に歯が形成されていて、前
記スライダは２次元方向に移動することを特徴とする
（２）または（３）記載のパルスモータ。
【００１６】（５）前記スライダをステータ上に浮揚さ
せる浮揚手段を有することを特徴とする（２）乃至
（４）のいずれかに記載のパルスモータ。
せる浮揚手段を有することを特徴とする（２）乃至
（４）のいずれかに記載のパルスモータ。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図１は上面図、図２は図１のＡ−Ａ部分の断面図で
ある。図１で前出の図面と同一のものは同一符合を付け
る。Ｘモータブロック３１ａと３１ｂはスライダの中心
４０に対して点対称の位置関係に配置されている。Ｙモ
ータブロック３２ａと３２ｂはスライダの中心４０に対
して点対称の位置関係に配置されている。Ｙモータブロ
ック３２ａ，３２ｂはＸモータブロック３１ａ，３１ｂ
の向きを９０°変えて配置されている。このようにモー
タブロックが点対称の位置関係に配置されていることか
ら、Ｘモータブロック３１ａ，３１ｂでは、Ｕ相突極，
Ｖ相突極，Ｗ相突極はＵ−相突極，Ｖ−相突極，Ｗ−相
突極よりもスライダの中心４０に近い位置にある。ま
た、Ｕ相突極，Ｖ相突極，Ｗ相突極の配列はＸモータブ
ロック３１ａと３１ｂで逆になる。Ｙモータブロック３
２ａと３２ｂでも同様である。
説明する。図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図１は上面図、図２は図１のＡ−Ａ部分の断面図で
ある。図１で前出の図面と同一のものは同一符合を付け
る。Ｘモータブロック３１ａと３１ｂはスライダの中心
４０に対して点対称の位置関係に配置されている。Ｙモ
ータブロック３２ａと３２ｂはスライダの中心４０に対
して点対称の位置関係に配置されている。Ｙモータブロ
ック３２ａ，３２ｂはＸモータブロック３１ａ，３１ｂ
の向きを９０°変えて配置されている。このようにモー
タブロックが点対称の位置関係に配置されていることか
ら、Ｘモータブロック３１ａ，３１ｂでは、Ｕ相突極，
Ｖ相突極，Ｗ相突極はＵ−相突極，Ｖ−相突極，Ｗ−相
突極よりもスライダの中心４０に近い位置にある。ま
た、Ｕ相突極，Ｖ相突極，Ｗ相突極の配列はＸモータブ
ロック３１ａと３１ｂで逆になる。Ｙモータブロック３
２ａと３２ｂでも同様である。
【００１８】Ｘモータブロック３１ａの構成を説明す
る。Ｘモータブロック３１ａには、コア３１１ａ，３１
１ｂが設けられている。コア３１１ａは、突極３１２ａ
〜３１２ｆを有する。各突極の先端にはピッチｐで歯３
１３が形成されている。突極３１２ａ，３１２ｂ，３１
２ｃの歯はｐ／３ずつ位相がずれている。突極３１２ａ
の歯と突極３１２ｄの歯は同位相である。突極３１２
ｄ，３１２ｅ，３１２ｆの歯はｐ／３ずつ位相がずれて
いる。
る。Ｘモータブロック３１ａには、コア３１１ａ，３１
１ｂが設けられている。コア３１１ａは、突極３１２ａ
〜３１２ｆを有する。各突極の先端にはピッチｐで歯３
１３が形成されている。突極３１２ａ，３１２ｂ，３１
２ｃの歯はｐ／３ずつ位相がずれている。突極３１２ａ
の歯と突極３１２ｄの歯は同位相である。突極３１２
ｄ，３１２ｅ，３１２ｆの歯はｐ／３ずつ位相がずれて
いる。
【００１９】コイル３１４ａ〜３１４ｆは、突極３１２
ａ〜３１２ｆにそれぞれ巻かれている。コイル３１４ａ
〜３１４ｆの巻かれた突極の歯の位相はｐ／３ずつずれ
ている。従来例と同様にコイル３１４ａ，３１４ｂ，３
１４ｃ，３１４ｄ，３１４ｅ，３１４ｆをそれぞれＵ相
コイル，Ｖ相コイル，Ｗ相コイル，Ｕ相コイル，Ｖ相コ
イル，Ｗ相コイルとする。励磁手段２１５は、コイル３
１４ａ〜３１４ｆに３相の正弦波交流信号を流すことに
よって励磁する。
ａ〜３１２ｆにそれぞれ巻かれている。コイル３１４ａ
〜３１４ｆの巻かれた突極の歯の位相はｐ／３ずつずれ
ている。従来例と同様にコイル３１４ａ，３１４ｂ，３
１４ｃ，３１４ｄ，３１４ｅ，３１４ｆをそれぞれＵ相
コイル，Ｖ相コイル，Ｗ相コイル，Ｕ相コイル，Ｖ相コ
イル，Ｗ相コイルとする。励磁手段２１５は、コイル３
１４ａ〜３１４ｆに３相の正弦波交流信号を流すことに
よって励磁する。
【００２０】永久磁石３１６ａ，３１６ｂはコア３１１
ａに装着されている。永久磁石３１６ａ，３１６ｂは突
極の長さ方向に着磁されている。これにより、永久磁石
３１６ａ，３１６ｂは突極に長さ方向のバイアス磁束φ
ｍを与える。コア３１１ｂもコア３１１ａと同様な構成
になっている。コア３１１ｂはコア３１１ａに対して、
突極の歯の位相をｐ／２だけずらして配置されている。
コア３１１ｂに巻かれた３相コイルをそれぞれＵ−相コ
イル，Ｖ−相コイル，Ｗ−相コイルとする。Ｕ相コイル
とＵ−相コイルには同相の交流信号が与えられる。他の
相についても同様である。Ｕ相コイル，Ｖ相コイル，Ｗ
相コイルが巻かれた突極をそれぞれＵ相突極，Ｖ相突
極，Ｗ相突極とする。同様に、Ｕ−相コイル，Ｖ−相コ
イル，Ｗ−相コイルが巻かれた突極をそれぞれＵ−相突
極，Ｖ−相突極，Ｗ−相突極とする。
ａに装着されている。永久磁石３１６ａ，３１６ｂは突
極の長さ方向に着磁されている。これにより、永久磁石
３１６ａ，３１６ｂは突極に長さ方向のバイアス磁束φ
ｍを与える。コア３１１ｂもコア３１１ａと同様な構成
になっている。コア３１１ｂはコア３１１ａに対して、
突極の歯の位相をｐ／２だけずらして配置されている。
コア３１１ｂに巻かれた３相コイルをそれぞれＵ−相コ
イル，Ｖ−相コイル，Ｗ−相コイルとする。Ｕ相コイル
とＵ−相コイルには同相の交流信号が与えられる。他の
相についても同様である。Ｕ相コイル，Ｖ相コイル，Ｗ
相コイルが巻かれた突極をそれぞれＵ相突極，Ｖ相突
極，Ｗ相突極とする。同様に、Ｕ−相コイル，Ｖ−相コ
イル，Ｗ−相コイルが巻かれた突極をそれぞれＵ−相突
極，Ｖ−相突極，Ｗ−相突極とする。
【００２１】Ｘモータブロック３１ｂもＸモータブロッ
ク３１ａと同様な構成になっている。永久磁石３１８
ａ，３１８ｂはコア３１２ａに装着されている。永久磁
石３１８ａ，３１８ｂの着磁方向は永久磁石３１６ａ，
３１６ｂの着磁方向と逆方向である。図示しないが、コ
ア３１１ｂにも永久磁石が装着されていて、この永久磁
石の着磁方向は永久磁石３１６ａ，３１６ｂの着磁方向
と同方向である。また、コア３１２ｂにも永久磁石が装
着されていて、この永久磁石の着磁方向は永久磁石３１
８ａ，３１８ｂの着磁方向と同方向である。Ｘモータブ
ロック３１ａ，３１ｂはＸ方向に突極の歯が配列されて
いる。突極に巻かれたコイルに発生する磁束と永久磁石
の磁束により、Ｘモータブロック３１ａ，３１ｂはＸ方
向の推力を発生する。Ｙモータブロック３２ａ，３２ｂ
もＸモータブロック２１ａと同様な構成になっている。
Ｙモータブロック３２ａ，３２ｂはＹ方向に突極の歯が
配列されている。突極に巻かれたコイルに発生する磁束
と永久磁石の磁束により、Ｙモータブロック３２ａ，３
２ｂはＹ方向の推力を発生する。
ク３１ａと同様な構成になっている。永久磁石３１８
ａ，３１８ｂはコア３１２ａに装着されている。永久磁
石３１８ａ，３１８ｂの着磁方向は永久磁石３１６ａ，
３１６ｂの着磁方向と逆方向である。図示しないが、コ
ア３１１ｂにも永久磁石が装着されていて、この永久磁
石の着磁方向は永久磁石３１６ａ，３１６ｂの着磁方向
と同方向である。また、コア３１２ｂにも永久磁石が装
着されていて、この永久磁石の着磁方向は永久磁石３１
８ａ，３１８ｂの着磁方向と同方向である。Ｘモータブ
ロック３１ａ，３１ｂはＸ方向に突極の歯が配列されて
いる。突極に巻かれたコイルに発生する磁束と永久磁石
の磁束により、Ｘモータブロック３１ａ，３１ｂはＸ方
向の推力を発生する。Ｙモータブロック３２ａ，３２ｂ
もＸモータブロック２１ａと同様な構成になっている。
Ｙモータブロック３２ａ，３２ｂはＹ方向に突極の歯が
配列されている。突極に巻かれたコイルに発生する磁束
と永久磁石の磁束により、Ｙモータブロック３２ａ，３
２ｂはＹ方向の推力を発生する。
【００２２】図１及び図２に示すパルスモータでは、Ｘ
モータブロック３１ａと３１ｂ、及びＹモータブロック
３２ａと３２ｂは、それぞれスライダの中心４０に対し
て点対称の位置関係に配置されている。また、点対称の
位置関係にあるモータブロックの永久磁石は着磁方向が
逆方向になっている。このような構成になっているた
め、これにより、Ｘモータブロック３１ａのＵ相突極，
Ｖ相突極，Ｗ相突極で生じる吸引力の大きさ及び方向
と、Ｘモータブロック３１ｂのＵ相突極，Ｖ相突極，Ｗ
相突極で生じる吸引力の大きさと方向は、スライダの中
心４０に対して点対称の関係になる。従って、モータの
磁気回路における吸引力のばらつきは、中心４０に対し
て点対称の位置関係で発生するためキャンセルされる。
これによって、スライダのピッチングを低減できる。
モータブロック３１ａと３１ｂ、及びＹモータブロック
３２ａと３２ｂは、それぞれスライダの中心４０に対し
て点対称の位置関係に配置されている。また、点対称の
位置関係にあるモータブロックの永久磁石は着磁方向が
逆方向になっている。このような構成になっているた
め、これにより、Ｘモータブロック３１ａのＵ相突極，
Ｖ相突極，Ｗ相突極で生じる吸引力の大きさ及び方向
と、Ｘモータブロック３１ｂのＵ相突極，Ｖ相突極，Ｗ
相突極で生じる吸引力の大きさと方向は、スライダの中
心４０に対して点対称の関係になる。従って、モータの
磁気回路における吸引力のばらつきは、中心４０に対し
て点対称の位置関係で発生するためキャンセルされる。
これによって、スライダのピッチングを低減できる。
【００２３】なお、実施例では３相コイルの場合につい
て説明したが、コイルの相数は３相以外でもよい。ま
た、実施例ではスライダが２次元方向に移動するパルス
モータの場合について説明したが、スライダが１次元方
向に移動するリニアパルスモータであってもよい。ま
た、実施例ではＸモータブロックとＹモータブロックが
それぞれ一対ずつ設けられた場合について説明したが、
これ以外の対数だけ設けてもよい。
て説明したが、コイルの相数は３相以外でもよい。ま
た、実施例ではスライダが２次元方向に移動するパルス
モータの場合について説明したが、スライダが１次元方
向に移動するリニアパルスモータであってもよい。ま
た、実施例ではＸモータブロックとＹモータブロックが
それぞれ一対ずつ設けられた場合について説明したが、
これ以外の対数だけ設けてもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば次の効果が得られる。
【００２５】請求項１及び請求項２記載の発明では、モ
ータブロックをスライダの中心に対して点対称の位置関
係に配置し、これらのモータブロックの永久磁石は着磁
方向を逆方向にした。点対称の位置関係にあるモータブ
ロックの各突極で生じる吸引力の大きさと方向は、スラ
イダの中心に対して点対称の関係になる。このため、モ
ータの磁気回路における吸引力のばらつきは、点対称の
位置関係で発生することによりキャンセルできる。これ
によって、スライダのピッチングを低減できる。
ータブロックをスライダの中心に対して点対称の位置関
係に配置し、これらのモータブロックの永久磁石は着磁
方向を逆方向にした。点対称の位置関係にあるモータブ
ロックの各突極で生じる吸引力の大きさと方向は、スラ
イダの中心に対して点対称の関係になる。このため、モ
ータの磁気回路における吸引力のばらつきは、点対称の
位置関係で発生することによりキャンセルできる。これ
によって、スライダのピッチングを低減できる。
【００２６】請求項３記載の発明では、歯の位相をｐ／
２だけずらして配置した第１のコアと第２のコアを設け
たため、コイルを励磁したときにスライダが回転するの
を防止できる。
２だけずらして配置した第１のコアと第２のコアを設け
たため、コイルを励磁したときにスライダが回転するの
を防止できる。
【００２７】請求項４記載の発明では、スライダのピッ
チングを低減し、高精度で２次元位置決めができるパル
スモータを実現した。
チングを低減し、高精度で２次元位置決めができるパル
スモータを実現した。
【００２８】請求項５記載の発明では、スライダをステ
ータ上に浮揚させているため、スライダの移動方向をガ
イドするガイドバーが不要になる。これによって、機構
を簡略化できる。
ータ上に浮揚させているため、スライダの移動方向をガ
イドするガイドバーが不要になる。これによって、機構
を簡略化できる。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図３】従来におけるパルスモータの構成例を示した図
である。
である。
【図４】従来におけるパルスモータの構成例を示した図
である。
である。
【図５】従来におけるパルスモータの構成例を示した図
である。
である。
【符号の説明】
１０ プラテン
１１，３１３ 歯
３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ モータブロック
２１５ 励磁手段
２１７ 浮揚手段
３１２ａ〜３１２ｆ 突極
３１４ａ〜３１４ｆ コイル
３１６ａ，３１６ｂ，３１８ａ，３１８ｂ 永久磁石
Claims (5)
- 【請求項１】 突極を有するモータブロックをスライダ
に塔載し、永久磁石により突極の長さ方向にバイアス磁
束を与え、前記モータブロックを任意の対数だけ設け、
対になるモータブロックは前記スライダの中心に対して
点対称の位置関係に配置し、対になるモータブロックの
一方と他方で前記永久磁石が与えるバイアス磁束の方向
を逆方向にしたことを特徴とするパルスモータ。 - 【請求項２】 所定ピッチで歯が形成されたステータ
と、 ピッチｐで歯が形成された突極を有し、この突極は歯の
位相をｐ／ｎずつずらしてｎ種類設けられていて、各突
極の歯は前記ステータの歯と対向配置されているモータ
ブロックと、 各突極に対して、突極の長さ方向にバイアス磁束を与え
る永久磁石と、 各突極にそれぞれ巻かれたｎ相コイルと、 このｎ相コイルを励磁する励磁手段と、 前記モータブロックを塔載するスライダと、を有し、前
記モータブロックは任意の対数だけ設けられていて、対
になるモータブロックは前記スライダの中心に対して点
対称の位置関係に配置されていて、対になるモータブロ
ックの一方と他方で前記永久磁石が与えるバイアス磁束
の方向が逆方向になっていることを特徴とするパルスモ
ータ。 - 【請求項３】 前記モータブロックは、ｎ種類の突極を
それぞれ有する第１のコアと第２のコアを塔載し、第１
のコアと第２のコアは突極の歯の位相をｐ／２だけずら
して配置されていることを特徴とする請求項２記載のパ
ルスモータ。 - 【請求項４】 前記モータブロックは、Ｘ方向に突極の
歯が配列されたＸモータブロックとＹ方向に突極の歯が
配列されたＹモータブロックとを有し、 前記ステータはＸＹ方向へマトリクス状に歯が形成され
ていて、 前記スライダは２次元方向に移動することを特徴とする
請求項２または請求項３記載のパルスモータ。 - 【請求項５】 前記スライダをステータ上に浮揚させる
浮揚手段を有することを特徴とする請求項２乃至請求項
４のいずれかに記載のパルスモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001332519A JP3941460B2 (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | パルスモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001332519A JP3941460B2 (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | パルスモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003143830A true JP2003143830A (ja) | 2003-05-16 |
| JP3941460B2 JP3941460B2 (ja) | 2007-07-04 |
Family
ID=19147925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001332519A Expired - Fee Related JP3941460B2 (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | パルスモータ |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3941460B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005261026A (ja) * | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Yokogawa Electric Corp | 平面モータ |
| JP2007074877A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | Yaskawa Electric Corp | Ｘｙ位置決め装置 |
-
2001
- 2001-10-30 JP JP2001332519A patent/JP3941460B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005261026A (ja) * | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Yokogawa Electric Corp | 平面モータ |
| JP4604517B2 (ja) * | 2004-03-10 | 2011-01-05 | 横河電機株式会社 | 平面モータ |
| JP2007074877A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | Yaskawa Electric Corp | Ｘｙ位置決め装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3941460B2 (ja) | 2007-07-04 |
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