JPWO2019186753A1

JPWO2019186753A1 - 作業機

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Publication number: JPWO2019186753A1
Application number: JP2020510286A
Authority: JP
Inventors: 山田　修平; 修平山田
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Priority date: 2018-03-28
Filing date: 2018-03-28
Publication date: 2021-02-12
Anticipated expiration: 2038-03-28
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Abstract

作業機は、箱形フレームと、箱形フレームのＸ方向における中央部においてＹ方向に架け渡された中央フレームと、を備える。第１ＸＹロボットは、一方のレールが箱形フレームのＸ方向における一端部に固定されると共に他方のレールが中央フレームに固定された一対の第１ガイドレールと、第１ガイドレールに吊り下げられた第１スライダと、を有する。第２ＸＹロボットは、一方のレールが箱形フレームのＸ方向における他端部に固定されると共に他方のレールが中央フレームに第１ガイドレールの他方のレールとＸ方向に平行に並ぶように固定された一対の第２ガイドレールと、第２ガイドレールに吊り下げられた第２スライダと、を有する。中央フレームは、それに固定された２つの他方のレールの間において、Ｙ方向におけるフレーム長の中央部を含む１／２以上の長さに亘ってＹ方向に沿って分断されている。

Description

本明細書は、作業機について開示する。

従来より、架台に２台のＹ軸ロボットを架設し、これらのＹ軸ロボットにＸ軸ロボットおよび実装ヘッドが取り付けられた部品実装機が提案されている（例えば、特許文献１参照）。架台は、基台に対して操作側（前端）に設置される第１フレーム部材，操作側に対向する反操作側（後端）に設置される第２フレーム部材，基台の基板搬送方向（Ｘ方向）における両側に設置される第３フレーム部材を備える。また、架台は、基板搬送方向に直交する直交方向（Ｙ方向）に延在して第１フレーム部材と第２フレーム部材とを連結する第６連結部材を備える。第１フレーム部材，第２フレーム部材，第３フレーム部材および第６連結部材は、一体的に構成され、基台に固定されて部品実装機の筐体を構成する。第１フレーム部材は、基台に立設される門型のフレーム部材として構成され、基台の操作側両端部にそれぞれ立設された第１支柱部材と、各第１支持部材の上端部を連結する第１連結部材と、基台に立設され第１連結部材の中央部に接続される分離部材と、を有する。第２フレーム部材は、基台に立設される四角型のフレーム部材として構成され、基台の反操作側両端部にそれぞれ立設された第２支柱部材と、各第２支柱部材の上端部を連結する第２連結部材とを有する。第６連結部材は、上記直交方向に延在して第１フレーム部材の分離部材と第２フレーム部材の第２連結部材とを連結する。第１フレーム部材の第１連結部材と第２フレーム部材の第２連結部材との間には、基板搬送方向において第６連結部材を中心に所定の間隔を空けて基板搬送方向に直交する直交方向に沿って互いに平行に並ぶ２台のＹ軸ロボットが設置される。２台のＹ軸ロボットは、それぞれ、略門型の断面形状を有する梁状本体と、梁状本体の下端の両側部に配設されたガイドレールと、ガイドレールにリニアガイド部材を介して移動自在に支持された可動部（スライダ）と、を備える。

特開２００５−６４２２２号公報

上述した作業機では、２台の梁状のＹ軸ロボットは、それぞれＸ方向に離間して平行に配置されるため、一方のＹ軸ロボットの移動による振動が他方のＹ軸ロボットへ伝達されるのを抑制することはできる。しかしながら、２台のＹ軸ロボットは、それぞれの一対のガイドレールが幅の狭い梁状本体の下端の両側に配設されるため、可動部（スライダ）をＸ方向に安定的に支持することが困難で、自身の移動による振動を招きやすい。

本開示は、第１および第２ＸＹロボットのそれぞれの自身の移動による振動を抑制すると共に、第１および第２ＸＹロボットのうち一方のＸＹロボットのＹ方向への移動による振動が他方のＸＹロボットに伝達されるのを良好に抑制することを主目的とする。

本開示は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

本開示の作業機は、第１ヘッドをＸＹ方向に移動させる第１ＸＹロボットと第２ヘッドをＸＹ方向に移動させる第２ＸＹロボットとが同一の架台にＸ方向に並んで設けられた作業機であって、前記架台の一部をなす箱形フレームと、前記箱形フレームのＸ方向における中央部においてＹ方向に架け渡されるように固定された中央フレームと、を備え、前記第１ＸＹロボットは、一方のレールが前記箱形フレームのＸ方向における一端部にＹ方向に延在するように固定されると共に他方のレールが前記中央フレームにＹ方向に延在するように固定された一対の第１ガイドレールと、前記一対の第１ガイドレールに吊り下げられてＹ方向に移動可能な第１スライダと、を有し、前記第２ＸＹロボットは、一方のレールが前記箱形フレームのＸ方向における他端部にＹ方向に延在するように固定されると共に他方のレールが前記中央フレームに前記一対の第１ガイドレールの他方のレールとＸ方向に平行に並ぶように固定された一対の第２ガイドレールと、前記一対の第２ガイドレールに吊り下げられてＹ方向に移動可能な第２スライダと、を有し、前記中央フレームは、該中央フレームに固定された２つの前記他方のレールの間において、Ｙ方向におけるフレーム長の中央部を含む１／２以上の長さに亘ってＹ方向に沿って分断されていることを要旨とする。

この本開示の作業機は、第１ヘッドをＸＹ方向に移動させる第１ＸＹロボットと第２ヘッドをＸＹ方向に移動させる第２ＸＹロボットとが同一の架台にＸ方向に並んで設けられる。また、作業機は、架台の一部をなす箱形フレームと、箱形フレームのＸ方向における中央部においてＹ方向に架け渡されるように固定された中央フレームとを備える。第１ＸＹロボットの一対の第１ガイドレールのうちの一方のレールと、第２ＸＹロボットの一対の第２ガイドレールのうちの一方のレールは、それぞれ箱形フレームのＸ方向における端部に固定される。また、第１ＸＹロボットの一対の第１ガイドレールのうちの他方のレールと、第２ＸＹロボットの一対の第２ガイドレールのうちの他方のレールは、中央フレームに固定される。このため、一対の第１ガイドレールの各レールは、互いにＸ方向に十分に離間して配置され、一対の第２ガイドレールの各レールは、互いにＸ方向に十分に離間して配置される。したがって、一対の第１ガイドレールに吊り下げられる第１スライダを含む第１ＸＹロボットの自身の移動による振動を抑制すると共に、一対の第２ガイドレールに吊り下げられる第２スライダを含む第２ＸＹロボットの自身の移動による振動を抑制することができる。また、中央フレームは、それに固定された２つの他方のレールの間において、Ｙ方向におけるフレーム長の中央部を含む１／２以上の長さに亘ってＹ方向に沿って分断される。このため、第１および第２ＸＹロボットのうち一方のＸＹロボットのＹ方向に移動によって生じる振動が他方のＸＹロボットに伝達されるのを良好に抑制することができる。

本実施形態の作業機１０の外観斜視図である。作業機１０の上面図である。作業機１０の側面図である。図３の作業機１０のＡ−Ａ断面を示す断面図である。中央梁１６の外観図である。変形例の中央梁１６０の外観図である。

次に、本開示を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。

図１は、本実施形態の作業機１０の外観斜視図である。図２は、作業機１０の上面図である。図３は、作業機１０の側面図である。図４は、図３の作業機１０のＡ−Ａ断面を示す断面図である。図５は、中央梁１６の外観図である。なお、図１〜図５において、Ｘ方向は、作業対象としての基板Ｓの搬送方向であり、Ｚ方向は、鉛直方向であり、Ｙ方向は、Ｘ方向およびＺ方向に直交する方向である。

作業機１０は、本実施形態では、前方に図示しない部品供給装置が装着され、部品供給装置から供給される電子部品をピックアップして基板Ｓに実装する部品実装機である。この作業機１０は、Ｘ方向に並ぶ第１および第２ＸＹロボット２１，２２（図１，図２および図４参照）と、対応するＸＹロボットに移動させられる第１および第２ヘッド２３，２４（図４参照）と、を備える。

また、作業機１０は、図１に示すように、基台１１と、本体フレーム１２と、上段フレーム１５とを備える。本体フレーム１２および上段フレーム１５は、いずれも上方および下方が開口すると共に基台１１とＸＹ方向のサイズが略同じ箱形の外形を有している。本体フレーム１２および上段フレーム１５は、図１および図２に示すように、壁面が連なるように基台１１上に本体フレーム１２，上段フレーム１５の順に下から積み上げられて架台を構成する。

本体フレーム１２は、図１に示すように、基台１１に立設された下段フレーム１３と、下段フレーム１３の上に積み上げられた中段フレーム１４と、から構成される。下段フレーム１３は、基台１１の後端部に立設された後壁部（図示せず）と、基台１１の右側端部，左側壁部に立設されると共に互いにＹ方向に平行に延在して後壁部のＸ方向における両端辺に連結された右側壁部１３３および左側壁部１３４と、を有する。また、中段フレーム１４は、門型の前壁部１４１と、下段フレーム１３の後壁部と連なる後壁部１４２と、下段フレーム１３の右側壁部１３３および左側壁部１３４と連なるように互いにＹ方向に延在して前壁部１４１のＸ方向における両端辺と後壁部１３３のＸ方向における両端辺とを連結する右側壁部１４３および左側壁部１４４と、を有する。なお、本実施形態では、本体フレーム１２は、下段フレーム１３と中段フレーム１４とに分割されているが、一体のフレームとして構成されてもよい。

上段フレーム１５は、第１ＸＹロボット２１および第２ＸＹロボット２２を支持するものであり、本体フレーム１２の上に積み上げられるように設置されている。上段フレーム１５は、中段フレーム１４の前壁部１４１，後壁部１４２，右側壁部１４３および左側壁部１４４に連なる前壁部１５１，後壁部１５２，右側壁部１５３および左側壁部１５４を有する。上段フレーム１５の前壁部１５１と後壁部１５２とには、図２に示すように、Ｙ方向に延在する中央梁１６が架け渡されている。中央梁１６は、本実施形態では、長尺かつ板状の部材であり、板面がＺ方向に垂直な姿勢で前壁部１５１のＸ方向における中央部と後壁部１５２のＸ方向における中央部とに架け渡されている。また、中央梁１６は、図５に示すように、Ｘ方向における中央部にＹ方向における両端部を残してＹ方向に延在するようにスリット１６ｓが形成されている。更に、上段フレーム１５の前壁部１５１と後壁部１５２とには、図２および図４に示すように中央梁１６を支持するようにＹ方向に延在する一対の支持部材１７が架け渡されている。一対の支持部材１７は、長尺かつ板状の部材であり、中央梁１６のスリット１６ｓを挟んで左右両側に設けられている。そして、一対の支持部材１７は、中央梁１６の上面に垂直に固定されると共にＹ方向における端部が上段フレーム１５の前壁部１５１の内面と後壁部１５２の内面とに固定されている。

第１ＸＹロボット２１は、第１Ｘ軸ロボット２１Ｘと、第１Ｙ軸ロボット２１Ｙとを備える。

第１Ｙ軸ロボット２１Ｙは、図４に示すように、Ｘ方向に所定の間隔を開けてＹ方向に平行に延在する一対の第１Ｙ軸ガイドレール（第１左レール２１１，第１右レール２１２）と、一対の第１Ｙ軸ガイドレールにＹ方向に移動自在に吊り下げられた懸架式の第１Ｙ軸スライダ２１３と、第１Ｙ軸スライダ２１３を駆動する第１Ｙ軸アクチュエータ２１４と、を有する。第１左レール２１１は、上段フレーム１５の左側壁部１５４の下部にねじ等の締結部材により固定されている。第１右レール２１２は、中央梁１６の下部であってスリット１６ｓよりも左側にねじ等の締結部材により固定されている。第１右レール２１２は、中央梁１６の左側の支持部材１７が固定された部分の裏側の面に位置するように固定されている。第１Ｙ軸アクチュエータ２１４は、本実施形態では、リニアモータであり、複数の永久磁石が軸方向に配置されたシャフト２１４ａと、シャフト２１４ａを周回するように配置されたコイルを含む可動子２１４ｂと、を有する。複数の永久磁石は、隣り合う２つの永久磁石の磁極の向きが逆向きとなるように配置されている。リニアモータは、永久磁石から発生する磁力とコイルに流れる電流との作用により可動子２１４ｂに推力を発生させる。第１Ｙ軸スライダ２１３は、可動子２１４ｂに固定されている。これにより、第１Ｙ軸アクチュエータ２１４（リニアモータ）は、コイルに流れる電流を制御することにより、第１Ｙ軸スライダ２１３をＹ方向の所望の位置に移動させることができる。なお、第１Ｙ軸アクチュエータ２１４は、ボールねじ機構により構成されてもよい。

第１Ｘ軸ロボット２１Ｘは、第１Ｙ軸スライダ２１３にＸ方向に延在するように固定された第１Ｘ軸ガイドレール２１５と、第１Ｘ軸ガイドレール２１５にＸ方向に移動自在に支持された第１Ｘ軸スライダ２１６と、第１Ｘ軸スライダ２１６を駆動する第１Ｘ軸アクチュエータ２１７と、を有する。なお、第１Ｘ軸アクチュエータ２１７は、第１Ｙ軸アクチュエータ２１４と同様のリニアモータで構成されてもよいし、ボールねじ機構により構成されてもよい。第１Ｘ軸スライダ２１６には、第１ヘッド２３が固定されている。これにより、第１ヘッド２３は、第１ＸＹロボット２１によりＸＹ方向に移動可能となっている。

第２ＸＹロボット２２は、第２Ｘ軸ロボット２２Ｘと、第２Ｙ軸ロボット２２Ｙとを備える。

第２Ｙ軸ロボット２２Ｙは、図４に示すように、Ｘ方向に所定の間隔を開けてＹ方向に平行に延在する一対の第２Ｙ軸ガイドレール（第２左レール２２１，第２右レール２２２）と、一対の第２Ｙ軸ガイドレールにＹ方向に移動自在に吊り下げられた懸架式の第２Ｙ軸スライダ２２３と、第２Ｙ軸スライダ２２３を駆動する第２Ｙ軸アクチュエータ２２４と、を有する。第２左レール２２１は、中央梁１６の下部であってスリット１６ｓよりも右側にねじ等の締結部材により固定されている。第２左レール２２１は、中央梁１６の右側の支持部材１７が固定された部分の裏側の面に位置するように固定されている。第２右レール２２２は、上段フレーム１５の右側壁部１５３の下部にねじ等の締結部材により固定されている。第２Ｙ軸アクチュエータ２２４は、本実施形態では、第１Ｙ軸アクチュエータ２１４と同様のシャフト２２４ａと可動子２２４ｂとを有するリニアモータである。第２Ｙ軸スライダ２２３は、可動子２２４ｂに固定されている。これにより、第２Ｙ軸アクチュエータ２２４（リニアモータ）は、コイルに流れる電流を制御することにより、第２Ｙ軸スライダ２２３を第１Ｙ軸スライダ２１３とは独立してＹ方向の所望の位置に移動させることができる。なお、第２Ｙ軸アクチュエータ２２４は、ボールねじ機構により構成されてもよい。

第２Ｘ軸ロボット２２Ｘは、第２Ｙ軸スライダ２２３にＸ方向に延在するように固定された第２Ｘ軸ガイドレール２２５と、第２Ｘ軸ガイドレール２２５にＸ方向に移動自在に支持された第２Ｘ軸スライダ２２６と、第２Ｘ軸スライダ２２６を駆動する第２Ｘ軸アクチュエータ２２７と、を有する。なお、第２Ｘ軸アクチュエータ２２７は、第２Ｙ軸アクチュエータ２２４と同様のリニアモータで構成されてもよいし、ボールねじ機構により構成されてもよい。第２Ｘ軸スライダ２２６には、第２ヘッド２４が固定されている。これにより、第２ヘッド２４は、第２ＸＹロボット２２によりＸＹ方向に移動可能となっている。

第１Ｙ軸ロボット２１Ｙの左レール２１１は、上段フレーム１５の左側壁部１５４に固定されている。また、第１Ｙ軸ロボット２１Ｙの右レール２１２は、上段フレーム１５のＸ方向における中央部にＹ方向に架け渡された中央梁１６に固定されている。これにより、第１左レール２１１および第１右レール２１２（第１Ｙ軸ガイドレール）は、上段フレーム１５のＸ方向における幅の約１／２の間隔を隔てて配置される。上段フレーム１５は、箱形に形成されると共に前壁部１５１のＸ方向における中央部と後壁部１５２のＸ方向における中央部とに中央梁１６が架け渡されており、高い剛性を有している。したがって、第１左レール２１１および第１右レール２１２（第１Ｙ軸ガイドレール）は、Ｙ軸スライダ２１３を安定的に支持し、第１Ｘ軸ロボット２１Ｘや第１Ｙ軸ロボット２１Ｙの移動に伴う振動を良好に抑制することができる。

第２Ｙ軸ロボット２２Ｙの左レール２２１は、上段フレーム１５のＸ方向における中央部にＹ方向に架け渡された中央梁１６に固定されている。また、第２Ｙ軸ロボット２２Ｙの右レール２２２は、上段フレーム１５の右側壁部１５３に固定されている。これにより、第２左レール２２１および第２右レール２２２（第２Ｙ軸ガイドレール）は、上段フレーム１５のＸ方向における幅の約１／２の間隔を隔てて配置される。したがって、第２左レール２２１および第２右レール２２２（第２Ｙ軸ガイドレール）は、Ｙ軸スライダ２２３を安定的に支持し、第２Ｘ軸ロボット２２Ｘや第２Ｙ軸ロボット２２Ｙの移動に伴う振動を良好に抑制することができる。

更に、中央梁１６に固定される第１Ｙ軸ロボット２１Ｙの右レール２１２と第２Ｙ軸ロボット２２Ｙの左レール２２１は、スリット１６ｓを挟んで左側と右側とに配置されている。このため、第１Ｙ軸ロボット２１Ｙの移動により中央梁１６の左側に振動が生じても、その振動は、殆どがスリット１６ｓで吸収され、中央梁１６の右側、すなわち第２Ｙ軸ロボット２２Ｙ側に伝達されないようになっている。また、第２Ｙ軸ロボット２２Ｙの移動により中央梁１６の右側に振動が生じても、その振動は、殆どがスリット１６ｓで吸収され、中央梁１６の左側、すなわち第１Ｙ軸ロボット２１Ｙ側に伝達されないようになっている。

以上説明した本実施形態の作業機１０は、第１ヘッド２３をＸＹ方向に移動させる第１ＸＹロボット２１と第２ヘッド２４をＸＹ方向に移動させる第２ＸＹロボット２２とが同一の架台にＸ方向に並んで設けられる。また、作業機１０は、架台の一部をなす上段フレーム１５と、上段フレーム１５のＸ方向における中央部においてＹ方向に架け渡されるよに固定された中央梁１６とを備える。第１ＸＹロボット２１の一対の第１Ｙ軸ガイドレールのうち左レール２１１と第２ＸＹロボット２２の一対の第２Ｙ軸ガイドレールのうちの右レール２２２は、上段フレーム１５の左側壁部１５４と右側壁部１５３とに固定される。また、第１ＸＹロボット２１の一対の第１Ｙ軸ガイドレールのうちの右レール２１２と第２ＸＹロボット２２の一対の第２Ｙ軸ガイドレールのうちの左レール２２１は、中央梁１６に固定される。このため、一対の第１Ｙ軸ガイドレールの各レール２１１，２１２は、互いにＸ方向に十分に離間して配置され、一対の第１Ｙ軸ガイドレールに吊り下げられる第１Ｙ軸スライダ２１３を含む第１ＸＹロボット２１の自身の移動による振動を抑制することができる。また、一対の第２Ｙ軸ガイドレールの各レール２２１，２２２は、互いにＸ方向に十分に離間して配置され、一対の第２Ｙ軸ガイドレールに吊り下げられる第２Ｙ軸スライダ２２３を含む第２ＸＹロボット２２の自身の移動による振動を抑制することができる。また、中央梁１６は、それに固定された第１Ｙ軸ガイドレールの右レール２１２と第２Ｙ軸ガイドレールの左レール２２１との間において、スリット１６ｓによりＹ方向に沿って分断されている。このため、第１および第２ＸＹロボット２１，２２のうち一方のＸＹロボットのＹ方向に移動によって生じる振動が他方のＸＹロボットに伝達されるのを抑制することができる。

また、中央梁１６のスリット１６ｓは、Ｙ方向における両端部を残してＹ方向に延在するように形成されている。これにより、第１および第２ＸＹロボット２１，２２のうち一方のＸＹロボットのＹ方向の移動による振動が他方のロボットに伝達されるのを良好に抑制することができると共に、中央梁１６を単一の部材に構成することができ、部品点数を削減することができる。

なお、本開示は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本開示の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、中央梁１６のスリット１６ｓは、Ｙ方向における両端部を残してＹ方向に延在するように形成されている。しかし、中央梁１６のスリットは、中央梁１６のＹ方向における長さの中央部を含む１／２以上に亘って分断されていればよい。この場合でも、中央梁１６のスリットは、若干効果は落ちるものの、第１および第２ＸＹロボット２１，２２の一方のＸＹロボットの動作に伴って生じる振動が左レール２２１および右レール２１２を介して他方のＸＹロボットへ伝達されないよう吸収することができる。

上述した実施形態では、中央梁１６は、単一の部材で構成されたが、２つの部材で構成されてもよい。図６は、変形例の中央梁１６０の外観図である。変形例の中央梁１６０は、図示するように、第１フレーム部材１６１と、第２フレーム部材１６２と、連結部材１６３と、を備える。第１フレーム部材１６１は、中央梁６０の左半分と略同じ形状に形成されている。第２フレーム部材１６２は、中央梁６０の右半分と略同じ形状に形成されている。連結部材１６３は、第１および第２フレーム部材１６１，１６２のＹ方向における両端部に取り付けられ、第１および第２フレーム部材１６１，１６２をＸ方向にスリット１６ｓと同等の隙間を空けた状態で連結するものである。この変形例の中央梁１６０は、実施形態の中央梁１６と同様に、第１および第２ＸＹロボット２１，２２の一方のＸＹロボットの動作に伴って生じる振動が左レール２２１および右レール２１２を介して他方のＸＹロボットへ伝達されないよう吸収することができる。

上述した実施形態では、上段フレーム１５は、上方が開口した箱形に形成されるものとしたが、上方がプレートやカバーなどで覆われていてもよい。

上述した実施形態では、作業機１０は、部品実装機として構成されるものとした。しかし、作業機は、Ｘ方向に並び、それぞれ独立してＸＹ方向に移動可能な２台のヘッドを有するものであれば、如何なる作業機であってもよい。作業機は、例えば、接着剤を塗布する塗布機や、基板に実装された部品を検査する検査機などであってもよい。

ここで、実施形態の主要な要素と請求の範囲に記載した本開示の主要な要素との対応関係について説明する。即ち、本実施形態の第１ヘッド２３が本開示の第１ヘッドに相当する。第１ＸＹロボット２１が第１ＸＹロボットに相当する。第２ヘッド２４が第２ヘッドに相当する。第２ＸＹロボット２２が第２ＸＹロボットに相当する。上段フレーム１５が箱型フレームに相当する。中央梁１６が中央フレームに相当する。第１左レール２１１が第１ガイドレールの一方のレールに相当し、第１右レール２１２が第１ガイドレールの他方のレールに相当する。第１Ｙ軸スライダ２１３が第１スライダに相当する。第２右レール２２２が第２ガイドレールの一方のレールに相当し、第２左レール２２１が第２ガイドレールの他方のレールに相当する。第２Ｙ軸スライダ２２３が第２スライダに相当する。中央梁１６のスリット１６ｓが中央フレームのスリットに相当する。第１フレーム部材１６１と第２フレーム部材１６２が２つのフレーム部材に相当する。連結部材１６３が連結部材に相当する。本体フレーム１２（下段フレーム１３および中段フレーム１４）が本体フレームに相当する。

本開示は、作業機の製造産業などに利用可能である。

１０作業機、１１基台、１２本体フレーム、１３下段フレーム、１４中段フレーム、１５上段フレーム、１６，１６０中央梁、１６ｓスリット、２１第１ＸＹロボット、２１Ｘ第１Ｘ軸ロボット、２１Ｙ第１Ｙ軸ロボット、２２第２ＸＹロボット、２２Ｘ第２Ｘ軸ロボット、２２Ｙ第２Ｙ軸ロボット、２３第１ヘッド、２４第２ヘッド、１３２，１４２，１５２後壁部、１３３，１４３，１５３右側壁部、１３４，１４４，１５４左側壁部、１４１，１５１前壁部、１６１第１フレーム部材、１６２第２フレーム部材、１６３連結部材、２１１，２２１左レール、２１２，２２２右レール、２１３第１Ｙ軸スライダ、２１４第１Ｙ軸アクチュエータ、２１５第１Ｘ軸ガイドレール、２１６第１Ｘ軸スライダ、２１７第１Ｘ軸アクチュエータ、２２３第２Ｙ軸スライダ、２２４第２Ｙ軸アクチュエータ、２２５第２Ｘ軸ガイドレール、２２６第２Ｘ軸スライダ、２２７第２Ｘ軸アクチュエータ。

Claims

第１ヘッドをＸＹ方向に移動させる第１ＸＹロボットと第２ヘッドをＸＹ方向に移動させる第２ＸＹロボットとが同一の架台にＸ方向に並んで設けられた作業機であって、
前記架台の一部をなす箱形フレームと、
前記箱形フレームのＸ方向における中央部においてＹ方向に架け渡されるように固定された中央フレームと、
を備え、
前記第１ＸＹロボットは、
一方のレールが前記箱形フレームのＸ方向における一端部にＹ方向に延在するように固定されると共に他方のレールが前記中央フレームにＹ方向に延在するように固定された一対の第１ガイドレールと、
前記一対の第１ガイドレールに吊り下げられてＹ方向に移動可能な第１スライダと、
を有し、
前記第２ＸＹロボットは、
一方のレールが前記箱形フレームのＸ方向における他端部にＹ方向に延在するように固定されると共に他方のレールが前記中央フレームに前記一対の第１ガイドレールの他方のレールとＸ方向に平行に並ぶように固定された一対の第２ガイドレールと、
前記一対の第２ガイドレールに吊り下げられてＹ方向に移動可能な第２スライダと、
を有し、
前記中央フレームは、該中央フレームに固定された２つの前記他方のレールの間において、Ｙ方向におけるフレーム長の中央部を含む１／２以上の長さに亘ってＹ方向に沿って分断されている、
作業機。
請求項１に記載の作業機であって、
前記中央フレームは、Ｙ方向における両端部を残してＹ方向に延在するスリットを有する、
作業機。
請求項１に記載の作業機であって、
前記中央フレームは、それぞれ前記他方のレールが固定された２つのフレーム部材を有し、
前記２つのフレーム部材は、Ｘ方向に所定の隙間を空けてＹ方向における両端部において連結部材によって連結されている、
作業機。
請求項１ないし３いずれか１項に記載の作業機であって、
前記架台は、上方が開口した箱形の本体フレームを有し、
前記箱形フレームは、ＸＹ方向のサイズが前記本体フレームと略同一であり、壁面が前記本体フレームと連なるように該本体フレームの上端に設置される、
作業機。