JP2007061949A - ステージ駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ヨーイングのみならず、ピッチングの少ない構造のステージ駆動装置を提供する。
【解決手段】 ベッド1と、このベッドにY軸方向へ移動可能に支持されたYステージ11と、このYステージにX軸方向へ移動可能に支持されたXステージと、このXステージにZ軸方向へ移動可能に支持されたZステージとを備えたステージ駆動装置。Yステージ11を同方向へ駆動する3つ以上の駆動手段(リニアモータ)15A,15B,15Cが設けられ、これら3つ以上のリニアモータは、Y〜Zステージからなる構造体の重心位置Gを内部に包含する三角形の頂点位置に配置されている。
【選択図】 図4
Description
このステージ駆動装置は、コラムに移動可能に設けられた主軸頭の両側に、2本のボールねじ軸を主軸頭の移動方向と平行に配置するとともに、主軸頭に螺合し、この両側のボールねじ軸の間にモータを配置し、このモータの回転を歯車を介してボールねじ軸に伝達する構造である。
この構造によれば、コラムの構造的、熱的対称性を確保できるので、コラムの倒れや曲がり等、軸方向と異なる方向の熱変位が顕在化するのを防止できる。しかも、軸方向の熱変位を3軸制御によって補正すれば、コラムの熱応力による倒れ、曲がりを防止できる。従って、熱変位の少ない工作機械を提供できる。
最近、ナノメートルオーダの加工精度が要求される超精密加工機械にあっては、ヨーイングのみならず、ピッチングの少ない構造が要望されている。
ここで、駆動手段としては、3つ以上であればよいが、3〜5つが好ましい。
この発明によれば、ステージを同方向へ駆動する3つ以上の駆動手段が、ステージの重心位置を囲んで配置されているから、ヨーイングのみならず、ピッチングの少ない構造に構成できる。つまり、2つの駆動手段によって、これら2つの駆動手段を含む平面に対して直交する軸回りの回動(ヨーイング)を減少させることができ、更に、残りの1以上の駆動手段によって、前記2つの駆動手段を含む平面に対して直交する軸線とステージの移動方向軸線とで定まる面内の揺動(ピンチング)を減少させることができる。しかも、これら3つ以上の駆動手段が、ステージの重心位置を囲んで配置されているから、ステージに対して移動方向以外の力が作用することが少なく、円滑な移動を実現できる。従って、超精密加工機械などのステージ駆動装置に応用すれば、ナノメートルオーダの加工精度を実現できる。
この発明によれば、第1ステージの移動方向をY軸方向とすると、第2ステージの移動方向はX軸方向、第3ステージの移動方向はZ軸方向となるから、つまり、第3ステージはY,X,Z軸方向の三次元方向へ移動可能であるから、三次元移動ステージにおいて、ヨーイングのみならず、ピッチングの少ない構造に構成できる。
この発明によれば、3つ以上の駆動手段が、構造体の重心位置を内部に包含する三角形の頂点位置にそれぞれ配置されているから、構造体に対して、各駆動手段が略均等な駆動力で駆動させることができるから、ピンチングの少ない円滑な移動を実現できる。
ここで、リニアモータとしては、リニア誘導モータ、リニア同期モータ、リニア直流モータ、リニアパルスモータなど任意のものを採用することができる。
この発明によれば、3つ以上の駆動手段の各々が、固定子と可動子とを有するリニアモータによって構成されているから、ステージを高精度に移動させることができるとともに、所定位置に高精度に位置決めすることができる。また、ステージにワークあるいは加工工具を取り付けて加工を行う場合であっても、加工時の振動などの影響を極力低減することができるから、高精度な加工を実現できる。
この発明によれば、合計5つの可動子が四角錐の各頂点位置に配置されているから、ヨーイングおよびピッチングを極力低減させることができる。
この発明によれば、第3ステージにワークまたは工具を取り付け、ワークを加工するようにすれば、高精度な加工機械(工作機械)や半導体製造装置などを構成できる。また、第3ステージに測定子などを取り付け、ワークを測定するようにすれば、計測機械を構成できる。
<実施形態の構成>
図1は、本発明のステージ駆動装置を適用した工作機械の斜視図、図2は、工作機械の正面図、図3は、工作機械の側面図である。
これらの図に示すように、本実施形態の工作機械は、ベッド1と、このベッド1上に前後方向(Y軸方向)へ移動可能に支持された第1ステージとしてのYステージ11と、このYステージ11上にYステージ11の移動方向に対して直交する左右方向(X軸方向)へ移動可能に支持された第2ステージとしてのXステージ31と、このXステージ31上にYステージ11およびXステージ31の移動方向に対して直交する上下方向(Z軸方向)へ移動可能に支持された第3ステージとしてのZステージ51とを備える。
ガイド手段12は、立上壁部3の上端面にY軸方向に沿って固定されたガイドレール13と、このガイドレール13に沿って摺動可能でかつYステージ11の下面に固定されたスライダ14とから構成されている。
駆動手段15A,15Bは、ベッド1の両立上壁部3の外面にY軸方向に沿って設けられた固定子16と、Yステージ11の両側面にブラケット18を介して取り付けられかつ固定子16に対して隙間を隔てて対向配置された可動子17とを有するリニアモータによって構成されている。駆動手段15Cは、ベッド1の立上壁部3間に支持台19を介してY軸方向に沿って固定された固定子16と、Yステージ11の下面中央にブラケット20を介して取り付けられかつ固定子16に対して隙間を隔てて対向配置された可動子17とを有するリニアモータによって構成されている。なお、固定子16はコイルによって、可動子17はマグネットによって構成されているが、これとは逆でもよい。
そして、Yステージ11およびこれに搭載されるXステージ31やZステージ51等の構造物の重心位置Gを囲んで、駆動手段15A,15B,15Cが配置されている。つまり、図5に示すように、構造体の重心位置G(図5において×印位置)を内部に包含する三角形の頂点位置に駆動手段15A,15B,15Cの可動子17がそれぞれ配置されている。
リニアスケール25A,25Bは、ベッド1の両立上壁部3の外面にY軸方向に沿って設けられたスケール部材26と、Yステージ11のブラケット18に取り付けられかつスケール部材26に対して隙間を隔てて対向配置された検出ヘッド27とから構成されている。リニアスケール25Cは、固定子16(ベッド1側に支持台19を介して固定された固定子16)の側面にY軸方向に沿って固定されたスケール部材26と、ブラケット20にブラケット28を介して取り付けられかつスケール部材26に対して隙間を隔てて対向配置された検出ヘッド27とから構成されている。
Xステージ31は、(図1参照)、ブラケット38に固定された本体部41と、この本体部41の前部に設けられたガイドブロック42と、本体部41の後部に設けられたバランスウエイト43とを備える。バランスウエイト43は、Xステージ31およびこれに搭載されるZステージ51やこれに取り付けられる部材(主軸ヘッドなど)の重心位置がXステージ31の駆動手段35の中心軸線上にくるように、重量設定されている。
駆動手段35は、Yステージ11の上面中央にX軸方向に沿って固定された固定子36と、ブラケット38の下面に取り付けられかつ固定子36に対して隙間を隔てて対向配置された可動子37とを有するリニアモータによって構成されている。
リニアスケール45は、固定子36の側面にX軸方向に沿って設けられたスケール部材46と、ブラケット38の下面にブラケット48を介して取り付けられかつスケール部材46に対して隙間を隔てて対向配置された検出ヘッド47とから構成されている。
Zステージ51には(図1参照)、テーブル4上に載置されたワークに対して加工を施す工具を備えた主軸ヘッド61が搭載されているとともに、ブラケット62を介してXステージ31のガイドブロック42の上端に固定されたバランスシリンダ63が連結されている。バランスシリンダ63は、ブラケット58や主軸ヘッド61を含むZステージ51の重量をシリンダ内のエアー圧で保持できるように構成され、Zステージ51を軽い力で昇降できるように構成されている。
駆動手段55は、Xステージ31のガイドブロック42の正面にZ軸方向に沿って固定された固定子56と、ブラケット58の裏面に取り付けられかつ固定子56に対して隙間を隔てて対向配置された可動子57とを有するリニアモータによって構成されている。
リニアスケール65は、固定子56の側面に設けられたスケール部材66と、ブラケット58の裏面にブラケット68を介して取り付けられスケール部材66に対して隙間を隔てて対向配置された検出ヘッド67とから構成されている。
(1)ベッド1と、このベッド1にY軸方向へ移動可能に支持されたYステージ11と、このYステージ11にX軸方向へ移動可能に支持されたXステージ31と、このXステージ31にZ軸方向へ移動可能に支持されたZステージ51とを備え、Yステージ11を同方向へ駆動する3つの駆動手段15A,15B,15Cが設けられ、これら3つの駆動手段15A,15B,15Cが、Yステージ11,Xステージ31,Zステージ51からなる構造体の重心位置Gを囲んで配置されているから、ヨーイングのみならず、ピッチングの少ない構造に構成できる。
つまり、2つの駆動手段15A,15Bによって、これら2つの駆動手段15A,15Bを含む平面に対して直交する軸回りの回動(ヨーイング)を減少させることができ、更に、残りの駆動手段15Cによって、2つの駆動手段15A,15Bを含む平面に対して直交する軸線とYステージ11の移動方向軸線とで定まる面内の揺動(ピンチング)を減少させることができる。
従って、超精密加工機械などのステージ駆動装置に応用すれば、ナノメートルオーダの加工精度を実現できる。
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
前記実施形態では、Yステージ11を駆動させる3つの駆動手段15A,15B,15Cを、図5に示す配置、構成としたが、これに限られない。
例えば、前記実施形態では、Yステージ11,Xステージ31,Zステージ51からなる構造体の重心位置Gを内部の包含する三角形の頂点位置に駆動手段15A,15B,15Cの可動子17を配置したが、構造体の重心位置Gと、駆動手段15A,15B,15Cの可動子17を頂点位置に配置した三角形の重心位置とが一致するように構成すれば、より好ましい。
また、Yステージ11を駆動させる駆動手段の数についても、前記実施形態で述べた3つに限らず、4以上でもよい。ただし、多すぎても経済的に不利になるので、3〜5つ程度が好ましい。
11…Yステージ(第1ステージ)
15A,15B,15C…駆動手段(リニアモータ)
16…固定子
17,17A,17B,17C…可動子
31…Xステージ(第2ステージ)
51…Zステージ(第3ステージ)
61…主軸ヘッド(工具)
Claims (6)
- ステージを駆動させるステージ駆動装置であって、
前記ステージを同方向へ駆動する3つの以上の駆動手段を備え、
これら3つ以上の駆動手段は、前記ステージの重心位置を囲んで配置されていることを特徴とするステージ駆動装置。 - ベッドと、このベッドに移動可能に支持された第1ステージと、この第1ステージに第1ステージの移動方向に対して直交する方向へ移動可能に支持された第2ステージと、この第2ステージに前記第1ステージの移動方向および第2ステージの移動方向に対して直交する方向へ移動可能に支持された第3ステージとを備えたステージ駆動装置において、
前記第1ステージを同方向へ駆動する3つ以上の駆動手段を備え、
これら3つ以上の駆動手段は、前記第1〜第3ステージからなる構造体の重心位置を囲んで配置されていることを特徴とするステージ駆動装置。 - 請求項1または請求項2に記載のステージ駆動装置において、
前記3つ以上の駆動手段は、前記第1〜第3ステージからなる構造体の重心位置を内部に包含する三角形の頂点位置にそれぞれ配置されていることを特徴とするステージ駆動装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載のステージ駆動装置において、
前記各駆動手段は、固定子と可動子とを有するリニアモータによって構成されていることを特徴とするステージ駆動装置。 - 請求項4に記載のステージ駆動装置において、
前記駆動手段は3つ設けられ、これら3つの駆動手段のうち2つの駆動手段は、1つの固定子に対して2つの可動子を備え、これら4つの可動子と残りの駆動手段の可動子とが、前記第1〜第3ステージからなる構造体の重心位置を内部に包含する四角錐の各頂点位置にそれぞれ配置されていることを特徴とするステージ駆動装置。 - 請求項1〜請求項5のいずれかに記載のステージ駆動装置において、
前記第3ステージには、ワークまたはワークを加工する工具が取り付けられていることを特徴とするステージ駆動装置。
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