JP7290815B2 - リニアモータ駆動装置及び表面形状測定装置 - Google Patents
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Description
このリニアモータ12は、いわゆるシャフト型のリニアモータである。リニアモータ12は、界磁用のマグネットが形成されている直線棒状のシャフト部材である固定子14を有し、コイル部材を主要部として有する環状部材である移動子16を固定子14に嵌装することにより構成されている。
Claims (6)
- 装置本体に水平方向に沿った第1の方向に延設された固定子と、前記固定子に嵌装されて前記固定子に沿って移動可能な移動子と、を有するリニアモータと、
前記リニアモータの前記移動子に固定されて摺動面を有する被駆動部と、
前記被駆動部に隣接して配置され、前記摺動面に摺接される基準面を有する直動ガイドと、
前記被駆動部と別体であり且つ前記被駆動部と一体に移動可能に構成され、測定子を有する検出器が取り付けられるホルダと、
を備え、
前記リニアモータ、前記被駆動部、前記直動ガイド及び前記ホルダを前記第1の方向から見たときに、前記リニアモータ、前記被駆動部、前記直動ガイド及び前記ホルダは、前記第1の方向に直交する鉛直方向に沿った第2の方向と平行な直線上に沿って配置されている、リニアモータ駆動装置。 - 前記リニアモータ、前記被駆動部、前記直動ガイド及び前記ホルダを前記第1の方向から見たときに、前記リニアモータ、前記被駆動部、前記直動ガイド及び前記ホルダの各々の重心が、前記第2の方向と平行な直線上に沿って配置されている、
請求項1に記載のリニアモータ駆動装置。 - 前記リニアモータ、前記被駆動部、前記直動ガイド及び前記ホルダを前記第1の方向から見たときに、前記摺動面と前記基準面はそれぞれ前記第2の方向と平行な直線を挟んで両側に備えられている、
請求項1又は2に記載のリニアモータ駆動装置。 - 前記移動子と前記被駆動部との間に断熱部材が介在されている、請求項1から3のいずれか1項に記載のリニアモータ駆動装置。
- 前記被駆動部は、断熱部材によって構成されている、請求項1から4のいずれか1項に記載のリニアモータ駆動装置。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載のリニアモータ駆動装置を備える表面形状測定装置であって、
前記リニアモータ駆動装置のホルダに取り付けられた検出器と、
前記検出器に取り付けられて第2の方向に変位可能な測定子と、
を備える、表面形状測定装置。
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