JP2008254114A - 工作機械用磁気軸受スピンドル装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】製品コストを抑えつつ主軸の位置決めを高速に且つ高精度に行うことができる工作機械用磁気軸受スピンドル装置を提供する。
【解決手段】制御装置13は、アキシャル電磁石23a及びラジアル電磁石24aの吸引力の制御を通じて主軸22のアキシャル方向及びラジアル方向における位置を、主軸22の鍔部材22aとアキシャル磁気軸受23との間隙Gax並びに主軸22とラジアル磁気軸受24との間隙Grdの範囲内において変位させて位置決め可能とした。アキシャル磁気軸受23及びラジアル磁気軸受24の制御を通じて主軸22のみをアキシャル方向及びラジアル方向へ自在に変位させることが可能になることから、主軸22の位置決めに対する高速化及び高精度化が図られる。また、磁気軸受スピンドル装置11を変位させるべくボールねじ機構及びリニアモータ等を利用した送り機構を設ける必要がないので研削装置10の製品コストの低減化が図られる。
【選択図】図1
【解決手段】制御装置13は、アキシャル電磁石23a及びラジアル電磁石24aの吸引力の制御を通じて主軸22のアキシャル方向及びラジアル方向における位置を、主軸22の鍔部材22aとアキシャル磁気軸受23との間隙Gax並びに主軸22とラジアル磁気軸受24との間隙Grdの範囲内において変位させて位置決め可能とした。アキシャル磁気軸受23及びラジアル磁気軸受24の制御を通じて主軸22のみをアキシャル方向及びラジアル方向へ自在に変位させることが可能になることから、主軸22の位置決めに対する高速化及び高精度化が図られる。また、磁気軸受スピンドル装置11を変位させるべくボールねじ機構及びリニアモータ等を利用した送り機構を設ける必要がないので研削装置10の製品コストの低減化が図られる。
【選択図】図1
Description
本発明は、工作機械用磁気軸受スピンドル装置に関するものである。
もれ
もれ
従来、研削装置、切削装置及びマシニングセンタ等の工作機械において、主軸の高速回転化などを目的として、主軸(スピンドル)を磁気軸受により非接触支持する磁気軸受スピンドル装置が多く使用されるようになってきている。このような磁気軸受スピンドル装置としては、例えば特許文献1に示されるように、主軸を1組のアキシャル磁気軸受と2組のラジアル磁気軸受とにより非接触支持するようにしたものが一般的である。
複雑な機械加工を行うためには、ワーク又は加工工具が取り付けられる磁気軸受スピンドル装置自体を変位させる必要があることから、当該磁気軸受スピンドル装置は送り機構を通じて変位可能に設けられている。当該送り機構としては、例えば特許文献2に示されるように、テーブル等の移動体の移動方向に沿って配設されるボールねじと、当該ボールねじに螺合されるとともに前記移動体側に固定されるボールナットとを備えてなるボールねじ機構が多く採用されている。ボールねじに作動連結されたモータの駆動を通じてボールねじを回転させることにより、前記移動体はボールナットを介してボールねじに沿って直線的に移動する。
また、例えば特許文献3に示されるように、前述した移動体の高速な直線運動を実現すべく、同じく送り機構としてリニアモータを駆動源として使用する構成も従来提案されている。当該リニアモータは、基台に設けた1対のガイドレールに往復動可能に支持されるテーブル等の移動体側に設けられるコイルと、基台側に設けられる磁石とからなる。そして、前記移動体側のコイルに電流を通すことにより電磁石にし、当該電磁石と基台側の磁石との間の吸引力及び反発力を利用して、移動体を直線的に移動させる。
特開平10−29101号公報
特開平9−76139号公報
特開2004−283974号公報
近年では、生産性の向上及び微細加工に対する要求はますます高まりつつある。こうした要求に応えるためには、主軸を高速に且つ高精度に位置決めする必要がある。特許文献2のボールねじ機構が採用された工作機械において、磁気軸受スピンドル装置の送り速度の高速化及び位置決めの高精度化を図るためには、例えばモータの回転数を高めることが考えられる。しかし、振動及び騒音の増大、並びに温度上昇及び熱膨張の増加等の問題が懸念されることから、モータの高回転化による対応には限界がある。
そこで、ボールねじの送り速度はリード(ねじピッチ)と回転数との積で決まることを利用して、当該リードを大きくすることによってモータの回転数を上げることなく送り速度の高速化を図ることも考えられる。しかし、この場合には、ボールねじのリードを大きくするほど、ボールねじに対する捩じれ負荷が増大するとともに、これに起因する捩じれ振動及び位置決め誤差の問題が懸念される。このように、送り機構としてボールねじ機構を採用した場合、磁気軸受スピンドル装置の位置決めの高速化及び高精度化には限界があった。
一方、特許文献3のリニアモータを駆動源とする送り機構は、前述したボールねじ機構に比べれば磁気軸受スピンドル装置の位置決めに対する高速化及び高精度化に対応しやすい。しかし、当該リニアモータを駆動源とする送り機構は、原理的に送り速度及び位置決め精度を高めるほど大型化且つ高価になる傾向がある。工作機械においては、前述した送り速度及び位置決め精度の向上に対する要求に加えて、製品コストに対する要求もいっそう厳しいものとなってきている。このため、要求される送り速度及び位置決め精度等の性能と製品コストとのバランスが難しいという問題がある。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、製品コストを抑えつつ主軸の位置決めを高速に且つ高精度に行うことができる工作機械用磁気軸受スピンドル装置を提供することにある。
請求項1に記載の発明は、モータにより回転される主軸の外周面に対して所定のラジアルギャップを介して対向配置される複数のラジアル電磁石を含むとともに当該ラジアル電磁石の吸引力を通じて主軸をラジアル方向において磁気浮上させて非接触状態で支持するラジアル磁気軸受と、前記主軸の外周面に設けられた回転部材に対してアキシャル方向において所定のアキシャルギャップを介して対向配置される単数又は複数のアキシャル電磁石を含むとともに当該アキシャル電磁石の吸引力を通じて主軸をアキシャル方向において磁気浮上させて非接触状態で支持するアキシャル磁気軸受と、前記主軸のラジアル方向及びアキシャル方向における位置を検出して当該検出結果を前記主軸の変位情報として出力する変位検出手段と、前記変位検出手段を通じて取得される前記主軸の変位情報に基づき当該主軸を最適浮上位置に保持すべく前記ラジアル電磁石及びアキシャル電磁石の吸引力を制御する制御装置と、を備えた工作機械用磁気軸受スピンドル装置において、前記制御装置は、前記ラジアル電磁石及びアキシャル電磁石の吸引力の制御を通じて、前記主軸を、前記ラジアルギャップ及びアキシャルギャップの範囲内において、アキシャル方向及びラジアル方向へ変位させて位置決め可能としたことをその要旨とする。
本発明によれば、ラジアル電磁石と主軸との隙間であるラジアルギャップ及びアキシャル電磁石と主軸との隙間であるアキシャルギャップの範囲内において、ラジアル磁気軸受及びアキシャル磁気軸受の制御を通じて、主軸のみをラジアル方向及びアキシャル方向へ自在に変位させて位置決めすることが可能となる。このため、主軸の位置決めの高速化及び高精度化が図られる。また、主軸自体を自在に変位可能となることから、工作機械用磁気軸受スピンドル装置を変位させるべくボールねじ機構及びリニアモータ等を利用した送り機構を設ける必要がない。したがって、工作機械の製品コストの低減化が図られる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の工作機械用磁気軸受スピンドル装置において、前記制御装置は、前記主軸を、前記ラジアルギャップの1/2の範囲内において変位させるべく前記ラジアル電磁石の吸引力を制御するとともに、前記アキシャルギャップの1/2の範囲内において変位させるべく前記アキシャル電磁石の吸引力を制御するようにしたことをその要旨とする。
従来、主軸と磁気軸受との隙間であるアキシャルギャップ及びラジアルギャップが通常の1/2未満になったときに、警報を発するようにした工作機械用磁気軸受スピンドル装置も存在する。このような装置に対し本発明は特に有効である。すなわち、主軸は磁気軸受との間で通常確保されるアキシャルギャップ及びラジアルギャップの1/2の範囲内において変位するため、前述した警報が発せられることはなく、また主軸と磁気軸受との接触を好適に抑制可能となる。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載の工作機械用磁気軸受スピンドル装置において、前記制御装置は、定められた加工制御プログラムに基づき前記主軸の位置決め制御を行うことをその要旨とする。
本発明によれば、定められた加工制御プログラムに従い主軸が位置決め制御されることにより加工が好適に行われる。
本発明によれば、製品コストを抑えつつ主軸の位置決めを高速に且つ高精度に行うことができる。
以下、本発明を、工作機械としての研削装置に搭載される磁気軸受スピンドル装置に具体化した一実施の形態を図1〜図3に基づいて説明する。本実施の形態では、当該研削装置により非球面レンズの粗研削を行う。
図1に示されるように、研削装置10の架台10aの上面には、ワークWを回転可能に支持する磁気軸受スピンドル装置11、及び加工工具としての砥石Sを回転させた状態で支持する砥石軸スピンドル装置12が配設されている。また、研削装置10は、磁気軸受スピンドル装置11及び砥石軸スピンドル装置12を制御する制御装置13を備えてなる。磁気軸受スピンドル装置11に支持されるワークWは、所定の時間間隔で180度回転されるとともに、砥石軸スピンドル装置12に回転した状態で支持される砥石Sに押し付けられる。これにより、ワークWの表面における上下二箇所の研削加工が行われる。
<磁気軸受スピンドル装置>
図1に示されるように、磁気軸受スピンドル装置11のケーシング21の内部には、主軸(スピンドル)22が架台10aの上面に対して水平に配設されている。この主軸22の外周面には円環板状の鍔部材22aが外嵌固定されている。また、主軸22の外端部(図1における右端部)には、ワークWが取り付けられる。
図1に示されるように、磁気軸受スピンドル装置11のケーシング21の内部には、主軸(スピンドル)22が架台10aの上面に対して水平に配設されている。この主軸22の外周面には円環板状の鍔部材22aが外嵌固定されている。また、主軸22の外端部(図1における右端部)には、ワークWが取り付けられる。
ケーシング21の内部には、主軸22をアキシャル方向(軸方向)において非接触支持する1組のアキシャル磁気軸受23、及び主軸22をラジアル方向(半径方向)において非接触支持する左右2組のラジアル磁気軸受24,24が配設されている。アキシャル磁気軸受23は、2組のラジアル磁気軸受24,24の間に設けられている。なお、アキシャル方向は、XYZ座標系におけるZ軸方向に、同じくラジアル方向はX軸方向及びY軸方向に対応する。
アキシャル磁気軸受23は、ケーシング21の内周面に固定された2つの円環状のアキシャル電磁石23a,23a、及びケーシング21の内底面に主軸22の内端部(図1における左端部)に対向して固定されたアキシャル変位センサ23bを備えてなる。
2つのアキシャル電磁石23a,23aは、鍔部材22aを介して互いに対向するように配設されている。それらアキシャル電磁石23a,23aの鍔部材22a側の側面と主軸22の軸方向において鍔部材22aの互いに反対側に位置する2つの環状面との間には、所定の間隙(アキシャルギャップ)Gaxが形成されている。したがって、アキシャル変位センサ23bによりアキシャル方向への変位を検出するとともに、当該検出結果に基づいて2つのアキシャル電磁石23a,23aへの通電を制御することにより、これらアキシャル電磁石23a,23aの吸引力の調節が行われる。これにより、主軸22はアキシャル方向において浮上し、当該アキシャル方向における所定の中立位置に非接触状態で且つ安定して支持される。
図2に示されるように、1組のラジアル磁気軸受24は、ケーシング21の内周面に固定された4つのラジアル電磁石24a、及びこれらラジアル電磁石24aに対応して配設される4つのラジアル変位センサ24bを備えてなる。4つのラジアル電磁石24aの先端面には、主軸22の外周面の曲率に対応した円弧面24cが凹設されている。これら円弧面24cと主軸22の外周面との間には、所定の間隙(ラジアルギャップ)Grdが形成されている。
4つのラジアル電磁石24aは、主軸22の回転方向において90度毎に配設されている。したがって、4つのラジアル変位センサ24bにより主軸22の互いに直交する2つの半径方向(XYZ座標系におけるX軸方向及びY軸方向)への変位を検出するとともに、これら検出結果に基づいて4つのラジアル電磁石24aへの通電が制御されることにより、これらラジアル電磁石24aの吸引力の調節が行われる。これにより、主軸22はラジアル方向において浮上し、当該ラジアル方向における所定の中立位置に非接触状態で且つ安定して支持される。
さらに、図1に示されるように、ケーシング21の内部において、ケーシング21の奥側に配設されたアキシャル電磁石23aと、同じく奥側に配設されたラジアル電磁石24aとの間には、主軸22を回転させる駆動源としてモータ25が組み込まれている。モータ25は、ケーシングの内周面に固定されるとともにコイルが巻回されたステータ、及び主軸22の外周面における当該ステータに対応する部位に設けられた図示しないマグネットロータを備えてなる公知の構成とされている。
<電気的構成>
次に、研削装置10の電気的な構成について説明する。
図3に示すように、研削装置10の制御装置13は、CPU(中央処理装置)31、ROM(読み取り専用メモリ)32及びRAM(読み取り書き込み専用メモリ)33を備えてなる。これらCPU31、ROM32及びRAM33は図示しないバスを介して相互に接続されている。ROM32には研削装置10の各部を統括的に制御するための各種の制御プログラム等が格納されている。当該制御プログラムには、ワークWに対して所定の加工を施すべく磁気軸受スピンドル装置11及び砥石軸スピンドル装置12を制御する加工制御プログラムが含まれる。RAM33はROM32に格納された制御プログラムを展開してCPU31が各種の処理を実行するためのデータ記憶領域、即ち作業領域である。そしてCPU31は、ROM32に格納された加工制御プログラムに基づき磁気軸受スピンドル装置11及び砥石軸スピンドル装置12を統括的に制御する。
次に、研削装置10の電気的な構成について説明する。
図3に示すように、研削装置10の制御装置13は、CPU(中央処理装置)31、ROM(読み取り専用メモリ)32及びRAM(読み取り書き込み専用メモリ)33を備えてなる。これらCPU31、ROM32及びRAM33は図示しないバスを介して相互に接続されている。ROM32には研削装置10の各部を統括的に制御するための各種の制御プログラム等が格納されている。当該制御プログラムには、ワークWに対して所定の加工を施すべく磁気軸受スピンドル装置11及び砥石軸スピンドル装置12を制御する加工制御プログラムが含まれる。RAM33はROM32に格納された制御プログラムを展開してCPU31が各種の処理を実行するためのデータ記憶領域、即ち作業領域である。そしてCPU31は、ROM32に格納された加工制御プログラムに基づき磁気軸受スピンドル装置11及び砥石軸スピンドル装置12を統括的に制御する。
CPU31には、1組のアキシャル磁気軸受23を構成する2つのアキシャル電磁石23a及び2組のラジアル磁気軸受24を構成する合計8つのラジアル電磁石24aが接続されている。また、CPU31には、1組のアキシャル磁気軸受23を構成する単一のアキシャル変位センサ23b及び2組のラジアル磁気軸受24を構成する合計8つのラジアル変位センサ24bが接続されている。さらに、CPU31には、磁気軸受スピンドル装置11のモータ25及び砥石軸スピンドル装置12(正確には、図示しない内蔵モータ)が接続されている。なお、図3では、便宜上、アキシャル電磁石23a及びアキシャル変位センサ23b並びにラジアル電磁石24a及びラジアル変位センサ24bは、それぞれ一つだけ図示する。
アキシャル変位センサ23bは、主軸22のアキシャル方向における変位を検出し、その検出信号を主軸22のアキシャル方向における変位情報としてCPU31へ出力する。ラジアル変位センサ24bは、主軸22のラジアル方向における変位を検出し、その検出信号を主軸22のラジアル方向における変位情報としてCPU31へ出力する。これらアキシャル変位センサ23b及びラジアル変位センサ24bは、本発明の変位検出手段を構成する。
CPU31は、アキシャル変位センサ23b及びラジアル変位センサ24bを通じて取得した主軸22の変位情報に基づきアキシャル電磁石23a及びラジアル電磁石24aへの通電を制御することにより、アキシャル電磁石23a及びラジアル電磁石24aの吸引力の調節を行う。これにより、主軸22は浮上し、ラジアル方向及びアキシャル方向における所定の中立位置(図1に示される最適浮上位置)に非接触状態で且つ安定して支持される。
また、CPU31は、加工制御プログラムに従って、アキシャル変位センサ23b及びラジアル変位センサ24bを通じて取得した主軸22の変位情報に基づき当該主軸22のアキシャル方向及びラジアル方向における位置を制御すべく、アキシャル電磁石23a及びラジアル電磁石24aに対する通電量を制御する。これにより、主軸22は前記中立位置を基準としてアキシャル方向及びラジアル方向へ所定距離(所定距離<間隙Gax,Grd)だけずれた所定の加工位置に非接触状態で且つ安定して支持される。
詳述すると、CPU31は、加工制御プログラムに従って、主軸22をアキシャル方向において往復動させるべく当該主軸22のアキシャル方向における浮上位置(目標位置)を変更し、当該変更した浮上位置を目標にして2つのアキシャル電磁石23aに対する通電量を制御する。
すなわち、図4に示されるように、主軸22をケーシング21に対して突出させる方向(図4における右方向)へ変位させる場合には、CPU31は、まず主軸22のアキシャル方向における浮上位置(目標位置)を変更する。そして、CPU31は、変更した浮上位置を目標として主軸22を変位させるべく当該主軸22の外端側のアキシャル電磁石23aへの通電量を増大させる。この結果、主軸22の外端側のアキシャル電磁石23aの吸引力は、同じく内端側のアキシャル電磁石23aの吸引力よりも大きくなり、主軸22はケーシング21に対して突出する方向へ変位する。CPU31は、アキシャル変位センサ23bを通じて主軸22が前述の変更した目標位置に到達したことを検出すると、主軸22を当該目標位置に保持すべく2つのアキシャル電磁石23aに対する通電量を制御する。なお、CPU31は、アキシャル方向における間隙(アキシャルギャップ)Gaxの範囲内において、主軸22が定められた距離だけケーシング21に対する突出方向へ変位するように2つのアキシャル電磁石23aの吸引力を調整する。
主軸22をケーシング21に対して没入させる方向(図4における左方向)へ変位させる場合には、CPU31は、前述と同様に、まず主軸22のアキシャル方向における浮上位置(目標位置)を変更する。そして、CPU31は、変更した浮上位置を目標として主軸22を変位させるべく当該主軸22の内端側のアキシャル電磁石23aへの通電量を増大させる。この結果、主軸22の内端側のアキシャル電磁石23aの吸引力は、同じく外端側のアキシャル電磁石23aの吸引力よりも大きくなり、主軸22はケーシング21に対して没入する方向へ変位する。CPU31は、アキシャル変位センサ23bを通じて主軸22が前述の変更した目標位置に到達したことを検出すると、主軸22を当該目標位置に保持すべく2つのアキシャル電磁石23aに対する通電量を制御する。なお、CPU31は、アキシャル方向における間隙(アキシャルギャップ)Gaxの範囲内において、主軸22が定められた距離だけケーシング21に対する没入方向へ変位するように2つのアキシャル電磁石23aの吸引力を調整する。
このケーシング21に対する突出方向への変位と同じく没入方向への変位とが繰り返されることにより、主軸22はアキシャル方向において往復動する。
また、CPU31は、加工制御プログラムに従って主軸22を互いに直交する2つのラジアル方向(図2における左右方向及び上下方向)へ変位させるべく当該主軸22のラジアル方向における浮上位置(目標位置)を変更し、当該変更した浮上位置を目標にして各ラジアル電磁石24aに対する通電量を制御する。
また、CPU31は、加工制御プログラムに従って主軸22を互いに直交する2つのラジアル方向(図2における左右方向及び上下方向)へ変位させるべく当該主軸22のラジアル方向における浮上位置(目標位置)を変更し、当該変更した浮上位置を目標にして各ラジアル電磁石24aに対する通電量を制御する。
すなわち、主軸22をケーシング21に対して図2における左右方向(XYZ座標系におけるX軸方向)へ変位させる場合には、CPU31は当該左右方向において主軸22を介して対向配置された2つのラジアル電磁石24a,24aへの通電量を制御する。
具体的には、主軸22を図2における右側へ変位させる場合には、CPU31は、前述と同様に、まず主軸22の図2の左右方向における浮上位置(目標位置)を変更する。そして、CPU31は、変更した浮上位置を目標として主軸22を変位させるべく右側のラジアル電磁石24aへの通電量を増大させる。この結果、図2における右側のラジアル電磁石24aの吸引力は、同じく左側のラジアル電磁石24aの吸引力よりも大きくなり、主軸22は図2における右側へ変位する。CPU31は、ラジアル変位センサ24bを通じて主軸22が前述の変更した目標位置に到達したことを検出すると、主軸22を当該目標位置に保持すべく各ラジアル電磁石24aに対する通電量を制御する。なお、CPU31は、図5に併せ示されるように、ラジアル方向における間隙(ラジアルギャップ)Grdの範囲内において、主軸22が定められた距離だけ図2における右側へ変位するように、左右方向において対向配置された2つのラジアル電磁石24aの吸引力を調整する。
主軸22を図2における左側へ変位させる場合には、CPU31は、前述と同様に、まず主軸22の図2の左右方向における浮上位置(目標位置)を変更する。そして、CPU31は、変更した浮上位置を目標として主軸22を変位させるべく左側のラジアル電磁石24aへの通電量を増大させる。この結果、図2における左側のラジアル電磁石24aの吸引力は、同じく右側のラジアル電磁石24aの吸引力よりも大きくなり、主軸22は図2における左側へ変位する。CPU31は、ラジアル変位センサ24bを通じて、主軸22が前述の変更した目標位置に到達したことを検出すると、主軸22を当該目標位置に保持すべく各ラジアル電磁石24aに対する通電量を制御する。なお、CPU31は、図5に併せ示されるように、ラジアル方向における間隙(ラジアルギャップ)Grdの範囲内において、主軸22が定められた距離だけ図2における左側へ変位するように、左右方向において対向配置された2つのラジアル電磁石24aの吸引力を調整する。
また、主軸22をケーシング21に対して図2における上下方向(XYZ座標系におけるY軸方向)へ変位させる場合には、CPU31は当該上下方向において主軸22を介して対向配置された2つのラジアル電磁石24a,24aへの通電量を制御する。
具体的には、主軸22を図2における上側へ変位させる場合には、CPU31は、前述と同様に、まず主軸22の図2の上下方向における浮上位置(目標位置)を変更する。そして、CPU31は、変更した浮上位置を目標として主軸22を変位させるべく上側のラジアル電磁石24aへの通電量を増大させる。この結果、図2における上側のラジアル電磁石24aの吸引力は、同じく下側のラジアル電磁石24aの吸引力よりも大きくなり、主軸22は図2における上側へ変位する。CPU31は、ラジアル変位センサ24bを通じて、主軸22が前述の変更した目標位置に到達したことを検出すると、主軸22を当該目標位置に保持すべく各ラジアル電磁石24aに対する通電量を制御する。なお、CPU31は、ラジアル方向における間隙(ラジアルギャップ)Grdの範囲内において、主軸22が定められた距離だけ図2における上側へ変位するように、上下方向において対向配置された2つのラジアル電磁石24aの吸引力を調整する。
主軸22を図2における下側へ変位させる場合には、CPU31は、前述と同様に、まず主軸22の図2の上下方向における浮上位置(目標位置)を変更する。そして、CPU31は、変更した浮上位置を目標として主軸22を変位させるべく下側のラジアル電磁石24aへの通電量を増大させる。この結果、図2における下側のラジアル電磁石24aの吸引力は、同じく上側のラジアル電磁石24aの吸引力よりも大きくなり、主軸22は図2における下側へ変位する。CPU31は、ラジアル変位センサ24bを通じて、主軸22が前述の変更した目標位置に到達したことを検出すると、主軸22を当該目標位置に保持すべく各ラジアル電磁石24aに対する通電量を制御する。なお、CPU31は、ラジアル方向における間隙(ラジアルギャップ)Grdの範囲内において、主軸22が定められた距離だけ図2における下側へ変位するように、上下方向において対向配置された2つのラジアル電磁石24aの吸引力を調整する。
また、CPU31は、加工制御プログラムに従って磁気軸受スピンドル装置11に内蔵されたモータ25及び砥石軸スピンドル装置12(正確には、図示しない内蔵モータ)を駆動制御する。
<研削装置の動作>
次に、前述のように構成した研削装置10の動作を説明する。ここでは、円筒状のワークWの主軸22に対する取り付け面である裏面と反対側の表面(図1における右側の側面)における上下2箇所の研削加工を行う。制御装置13のCPU31は、ROM32に格納された加工制御プログラムに従って磁気軸受スピンドル装置11及び砥石軸スピンドル装置12を制御する。
次に、前述のように構成した研削装置10の動作を説明する。ここでは、円筒状のワークWの主軸22に対する取り付け面である裏面と反対側の表面(図1における右側の側面)における上下2箇所の研削加工を行う。制御装置13のCPU31は、ROM32に格納された加工制御プログラムに従って磁気軸受スピンドル装置11及び砥石軸スピンドル装置12を制御する。
ワークWの研削加工を行うに際しては、まず磁気軸受スピンドル装置11の主軸22の外端部にワークWを取り付けるとともに、砥石軸スピンドル装置12に工具として砥石Sを取り付ける。このとき、主軸22は図1に示される中立位置に保持されるとともに、当該主軸22の軸線は、砥石軸スピンドル装置12(砥石S)の軸線よりも上方に位置している。
この状態で、CPU31は、砥石軸スピンドル装置12(正確には、内蔵モータ)を駆動させることにより砥石Sを回転させる。そして、CPU31は、主軸22をアキシャル方向においてケーシング21に対して突出する方向(図1における右側)へ変位させるべく主軸22のアキシャル方向における浮上位置を変更し、2つのアキシャル電磁石23aへの通電量を制御する。これら2つのアキシャル電磁石23aの吸引力の均衡が崩れることにより、主軸22はアキシャル方向においてケーシング21に対して突出する方向へ変位する。そして、主軸22の先端に取り付けられたワークWの表面の下部が砥石Sに押し付けられることにより、ワークWの下部は研削される。
次に、CPU31は、主軸22をアキシャル方向においてケーシング21に対して没入する方向(図1における左側)へ変位させるべく主軸22のアキシャル方向における浮上位置を再び変更し、2つのアキシャル電磁石23aへの通電量を制御する。これら2つのアキシャル電磁石23aの吸引力の均衡が崩れることにより、主軸22はアキシャル方向においてケーシング21に対して没入する方向へ変位する。そして、主軸22の先端に取り付けられたワークWの表面は、砥石Sに対して離間する。
次に、CPU31は、モータ25の駆動制御を通じて主軸22を180度だけ回転させる。この後、CPU31は、前述と同様に2つのアキシャル電磁石23aの制御を通じて主軸22をケーシング21に対して突出する方向へ再び変位させる。この結果、ワークWの表面において、前回研削された部位に対して当該ワークWの周方向に180度だけずれた部位が砥石Sに押し付けられて研削される。
以後、CPU31は、前述と同様にして、主軸22の位置決め制御を行う。すなわち、主軸22は、ケーシング21に対する突出方向への変位と、同じく没入方向への変位とを繰り返すことにより、アキシャル方向において往復動するとともに、1往復する毎に180度だけ回転される。なお、前述した研削加工時において、CPU31は、主軸22のラジアル方向における位置ずれを補正すべく、2組のラジアル電磁石24aの通電制御を通じて、主軸22のラジアル方向への位置決め制御を行うことも可能である。
<実施の形態の効果>
従って、本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
(1)制御装置13は、アキシャル電磁石23a及びラジアル電磁石24aの吸引力の制御を通じて、主軸22のアキシャル方向及びラジアル方向における位置を、主軸22の鍔部材22aとアキシャル磁気軸受23との間隙Gax、並びに主軸22とラジアル磁気軸受24との間隙Grdの範囲内において、変位させて位置決め可能とした。
従って、本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
(1)制御装置13は、アキシャル電磁石23a及びラジアル電磁石24aの吸引力の制御を通じて、主軸22のアキシャル方向及びラジアル方向における位置を、主軸22の鍔部材22aとアキシャル磁気軸受23との間隙Gax、並びに主軸22とラジアル磁気軸受24との間隙Grdの範囲内において、変位させて位置決め可能とした。
この構成によれば、アキシャル磁気軸受23及びラジアル磁気軸受24の制御を通じて主軸22のみをアキシャル方向及びラジアル方向、すなわちXYZ座標系におけるX軸、Y軸及びZ軸方向へ自在に変位させることが可能になる。このため、主軸22の位置決めの高速化及び高精度化が図られ、ひいてはワークWの高精度加工を実現することができる。また、主軸22の高速移動、すなわちワークWと砥石Sとの相対位置を高速で位置決めできることから、ワークWの加工時間の短縮化が図られる。さらに、主軸22自体を自在に変位させることから、磁気軸受スピンドル装置11を変位させるべくボールねじ機構及びリニアモータ等を利用した高精度且つ高価な送り機構を設ける必要がない。したがって、研削装置10の製品コストの低減化が図られる。
(2)また、制御装置13は、アキシャル変位センサ23b及びラジアル変位センサ24bを通じて好適に取得された主軸22の変位情報に基づきアキシャル磁気軸受23及びラジアル電磁石24aの吸引力の制御を行うことにより、主軸22の位置決め制御を好適に行うことができる。
(3)さらに、制御装置13は、定められた加工制御プログラムに基づくワークWの加工タイミングに応じて主軸22の位置決め制御を行うようにした。このように、定められた加工制御プログラムに従い主軸22が好適に位置決め制御されることにより、ワークWの加工が好適に行われる。
<他の実施の形態>
尚、前記実施の形態は、次のように変更して実施してもよい。
・本実施の形態では、制御装置13はCPU31を備えて構成したが、当該CPU31に代えて、デジタル信号処理に特化したDSP(デジタル信号プロセッサ)を採用することも可能である。
尚、前記実施の形態は、次のように変更して実施してもよい。
・本実施の形態では、制御装置13はCPU31を備えて構成したが、当該CPU31に代えて、デジタル信号処理に特化したDSP(デジタル信号プロセッサ)を採用することも可能である。
・本実施の形態では、主軸22のアキシャル方向及びラジアル方向における変位範囲を、間隙(アキシャルギャップ及びラジアルギャップ)Gax,Grdの範囲内において任意に設定可能としたが、間隙Gax,Grdの1/2の範囲内において設定するようにしてもよい。すなわち、制御装置13は、主軸22の外周面とラジアル電磁石24aとの間隙Grdの1/2の範囲内において当該ラジアル電磁石24aの吸引力を制御するとともに、鍔部材22aとアキシャル電磁石23aとの間の間隙Gaxの1/2の範囲内において当該アキシャル電磁石23aの吸引力を制御する。
従来、主軸22(正確には、鍔部材22a)とアキシャル磁気軸受23との間隙Gax、並びに主軸22とラジアル磁気軸受24との間隙Grdが通常、すなわち中立位置に保持された状態の半分未満になったときに、警報を発するようにした磁気軸受スピンドル装置も存在する。このような装置に対し本実施の形態の磁気軸受スピンドル装置11は特に有効である。すなわち、主軸22は、アキシャル磁気軸受23及びラジアル磁気軸受24との間で通常確保される間隙Gax,Grdの1/2の範囲内において変位するため、前述した警報が発せられることがない。また、主軸22とアキシャル磁気軸受23(正確には、鍔部材22a)との間の接触、及び主軸22とラジアル磁気軸受24との接触を好適に抑制可能となる。
・本実施の形態では、特に述べていないが、砥石軸スピンドル装置12は架台10aに対して固定してもよいし、当該架台10aに対し変位可能に設けるようにしてもよい。また、これらの場合において、砥石軸スピンドル装置12を構成する砥石軸を1組のアキシャル磁気軸受23及び2組のラジアル磁気軸受24により非接触状態で支持するとともに、これら磁気軸受の吸引力の制御を通じて砥石軸、ひいては当該軸に取り付けられる砥石Sの位置決め制御を行うことも可能である。
・本実施の形態では、主軸22の軸線がXYZ座標系におけるZ軸に沿うように磁気軸受スピンドル装置11を架台10aに設けるようにしたが、主軸22の軸線がZ軸に直交するY軸に沿うように配設することも可能である。この場合、図6に示されるように、主軸22の内端部に鍔部材22aを設けるとともに、ケーシング21の内部に単一のアキシャル電磁石23aを鍔部材22aに所定の間隙(アキシャルギャップ)Gaxを介して対向するように配設することも可能である。当該単一のアキシャル電磁石23aに対する通電制御を通じて主軸22のアキシャル方向(図6における上下方向)における荷重が支持される。なお、図6においては、モータ25は省略されている。
・本実施の形態では、磁気軸受スピンドル装置11にワークWを、また砥石軸スピンドル装置12に砥石Sを取り付けるようにしたが、磁気軸受スピンドル装置11に砥石S等の工具を、また砥石軸スピンドル装置12にワークWを取り付けるようにしてもよい。
・本実施の形態では、磁気軸受スピンドル装置11が搭載される工作機械として、研削装置10を例示したが、切削装置及びマシニングセンタ等に対しても適用可能である。
<他の技術的思想>
次に前記各実施形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。
<他の技術的思想>
次に前記各実施形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。
・請求項1〜請求項3のうちいずれか一項に記載の工作機械用磁気軸受スピンドル装置において、前記変位検出手段は、前記主軸のラジアル方向における位置を検出するラジアル変位センサ、及び前記主軸のアキシャル方向における位置を検出するアキシャル変位センサを含む工作機械用磁気軸受スピンドル装置。この構成によれば、ラジアル変位センサ及びアキシャル変位センサを通じて主軸の変位を好適に検出可能となる。
・請求項1〜請求項3のうちいずれか一項に記載の工作機械用磁気軸受スピンドル装置を備えてなる工作機械。この構成によれば、請求項1〜請求項3のうちいずれか一項に記載の発明と同様の効果を得ることができる。
11…磁気軸受スピンドル装置、13…制御装置、22…主軸、22a…鍔部材(回転部材)、23…アキシャル磁気軸受、23a…アキシャル電磁石、23b…変位検出手段を構成するアキシャル変位センサ、24…ラジアル磁気軸受、24a…ラジアル電磁石、24b…変位検出手段を構成するラジアル変位センサ、25…モータ、Gax…間隙(アキシャルギャップ)、Grd…間隙(ラジアルギャップ)。
Claims (3)
- モータにより回転される主軸の外周面に対して所定のラジアルギャップを介して対向配置される複数のラジアル電磁石を含むとともに当該ラジアル電磁石の吸引力を通じて主軸をラジアル方向において磁気浮上させて非接触状態で支持するラジアル磁気軸受と、
前記主軸の外周面に設けられた回転部材に対してアキシャル方向において所定のアキシャルギャップを介して対向配置される単数又は複数のアキシャル電磁石を含むとともに当該アキシャル電磁石の吸引力を通じて主軸をアキシャル方向において磁気浮上させて非接触状態で支持するアキシャル磁気軸受と、
前記主軸のラジアル方向及びアキシャル方向における位置を検出して当該検出結果を前記主軸の変位情報として出力する変位検出手段と、
前記変位検出手段を通じて取得される前記主軸の変位情報に基づき当該主軸を最適浮上位置に保持すべく前記ラジアル電磁石及びアキシャル電磁石の吸引力を制御する制御装置と、を備えた工作機械用磁気軸受スピンドル装置において、
前記制御装置は、前記ラジアル電磁石及びアキシャル電磁石の吸引力の制御を通じて、前記主軸を、前記ラジアルギャップ及びアキシャルギャップの範囲内において、アキシャル方向及びラジアル方向へ変位させて位置決め可能とした工作機械用磁気軸受スピンドル装置。 - 請求項1に記載の工作機械用磁気軸受スピンドル装置において、
前記制御装置は、前記主軸を、前記ラジアルギャップの1/2の範囲内において変位させるべく前記ラジアル電磁石の吸引力を制御するとともに、前記アキシャルギャップの1/2の範囲内において変位させるべく前記アキシャル電磁石の吸引力を制御するようにした工作機械用磁気軸受スピンドル装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の工作機械用磁気軸受スピンドル装置において、
前記制御装置は、定められた加工制御プログラムに基づき前記主軸の位置決め制御を行う工作機械用磁気軸受スピンドル装置。
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US8513826B2 (en) * | 2008-06-26 | 2013-08-20 | Ed Mazur | Wind turbine |
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Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4180946A (en) * | 1975-10-02 | 1980-01-01 | Maurice Brunet | Tool holding spindle assembly particularly for a grinding machine |
JPS60245443A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-05 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 制御式ラジアル磁気軸受装置 |
FR2606690B1 (fr) * | 1986-11-13 | 1994-06-03 | Europ Propulsion | Broche porte-piece a paliers magnetiques et dispositifs de mise en oeuvre de celle-ci pour machine-outil de tres haute precision |
JPH06134654A (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転・切り込み装置 |
JPH07256503A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-09 | Seiko Seiki Co Ltd | スピンドル装置 |
JPH0976139A (ja) | 1995-09-12 | 1997-03-25 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械の送り装置 |
US5748005A (en) * | 1995-10-31 | 1998-05-05 | Creare, Inc. | Radial displacement sensor for non-contact bearings |
JP3421903B2 (ja) * | 1996-07-16 | 2003-06-30 | 光洋精工株式会社 | 工作機械用磁気軸受スピンドル装置 |
JP3723887B2 (ja) | 1996-07-16 | 2005-12-07 | 光洋精工株式会社 | 磁気軸受スピンドル装置 |
JP2004283974A (ja) | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Toyoda Mach Works Ltd | リニアモータを用いた送り装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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