JP2008000866A - 工作機械 - Google Patents
工作機械 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008000866A JP2008000866A JP2006175192A JP2006175192A JP2008000866A JP 2008000866 A JP2008000866 A JP 2008000866A JP 2006175192 A JP2006175192 A JP 2006175192A JP 2006175192 A JP2006175192 A JP 2006175192A JP 2008000866 A JP2008000866 A JP 2008000866A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- bed
- machine tool
- vibration
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 53
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
【課題】経済的負担をかけることなく、高精度な加工を実現できる工作機械を提供する。
【解決手段】ベッド1と、このベッド上に第1の駆動手段16を介してY方向へ移動可能に支持されたYステージ11と、このYステージ11に第2の駆動手段を介してX方向へ移動可能に支持されたXステージ31と、このXステージ31に第3の駆動手段56を介してZ方向へ移動可能に支持された加工ステージ51Aおよび計測ステージ51Bとを備える。加工ステージ51Aには、ベッド1上に載置されたワークを加工する主軸ヘッド61が設けられている。計測ステージ51Bには、ベッド1との間で、ベッドおよびXステージの振動を検出する振動検出手段が設けられている。
【選択図】図1
Description
従来、ワーク加工中の振動を検出するものとして、特許文献1に記載の「工作機械及び工作機械による加工方法」、あるいは、特許文献2に記載の「工作機械における主軸の回転速度制御装置」などが知られている。
特許文献2に記載の工作機械は、工作機械の主軸の回転速度を検出する速度検出器と、主軸頭の振動を検出する振動検出器とをそれぞれ設け、速度検出器によって検出された主軸の回転速度に対し、振動検出器で検出された振動が許容値内にあるか否かを判定し、この判定結果に基づいて、主軸の回転速度と、ワークおよび工具の相対移動速度を設定するようにしたものである。
最近、ナノメートルオーダの加工精度が要求される超精密加工機械にあっては、振動の影響を無視できない。そこで、ワークと工具とのそれぞれに振動検出手段を設けることが考えられるが、このようにすると、経済的負担が大きい。
しかも、加工手段および振動検出手段が設けられた第2ステージの移動位置や、第1ステージの移動位置によって振動状態が変化しても、振動検出手段も加工手段とともに一緒に移動するので、振動状態の変化を的確に検出することができる。
従って、検出した振動状態を基に、加工手段側の加工条件などを制御することによって高精度な加工を実現することができる。たとえば、主軸の回転速度や、ワークおよび工具の相対移動速度、工具の切込量などを制御して、振動状態が予め設定した範囲内に収まるようにすることにより、高精度な加工を実現することができる。
この発明によれば、振動検出手段をレーザ変位計によって構成したので、ベッド上に載置された計測テーブルまでの距離の変化から、ベッドと第2ステージの振動状態、つまり、ワークと加工手段との振動状態を非接触で検出することができる。そのため、第2ステージの移動を円滑に行いつつ、ワークと加工手段との振動状態を高精度に検出することができる。
この発明によれば、加工ステージと計測ステージとが、第2ステージの移動軸線を中心とする対称位置に設けられているから、つまり、第2ステージを中心として対称的に配置されているから、機械的に対称構造とすることができる。従って、第2ステージを傾くことなく、円滑に移動させることができる。
この発明によれば、加工ステージおよび計測ステージが、第2ステージの移動軸線を中心として対称構造に構成されているから、第2ステージを傾くことなく、円滑に移動させることができる。
ここで、リニアモータとしては、リニア誘導モータ、リニア同期モータ、リニア直流モータ、リニアパルスモータなど任意のものを採用することができる。
この発明によれば、駆動手段の各々が、固定子と可動子とを有するリニアモータによって構成されているから、ステージを高精度に移動させることができるとともに、所定位置に高精度に位置決めすることができる。また、加工ステージに加工手段を取り付けて加工を行う場合であっても、加工時の振動などの影響を極力低減することができるから、高精度な加工を実現できる。
この発明によれば、第1ステージ、第2ステージ、加工ステージおよび計測ステージの少なくともいずれかは、制振材によって構成されているから、振動を抑制でき、高精度な加工を実現できる。
<実施形態の構成>
図1は本実施形態の工作機械を正面から見た斜視図、図2は同工作機械を背面から見た斜視図、図3は同工作機械の正面図、図4は同工作機械の側面図、図4は同工作機械の平面図である。
ガイド手段12は、突条2の上端面にY軸方向に沿って固定されたガイドレール13と、このガイドレール13に沿って摺動可能でかつYステージ11の下面にブラケット14を介して固定されたスライダ15とから構成されている。
駆動手段16は、Yステージ11をY軸方向(同方向)へ駆動するもので、ベッド1の両側突条2の外側位置にY軸方向に沿って設けられた固定子17と、Yステージ11の下面両側にブラケット18を介して取り付けられかつ固定子17に対して隙間を隔てて対向配置された可動子19とを有するリニアモータによって構成されている。なお、固定子17はコイルによって、可動子19はマグネットによって構成されているが、これとは逆でもよい。
リニアスケール20は、ベッド1の片側突条2の外側位置にY軸方向に沿って設けられたスケール部材21と、Yステージ11の下面に取り付けられかつスケール部材21に対して隙間を隔てて対向配置された検出ヘッド22とから構成されている。
ガイド手段32は、Yステージ11の上端面にX軸方向に沿って形成されたガイドレール33と、このガイドレール33に沿って摺動可能でかつXステージ31の下面に固定されたスライダ35とから構成されている。
駆動手段36は、Yステージ11の上面中央にX軸方向に沿って固定された固定子37と、Xステージ31の下面に取り付けられかつ固定子37に対して隙間を隔てて対向配置された可動子39とを有するリニアモータによって構成されている。
リニアスケール40は、固定子37の側面にX軸方向に沿って設けられたスケール部材41と、Xステージ31の下面に取り付けられかつスケール部材41に対して隙間を隔てて対向配置された検出ヘッド42とから構成されている。
加工ステージ51Aには、(図1参照)、ワーク載置テーブル4上に載置されたワークに対して加工を施す工具を備えた加工手段としての主軸ヘッド61が搭載されているとともに、滑車57や紐部材58を介してガイドブロック43Aの背面に昇降可能に設けられたバランスウエイト59が連結されている。主軸ヘッド61は、工具を取り付けるスピンドルが非接触軸受(空気静圧軸受)によって回転可能に支持された構造で、スピンドルが10,000rpm以上で回転できるものが用いられている。バランスウエイト59は、主軸ヘッド61を含む加工ステージ51Aの重量にバランスする重さに構成され、加工ステージ51Aを軽い力で昇降できるように構成されている。
計測ステージ51Bには、計測テーブル5の上面との間で、計測テーブル5および計測ステージ51Bの振動を検出する振動検出手段71が搭載されているとともに、滑車57および紐部材58を介してガイドブロック43Bの背面に昇降可能に設けられたバランスウエイト59が連結されている。
バランスウエイト59は、振動検出手段71を含む計測ステージ51Bの重量にバランスする重さに構成され、計測ステージ51Bを軽い力で昇降できるように構成されている。
駆動手段56は、シャフト型リニアモータによって構成されているが、これに限られない。他のリニアモータであってもよく、あるいは、ボールねじ軸と、このボールねじ軸を回転させるモータと、ボールねじ軸に螺合され加工ステージ51Aや計測ステージ51Bの裏面に固定されたナット部材などを備えるボールねじ送り機構から構成してもよい。
ワーク載置テーブル4上にワークを載置したのち、Yステージ11をY方向へ、Xステージ31をX方向へ、加工ステージ51AをZ軸方向へそれぞれ移動させながら、主軸ヘッド61に取り付けられた工具によってワークを加工する。
この加工中において、振動検出手段71によって、計測ステージ51Bから計測テーブル5上面までの距離を測定し、その測定結果から計測テーブル5と計測ステージ51Bの振動状態を検出する。振動検出手段71は、計測ステージ51Bに設けられ、計測テーブル5上面までの距離を測定し、その測定結果から計測テーブル5と計測ステージ51Bの振動状態を検出するから、つまり、ベッド1と主軸ヘッド61との振動を1つの振動検出手段71で検出できるから、それぞれに振動検出手段を設けて行う場合に比べて、経済的負担が少ない。
あるいは、振動検出手段71は、計測ステージ51Bから計測テーブル5上面までの距離を測定しているから、その距離からXステージ31の傾き、つまり、Xステージ31の移動軸線を中心とするXステージ31の幅方向の傾きを検出することができるから、その傾き角に応じて工具の切込量を多くするなどして加工することができる。
その際、振動検出手段71は、計測テーブル5までの距離を非接触で測定するレーザ変位計によって構成されているから、Xステージ31の移動に抵抗を与えることがないから、円滑に移動を確保しつつ、ワークと主軸ヘッド61との振動状態を高精度に検出することができる。
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
前記実施形態では、Yステージ11を駆動する駆動手段16、Xステージ31を駆動させる駆動手段36、加工ステージ51Aおよび計測ステージ51Bを駆動する駆動手段56を、それぞれリニアモータで構成したが、必ずしも、リニアモータでなくてもよい。ボールねじ軸を用いた送り機構であってもよい。
11…Yステージ(第1ステージ)
16…第1の駆動手段(リニアモータ)
17…固定子
18…可動子
31…Xステージ(第2ステージ)
36…第2の駆動手段
37…固定子
39…可動子
51A…加工ステージ
51B…計測ステージ
56…第3の駆動手段
61…主軸ヘッド(加工手段)
71…振動検出手段。
Claims (6)
- ベッドと、
このベッド上に第1の駆動手段を介して前記ベッドの上面と平行な方向へ移動可能に支持された第1ステージと、
この第1ステージに第2の駆動手段を介して前記ベッドの上面と平行な方向でかつ第1ステージの移動方向に対して直交する方向へ移動可能に支持された第2ステージと、
この第2ステージに第3の駆動手段を介して前記第1ステージの移動方向および第2ステージの移動方向に対して直交する方向へ移動可能に支持された加工ステージおよび計測ステージとを備え、
前記加工ステージには、前記ベッド上に載置されたワークを加工する加工手段が設けられ、
前記計測ステージには、前記ベッドとの間で、前記ベッドおよび前記第2ステージの振動を検出する振動検出手段が設けられていることを特徴とする工作機械。 - 請求項1に記載の工作機械において、
前記振動検出手段は、前記ベッド上に載置された計測テーブルまでの距離を非接触で測定するレーザ変位計によって構成されていることを特徴とする工作機械。 - 請求項1または請求項2に記載の工作機械において、
前記加工ステージと前記計測ステージとは、前記第2ステージ上でかつ前記第2ステージの移動軸線を中心とする対称位置に設けられていることを特徴とする工作機械。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の工作機械において、
前記第2ステージ、前記加工ステージおよび前記計測ステージは、前記第2ステージの移動軸線を中心として対称構造に構成されていることを特徴とする工作機械。 - 請求項1〜請求項4のいずれかに記載の工作機械において、
前記各駆動手段は、固定子と可動子とを有するリニアモータによって構成されていることを特徴とする工作機械。 - 請求項1〜請求項5のいずれかに記載の工作機械において、
前記第1ステージ、第2ステージ、加工ステージおよび計測ステージの少なくともいずれかは、制振材によって構成されていることを特徴とする工作機械。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006175192A JP4838062B2 (ja) | 2006-06-26 | 2006-06-26 | 工作機械 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006175192A JP4838062B2 (ja) | 2006-06-26 | 2006-06-26 | 工作機械 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008000866A true JP2008000866A (ja) | 2008-01-10 |
JP4838062B2 JP4838062B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=39005656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006175192A Expired - Fee Related JP4838062B2 (ja) | 2006-06-26 | 2006-06-26 | 工作機械 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4838062B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104440350A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-03-25 | 集美大学 | 用于碳纤维复合材料铣钻加工的专用机床 |
CN105033765A (zh) * | 2015-08-07 | 2015-11-11 | 孟令启 | 一种数控机床的微振动监测装置 |
CN112872912A (zh) * | 2021-03-10 | 2021-06-01 | 江苏安全技术职业学院 | 一种高自动化数控机床 |
CN115256048A (zh) * | 2022-08-10 | 2022-11-01 | 潘丽燕 | 一种具有多位置检测功能的高安全性机械振动测量装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000107976A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-04-18 | Toshiba Mach Co Ltd | 工作機械 |
JP2002321128A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-11-05 | Okuma Corp | 移動体の揺れ防止装置 |
JP2005169523A (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Canon Inc | テーブル位置決め装置 |
-
2006
- 2006-06-26 JP JP2006175192A patent/JP4838062B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000107976A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-04-18 | Toshiba Mach Co Ltd | 工作機械 |
JP2002321128A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-11-05 | Okuma Corp | 移動体の揺れ防止装置 |
JP2005169523A (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Canon Inc | テーブル位置決め装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104440350A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-03-25 | 集美大学 | 用于碳纤维复合材料铣钻加工的专用机床 |
CN105033765A (zh) * | 2015-08-07 | 2015-11-11 | 孟令启 | 一种数控机床的微振动监测装置 |
CN112872912A (zh) * | 2021-03-10 | 2021-06-01 | 江苏安全技术职业学院 | 一种高自动化数控机床 |
CN115256048A (zh) * | 2022-08-10 | 2022-11-01 | 潘丽燕 | 一种具有多位置检测功能的高安全性机械振动测量装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4838062B2 (ja) | 2011-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5639934B2 (ja) | 表面性状測定機 | |
JP3949910B2 (ja) | エアーベアリングを用いた駆動装置 | |
JP4276270B2 (ja) | 接触検知によるワークの基準位置設定機能を有する工作機械 | |
JP4113991B2 (ja) | 1軸駆動装置を用いた表面形状測定装置 | |
JP5329349B2 (ja) | 超精密工作機械 | |
JP4838062B2 (ja) | 工作機械 | |
US20130320781A1 (en) | Movement device having linear motor | |
JP4902612B2 (ja) | 機械装置の平面ステージ移動装置 | |
JP2006159404A (ja) | 位置決めデバイス | |
JP2008254114A (ja) | 工作機械用磁気軸受スピンドル装置 | |
JP5385330B2 (ja) | 高精度加工装置 | |
JP3940277B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP2013086188A (ja) | 加工装置 | |
JP2009083069A (ja) | 駆動装置、これを用いた加工機械および測定機械 | |
CN107598869A (zh) | 一种阻尼可调的精密直驱气浮平台 | |
JP2008509495A (ja) | 電気的位置決め駆動部を備えた機械 | |
JP2007331086A (ja) | ステージ装置 | |
JP3732763B2 (ja) | ステージ装置 | |
WO2021100857A1 (ja) | 工作機械 | |
JP4806236B2 (ja) | ステージ駆動装置 | |
JPH0618007B2 (ja) | 非接触駆動形平面移動台 | |
JP2006333601A (ja) | リニアモータ、工作機械及び計測器 | |
CN203636510U (zh) | 加工机床 | |
JPS62208839A (ja) | 切削加工を行なう工作機械 | |
JP4538285B2 (ja) | 加工システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110815 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110920 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110929 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141007 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4838062 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |